JP5064142B2 - 圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
少なくとも、
前記パッケージのキャビティ内に圧電振動片を搭載する工程と、
前記パッケージの貫通孔に封止部材を供給する工程と、
前記蓋体と前記パッケージを位置決めするための凹部を有する封着治具の前記凹部に、前記蓋体とパッケージを落し込んで位置決めする工程と、
前記封着治具にて位置決めされた前記蓋体と前記パッケージを封止機内に投入し、封止機内に設けられた加熱手段により、前記封止部材に予備過熱を施し、かつ、前記封着材を溶融させて前記蓋体とパッケージを密着固定させる工程と、
前記封止機内に設けられた前記封止部材を溶融するための溶融手段により前記封止部材を溶融し、前記パッケージ内を気密に封止する工程と、
を具備する圧電デバイスの製造方法とする。
まず、封着治具1の凹部1aに蓋体3を、該蓋体3にあらかじめ設けられている封着材3aを上にして落とし込み(図3(a))、その上に圧電振動片4が搭載されたパッケージ5を、キャビティ5aの開口部を下向きにして落し込む(図3(b))。
封着治具1の上面側及び下面側には加熱手段7が配置され、上下方向から封着治具1を挟み込み加熱される構成である。前記加熱手段7は、例えば、ヒーターを内蔵した加熱プレートである。前記加熱手段7として加熱プレートを用いれば、封止温度のバラツキが押さえられ温度管理が容易になり、他の熱源、例えばハロゲンランプ等に比べて比較的低い温度で封止作業が行える。
1a 凹部
2 封止機
3 蓋体
3a 封着材
4 圧電振動片
5 パッケージ
5a キャビティ
5b 貫通孔
6 封止部材
7 加熱手段
7a 押圧突起
7b バネ部材
8 冷却手段
9 溶融手段(レーザー照射機)
9a レーザービーム
10 パッケージベース
10a 搭載部
11 リッド
12 圧電振動片
13 接着材
14 封着材
15 貫通孔
15a 第1の孔
15b 第2の孔
16 金属製ボール
17 金属層
Claims (7)
- 圧電振動片と、該圧電振動片を収納するためのキャビティと該キャビティ底部に貫通孔が設けられたパッケージを有し、前記パッケージのキャビティ開口部と蓋体を封着材を介して接合するとともに前記貫通孔を封止部材により封止した圧電デバイスの製造方法において、
少なくとも、
前記パッケージのキャビティ内に圧電振動片を搭載する工程と、
前記パッケージの貫通孔に封止部材を供給する工程と、
前記蓋体と前記パッケージを位置決めするための凹部を有する封着治具の前記凹部に、前記蓋体とパッケージを落し込んで位置決めする工程と、
前記封着治具にて位置決めされた前記蓋体と前記パッケージを封止機内に投入し、封止機内に設けられた加熱手段により、前記封止部材に予備過熱を施し、かつ、前記封着材を溶融させて前記蓋体とパッケージを密着固定させる工程と、
前記封止機内に設けられた前記封止部材を溶融するための溶融手段により前記封止部材を溶融し、前記パッケージ内を気密に封止する工程と、
を具備することを特徴とする圧電デバイスの製造方法。 - 前記封止機内は、真空雰囲気若しくは不活性ガス雰囲気に保たれていることを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記加熱手段は、ヒーターを内蔵した加熱プレートであり、前記封着治具の上方及び下方に配置され、前記封着治具を挟み込むようにして加熱することを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記加熱プレートには、前記パッケージの一部を押圧する押圧突起が設けられていることを特徴とする請求項3に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記封止部材の溶融手段は、レーザービームであることを特徴とする請求項1〜4の何れか1つに記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記封止部材は、金属製ボールであり、前記パッケージの貫通孔に搭載配置された後、前記金属製ボールを前記貫通孔内にかしめ固定することを特徴とする請求項1〜5の何れか1つに記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記蓋体と前記パッケージを密着固定する工程後に、前記蓋体と前記パッケージを冷却するための冷却工程を経て、前記封止部材を溶融する工程に移行することを特徴とする請求項1〜6の何れか1つに記載の圧電デバイスの製造方法。
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