JP5062996B2 - ジアリールヨードニウム塩の製造方法及びジアリールヨードニウム塩 - Google Patents
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また、近年、半導体分野の開発においても、半導体素子の高密度集積化に伴い、微細加工、中でもリソグラフィに用いられる照射装置の光源は益々短波長化しており、この動きに伴い、感光性の組成物に酸発生剤を含有させ、露光により酸発生剤から酸を発生させ、その酸により画像を形成する化学増幅型のレジスト組成物が一般的に使用さるようになってきている。化学増幅型のレジスト組成物に使用される酸発生剤としては、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、ジアゾジスルホン化合物等が検討されてきている。
酸発生剤として有用なこれら、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、ジアゾニウム塩等のオニウム塩はカチオン重合開始剤としても使用されている。
また、本発明のさらなる目的は、新規なジアリールヨードニウム塩を提供することにある。
ここで用いられる芳香族化合物として、電子供与性の置換基を有する化合物を用いることで、安定性、反応性に優れた電子供与性基を有するジアリールヨードニウム塩を容易に製造することができる。
前記ヨードアリール化合物を、カルボン酸を含む溶媒中で、過硼素酸アルカリ金属と作用させた後、芳香族化合物、及び、酸を加える前に、さらに溶媒を加えることもできる。
また、溶媒中に含まれるカルボン酸としては、アルキルカルボン酸が好ましく挙げられ、芳香族化合物とともに添加する酸としては、アリールスルホン酸、パーフルオロアルカンスルホン酸、テトラフルオロホウ酸、及びヘキサフルオロリン酸から選ばれた酸が好ましく挙げられる。
ここで、前記芳香族化合物として電子供与性の置換基を有する化合物を用いることで、電子供与性の置換基を有するジアリールヨードニウム塩が製造される。
前記溶媒中に含まれるカルボン酸としては、アルキルカルボン酸が好ましく挙げられ、芳香族化合物とともに添加する酸としては、アリールスルホン酸、パーフルオロアルカンスルホン酸、テトラフルオロホウ酸、及びヘキサフルオロリン酸から選ばれた酸が好ましく挙げられる。
また、本発明の請求項7に記載のヨードニウム塩化合物は、下記一般式(II)で表される構造を有することを特徴とする。
また、本発明によれば、複数の電子供与性基をアリール基の特定箇所に置換基として有する新規なジアリールヨードニウム塩を提供することができる。
本発明のジアリールヨードニウム塩の製造方法は、ヨードアリール化合物を、カルボン酸を含む溶媒中で、過硼素酸アルカリ金属と作用させた後、芳香族化合物、及び、酸を加えることを特徴とする。
本発明のジアリールヨードニウム塩の製造方法によれば、ヨードアリール化合物を、カルボン酸を含む溶媒中で、過硼素酸アルカリ金属と作用させた後、そのまま、該溶媒中にさらに、芳香族化合物、酸、及び、所望により溶媒を加えることによりジアリールヨードニウム塩を1工程で製造することができる。
いずれの態様においても、芳香族化合物と供に加える酸としては、アリールスルホン酸、パーフルオロアルカンスルホン酸、テトラフルオロホウ酸、及びヘキサフルオロリン酸から選ばれた酸であることが好ましい。
本発明の製造方法について、以下、工程順に説明する。
本発明において、ジアリールヨードニウム塩を製造する際に、出発物質として使用することのできるヨードアリール化合物としては、ヨードベンゼン;アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基、ハロゲン原子、水酸基、アミド基、スルホ基、ハロアルキル基、アミノ基より選ばれる置換基により1〜5置換されるヨードベンゼンが挙げられる。なお、前記置換基を有するヨードベンゼンが複数の置換基を有する場合、置換基は同一の置換基であっても、互いに異なる置換基であってもよい。
また、他のヨードアリール化合物としては、ヨードナフタレン、ヨードアントラセン、ヨードフェナントレンなどの化合物やこれらの誘導体、具体的には、これらの化合物に前記したような置換基が導入された化合物なども使用可能な化合物として挙げることができる。
なかでも、ヨードニウム塩の安定性の観点から、1置換以上のアルコキシ基を有するヨードアリール化合物が好ましい。
本発明の製造方法では、まず、前記ヨードアリール化合物を、カルボン酸を含む溶媒中に投入するが、ここでいう溶媒は、カルボン酸からなる溶媒であってもよく、また、カルボン酸を水、有機溶剤などの適切な溶剤中に溶解、分散した溶媒であってもよい。
溶媒中に含まれるカルボン酸としては、カルボキシ基を有する酸化合物であれば特に制限はなく、アルキルカルボン酸、アリールカルボン酸、アルケニルカルボン酸などからなる群より任意に選択して用いることができるが、それ自体が反応溶媒として使用されたり、或いは、他の溶剤と均一に混合、溶解、分散して溶剤として使用されることを考慮すれば、20℃〜100℃で液体になり得るカルボン酸が好ましい。
これらのカルボン酸は、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基等の置換基を有するものであってもよい。
液状のカルボン酸を用い、カルボン酸のみで溶媒を構成する場合、溶媒に含まれるカルボン酸は1種のみでもよく、2種以上を併用してもよい。
これらのうち、反応の容易性、その後の塩の取り出し性から、アセトニトリル、ジクロロメタンなどが好ましい。
カルボン酸に混合して用いられる溶剤は反応を阻害させない範囲であれば2種以上併用することも可能である。
カルボン酸と前記溶剤とを混合して溶媒とする場合、溶媒中のカルボン酸の濃度は、好ましくは30〜99質量%である。
また、溶媒中のカルボン酸の含有量は、前記ヨードアリール化合物に対して、200モル%以上であることが反応性の観点から好ましく、200〜20000モル%であることがさらに好ましく、500〜15000モル%であることが最も好ましい。
本発明の製造方法では、ヨードアリール化合物を前記溶媒中に投入し、そこへ過硼素酸アルカリ金属を添加することで、ヨードアリール化合物と過硼素酸アルカリ金属とを作用させる。本発明に用いることのできる過硼素酸アルカリ金属は、アルカリ金属の塩であれば使用することができるが、入手性、取り扱い性の観点から、ナトリウム塩が好ましい。
本発明には過硼素酸ナトリウム、またはその水和物を用いることができる。安全性の観点から、一水和物が好ましく、更に好ましくは四水和物である。
ヨードアリール化合物を過硼素酸アルカリ金属と作用させる際の反応温度は、用いる溶媒の融点以上であればよいが、反応性と副反応の抑制の観点から、好ましくは0℃〜80℃、より好ましくは25℃〜60℃、更に好ましくは35℃〜55℃の範囲である。
次に、この溶媒中にさらに芳香族化合物、及び、酸を加えて反応させるが、このとき用いることのできる酸としては、アルキルスルホン酸、アリールスルホン酸、リン酸、酸基を少なくとも1つ有するリン酸エステル、スルフィン酸、硫酸、モノ硫酸エステル、硝酸、ハロゲン化水素、過ヨウ素酸、過塩素酸、テトラフルオロホウ酸、ヘキサフルオロリン酸、ハロゲン置換カルボン酸、ヘキサフルオロアンチモン、或いはこれらの塩を用いることができる。またその他の酸として、テトラアリールボレートなどの有機ホウ素化合物、リン化合物、シリル化合物などが挙げられる。
酸の添加量は、前記ヨードアリール化合物に対して、100モル%以上であることが製造適性の観点から好ましく、100〜500モル%であることがさらに好ましく、100〜200モル%であることが最も好ましい。
芳香族化合物は、ヨードニウム塩化に用いられるため、芳香族基上に少なくとも1つの水素原子を有するものであれば使用することが可能である。この反応に用いることができる芳香族化合物として、ベンゼン、ナフタレン、アントラセン、フェナントレンなどが、挙げられる。芳香族化合物は、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基、ハロゲン原子、水酸基、アミド基、スルホ基、ハロアルキル基、アミノ基より選ばれる置換基により1〜5置換されていてもよい。また、芳香族化合物が複数の置換基を有する場合、これらの置換基は同一であっても、互いに異なっていてもよい。
芳香族化合物に導入しうる電子供与性基としては、好ましくは、アルキル基、アルコキシ基、アミノ基、ウレア基、アルコキシアルキル基、アシロキシアミノ基、シクロアルキル基、アリル基が挙げられ、それらは電子供与性を失わない範囲でアルキル基、アルケニル基、アリール基、水酸基、アルコキシ基、チオール基、チオアルコキシ基、アミノ基、ハロゲン原子等の置換基を有していても良い。
上記の中でも特に好ましい電子供与性基としては、アルキル基、アルコキシ基が挙げられ、最も好ましい置換基はアルコキシ基である。
電子供与性基の好ましい具体例としては、炭素数1〜20のアルキル基、例えば、メチル基、n−ブチル基、t−ブチル基、n−オクチル基、ドデシル基など、炭素数1〜20のアルコキシ基、例えば、メトキシ基、エトキシ基、ブトキシ基、ヘテロキシ基、オクチロキシ基、ドデシロキシ基、シクロヘキシル基などが挙げられる。
電子供与性基の置換数としては、得られるジアリールヨードニウム塩に2以上の電子供与性基を有することが好ましく、より好ましくは3置換以上であり、最も好ましくは4置換されている化合物である。
芳香族化合物に導入された電子供与性基は、目的物質であるヨードニウム塩のアリール基に導入されることになるが、その好ましい置換位置としては、パラ位、オルト位が挙げられる。電子供与性基はヨードニウム塩における2つのアリール基の双方に1個以上導入されていてもよく、また、片方のみに2個以上導入されていてもよい。
電子供与性基を導入するにあたっての物性値としての目安を挙げれば、置換基(アリール基に導入される電子供与性基)のハメット値の総和が、−0.27以下であることが好ましく、−0.54以下がより好ましく、−0.84以下であることが最も好ましい。
なお、ハメット値は本発明の製造方法で得られるジアリールヨードニウム塩における置換基の電子吸引性の程度を表すものであり、本発明におけるハメット値としては、日本化学会 編、化学便覧 基礎編II(1984年、丸善(株)発行)に記載の数値を参照することができる。なお、ハメット値は通常、置換位置がm位、p位の値で用計算されるが、電子的な効果としてo位の値はp位の値と同値として計算してもよい。
溶媒の添加量としては、カルボン酸を含む溶媒に対して、0〜200重量%程度であることが好ましい。
本発明の製造方法においては、ヨードアリール化合物を、カルボン酸を含む溶媒中で過硼素酸と作用させることで、ヨード錯体を形成させ、そこに芳香族化合物と酸とを添加することで、ヨードアリール化合物とアリール化合物がカップリングし、1ステップでジアリールヨードニウム塩が得られる。
本反応の好ましい形態は、実用性の観点から、ヨードアリール化合物を過硼素酸と作用させる反応は、酢酸或いはプロピオン酸中で行うことが好ましく、続くヨードニウム塩化反応ではアリールスルホン酸、パーフルオロアルカンスルホン酸又はヘキサフルオロリン酸を用いることが好ましく、芳香族化合物と供に加える酸としては、アリールスルホン酸、パーフルオロアルカンスルホン酸、テトラフルオロホウ酸、及びヘキサフルオロリン酸から選ばれた酸であることが好ましい。
次に、本発明の製造方法を好適に適用しうるジアリールヨードニウム塩について述べる。
本発明の製造方法、及び、それに引き続く公知の塩交換により、以下に挙げるヨードニウム塩〔例示化合物(I−1)〜(I−35)〕の合成をすることが可能である。但し、本発明の製造方法が適用できるのは、以下のヨードニウム塩の合成に限定されるわけではない。
R1、R2、R3、又はR4がアルキル基を表す場合のアルキル基としては、炭素数1〜20のアルキル基、例えば、メチル基、n−ブチル基、t−ブチル基、n−オクチル基、シクロヘキシル基、ドデシル基などが挙げられる。
R1、R2、R3、又はR4がアルケニル基を表す場合のアルケニル基としては、炭素数1〜20のアルケニル基、例えば、アリル基、3−ブテン基、5−ヘキセン基などが挙げられる。
R1、R2、R3、又はR4がアルキニル基を表す場合のアルキニル基としては、炭素数1〜20のアルキニル基、例えば、2−ブチン基、2−プロピン基などが挙げられる。
これらのなかでも、製造適性、安定性、精製等からR1、R2、R3、又はR4としては、アルキル基が好ましく、より好ましくは、R1、R2、及びR3、がメチル基であり、且つ、R4が炭素数1〜15アルキル基のものが好ましい。
一般式(I)におけるアニオン構造としては、ハロゲンイオン、過塩素酸イオン、テトラフルオロボレートイオン、ヘキサフルオロホスフェートイオン、硫酸アニオンなどの無機アニオン構造、或いは、パラトルエンスルホン酸アニオン、トリフルオロメタンスルホン酸アニオン、ノナフルオロブタンスルホン酸アニオン、ナフタレンスルホン酸アニオン、ペンタフルオロベンゼンスルホン酸アニオン、3,5-ジメトキシカルボニルベンゼンスルホン酸アニオンなどのスルホン酸アニオン、酢酸アニオン、安息香酸アニオン、トリフルオロ酢酸アニオン、などのカルボン酸アニオン、硫酸モノメチルアニオンなどの硫酸エステルアニオン、ベンゼンスルフィン酸などのスルフィン酸アニオンなどが挙げられる。
なかでも、反応性、安定性の観点からは、X−はスルホン酸アニオン、無機アニオンであることが好ましい。
一般式(II)におけるX−はスルホン酸アニオン、又は、無機アニオン構造を表し、反応性、安定性の観点から、具体的には、ヘキサフルオロホスフェートイオン、フルオロアルキル基を有するスルホン酸アニオン、芳香族基にスルホン酸基が結合されているスルホン酸アニオンが好ましい。
〔実施例1〕
オクチロキシヨードベンゼン3.32gを溶媒としての酢酸45mlに溶解させ、40℃で加熱、攪拌する。ここに過硼素酸四水和物15.4gを20分でゆっくり添加し、40℃〜45℃で6時間攪拌後、室温で12時間放置、アセトニトリルを30ml滴下し、内温が5℃以下になるように、氷冷し、その後、芳香族化合物である1,3,5−トリメトキシベンゼン1.60gを加え、ここにパラトルエンスルホン酸1.81gをアセトニトリル30mlに溶解させ滴下した。
その後、5℃以下で2時間攪拌し、その後、氷水300mlへ投入し、ジクロロメタン250mlで抽出し、更に水層をジクロロメタン100mlで抽出した。有機相を亜硫酸ナトリウム37.8gを水300mlに溶解させた水溶液で洗浄し、更に有機相を水300mlで2回洗浄する。該有機相を、溶媒量を1/10になるまで濃縮し、酢酸エチル50mlを加え、再度濃縮し、放置することで下記ヨードニウム塩が3.20g(収率:48%)で得られた。
NMR 400MHz CDCl3 0.879(m,3H);1.275−1.299(m,8H);1.350−1.420(m,2H);1.777(m,2H);2.321(s,3H);3.853(s,3H);3.880(s,3H);3.900(q,2H);6.146(s,2H);6.780(d,2H,J=8.8);7.093(d,2H,J=8.0);7.701(d,2H,J=8.0);7.785(d,2H,J=8.8)
出発物質をヨードブトキシベンゼンに、芳香族化合物をブトキシベンゼンに、さらに、酸をメトフルオロブタンスルホン酸に換えた他は、実施例1と同様のスキームにて、下記ヨードニウム塩 2.97g(収率:41%)を得た。その構造をNMRの結果とともに示す。
出発物質をヨードベンゼンに換えた他は、実施例1と同様のスキームにて、下記ヨードニウム塩 2.44g(収率:45%)を得た。その構造をNMRの結果とともに示す。
出発物質をp−ブトキシヨードベンゼンに換えた他は、実施例1と同様のスキームにて、下記ヨードニウム塩 3.07g(収率:50%)を得た。その構造をNMRの結果とともに示す。
出発物質をヨードベンゼンに、芳香族化合物をベンゼンに、さらに、酸をトリフルオロメタンスルホン酸にそれぞれ換えた他は、実施例1と同様のスキームにて、下記ヨードニウム塩 2.11g(収率:49%)を得た。その構造をNMRの結果とともに示す。
オクチロキシヨードベンゼン3.32gを酢酸45mlに溶解させ、40℃で加熱、撹拌する。ここに過硼素酸四水和物15.4gを20分でゆっくり添加し、40℃〜45℃で6時間攪拌後、室温で12時間放置、内温が25℃になるようにし、1,3,5−トリメトキシベンゼン1.60gをゆっくり加え、更に、パラトルエンスルホン酸1.81gをゆっくり添加した後、5℃以下で2時間攪拌し、その後、氷水300mlへ投入し、ジクロロメタン250mlで抽出し、更に水層をジクロロメタン100mlで抽出した。
有機相を亜硫酸ナトリウム37.8gを水300mlに溶解させた水溶液で洗浄し、更に有機相を水300mlで2回洗浄する。該有機相を溶媒量が1/10になるまで濃縮し、酢酸エチル50mlを加え、再度濃縮し、放置することで、実施例1で得られたのと同じヨードニウム塩 3.00g(収率:45%)を得た。
実施例1で得られたヨードニウム塩1.5gをメタノール8mlに溶解させ、0.5N KPF6水50mlに滴下し、得られる固体を濾過、乾燥し、下記ヨードニウム塩1.3g(収率:90.0%)を得た。
Claims (10)
- ヨードアリール化合物を、カルボン酸を含む溶媒中で過硼素酸アルカリ金属と作用させ、その後、芳香族化合物、及び、酸を加えることを特徴とするジアリールヨードニウム塩の製造方法。
- 前記芳香族化合物が、電子供与性の置換基を有する化合物であることを特徴とする請求項1記載のジアリールヨードニウム塩の製造方法。
- 前記芳香族化合物とともに加える酸が、アリールスルホン酸、パーフルオロアルカンスルホン酸、テトラフルオロホウ酸、及びヘキサフルオロリン酸から選ばれた酸である請求項1又は請求項2に記載のジアリールヨードニウム塩の製造方法。
- 前記ヨードアリール化合物を、カルボン酸を含む溶媒中で過硼素酸アルカリ金属と作用させた後、芳香族化合物、及び、酸を加える前に、さらに溶媒を加えることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のジアリールヨードニウム塩の製造方法。
- 前記溶媒中に含まれるカルボン酸が、アルキルカルボン酸であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のジアリールヨードニウム塩の製造方法。
- ヨードアリール化合物を、カルボン酸を含む溶媒中で、過硼素酸アルカリ金属と作用させた後、そのまま、芳香族化合物物、及び、酸を加えることによりジアリールヨードニウム塩を1工程で製造するジアリールヨードニウム塩の製造方法。
- 前記芳香族化合物が、電子供与性の置換基を有する化合物であることを特徴とする請求項6記載のジアリールヨードニウム塩の製造方法。
- 前記芳香族化合物とともに加える酸が、アリールスルホン酸、パーフルオロアルカンスルホン酸、テトラフルオロホウ酸、及びヘキサフルオロリン酸から選ばれた酸である請求項6又は請求項7に記載のジアリールヨードニウム塩の製造方法。
- 前記溶媒中に含まれるカルボン酸が、アルキルカルボン酸であることを特徴とする請求項6から請求項8のいずれか1項に記載のジアリールヨードニウム塩の製造方法。
- 下記一般式(II)で表される構造を有するヨードニウム塩化合物。
上記一般式中、R4はアルキル基、アルケニル基、又は、アルキニル基を表し、X−はスルホン酸アニオン、又は、無機アニオン構造を表す。
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