JP5027617B2 - 共振周波数および最大光学振り角の測定方法 - Google Patents
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Description
エーエルティー株式会社、MEMSスキャナ計測システムALT−9A44カタログ、[online]、[平成19年10月11日検索]、インターネット(URL:http://www.alt.co.jp/pdf/alt9a44.pdf)
={1−cos(2πftCCW(f))}×R(f) ・・・(3)
={1−cos(2πftCW(f))}×R(f) ・・・(6)
=A×{B×(θCCW(f)+θ1+θ2)+θ1+θ2}
=ABθCCW(f)+A(1+B)(θ1+θ2)
B={1−cos(2πftCW(f))}/{1+cos(2πftCW(f))}
ΘCW(f)=θCW(f)+θ2
20 レーザダイオード(LD)
21 コリメータレンズ
31a 第1ジッタセンサ(第1受光素子)
31b 第2ジッタセンサ(第2受光素子または第3受光素子)
41 ウォブルセンサ(第2受光素子)
70 円弧状リニアガイド
71 円弧状レール
72 第1スライダ
73 第2スライダ
74 第3スライダ
80 角度目盛板
Claims (4)
- レーザビームが入射するMEMSミラー素子を駆動周波数で駆動することにより前記レーザビームを前記MEMSミラー素子で反射させて走査させる工程と、
前記駆動周波数を分解能ずつ増加または減少させる毎に、前記MEMSミラー素子のレーザビームの1往復走査の間に前記レーザビームの走査可能範囲内の任意の位置に配置された第1受光素子および第2受光素子から出力される4つの受光信号のそれぞれの時間間隔を測定する工程と、
前記4つの受光信号のそれぞれの時間間隔に基づいて今回の駆動周波数での前記レーザビームの反時計方向の光学振り角および時計方向の光学振り角を計算する工程と、
前回の駆動周波数のときの反時計方向の光学振り角および時計方向の光学振り角より今回の駆動周波数のときの反時計方向の光学振り角および時計方向の光学振り角が小さくなった場合に前回の駆動周波数を共振周波数と決定する工程と、
前記MEMSミラー素子を前記共振周波数で駆動して前記第1受光素子および前記第2受光素子から出力される4つの受光信号のそれぞれの時間間隔に基づいて前記MEMSミラー素子による前記レーザビームの反時計方向の最大光学振り角および時計方向の最大光学振り角を計算する工程と、
を含むことを特徴する共振周波数および最大光学振り角の測定方法。 - レーザビームが入射するMEMSミラー素子を駆動周波数で駆動することにより前記レーザビームを前記MEMSミラー素子で反射させて走査させる工程と、
前記駆動周波数を分解能ずつ増加または減少させる毎に、前記MEMSミラー素子のレーザビームの1往復走査の間に前記レーザビームの走査可能範囲内の任意の位置に配置された第1受光素子,第2受光素子および第3受光素子から出力される6つの受光信号のそれぞれの時間間隔を測定する工程と、
前記6つの受光信号のそれぞれの時間間隔に基づいて今回の駆動周波数での前記レーザビームの反時計方向の光学振り角および時計方向の光学振り角を計算する工程と、
前回の駆動周波数のときの反時計方向の光学振り角および時計方向の光学振り角より今回の駆動周波数のときの反時計方向の光学振り角および時計方向の光学振り角が小さくなった場合に前回の駆動周波数を共振周波数とする工程と、
前記MEMSミラー素子を前記共振周波数で駆動して前記第1受光素子,前記第2受光素子および前記第3受光素子から出力される6つの受光信号のそれぞれの時間間隔に基づいて前記MEMSミラー素子による前記レーザビームの反時計方向の最大光学振り角および時計方向の最大光学振り角を計算する工程と、
を含むことを特徴する共振周波数および最大光学振り角の測定方法。 - 前記6つの受光信号のそれぞれの時間間隔の2番目と3番目とを比較し、2番目の時間間隔が3番目の時間間隔よりも小さければ前記レーザビームが時計方向に走査していると判断し、2番目の時間間隔が3番目の時間間隔よりも大きければ前記レーザビームが反時計方向に走査していると判断する請求項2記載の共振周波数および最大光学振り角の測定方法。
- 前記レーザビームの反時計方向の光学振り角および時計方向の光学振り角を計算する工程が、前記レーザビームの走査角がほぼ正弦波になるために半径の位置での円弧状の等速円運動であると仮定して反時計方向の最大光学振り角および時計方向の最大光学振り角を計算する請求項1ないし3のいずれか1項に記載の共振周波数および最大光学振り角の測定方法。
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