JPH0968666A - 光走査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】装置を小形化できると共に、光ビームの偏向角
を高精度に制御して、光走査を良好に行い得る光走査装
置を提供する。 【解決手段】この光走査装置は、偏向ミラーＭの振動或
は回転により光ビームの偏向角が所定の角度に達したと
き、偏向ミラーの前方に配設した光センサ或は偏向ミラ
ーに装着された位置センサ、角度センサ等により角度検
出信号を発生させる。そして、微小角信号発生部１０
が、角度検出信号に応じて発生させた偏向ミラーの振動
或は回転周期に同期する基準信号に基づき、基準信号を
逓倍して微小角信号を発生させる。さらに、偏向角補間
信号発生部１２が、微小角信号と光ビームの特定の振れ
角を示す角度信号を入力し、上記角度検出信号の間を補
間する偏向角補間信号を、光源の発光タイミング信号と
して発生する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザレーダ、レ
ーザプリンタ、光学読取り装置等に適用される光走査装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザレーダ、レーザプリンタ、光学読
取り装置等に使用される光走査装置は、ガルバノミラ
ー、ガルバノメータ等の光偏向装置を備え、レーザ発振
器等の投光器から投光された光ビームを、光偏向装置の
振動ミラーに当て、そのミラーから反射した光ビームを
走査ビームとして出射させる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来、特開昭６３−１
２１０１３号公報、特開平２−２１１４１７号公報等に
より、ガルバノミラー、ガルバノメータ等の各種の光偏
向装置が提案されているが、この種のガルバノミラー
は、トーションバーやばね部で支持されたミラーを電磁
力で強制的あるいは自励共振により振動させるものであ
り、その偏向角を高精度に検出するためにエンコーダが
必要となり、装置が大形化すると共に、製造コストも高
くなる問題があった。

【０００４】また、従来、揺動可能に配設されたミラー
を、モータの回転で揺動させ、そのミラーに光ビームを
反射させ、光ビームを偏向させる装置も提案されている
が、モータを使用するため、及び光ビームの偏向角を正
確に検出するために、高精度のセンサを多数設置する必
要があり、装置が大形化すると共に製造コストも増大す
る問題があった。

【０００５】本発明は、上記の点に鑑みなされたもの
で、装置を小形化できると共に、光ビームの偏向角を高
精度に制御して、光走査を良好に行い得る光走査装置を
提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段及び作用・効果】上記目的
を達成するために、本発明の請求項１の光走査装置は、
光ビームを発生する光源と、光ビームを入射させ振動に
より光ビームを偏向・出射させる偏向ミラーと、を備え
た光走査装置において、偏向ミラーの振動により光ビー
ムの偏向角が所定の角度に達したとき、角度検出信号を
出力する角度検出信号発生手段と、角度検出信号に応じ
て発生させた偏向ミラーの振動周期に同期する基準信号
に基づき、基準信号を逓倍して微小角信号を発生させる
微小角信号発生手段と、微小角信号と前記光ビームの特
定の振れ角を示す角度信号を入力し、前記角度検出信号
発生手段が発生した角度検出信号の間を補間する偏向角
補間信号を、光源の発光タイミング信号として発生する
偏向角補間信号発生手段と、を備えたことを特徴とす
る。

【０００７】このような構成の光走査装置では、光源か
ら光ビームが偏向ミラーに入射する間、偏向ミラーは、
電磁力による自励共振等により振動し、これによって光
ビームは、走査方向に偏向され出射される。偏向ミラー
の振動により光ビームの偏向角が所定の角度に達したと
き、そのタイミングが検出され、そのタイミングで角度
検出信号発生手段から角度検出信号が出力される。

【０００８】さらに、この角度検出信号から自励共振す
る偏向ミラーの振動、つまり光ビームの走査周期に同期
した所定角度の基準信号を得る。そして、この基準信号
から、その周波数を逓倍し、位相がその基準信号と同一
の微小角信号を微小角信号発生手段から発生させる。

【０００９】この微小角信号は、偏向ミラーの偏向角、
つまり光ビームの向く角度を、周波数逓倍数に応じた角
度分解能により示すことができ、１走査周期を３６０度
とした場合、微小角信号の各々のパルスが走査の進角
（走査の進み角）に対応することになる。このため、例
えば、１走査周期に対し１パルスを発生する基準信号を
３６０逓倍して微小角信号を発生させた場合には、微小
角信号の周期は、走査進角の１度分に相当することにな
る。

【００１０】そして、偏向角補間信号発生手段は、その
微小角信号と偏向ミラーの特定の振れ角を示す角度信号
を入力し、角度検出信号発生手段が発生した複数の角度
検出信号の間を補間した偏向角補間信号を、光源の発光
タイミング信号として発生する。

【００１１】したがって、特定角度を示す角度信号と微
小角度信号を用いて自励共振する走査の偏向角を推定・
補間した偏向角補間信号を、光ビームの発光タイミング
信号として使用すれば、目的とする偏向角方向に光ビー
ムを出射することができる。

【００１２】そして、特定角度を示す角度信号と微小角
度信号を用いて自励共振する走査の偏向角を推定・補間
するため、偏向ミラーの自励共振の周期が変動し、走査
周期が変動した場合でも、角度信号と微小角信号がとも
に共振周期に連動し、偏向角を高精度に制御して、光走
査を良好に行うことができる。また、偏向角を高精度に
検出するためにエンコーダ等が不要となり、装置も小形
化することができる。

【００１３】さらに、請求項２のように、光センサによ
って、光ビームの偏向角が所定の角度に達したとき光ビ
ームを検知して角度検出信号を発生するようにすれば、
正確に所定角度の光ビームを検知して角度検出信号を発
生することができる。

【００１４】また、請求項３のように、偏向角補間信号
発生手段が角度検出信号の間を補間する偏向角補間信号
を発生する際、光ビームの走査毎に、偏向角補間信号を
一定の小進角づつずらして発生させるようにすれば、発
光周期を短くできず比較的長い発光周期を必要とする高
出力のレーザ光を使用する場合でも、微小進角で光走査
を行うことができる。

【００１５】また、請求項４のように、光源にレーザ発
光器を使用し、レーザ発光器にはスイッチング回路を介
して連続発光用の小電流電源とパルス発光用の大電流電
源を切換え可能に接続することができる。この光走査装
置では、角度検出信号を得る際に、光ビームとして、高
出力レーザやパルスレーザを必要としないから、連続発
光用の小電流電源とパルス発光用の大電流電源を切換え
て使用することにより、通常は、高出力のパルスレーザ
を使用し、角度検出信号を得るときのみ、例えば走査回
数１００回に１度の割合で、低出力の連続レーザ光を出
力させ、角度検出信号を得るようにすればよい。これに
よって、光源の電力消費を低減することができる。

【００１６】また、請求項５のように、偏向角補間信号
発生手段は、特定の振れ角を示す角度信号に基づき、微
小角信号を等間隔にピックアップして偏向角補間信号を
発生させるようにすることができ、また、請求項６のよ
うに、予め記憶された数値に基づき、光ビームの振れ角
分解能が一定となるように微小角信号をピックアップし
て偏向角補間信号を発生させることもできる。

【００１７】さらに、請求項７のように、偏向ミラーを
一次元方向にのみ振動して一次元の光走査を行う構成と
しても、請求項８のように、偏向ミラーを二次元方向に
振動して二次元の光走査を行う構成としてもよい。

【００１８】さらに、請求項９のように、光走査を行う
ことによって得られた光ビームの各振れ角毎のデータを
グループ化して処理し、グループ毎にデータを平均化す
ることができる。この光走査装置は、上記のように高い
分解能で光走査を行うことができるため、得られたデー
タを平均化することにより、高精度のデータを得ること
ができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。

【００２０】図１は光走査装置のブロック図を示し、図
２はそこに使用される光偏向部１の概略平面図を示し、
図３はその概略側面図を示している。光偏向部１は、光
源として光ビーム（レーザ光）を放射するレーザダイオ
ードＬＤとその発光回路１１を有し、レーザダイオード
ＬＤからの光ビームを受けて偏向・反射する偏向ミラー
Ｍを振動可能に設けて構成される。

【００２１】偏向ミラーＭは、例えば２個の圧電バイモ
ルフを取着した金属板上に、垂直軸又は水平軸を中心に
振動可能に配設され、２個の圧電バイモルフに偏向ミラ
ーの共振周波数に相当する正弦波信号を印加することに
より、偏向ミラーＭを自励共振させ、光ビームを偏向・
反射させる構造である。

【００２２】この偏向ミラーＭの振動幅（角度）が走査
時の光ビームの最大振れ角になり、その振動周期が走査
時の光ビームの１走査時間となるが、光ビームの最大振
れ角は±ａ°、１走査時間はＴｓとなるように設定され
る。

【００２３】図２に示すように、偏向ミラーＭの前方に
は遮光板２が配置され、遮光板２には、図４に示すよう
に、略中央に光ビーム投光用のスリット２ａが設けら
れ、その下方両側に偏向角度検出用のスリット２ｂが設
けられる。

【００２４】投光用のスリット２ａは、偏向ミラーＭの
振動による走査時、光ビームを角度±ａ°の範囲で放射
するように形成され、角度検出用のスリット２ｂは、走
査時、光ビームが角度±ａ°より狭い角度±ｂ°以上に
振れたとき、遮光板２の前方に配置された光センサ（例
えばホトダイオード）ＰＤ１、ＰＤ２にその光が当るよ
うに形成される。光センサＰＤ１、２の直前にはスリッ
ト２ｂから出射した光を遮光する遮光板３が配設され、
スリット２ａの前方には集光レンズ４が配設される。

【００２５】このように配置された２個の光センサＰＤ
１、ＰＤ２からは、走査時における光ビームの振れ角が
±ｂ°以上になったとき、高レベル信号が発生し、一方
の光センサＰＤ１からは角度検出信号ＤＧ４５が出力さ
れ、他方の光センサＰＤ２からは角度検出信号ＤＧ２２
５が出力される。

【００２６】そして、図２に示すように、光センサＰＤ
１からの角度検出信号ＤＧ４５と光センサＰＤ２からの
角度検出信号ＤＧ２２５はオアゲートＯＲに入力され、
合成信号ＰＡＣが出力されるように回路構成される。

【００２７】図１において、５は合成信号ＰＡＣと角度
検出信号ＤＧ４５が入力されるパルス処理部であり、こ
のパルス処理部５には、合成信号ＰＡＣの立ち上りと立
ち下がりで基準信号ＣＫ１を発生するワンショット回路
６、角度検出信号ＤＧ４５を遅延させる遅延回路７、ワ
ンショット回路６と遅延回路７の出力信号を入力するア
ンドゲートＡＤ、アンドゲートＡＤの出力信号を入力す
ると共に後述の微小角信号ＣＫ０をクロックとして入力
するラッチ８が設けられる。

【００２８】このパルス処理部５は、ラッチ８から、走
査時の光ビームが特定の偏向角（ここでは１３５°）に
あることを示す角度信号Ｄ１３５を出力し、ワンショッ
ト回路６から基準信号ＣＫ１を出力する。

【００２９】１０は、基準信号ＣＫ１が入力される微小
角信号発生部であり、この微小角信号発生部１０は、入
力した基準信号ＣＫ１に対し、その周波数を所定の倍数
（例えば１０００倍）に逓倍し、その信号の位相に同期
した微小角信号ＣＫ０を発生する。この微小角信号発生
部１０は、例えば、パルス位相差符号化回路、デジタル
制御発振回路等を有する高速デジタルＰＬＬから構成す
ることができる。

【００３０】１２は偏向角補間信号発生部であり、微小
角信号発生部１０からの微小角信号ＣＫ０と特定の偏向
角（進角１３５°）を示す角度信号Ｄ１３５を入力し、
光センサＰＤ１、ＰＤ２が検出した角度検出信号の間
（進角１３５°〜２２５°と３１５°〜４５°）を補間
する偏向角補間信号ＴＭを、光源の発光タイミング信号
として発生する。

【００３１】この偏向角補間信号ＴＭは、角度信号Ｄ１
３５の立ち上りに同期し、周期が例えば１００μｓのパ
ルス信号であり、光ビームの特定の偏向角±ｂ°の範囲
でその偏向角を推定・補間するように発生する。偏向角
補間信号発生部１２は、信号処理用ＣＰＵから構成さ
れ、偏向角補間信号ＴＭがレーザ光の発光回路１１に発
光タイミング信号として出力される。

【００３２】次に、図５のタイミングチャートを参照し
て光走査装置の動作を説明する。

【００３３】発光回路１１の動作によりレーザダイオー
ドＬＤがレーザ光を光偏向部１の偏向ミラーＭに向けて
放射し、光偏向部１の偏向ミラーＭが、±ａ°の振れ
角、周期Ｔｓで自励共振すると、レーザの光ビームは、
スリット２ａを通して放出され、偏向ミラーＭの偏向角
に応じて光による走査が行われる。

【００３４】図５のタイミングチャートに示すように、
光走査の１周期を３６０°とする進角を横軸にとり、光
ビームの振れ角（偏向角）を縦軸にとれば、光ビームの
振れ角は正弦波で変化する。そして、上述のように、光
ビームは最大振れ幅±ａ°の範囲で振れ、進角が４５°
及び２２５°のところで、振れ角が±ｂ°となる。

【００３５】そして、光偏向部１の遮光板２のスリット
２ｂと光センサＰＤ１、２の位置関係により、進角が４
５°から１３５°の範囲で、光センサＰＤ１に光ビーム
が当たるため、角度検出信号ＤＧ４５が高レベルとな
る。また、進角が２２５°から３１５°の範囲で、光セ
ンサＰＤ２に光が当たるため、角度検出信号ＤＧ２２５
が高レベルとなり、両角度検出信号の論理和をとった合
成信号ＰＡＣがパルス処理部５に送られる。

【００３６】パルス処理部５では、ワンショット回路６
において、合成信号ＰＡＣの変化点で立ち上がりエッジ
を持つ基準信号ＣＫ１が発生する。また、角度検出信号
ＤＧ４５を所定時間遅延させた信号と基準信号ＣＫ１の
論理積をとることにより、進角１３５°時に発生するワ
ンショット信号を発生させてラッチに入力し、微小角信
号発生部１０から出力される微小角信号ＣＫ０でその信
号をラッチすることにより、走査進角が１３５°を示す
角度信号Ｄ１３５がパルス処理部５から出力され、偏向
角補間信号発生部１２に送られる。

【００３７】微小角信号発生部１０では、基準信号ＣＫ
１の周波数を例えば１０００倍に逓倍し、且つその信号
の位相に同期した微小角信号ＣＫ０を発生し、偏向角補
間信号発生部１２に出力する。

【００３８】偏向角補間信号発生部１２では、進角１３
５°の角度信号Ｄ１３５の入力により、光走査の開始偏
向角を捕え、その進角１３５°から２２５°と、３１５
°から４５°の間を、微小信号ＣＫ０によって等間隔で
１０００分割することにより、光ビームを照射すべき方
向にあることを推定しレーザ光を発光させるための偏向
角補間信号（発光タイミング信号）ＴＭを発生し、レー
ザダイオードＬＤの発光回路に出力する。ここでは、１
走査周期Ｔｓに対し、周期１００μｓの１０パルスの偏
向角補間信号（発光タイミング信号）ＴＭが均等間隔で
出力されることになる。

【００３９】このように、走査進角が１３５°から２２
５°の間を等間隔で１０００分割する微小角信号ＣＫ０
と、走査進角が１３５°にあることを示す角度信号Ｄ１
３５により、偏向角補間信号ＴＭを発生する場合、原理
的には進角分解能０．０９°（９０°／１０００）で進
角１３５°を走査開始ポイントとして微小角信号のパル
ス数により走査角度を推定・補間することができ、目標
とする偏向角方向に光ビームを照射して光走査を良好に
行うことができる。

【００４０】図６は他の実施例のタイミングチャートを
示し、この例では、上記より高密度に偏向角補間信号を
発生させる。

【００４１】光ビームのレーザ光を高い周波数で発光さ
せることができれば、上記の微小角信号ＣＫ０を直接に
偏向角補間信号ＴＭとすればよい。しかし、大出力レー
ザダイオードの発光周期には、例えば１００μｓ以下と
制限があり、隣合う微小角信号ＣＫ０のパルス毎に発光
させることができない。

【００４２】そのため、図６の偏向角補間信号（発光タ
イミング信号）ＴＭ０１〜ＴＭ２０に示すように、１／
４走査周期毎に、一定の進角づつずらして偏向角補間信
号（発光タイミング信号）を発生させることにより、走
査時の光ビームの偏向角をより微小角で捕えることがで
きる。

【００４３】即ち、図６のように、走査進角が１３５°
から２２５°に進む間、１００μｓ周期の偏向角補間信
号ＴＭ０１を５パルス発生させ、次に、走査進角が３１
５°から４０５°（４５°と同等）に進む間に、１００
μｓ周期の偏向角補間信号ＴＭ０２を微小進角（例えば
進角０．９°）だけずらして５パルス発生させる。

【００４４】同様に、次に走査進角が１３５°から２２
５°に進む間、１００μｓ周期の偏向角補間信号ＴＭ０
３を、さらに微小進角（０．９°）だけずらして５パル
ス発生させる。このようにして、所定周期の偏向角補間
信号ＴＭ０４〜２０を進角０．９°づつ順に遅らせて、
偏向角補間信号（発光タイミング信号）ＴＭ０１〜ＴＭ
２０を発生させる。

【００４５】このように、１／４走査周期毎に、微小進
角（０．９°）づつずらして発生させた偏向角補間信号
（発光タイミング信号）ＴＭ０１〜ＴＭ２０によって、
光ビーム（レーザ光）を発光させた場合には、あたかも
微小進角０．９°でレーザ光を発光させた場合と同様な
分解能で光走査を行うことができる。

【００４６】上記実施例で説明した光走査は、走査時の
光ビームの進角を、例えば一定微小角（例えば０．９
°）とする進角一定制御方式であったが、振れ角の変化
を一定にした光走査（振れ角分解能一定制御方式）を行
うこともできる。

【００４７】進角一定制御の場合は、微小角信号ＣＫ０
（クロックパルス）を等間隔でピックアップして偏向角
補間信号（発光タイミング信号）ＴＭを発生させたが、
振れ角分解能一定制御では、予めＲＯＭ等に、走査進角
の変化に対し一定の振れ角が得られるような数値を記憶
しておき、その数値を順に読み出し、その数値に対応し
た数だけ微小角信号ＣＫ０（クロックパルス）をピック
アップして、偏向角補間信号（発光タイミング信号）Ｔ
Ｍを発生させればよい。

【００４８】また、上述のように、走査時に、角度検出
信号ＤＧ４５、ＤＧ２２５を発生させ、その合成信号等
から微小角信号ＣＫ０を発生させ、特定の進角を示す角
度信号Ｄ１３５と微小角信号ＣＫ０から偏向角補間信号
ＴＭを作るため、その際の光ビーム（レーザ光）は、高
出力のパルスレーザ光でなくとも、出力の低い連続光で
よいことになる。また、偏向角補間信号ＴＭを発生させ
る走査偏向角度検出は、毎回の光走査毎に行なわなくと
も、例えば１００回の光走査に１回の割合で実施し、そ
の偏向角補間信号ＴＭのタイミングを記憶して使用する
ことも可能である。

【００４９】このため、図７に示すように、レーザダイ
オードＬＤの電源として、パルス発光用の大電流電源Ｐ
Ｓ１と連続発光用の小電流電源ＰＳ２を用意し、それら
をスイッチング回路ＳＣを介して切換え可能に発光回路
に接続する。そして、通常の光走査時には、レーザダイ
オードＬＤを大電流電源ＰＳ１により高出力のパルス発
光させ、走査偏向角を検出する際には、小電流電源ＰＳ
２に電源を切換え、小出力の連続発光で使用することも
できる。このように構成することにより、光源の消費電
力を低減することができる。

【００５０】さらに、上記実施例では、水平方向のみの
一次元光走査について説明したが、図８に示すように、
垂直方向の角度検出信号を得るための光センサＰＤ３と
ＰＤ４を追加して設ければ、水平・垂直両方向の走査を
行う二次元光走査装置に適用することもできる。

【００５１】上記構成の光走査装置を例えばレーザレー
ダに適用した場合、光走査を行って被測定部から反射さ
れたレーザ光を受光し、発光と受光の時間差から距離を
測定するが、その際、図９に示すように、走査する光ビ
ーム（レーザ光）をグループ領域に分けて例えばＧ１〜
Ｇ１３のようにグループ化し、グループ化されたレーザ
光の方向で測定された距離データを平均化して、そのグ
ループに対応する測定データとすることができる。上記
構成の光走査装置は、角度分解能が非常に高いため、グ
ループ化領域内を分割するレーザ光の角度分解能は、レ
ーザレーダ等のシステム要求分解能を上回る。このた
め、グループ化されたデータを平均化することにより、
より高精度なデータを得ることができる。

【００５２】さらに、上記実施例では、光ビームの特定
偏向角を光センサにより検知したが、光ビームの特定偏
向角を検知する代わりに、偏向ミラーの特定偏向角をホ
ール素子等の近接センサにより検知し、角度検出信号を
発生させることもできる。

【００５３】また、上記実施例では、偏向ミラーの振動
により光ビームを偏向させたが、偏向ミラーの代わりに
ポリゴンミラー等の多面回転ミラーを使用して、多面回
転ミラーをモータにより回転させる構造とし、ミラーの
回転によって各ミラー面で反射される光ビームを偏向さ
せ、多面回転ミラーの回転により光ビームの偏向角が所
定の角度に達したとき、角度検出信号を出力させるよう
に構成することもできる。この場合、多面回転ミラーを
駆動するモータに回転センサを装着し、その回転センサ
の出力信号を用いて光ビームの偏向角が所定の角度に達
したとき、角度検出信号を出力させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の光走査装置の構成図であ
る。

【図２】光走査装置の光学系の平面図である。

【図３】光走査装置の光学系の側面図である。

【図４】遮光板２の正面図である。

【図５】同装置の動作を示す信号等のタイミングチャー
トである。

【図６】他の実施例のタイミングチャートである。

【図７】他の実施例の電源を示す概略接続図である。

【図８】他の実施例の光学系の側面図である。

【図９】他の実施例の光ビームのグループ化を示す説明
図である。

【符号の説明】

１−光偏向部、 ５−パルス処理部、 １０−微小角信号発生部、 １２−偏向角補間信号発生部、 Ｍ−偏向ミラー、 ＬＤ−レーザダイオード、 ＰＤ１、ＰＤ２−光センサ。

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ビームを発生する光源と、該光ビーム
   を入射させ振動により該光ビームを偏向・出射させる偏
   向ミラーと、を備えた光走査装置において、 該偏向ミラーの振動により該光ビームの偏向角が所定の
   角度に達したとき、角度検出信号を出力する角度検出信
   号発生手段と、 該角度検出信号に応じて発生させた偏向ミラーの振動周
   期に同期する基準信号に基づき、該基準信号を逓倍して
   微小角信号を発生させる微小角信号発生手段と、 該微小角信号と前記光ビームの特定の振れ角を示す角度
   信号を入力し、前記角度検出信号発生手段が発生した角
   度検出信号の間を補間する偏向角補間信号を、光源の発
   光タイミング信号として発生する偏向角補間信号発生手
   段と、 を備えたことを特徴とする光走査装置。
2. 【請求項２】 前記角度検出信号発生手段には、光ビー
   ムの偏向角が所定の角度に達したとき該光ビームを検知
   して角度検出信号を発生する光センサが設けられたこと
   を特徴とする請求項１記載の光走査装置。
3. 【請求項３】 前記偏向角補間信号発生手段が角度検出
   信号の間を補間する偏向角補間信号を発生する際、光ビ
   ームの走査毎に、該偏向角補間信号を一定の小進角づつ
   ずらして発生させることを特徴とする請求項１記載の光
   走査装置。
4. 【請求項４】 前記光源にレーザ発光器が使用され、該
   レーザ発光器にはスイッチング回路を介して連続発光用
   の小電流電源とパルス発光用の大電流電源が切換え可能
   に接続されたことを特徴とする請求項１記載の光走査装
   置。
5. 【請求項５】 前記偏向角補間信号発生手段が、特定の
   振れ角を示す角度信号に基づき、微小角信号を等間隔に
   ピックアップして偏向角補間信号を発生させることを特
   徴とする請求項１記載の光走査装置。
6. 【請求項６】 前記偏向角補間信号発生手段が、予め記
   憶された数値に基づき、光ビームの振れ角分解能が一定
   となるように微小角信号をピックアップして偏向角補間
   信号を発生させることを特徴とする請求項１記載の光走
   査装置。
7. 【請求項７】 前記偏向ミラーが一次元方向にのみ振動
   して一次元の光走査を行うことを特徴とする請求項１記
   載の光走査装置。
8. 【請求項８】 前記偏向ミラーが二次元方向に振動して
   二次元の光走査を行うことを特徴とする請求項１記載の
   光走査装置。
9. 【請求項９】 光走査を行うことによって得られた光ビ
   ームの各振れ角毎のデータをグループ化して処理し、該
   グループ毎にデータを平均化することを特徴とする請求
   項１記載の光走査装置。
10. 【請求項１０】 光ビームを発生する光源と、該光ビー
    ムを入射させ振動により該光ビームを偏向・出射させる
    偏向ミラーと、を備えた光走査装置において、 該偏向ミラーの特定偏向角を検知することにより、該偏
    向ミラーの偏向角が所定の角度に達したことを検出し、
    角度検出信号を出力する角度検出信号発生手段と、 該
    角度検出信号に応じて発生させた偏向ミラーの振動周期
    に同期する基準信号に基づき、該基準信号を逓倍して微
    小角信号を発生させる微小角信号発生手段と、 該微小角信号と前記偏向ミラーの特定の振れ角を示す角
    度信号を入力し、前記角度検出信号発生手段が発生した
    角度検出信号の間を補間する偏向角補間信号を、光源の
    発光タイミング信号として発生する偏向角補間信号発生
    手段と、 を備えたことを特徴とする光走査装置。
11. 【請求項１１】 光ビームを発生する光源と、該光ビー
    ムを入射させ回転により該光ビームを偏向・出射させる
    多面回転ミラーと、を備えた光走査装置において、 該多面回転ミラーの特定偏向角を検知することにより、
    該多面回転ミラーの偏向角が所定の角度に達したとき、
    角度検出信号を出力する角度検出信号発生手段と、 該角度検出信号に応じて発生させた多面回転ミラーの回
    転周期に同期する基準信号に基づき、該基準信号を逓倍
    して微小角信号を発生させる微小角信号発生手段と、 該微小角信号と前記多面回転ミラーの特定の偏向角を示
    す角度信号を入力し、 前記角度検出信号発生手段が発生した角度検出信号の間
    を補間する偏向角補間信号を、光源の発光タイミング信
    号として発生する偏向角補間信号発生手段と、 を備えたことを特徴とする光走査装置。