JP5024388B2 - 表面波装置及びデュプレクサ - Google Patents
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Description
(発明の効果)
2…圧電基板
3…IDT電極
4,5…反射器
6…第1のバスバー
7…第2のバスバー
6a,7a…辺
6c,7c…傾斜部
6d,7d…直線部
8…第1の電極指
9…第2の電極指
9a…先端
10…第1のダミー電極
11…第2のダミー電極
12,13…電極指
14〜17…バスバー
18…絶縁部材
18a,18b…貫通孔
19a…支持層
19b…カバー
19c…側壁
20,21…パッド電極
22,23…導電膜
24,25…貫通型導電部材
26,27…アンダーバンプメタル層
28,29…バンプ
31…表面波装置
41…表面波フィルタ装置
42…入力側電極パッド
43,44…1ポート型表面波共振子
45,46…表面波フィルタ
45a,45b,46a,46b…反射器
47…パッド電極
48…パッド電極
49,50…表面波フィルタ
49a,49b,50a,50b…反射器
51,52…パッド電極
61…表面波装置
62…IDT電極
63,64…IDT電極
65,66…反射器
65a,66a…バスバー
65b,66b…直線部
65c,66c…傾斜部
71…表面波装置
72〜74…IDT電極
75,76…反射器
75a,76a…第1のバスバー
75b,76b…第2のバスバー
81…表面波装置
83…IDT電極
84,85…反射器
84a,85a…電極指
84b,85b…電極指
86〜89…バスバー
100B…空間
119a…支持層
501…表面波装置
502…圧電基板
503…IDT電極
504…保護膜
505…包囲壁
506…蓋体
506a,506b…貫通孔
507,508…バンプ
510…配線基板
511,512…電極ランド
Claims (9)
- 圧電基板と、
前記圧電基板の上面に形成されたIDT電極と、
前記IDT電極の配置されている部分の表面波伝搬方向両側に配置された反射器と、
前記IDT電極及び前記反射器が臨む閉じられた空間を形成するようにして前記圧電基板上に形成された絶縁部材とを備え、該絶縁部材が該空間を囲む側壁と、空間の上部を閉じている天井とを有し、
前記反射器の複数本の電極指において、前記反射器のIDT電極に隣接する第1の端部側の電極指から前記第1の端部とは反対側の第2の端部側に向かう方向において電極指の長さが順に短くなる部分を有するように前記反射器に重み付けが施されており、かつ前記絶縁部材の側壁が該反射器の重み付けされた部分において表面波伝搬方向に対して傾斜されていることを特徴とする、表面波装置。 - 前記圧電基板上に形成されており、かつ前記IDT電極に電気的に接続されたパッド電極と、
前記絶縁部材の上面に形成された端子電極と、
前記パッド電極と前記端子電極とを電気的に接続している導電部材とをさらに備える、請求項1に記載の表面波装置。 - 前記導電部材が、前記絶縁部材を貫通するように設けられた貫通型導電部材である、請求項2に記載の表面波装置。
- 前記IDT電極として、表面波伝搬方向に沿って配置された少なくとも3個のIDT電極を有する、縦結合共振子型の表面波フィルタである、請求項1〜3のいずれか1項に記載の表面波装置。
- 前記IDT電極として、1つのIDT電極を有し、
前記IDT電極が、第1,第2のバスバーと、
前記第1のバスバーの内側の辺から第2のバスバーに向って延ばされた複数本の第1の電極指と、
前記第2のバスバーの内側の辺から前記第1のバスバー側に向って延ばされた複数本の第2の電極指とを備え、該IDT電極が交叉幅重み付けされており、
前記第1,第2のバスバーの少なくとも一方のバスバーの外側の辺が交叉幅重み付けに応じて表面波伝搬方向に対して傾斜されている部分を有し、前記絶縁部材が該傾斜された外側の辺と平行に延びる前記側壁部分を有する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の表面波装置。 - 前記IDT電極が、前記第1の電極指の先端に対してギャップを介して対向されており、前記第2のバスバーに接続されている第1のダミー電極と、
前記第2の電極指の先端に対してギャップを介して対向されており、かつ前記第1のバスバーに接続されている第2のダミー電極とをさらに備え、
前記IDT電極における電極指交叉幅が最大となる部分から前記弾性表面波伝搬方向両側にいくに連れて交叉幅が減少する交叉幅重み付け部分を有するように前記IDT電極に交叉幅重み付けが施こされており、
前記第1のバスバーの前記第1の電極指及び第2のダミー電極が接続されている辺が、前記交叉幅重み付けの包絡線と一定の距離を隔てて配置されるように、弾性表面波伝搬方向に対して傾斜された傾斜部分を有し、
前記第2のバスバーの前記第2の電極指及び前記第1のダミー電極が接続されている辺が、前記交叉幅重み付けの包絡線に一定の距離を隔てて配置されるように、弾性表面波伝搬方向に対して傾斜された傾斜部分を有し、
前記IDT電極の最外側電極指と、前記反射器のIDT電極側の電極指とが隣り合う部分において、反射器の電極指の長さが、IDT電極の該電極指の長さと、IDT電極の電極指先端に対向されているダミー電極の長さの和と略同等とされている、請求項5に記載の表面波装置。 - 請求項6に記載の表面波装置からなる直列腕共振子と、請求項6に記載の表面波装置からなる並列腕共振子とを備え、該直列腕共振子と該並列腕共振子とによりラダー型フィルタが構成されている、表面波装置。
- 前記絶縁部材が、前記圧電基板上に形成されており、前記IDT電極及び前記反射器が設けられている領域を露出させる開口部が形成されている支持層と、前記支持層の開口部を閉成するように前記支持層に積層されたカバーとを有する、請求項1〜7のいずれか1項に記載の表面波装置。
- ラダー型フィルタ回路を有する送信側フィルタと、請求項1〜8のいずれか1項に記載の表面波装置を用いて構成された受信側フィルタと、前記送信側フィルタ及び前記受信側フィルタが実装されている配線基板と、前記配線基板に実装された前記送信側フィルタ及び受信側フィルタを封止するように設けられたモールド樹脂層とを備えることを特徴とする、デュプレクサ。
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---|---|---|---|---|
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CN101860342B (zh) * | 2010-04-29 | 2013-12-18 | 贵州大学 | 汇流条兼作反射栅型idt结构的saw器件 |
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CN105409120B (zh) | 2013-08-13 | 2018-04-10 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
JP5765502B1 (ja) * | 2013-09-17 | 2015-08-19 | 株式会社村田製作所 | デュプレクサ |
CN105794107B (zh) | 2013-12-27 | 2018-12-25 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置以及其制造方法 |
DE112015002950B4 (de) | 2014-06-23 | 2023-06-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vorrichtung für elastische Wellen |
KR101706257B1 (ko) * | 2015-01-13 | 2017-02-13 | (주)와이솔 | 압전소자 디바이스 |
CN105742255B (zh) * | 2016-04-01 | 2018-10-09 | 江苏长电科技股份有限公司 | 金属圆片级凹槽埋孔型表面声滤波芯片封装结构及方法 |
WO2018225650A1 (ja) | 2017-06-06 | 2018-12-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置、マルチプレクサ及び複合フィルタ装置 |
WO2019001657A1 (en) * | 2017-06-30 | 2019-01-03 | Vestas Wind Systems A/S | IMPROVED ELECTROTHERMAL HEATING ELEMENTS |
JP6818148B2 (ja) * | 2017-07-27 | 2021-01-20 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子 |
CN114221635A (zh) * | 2022-02-21 | 2022-03-22 | 成都频岢微电子有限公司 | 一种用作射频前端声表面波滤波器的谐振器 |
CN114268294B (zh) * | 2022-03-03 | 2022-06-17 | 深圳新声半导体有限公司 | 包含混合加权型反射栅的saw器件及混合加权型反射栅 |
CN114710134A (zh) * | 2022-04-08 | 2022-07-05 | 浙江星曜半导体有限公司 | 声表面波谐振器及声表面波滤波器 |
CN116032238A (zh) * | 2023-02-13 | 2023-04-28 | 成都频岢微电子有限公司 | 一种叉指换能器及蜂窝状结构声表面波滤波器 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001185976A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-07-06 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置 |
WO2001082480A1 (fr) * | 2000-04-24 | 2001-11-01 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Filtre a ondes acoustiques de surface a couplage vertical |
JP2002261582A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-09-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波デバイスおよびその製造方法ならびにそれを用いた回路モジュール |
JP2002314365A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-25 | Hitachi Ltd | 所望の比帯域を有する弾性表面波共振子およびその製造方法。 |
JP2004253937A (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-09 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 弾性表面波フィルタとその製造方法 |
WO2006006343A1 (ja) * | 2004-07-14 | 2006-01-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電デバイス |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03128519A (ja) * | 1989-09-12 | 1991-05-31 | Seiko Epson Corp | Saw共振子及びsawフィルタ |
JPH07240658A (ja) * | 1994-03-01 | 1995-09-12 | Kinseki Ltd | 弾性表面波デバイス |
KR19990028493A (ko) | 1995-06-30 | 1999-04-15 | 니시무로 타이죠 | 전자부품 및 그 제조방법 |
EP0794616B1 (en) * | 1996-03-08 | 2003-01-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | An electronic part and a method of production thereof |
JP3128519B2 (ja) * | 1996-11-06 | 2001-01-29 | リンナイ株式会社 | 複合温水暖房システムの温度制御装置 |
JP3449352B2 (ja) * | 2000-02-07 | 2003-09-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
JP2001298346A (ja) * | 2000-04-13 | 2001-10-26 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波装置 |
JP3863712B2 (ja) | 2000-09-06 | 2006-12-27 | 株式会社日立製作所 | 弾性表面波共振器 |
US6710682B2 (en) * | 2000-10-04 | 2004-03-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device, method for producing the same, and circuit module using the same |
JP3772702B2 (ja) | 2001-07-23 | 2006-05-10 | 松下電器産業株式会社 | 弾性表面波装置の製造方法 |
JP4273935B2 (ja) * | 2003-01-24 | 2009-06-03 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置、通信装置 |
JP4186677B2 (ja) | 2003-04-01 | 2008-11-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
US7307369B2 (en) * | 2004-08-26 | 2007-12-11 | Kyocera Corporation | Surface acoustic wave device, surface acoustic wave apparatus, and communications equipment |
JP2006217226A (ja) | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波素子およびその製造方法 |
JP4811232B2 (ja) * | 2005-11-02 | 2011-11-09 | パナソニック株式会社 | 電子部品パッケージ |
JP4509038B2 (ja) * | 2006-02-01 | 2010-07-21 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 弾性波デバイスおよびその製造方法 |
JP2007273585A (ja) | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Sony Corp | マイクロデバイスモジュール及びその製造方法 |
-
2008
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-
2010
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001185976A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-07-06 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置 |
WO2001082480A1 (fr) * | 2000-04-24 | 2001-11-01 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Filtre a ondes acoustiques de surface a couplage vertical |
JP2002261582A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-09-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波デバイスおよびその製造方法ならびにそれを用いた回路モジュール |
JP2002314365A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-25 | Hitachi Ltd | 所望の比帯域を有する弾性表面波共振子およびその製造方法。 |
JP2004253937A (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-09 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 弾性表面波フィルタとその製造方法 |
WO2006006343A1 (ja) * | 2004-07-14 | 2006-01-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電デバイス |
Also Published As
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---|---|
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