CN101889392B

CN101889392B - 表面波装置及双工器

Info

Publication number: CN101889392B
Application number: CN200880119491.4A
Authority: CN
Inventors: 高峰裕一
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2007-12-11
Filing date: 2008-12-08
Publication date: 2013-04-03
Anticipated expiration: 2028-12-08
Also published as: EP2226935A4; JP5024388B2; KR101129107B1; JPWO2009075088A1; EP2226935A1; WO2009075088A1; KR20100089868A; CN101889392A; US20100237963A1; US8169278B2

Abstract

本发明提供一种表面波装置及双工器，所述表面波装置即使随着小型化、特别是薄型化的进展，也不易由于模制树脂层形成时的熔融树脂的压力而产生变形，不易导致特性的劣化。所述表面波装置(1)中，在压电基板(2)上形成有IDT电极(3)，绝缘部件(18)形成在压电基板(2)上而形成包围IDT电极(3)的空间(B)，为了减小空间B的面积，在配置于IDT电极(3)的两侧的反射器(4、5)中设有加权部分，该加权部分通过使电极指的长度随着从IDT电极(3)侧向远离IDT电极(3)的一侧变短而进行加权，与此对应，空间(B)的形状变小。

Description

表面波装置及双工器

技术领域

本发明涉及用作例如谐振子或带通滤波器的表面波装置，更详细而言，涉及具有在设有IDT电极的区域的表面波传播方向两侧配置有反射器的结构的表面波装置及使用了该表面波装置的双工器。

背景技术

目前，表面波装置广泛用作在便携式电话机的RF段使用的带通滤波器等。

在表面波装置中，在压电基板上形成有IDT电极。通过对IDT电极施加交流电压，形成有IDT电极部分被激励。由此，需要形成具有用于使该振动不受妨碍的空间的封装件。因此，表面波装置整体不得不变大。

在下述专利文献1中，提出了能够促进这种表面波装置的小型化的结构。图9是专利文献1所记载的表面波装置的主视剖视图。在表面波装置501中，在压电基板502上形成有IDT电极503。以覆盖IDT电极503的方式形成有保护膜504。在压电基板502上形成有包围壁505。包围壁505由绝缘性材料构成，以包围形成有IDT电极503的部分的方式形成。在包围壁505的上表面层叠有盖体506。盖体506由绝缘性材料构成，封闭包围壁505所围成的空间A。由此，确保用于使IDT电极503的激励不受妨碍的空间A。

此外，在压电基板502的上表面形成有与IDT电极503等电连接的凸点507、508。凸点507、508贯通包围壁505，进而到达设于上述盖体506的贯通孔506a、506b，直至盖体506的上表面的上方。

如图10所示，上述表面波装置501以表面安装的方式安装在配线基板510上。这里，在配线基板510的上表面形成有电极焊盘511、512，表面波装置501以将凸点507、508连接到电极焊盘511、512的方式安装于配线基板510。

专利文献1：日本特开2006-217226号公报。

发明内容

在表面波装置501中，通过包围壁505及盖体506来确保用于使IDT电极503的激励不受妨碍的空间A。其中，由于设有贯通上述包围壁505及盖体506的凸点507、508，因此，尽管具有空间A，也实现了小型且能够进行表面安装的结构。在安装于配线基板510后，利用模制树脂覆盖表面波装置501的周围。

若在盖体506与配线基板510的上表面之间存在间隙，则模制树脂浸入间隙。因浸入后的模制树脂的压力而导致盖体弯曲，存在空间A被破坏或盖体506的内表面与IDT电极503接触的可能性。

对应于此，在表面波装置501中，由于盖体506与配线基板510接触，因此，不存在上述间隙，不易由于模制树脂的压力而产生不良情况。

然而，随着进一步小型化，例如薄型化的发展，盖体506的厚度变薄。由此，当盖体506的厚度变薄时，由于存在上述空间A，仍存在树脂模制时盖体506发生变形、或盖体506与IDT电极503直接或间接接触的可能性。若盖体506发生变形、其内表面与形成有IDT电极503的部分等接触，则滤波特性或共振特性劣化。

本发明的目的在于，为了解决所述现有技术的缺点而提供一种随着小型化的进展能够可靠地防止向盖体的IDT电极等接触的表面波装置。

根据本发明，提供一种表面波装置，其特征在于，具有：压电基板；IDT电极，其形成在所述压电基板的上表面；反射器，其配置在设有所述IDT电极部分的表面波传播方向两侧；绝缘部件，其以形成所述IDT电极及所述反射器所面对的封闭空间的方式形成在所述压电基板上，该绝缘部件具有包围该空间的侧壁及封闭空间的上部的顶板，对所述反射器实施加权，使所述反射器具有所述反射器的多根电极指中电极指的长度在从所述反射器中与IDT电极相邻的第一端部侧的电极指朝向所述第一端部相反侧的第二端部侧的方向上逐渐变短的部分，所述绝缘部件的侧壁在该反射器的加权部分相对于表面波传播方向倾斜。

本发明的表面波装置的另一特征在于，还具备：垫电极，其形成在所述压电基板上，且与所述IDT电极电连接；端子电极，其形成在所述绝缘部件的上表面；导电部件，其电连接所述垫电极和所述端子电极。这种情况下，通过使形成有端子电极的绝缘部件的上表面侧与配线基板上的电极焊盘接触，从而能够容易地对表面波装置进行表面安装。

另外，优选的是，所述导电部件是以贯通绝缘部件的方式设置的贯通型导电部件，这种情况下，能够促进表面波装置的进一步小型化。

在本发明中，IDT电极的数量并没有特别限定，本发明的表面波装置的又一特征在于，构成具有沿表面波传播方向配置的至少三个IDT电极作为所述IDT电极的纵结合谐振子型的表面波滤波器。

另外，本发明的表面波装置的再一特征在于，设有一个IDT电极作为所述IDT电极，该IDT电极具备：第一、第二汇流条；从所述第一汇流条内侧的边向第二汇流条延伸的多根第一电极指；从所述第二汇流条内侧的边向所述第一汇流条侧延伸的多根第二电极指，该IDT电极被交叉宽度加权，所述第一、第二汇流条中至少一方的汇流条的外侧的边具有与交叉宽度加权对应而相对于表面波传播方向倾斜的部分，所述绝缘部件具有与该倾斜的外侧的边平行延伸的所述侧壁部分。

本发明的表面波装置的再一特征在于，所述IDT电极还具备：所述IDT电极还具备：第一虚设电极，其隔开间隔与所述第一电极指的前端对置，且连接到所述第二汇流条；第二虚设电极，其隔开间隔与所述第二电极指的前端对置，且连接到所述第一汇流条，对所述IDT电极实施交叉宽度加权，从而具有交叉宽度随着从所述IDT电极中电极指交叉宽度最大的部分朝向所述弹性表面波传播方向两侧而减少的交叉宽度加权部分，所述第一汇流条的连接所述第一电极指及第二虚设电极的边以与所述交叉宽度加权的包络线隔开固定的距离配置的方式具有相对于弹性表面波传播方向倾斜的倾斜部分，所述第二汇流条的连接所述第二电极指及所述第一虚设电极的边以与所述交叉宽度加权的包络线隔开固定的距离配置的方式具有相对于弹性表面波传播方向倾斜的倾斜部分，在所述IDT电极的最外侧电极指与所述反射器的IDT电极侧的电极指相邻的部分，反射器的电极指的长度同IDT电极的所述电极指的长度与虚设电极的长度之和大致相等，其中，所述虚设电极与IDT电极的电极指前端对置。这种情况下，能够减小IDT电极的电极指交叉部分以外的区域的面积，由此，能够进一步减小所述封闭空间的面积。

本发明的表面波装置可以具有各种电路结构，本发明的表面波装置的再一特征在于，具备由本发明的表面波装置构成的串联臂谐振子、由本发明的表面波装置构成的并联臂谐振子，利用该串联臂谐振子和并联臂谐振子构成梯形滤波器。由此，能够提供小型且不易因绝缘部件的变形而导致特性劣化、可靠性优越的梯形滤波器。

另外，在本发明中，所述绝缘部件形成为各种形态，本发明的表面波装置的再一特征在于，所述绝缘部件形成在所述压电基板上，且具有：支承层，其形成有使设有所述IDT电极及所述反射器的区域露出的开口部；罩，其以关闭所述支承层的开口部的方式层叠于所述支承层上。这种情况下，形成支承层后，仅通过在支承层上层叠罩，就能够容易地形成绝缘部件。

本发明的表面波装置用于各种通信设备，本发明提供一种双工器，其特征在于，具备：具有梯形滤波电路的发送侧滤波器；使用根据本发明构成的表面波装置构成的接收侧滤波器；安装有所述发送侧滤波器及所述接收侧滤波器的配线基板；以密封安装在所述配线基板上的所述发送侧滤波器及接收侧滤波器的方式设置的模制树脂层。

发明效果

在本发明的表面波装置中，反射器如上所述被加权，因此，能够减小IDT电极及反射器相面对的封闭的空间的面积。由此，即使随着小型化或薄型化的进展，也不易产生上述封闭的空间上的绝缘部件的变形。从而在例如树脂模制形成时绝缘部件不易发生变形，绝缘部件不易与设有IDT电极或反射器的部分接触。因此，不易产生表面波装置的特性的劣化，能够提高表面波装置的可靠性。

附图说明

图1(a)及(b)是用于说明本发明的第一实施方式的表面波装置的图，(a)是表示拆下罩的状态下的主要部分的示意俯视剖视图，(b)是示意主视剖视图。

图2是表示用于说明图1所示的表面波装置的变形例的该变形例的表面波装置的主要部分的示意俯视剖视图。

图3(a)是表示第二实施方式的表面波装置的电极结构的示意俯视图，(b)是表示拆下罩的状态下的示意俯视剖视图。

图4(a)是表示用于比较的表面波装置的电极结构的俯视图，(b)是表示拆下罩的状态下的示意俯视剖视图。

图5是用于说明本发明的表面波装置的反射器的加权的变形例的示意俯视图。

图6是用于说明本发明的表面波装置的反射器的加权的其他变形例的示意俯视图。

图7是表示本发明的第三实施方式的表面波装置的电极结构的示意俯视剖视图。

图8是放大表示图7的主要部分的示意俯视图。

图9是用于说明现有的表面波装置的一例的主视剖视图。

图10是用于说明配线基板上安装有图9所示的现有的表面波装置的结构的问题点的主视剖视图。

符号说明：

1表面波装置

2压电基板

3IDT电极

4、5反射器

6第一汇流条

7第二汇流条

6a、7a边

6c、7c倾斜部

6d、7d直线部

8第一电极指

9第二电极指

9a前端

10第一虚设电极

11第二虚设电极

12、13电极指

14～17汇流条

18绝缘部件

18a、18b贯通孔

19a支承层

19b罩

19c侧壁

20、21垫电极

22、23导电膜

24、25贯通型导电部件

26、27底凸点金属层

28、29凸点

31表面波装置

41表面波滤波装置

42输入侧电极垫

43、44一端口型表面波谐振子

45、46表面波滤波器

45a、45b、46a、46b反射器

47垫电极

48垫电极

49、50表面波滤波器

49a、49b、50a、50b反射器

51、52垫电极

61表面波装置

62IDT电极

63、64IDT电极

65、66反射器

65a、66a汇流条

65b、66b直线部

65c、66c倾斜部

71表面波装置

72～74IDT电极

75、76反射器

75a、76a第一汇流条

75b、76b第二汇流条

81表面波装置

83IDT电极

84、85反射器

84a、85a电极指

84b、85b电极指

86～89汇流条

100B空间

119a支承层

501表面波装置

502压电基板

503IDT电极

504保护膜

505包围壁

506盖体

506a、506b贯通孔

507、508凸点

510配线基板

511、512电极焊盘

具体实施方式

以下，参照附图说明说明本发明的具体实施方式，从而明确本发明。

图1(a)及(b)是表示本发明的第一实施方式的表面波装置的主要部分的示意局部剖开俯视图及示意主视剖视图。图1(a)是拆下图1(b)中的后述绝缘部件18中的罩19b而示意性地放大表示设有空间B的部分的图。

表面波装置1具有压电基板2。压电基板2由适宜的压电单结晶或压电陶瓷构成。

在压电基板2的上表面形成有图1(a)所示的电极结构。该电极结构具有IDT电极3、在IDT电极3的表面波传播方向两侧配置的反射器4、5。图1(b)以简图表示形成有IDT电极3及反射器4、5的部分。

如图1(a)所示，IDT电极3具有相互对置的第一、第二汇流条6、7。在第一汇流条6电连接有多根第一电极指8。第一电极指8向第二汇流条7侧延伸。另外，在第二汇流条7连接有多根第二电极指9。第二电极指9向第一汇流条6侧延伸。第一、第二电极指8、9配置为相互平行延伸且相互插入其间。与第一、第二电极指8、9延伸的方向正交的方向且与压电基板2的上表面平行的方向为表面波传播方向。

在第一电极指8的前端8a的外侧隔开间隔形成有第一虚设电极10。第一虚设电极10连接到第二汇流条7的内侧的边7a。同样，与第二电极指9的前端9a隔开间隔设有第二虚设电极11。第二虚设电极11连接到第二汇流条6的内侧的边6a。

在本实施方式中，对IDT电极3实施交叉宽度加权。交叉宽度加权是指以如下方式形成第一、第二电极指8、9的加权，即，第一电极指8和连接到与第一电极指8不同的电位的第二电极指9在表面波传播方向上重合的宽度即交叉宽度在表面波传播方向上变化。如图1(a)所示，随着从IDT电极3的表面波传播方向中央朝向表面波传播方向端部，实施交叉宽度加权而使交叉宽度顺次变小。

另外，第一汇流条6的内侧的边6a及第二汇流条7的内侧的边7a均与通过上述交叉宽度加权形成的包络线隔开固定的距离配置。进而，第一、第二汇流条6、7的外侧的边也与上述包络线隔开固定的距离而与该包络线平行配置。

由此，第一、第二汇流条6、7的外侧的边具有相对于表面波传播方向倾斜的倾斜部6a、7c。进而，在弹性表面波传播方向中央部分，汇流条6、7的外侧的边具有沿表面波传播方向延伸的直线部6d、7d。

另一方面，反射器4、5具有多根电极指12、13。在反射器4中，多根电极指12的长度从位于IDT电极3侧的电极指开始向位于IDT电极相反侧的端部的电极指顺次变短。同样，在反射器5中，多根电极指13的长度也从位于IDT电极3侧的端部的电极指开始向位于相反侧的端部的电极指顺次变短。

在反射器4、5中，多根电极指12、13的两端分别通过汇流条14、15、16、17公共连接。并且，其中，汇流条15、17沿表面波传播方向延伸，另一方的汇流条14、16根据上述电极指12、13的长度的变化而相对于表面波传播方向倾斜。这种情况下，汇流条14、16外侧的边与汇流条14、16内侧的边同样倾斜。

图1(a)所示的电极结构设置在图1(b)的空间B内。图1(b)以简图表示空间B内的电极结构。通过在压电基板2上层叠绝缘部件18而形成该空间B。在本实施方式中，绝缘部件18具备具有开口的支承层19a、层叠在支承层19a上的罩19b。支承层19a及罩19b均由绝缘性材料构成。作为该绝缘性材料，可以使用SiO₂、SiN、Al₂O₃等无机材料，也可以使用环氧树脂或硅酮树脂、聚酰亚胺等合成树脂。

构成上述支承层19a的材料可以与构成罩19b的材料相同，也可以不同。

另外，在压电基板2上形成有垫电极20、21。垫电极20、21在未图示的位置与IDT电极3的第一汇流条6或第二汇流条7电连接。垫电极20、21及上述IDT电极3等通过Ag、Cu、Pt等适宜的金属或合金形成。

在本实施方式中，在上述支承层19a及罩19b所构成的绝缘部件18上形成有贯通孔18a、18b。形成有覆盖贯通孔19a、19b的内周面且电连接到垫电极20、21的导电膜22、23。在被导电膜22、23包围的贯通孔内填充贯通型导电部件24、25。并且，在贯通型导电部件24、25上形成有底凸点金属层26、27。上述贯通型导电部件24、25从罩19b的上表面向上方突出。并且，在底凸点金属层26、27上形成有凸点28、29。

上述导电膜22、23、贯通型导电部件24、25及底凸点金属层26、27可以通过Ag、Ag-Pd合金、Cu等适宜的金属或合金形成。并且，凸点28、29由焊锡或Au等适宜的导电性材料构成。

在本实施方式的表面波装置1中，如上所述，在绝缘部件19的上表面形成有凸点28、29，因此，能够从图1(b)所示的状态上下翻转而表面安装在配线基板上。即，可以将凸点28、29与例如图10所示的设于配线基板510的电极焊盘接合，来安装表面波装置1。这种情况下，通常为了提高耐湿性等，通过环氧树脂等模制树脂来模制安装后的表面波装置1的周围。

其中，在本实施方式中，上述空间B具有图1(a)所示的平面形状，因此，罩19b不易由于模制树脂的压力而发生变形。即，绝缘部件18不易发生变形。因此，绝缘部件18的内表面、更具体而言罩19b的内表面与IDT电极3接触的可能性变小。由此，不易产生特性的劣化。

这里，如图1(a)所示，空间B的平面形状不是矩形，特别在设有反射器4、5的部分，其宽度沿表面波传播方向变化，空间B的面积由此变小。在本实施方式中，不仅在设有反射器4、5的部分，在设有IDT电极3的部分，空间B的面积也变小，因此，更不易产生上述罩19b的变形。

即，空间B通过构成上述绝缘部件18的支承层19a的侧壁19c围成。该侧壁19c与IDT电极3的第一、第二汇流条6、7外侧的边隔开固定的距离配置。因此，在与第一、第二汇流条6、7外侧的边的倾斜部6c、7c隔开固定距离的部分，侧壁19c也相对于表面波传播方向倾斜。进而，在反射器4、5中设有汇流条14、16的部分，侧壁19c也相对于表面波传播方向倾斜。由此，与设有矩形的IDT电极或矩形的反射器的结构相比，能够减小空间B的面积。

图2是用于说明上述实施方式的表面波装置1的变形例的电极结构的示意俯视图。在本变形例的表面波装置31中，反射器4、5与上述实施方式同样构成，但在IDT电极3中，没有在第一、第二汇流条6、7外侧的边设置倾斜部6c、7c。由此，IDT电极3的外周缘部具有矩形的形状。因此，包围电极结构的空间的面积稍比上述实施方式大。然而，在本实施方式中，在设有反射器4、5的部分，与矩形的反射器、即反射器的电极指的长度全部与位于IDT电极3侧的反射器的电极指的长度相等的反射器相比，能够减小封闭的空间的面积。由此，与上述实施方式同样，通过减小封闭的空间的面积，能够抑制绝缘部件的变形。

图3(a)及(b)是用于说明第二实施方式的具有平衡-不平衡变换功能的纵结合谐振子型的表面波滤波装置的各俯视图。图3(a)是表示形成绝缘部件前的状态的俯视图，(b)是表示拆下绝缘部件的罩的状态下的示意俯视剖视图。

表面波滤波装置41具有压电基板2。在压电基板2上形成有输入侧垫电极42。以电连接到输入侧垫电极42的方式形成有一端口型表面波谐振子43、44。一端口型表面波谐振子43、44具有一个IDT电极和在IDT电极的两侧设置反射器的结构。图3(a)及(b)仅示意性地表示IDT电极及反射器的外形，而省略了电极指的图示。

本发明的表面波装置即第一、第二表面波滤波器45、46以两级级联的方式连接到表面波谐振子43。表面波滤波器45、46分别是具有沿表面波传播方向配置的三个IDT电极、在三个IDT电极的表面波传播方向两侧配置的反射器45a、45b、46a、46b的三IDT型的纵结合谐振子型弹性表面波滤波器。需要说明的是，仅通过矩形示意地表示各IDT电极的形成位置。这里，作为第二表面波滤波器46的输出端的中央的IDT电极电连接到构成第一平衡端子的输出侧垫电极47。

另外，位于第二表面波滤波器46中央的IDT电极两侧上的IDT电极的各端部电连接到与接地电位连接的垫电极48。反射器45a、45b、46a、46b也与接地电位连接。同样，第三、第四纵结合谐振子型的表面波滤波器49、50以两级级联的方式连接到表面波谐振子44的后端。表面波滤波器49、50与第一、第二表面波滤波器45、46同样构成。调节表面波滤波器49、50的IDT的相位，以使在第四表面波滤波器50的输出端出现的信号的相位与在第二表面波滤波器46的输出端出现的信号的相位180度不同。

第四表面波滤波器50的输出端是位于中央的IDT电极的一端，且电连接到作为第二平衡端子的垫电极51。另外，表面波滤波器50的中央的IDT两侧的IDT及反射器50a、50b电连接到与接地电位连接的垫电极52。

在本实施方式中，在三IDT型的表面波滤波器45、46、49、50中，反射器45a、45b、46a、46b、49a、49b、50a、50b与第一实施方式同样，对反射器46a、46b～50a、50b实施加权，以使设有IDT电极的区域侧的端部的电极指最长，且相反侧的端部即位于表面波传播方向外侧的端部的电极指的长度变短。

由此，如图3(b)所示，在形成用于构成绝缘部件的支承层19a之际，能够减小空间B的面积。此外，在图3(b)所示的支承层19a上，通过绝缘性材料形成未图示的罩，而封闭空间B。

为了进行比较，在图4(a)及(b)中示出了如下所述的表面波滤波装置：没有对反射器实施加权，即，使反射器的电极指的长度全部与IDT电极侧的端部的电极指的长度相等，除此之外，与上述实施方式同样构成。图4(a)是表示绝缘部件形成前的状态的俯视图，(b)是表示形成绝缘部件的支承层119a后的状态的示意俯视剖视图。

在图4(a)、(b)中，将图3所示的附图标记加100来标注与图3(a)、(b)对应的部分，而省略其说明。

比较图3与图4明确可知，能够使图3(b)所示的空间B形成得比图4(b)所示的空间100B小。由此，在安装于配线基板等后，即使进行树脂模制，也由于空间B的面积小，因此不易产生罩的变形。从而不易因含有罩的绝缘部件18的变形而导致特性的劣化。

图3所示的表面波滤波装置可以优选用于构成携带式电话机中使用的双工器的接收侧过滤器。这种情况下，将由上述表面波滤波装置构成的接收侧滤波器及由例如周知的梯形滤波器构成的发送侧滤波器安装于配线基板而构成双工器。然后，对发送侧滤波器及接收侧滤波器进行树脂模制，但在树脂模制之际，由于接收侧滤波器由本发明的表面波装置构成，因此，不易因树脂模制之际的熔融树脂的压力而导致特性的劣化。

此外，反射器的加权方式并不局限于图1～图3所示的形状。例如，在图5所示的变形例的表面波装置61中，在中央配置第一IDT电极62，在IDT电极62的表面波传播方向两侧配置第二、第三IDT电极63、64。并且，在设有IDT电极63、62、64的区域的两侧设置反射器65、66。这里，对反射器65实施加权，以使与IDT电极63侧的端部的电极指相比，相反侧的端部的电极指的长度变短。这里，反射器65的一个汇流条65a因实施加权而具有直线部65b和倾斜部65c。即，位于图5中上方的汇流条65a具有与加权对应的倾斜部65c。

相对于此，对反射器66实施加权，以使位于图5中下方侧的汇流条66a具有倾斜部66c和直线部66b。

另外，在图6所示的变形例的表面波装置71中，在设有IDT电极72～74的区域的表面波传播方向两侧设有反射器75、76。这里，对反射器75、76实施加权，以使反射器75、76任一个中上下的汇流条相对于沿弹性表面波传播方向延伸的中心线对称。即，实施加权以使反射器75、76的第一汇流条75a、76a与第二汇流条75b、76b关于上述中心线对称。这样，反射器的加权并不局限于在从IDT电极侧朝向相反侧的端部的方向上具有电极指的长度逐渐变短的部分这样施加的加权，其形状并没有特别限定。从而，例如如图5所示，在反射器65的局部，即在设有直线部65b的部分，电极指的长度不变化，在设有倾斜部65c的部分，电极指的长度随着朝向外侧而变短。

图7是本发明的第三实施方式的表面波装置的示意俯视图，图8是表示其主要部分的局部剖开俯视图。在图7中，以示意俯视剖视图表示本实施方式的表面波装置81的主要部分中拆下绝缘部件的罩后的结构。

在表面波装置81中，在压电基板上形成有IDT电极83、反射器84、85。这里，对反射器84、85实施加权，以使电极指的长度从IDT电极83侧的端部的电极指84a、85a朝向位于相反侧的端部的电极指84b、85b而顺次变短。并且，反射器84、85的各第一、第二汇流条86、87、88、89中外侧的边随着上述加权而成为倾斜边。需要说明的是，倾斜是指与相对于上述表面波传播方向倾斜的方向交叉的方向。

由此，在本实施方式中，空间B的平面形状中，构成绝缘部件18的支承层19a的侧壁19c在设有反射器84、85的部分倾斜。由此，减小了空间B的面积。

此外，在设有IDT电极83的部分也减小了空间B的面积。这是因为与第一实施方式同样对IDT电极83实施了交叉宽度加权，以使交叉宽度随着从表面波传播方向中心向表面波传播方向外侧端部而变小。由此，对与图1相同的部分标注相同的参照符号，而省略IDT电极83的详细说明。

在本实施方式中，支承层19a的侧壁19c在设有IDT电极83的部分也倾斜，因此，减小了空间B的面积。从而与第一实施方式同样，即使施加了模制树脂层形成之际的压力，绝缘部件也不易产生变形。

此外，如图8所示，在本实施方式中，在IDT电极83的最外侧电极指与反射器85的IDT电极侧端部的电极指85a相邻的部分，反射器85的电极指的长度和IDT电极83的该电极指的长度与第一虚设电极10的长度之和大致相等，其中，所述第一虚设电极10与IDT电极83的第一电极指8的前端8a对置。

另外，在本实施方式中，第一、第二汇流条内侧的边具有相对于包络线部分C1大致平行延伸的倾斜部分，因此能够抑制非调和高次模式所引起的乱真信号，其中，包络线部分C1接近被交叉宽度加权后的包络线C内侧的边。从而据此能够提供特性良好的表面波装置。

此外，在图1中示出了具有一个IDT电极的表面波谐振子，在图3中示出了组合多个纵结合谐振子型的表面波装置而成的平衡-不平衡变换型的表面波滤波装置。然而，本发明并不局限于上述结构的表面波装置。即，本发明也可以适用于横结合谐振子型的表面波滤波装置。

另外，本发明也可以适用于将图1所示的表面波装置用作表面波谐振子的梯形滤波器。众所周知，梯形滤波器具有插入串联臂的串联臂谐振子S₁、S₂、…S_n、插入并联臂的并联臂谐振子P₁、P₂、…P_n，其中，并联臂连接到串联臂与接地电位之间。其中，n为自然数。作为该串联臂谐振子及并联臂谐振子，可以使用本发明的表面波装置，由此形成梯形滤波器。这种情况下，在梯形滤波器中，不易由于模制树脂层形成之际的压力而导致变形，因此，能够实现梯形滤波器的特性的稳定化。

另外，也可以将由上述梯形滤波器构成的发送侧滤波器及由图3所示的纵结合谐振子型滤波器构成的接收侧滤波器安装在配线基板上而构成双工器。

Claims

1.一种表面波装置，其特征在于，具有：

压电基板；

IDT电极，其形成在所述压电基板的上表面；

反射器，其配置在设有所述IDT电极部分的表面波传播方向两侧；

绝缘部件，其以形成所述IDT电极及所述反射器所面对的封闭空间的方式形成在所述压电基板上，该绝缘部件具有包围该空间的侧壁和封闭空间的上部的顶板，

对所述反射器实施加权，使所述反射器的多根电极指设置成具有电极指的长度在从第一端部侧的电极指朝向第二端部侧的方向上逐渐变短的部分，所述第一端部侧是指所述反射器中与IDT电极相邻的一侧，所述第二端部侧是指所述第一端部的相反侧，并且所述绝缘部件的侧壁在该反射器的加权部分相对于表面波传播方向倾斜。

2.根据权利要求1所述的表面波装置，其中，还具备：

垫电极，其形成在所述压电基板上，且与所述IDT电极电连接；

端子电极，其形成在所述绝缘部件的上表面；

导电部件，其电连接所述垫电极和所述端子电极。

3.根据权利要求2所述的表面波装置，其中，

所述导电部件是以贯通所述绝缘部件的方式设置的贯通型导电部件。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的表面波装置，其中，

所述表面波装置为纵结合谐振子型的表面波滤波器，所述表面波滤波器的所述IDT电极具有沿表面波传播方向配置的至少三个IDT电极。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的表面波装置，其中，

具有一个IDT电极作为所述IDT电极，

该IDT电极具备：

第一、第二汇流条；

从所述第一汇流条内侧的边向第二汇流条延伸的多根第一电极指；

从所述第二汇流条内侧的边向所述第一汇流条侧延伸的多根第二电极指，该IDT电极被交叉宽度加权，

所述第一、第二汇流条中至少一方的汇流条的外侧的边具有与交叉宽度加权对应而相对于表面波传播方向倾斜的部分，所述绝缘部件具有与该倾斜的外侧的边平行延伸的所述侧壁部分。

6.根据权利要求5所述的表面波装置，其中，

所述IDT电极还具备：

第一虚设电极，其隔开间隔与第一电极指的前端对置，且连接到所述第二汇流条；

第二虚设电极，其隔开间隔与第二电极指的前端对置，且连接到所述第一汇流条，

对所述IDT电极实施交叉宽度加权，从而具有交叉宽度随着从所述IDT电极中电极指交叉宽度最大的部分朝向弹性表面波传播方向两侧而减少的交叉宽度加权部分，

所述第一汇流条的连接所述多根第一电极指及第二虚设电极的边以与所述交叉宽度加权的包络线隔开固定的距离配置的方式具有相对于弹性表面波传播方向倾斜的倾斜部分，

所述第二汇流条的连接所述多根第二电极指及所述第一虚设电极的边以与所述交叉宽度加权的包络线隔开固定的距离配置的方式具有相对于弹性表面波传播方向倾斜的倾斜部分，

在所述IDT电极的最外侧电极指与所述反射器的IDT电极侧的电极指相邻的部分，反射器的电极指的长度同IDT电极的所述最外侧电极指的长度与虚设电极的长度之和大致相等，其中，所述虚设电极与IDT电极的电极指前端对置。

7.一种表面波装置，其中，

具备由权利要求6所述的表面波装置构成的串联臂谐振子、由权利要求6所述的表面波装置构成的并联臂谐振子，利用该串联臂谐振子和该并联臂谐振子构成梯形滤波器。

8.根据权利要求1～3中任一项所述的表面波装置，其中，

所述绝缘部件形成在所述压电基板上，且具有：支承层，其形成有使设有所述IDT电极及所述反射器的区域露出的开口部；罩，其以关闭所述支承层的开口部的方式层叠于所述支承层上。

9.一种双工器，其特征在于，具备：

具有梯形滤波电路的发送侧滤波器；

使用权利要求1～8中任一项所述的表面波装置构成的接收侧滤波器；

安装有所述发送侧滤波器及所述接收侧滤波器的配线基板；

以密封安装在所述配线基板上的所述发送侧滤波器及接收侧滤波器的方式设置的模制树脂层。