JP5023707B2 - チューナブルフィルタ、光源装置、及びスペクトル分布測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、チューナブルフィルタ、光源装置、及びスペクトル分布測定装置に関するものである。

現在、さまざまな機器の検査に単色光または所望の分光特性を持った光が必要とされる。このうち、単色光については白色光源などの光を分光器に導くことにより比較的簡単に作ることができる。一方、ＣＣＤ（特にデジカメなどの可視用のもの）などの検査には、特定の波長分布を持った光が使用される。特定の波長分布を持った光を形成する方法として、従来、多層膜を用いたフィルタが用いられていた。

しかしながら、多層膜を用いたフィルタの場合、比較的安価に作ることができるが、自由にスペクトル分布を作ることは難しい。また、蒸着により多層膜を形成したフィルタは同じものを数多く作る場合、コストを下げることができるが、多くの種類のものを少量作る場合はコストが高くなる。また、特に開発の段階での評価では多くの種類の分光特性を持ったフィルタが要求される。

このような問題点を克服するものとして、分光器で形成したスペクトラム像位置に光ビーム透過率についての空間変調素子を設置し、分光特性を変調させた上で再度分光器によって波長合波し出力する形式のチューナブルフィルタを使用することにより、所望の分光特性を持った光源を得る方法が、例えば、特開１１−１０１９４４号公報（特許文献１）に記載されている。

液晶デバイスは機械的駆動部分がないため衝撃に強く、又、駆動電圧が低いので扱いが容易であるという特徴がある。これらの長所に着目して空間変調素子として液晶デバイスを用いる場合、従来技術では、分光器によって入力光のスペクトラム像を形成する直前に直線偏光素子をおき直線偏光のみを取り出し、その直後の前記スペクトラム像位置に透過型液晶素子アレイデバイスを設置しこれを透過させ、その際透過型液晶素子ごと独立に適切な電圧をかけるなどして、必要な量だけ旋光またはリターデーションを付加する。そしてその直後に再び直線偏光素子を設置しこれを透過させ、前記透過型液晶素子アレイデバイスで付加された旋光またはリターデーション量に応じてアッテネーション動作をする。その結果分光特性に変調が与えられる。
特開１１−１０１９４４号公報

このような液晶デバイスを使用したチューナブルフィルタにおいては、一般に、より高い透過率とより大きな減衰性能とが求められるが、そのためには液晶デバイス自身の性能はもちろん、液晶デバイスに対する光の入出力様態についての注意、高い消光比を持つ偏光子、光学系全体で無駄のない光の取り扱いが求められる。しかしながら、液晶デバイスを用いた従来技術ではこれらの点を総合的に考慮しているとは言いがたい。

深いアッテネーションレンジを確保するためには、まず前記直線偏光素子の消光比がなるべく高いことが求められる。直線偏光素子として代表的なものには、フィルム型偏光フィルタ、薄膜偏光ビームスプリッタ、複屈折結晶偏光プリズムなどがある。フィルム型偏光フィルタは広い波長域にわたっては高い消光比を維持しにくいこと、透過偏光成分の透過率がやや低いことという欠点がある。薄膜偏光ビームスプリッタは、特定の狭波長帯域に特化した薄膜設計とすれば高い消光比が得られるが、波長帯域を広げるほど消光比の維持が困難になる。複屈折結晶偏光プリズムは、材料結晶の透過波長帯域全域で高消光比を維持するが、なるべくコリメートされた光束を透過させるのが原則で、収束・発散光束を入射させると複屈折性に起因する収差や余計なリターデーションを誘発する恐れがある。したがって、従来技術のような収束・発散光束内に設置することは好ましくなく、消光比において最高とは言い難いがより安全なフィルム型偏光フィルタや薄膜偏光ビームスプリッタを使用することになる。その結果深いアッテネーションレンジの確保が難しくなる。

また、従来技術で使用している透過型液晶素子では液晶駆動電子回路領域が光の透過領域圧迫し、実効開口面積を狭めている。これに対して反射型液晶素子では反射面の裏側に液晶駆動電子回路を設置できるので、実効開口面積を透過型に比べて大きく取れるという特徴がある。しかしながら、従来技術の光学系構成は透過型を前提としており反射型は適用できないので、全系透過率が反射型適用のものに比べて劣らざるを得ない。

さらに、従来技術では入力光のうち一方向の直線偏光成分しか使わないため、無偏光な光の場合半分のエネルギーを捨ててしまうことになる。また入力光の偏光特性が時間的に変動する場合、光源自体の光量変動はないのに最初の直線偏光素子を通過した光量は時間変動を起してしまい問題となることがある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、深いアッテネーションレンジと高透過率を有する高性能のチューナブルフィルタ、及びそれを使用した光源装置、スペクトル分布測定装置を提供することを課題とする。

第１の参考形態は、入力光を、互いに直交する振動方向を持った２つの直線偏光に分離する偏光子と、前記偏光子で分離された、前記２つの直線偏光の各々を分光して形成したスペクトラム像を液晶空問変調素子により偏光変調し、当該偏光変調した前記２つの分光された直線偏光を、合波して前記偏光子に再入射させる液晶空間変調素子を用いたゼロ分散型分光器と、前記偏光子に再入射し、前記偏光子を射出した前記２つの直線偏光を合波して出力することを特徴とするチューナブルフィルタである。

ゼロ分散型分光器とは、２台の分光器を連結し、１台目の分光器で分光した後、波長帯毎に変調を掛け、２台目の分光器で当該変調された光を再ぴ合波し出力する分光器システムを言う。変調を掛けた後、当該変調を掛けた光を反射させ光路を戻せば、第１の分光器と第２の分光器を一つの分光器で置き換えた反射型ゼロ分散分型光器とすることができる。

前記課題を解決するための第１の手段は、入力光を、互いに直交する振動方向を持った２つの直線偏光に分離する第一偏光子と、前記偏光子で分離された、前記２つの直線偏光の各々を分光する波長分散型の分光器と、前記分光器で分光されて形成した２つのスペクトラム像をそれぞれ偏光変調する反射型の液晶空間変調素子と、前記液晶空間変調素子から前記２つの直線偏光が前記第一偏光子に再入射され、前記第一偏光子から射出された前記２つの直線偏光の一部を合波して出力する第二偏光子と、を備え、前記第一偏光子は、再入射された前記２つの直線偏光のそれぞれを、前記液晶空間変調素子によって偏光の状態が変化した光と、偏光の状態が変化していない光に分離し、前記第二偏光子は、前記第一偏光子から射出された前記偏光の状態が変化した２つの光を合波して出力することを特徴とするチューナブルフィルタである。
前記課題を解決するための第２の手段は、前記第１の手段であって、前記第一偏光子及び前記第二偏光子はウォラストンプリズム又はノマルスキープリズムであることを特徴とするものである。

前記課題を解決するための第３の手段は、光軸に沿って入力光ビームが入射するよう配置された正のパワーを有する第一光学系と、前記入力光ビームの進行方向に沿って前記第一光学系の次の位置に設置された第一ウォラストンプリズムと、前記第一ウォラストンプリズムによって前記入力光ビームが互いに直交する振動方向を有する２つの直線偏光成分に分離されて生じた２つの偏光分離入力光ビームを受け、かつこれらに収束作用を与える、正のパワーを有する第二光学系と、前記２つの偏光分離入力光ビームの進行方向に沿って前記第二光学系の次に配置され、入り口スリットを前記第二光学系のほぼ焦点位置に配置し、前記２つの偏光分離入力光ビームを取り込むよう設置された波長分散型の分光器と、入射光ビームを反射してほぼ入射して来た方向に戻すと同時に、外部からの指令装置により前記反射光ビームに対して素子ごとに独立的に所定のリターデーションを与える機能を有する反射型液晶素子複数個が一次元配列された上、前記分光器によって形成された前記２つの偏光分離入力光ビームのスペクトラム像の波長分散方向に前記一次元配列方向を合わせ、かつ前記反射型液晶素子の一次元配列が１列ずつ独立的に動作する２列から構成されていることによって、前記分光器によって形成された前記２つの偏光分離入力光ビームの２つのスペクトラム像に一対一に対応する反射型液晶素子アレイデバイスと、前記第一光学系を挟んで前記第一ウォラストンプリズムとは反対側に配置された正のパワーを有する第三光学系と、前記反射型液晶素子アレイデバイスによって反射され前記分光器内を逆向きに再通過することによって、波長ごとに分解された分光ビームが合波された後、前記入り口スリットから射出された２つの偏光分離出力光ビームを、前記第二光学系、前期第一ウォラストンプリズム、前記第一光学系、および前記第三光学系を経て受光し、偏光成分を合波して重ね合わせ同一方向に出力するよう設置された第二ウォラストンプリズムと、を有し、前記第一ウォラストンプリズムは、再入射された前記２つの偏光分離出力光ビームのそれぞれを、前記反射型液晶素子アレイデバイスによって偏光の状態が変化した光と、偏光の状態が変化していない光に分離し、前記第二ウォラストンプリズムは、前記第一ウォラストンプリズムから射出された前記偏光の状態が変化した２つの光ビームを合波して出力することを特徴とするチューナブルフィルタである。

前記課題を解決するための第４の手段は、前記第３の手段であって、前記第一ウォラストンプリズムによる偏光分離点と前記第二光学系の焦点がほぼ一致していることを特徴とするものである。

前記課題を解決するための第５の手段は、前記第３の手段又は第４の手段であって、前記第一ウォラストンプリズムによる偏光分離点と、前記分光器に用いられている波長分散素子における波長分解点、および前記第二ウォラストンプリズムによる偏光合波点がほぼ共役関係にあることを特徴とするものである。

前記課題を解決するための第６の手段は、前記第３の手段から第５の手段のいずれかであって、前記反射型液晶素子アレイデバイスの個々の液晶素子に入射するスペクトラムビームの主光線が前記液晶素子に対してほぼ垂直であることを特徴とするものである。

前記課題を解決するための第７の手段は、光源からの光を前記第１の手段から第６の手段のいずれかであるチューナブルフィルタに入射させ、前記チューナブルフィルタから射出される光を出力光とすることを特徴とする光源装置である。

前記課題を解決するための第８の手段は、前記第１の手段から第６の手段のいずれかであるチューナブルフィルタの出力光を測定する光量測定装置を有し、前記指令装置の出力と前記光量測定装置の出力とを演算することにより、前記チューナブルフィルタに入射する光のスペクトル分布を測定することを特徴とするスペクトル分布測定装置である。

本発明によれば、高性能のチューナブルフィルタ、及びそれを使用した光源装置、スペクトル分布測定装置を提供することができる。

以下、本発明の実施の形態の例を、図を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態の１例であるチューナブルフィルタの光学系の概要を示す図である。光源又は他の光学系から入射する光は、第１光学系１に入射し、光軸に平行な光束に変換される。この光は、第１ウォラストンプリズム２に垂直入射し、Ｐ偏光とＳ偏光の進行方向が分離される。偏光分離素子として第１ウォラストンプリズム２を使用しているため、薄膜型偏光ビームスプリッタや偏光フィルタに比して高い消光比が得られる。図１においては、光の進行方向を矢印で示すと共に、ウォラストンプリズム入出力面を基準として、Ｐ偏光を矢印で、Ｓ偏光を○印（振動方向を示す）で表している。

第１ウォラストンプリズム２を出射したＰ偏光とＳ偏光は平行光となり、それぞれ第２光学系３に入射し、主光線が光軸に平行な収束光に変換される。第２光学系３を出射した光は、プレチルト補正波長板４に入射し、ここで、後述する反射型液晶素子アレイデバイス６のプレチルト位相を半分補償される。このようなプレチルト補正波長板４の使用方法は、反射型液晶素子アレイデバイス６を使用する場合に周知なものである。

第２光学系３は、出側テレセントリックな光学系となっており、第２光学系３を出射した光の主光線は、プレチルト補正波長板４に垂直に入射する。これにより、プレチルト補正波長板４によるリターデーション量が光束通過角度によって変動しないようにされている。このような光学系とするために、第１ウォラストンプリズム２による偏光分離点と第２光学系３の前側焦点がほぼ一致するようにされている。

プレチルト補正波長板４を出射した光は、波長分散型分光器５のスリット５１に収束する。スリット５１は第２光学系３の後側焦点位置に配置されている。スリット５１は、波長分散型分光器５のグレーティング５３の分光方向に細く、それと直角な方向に長くされている。スリット５１を透過した光は、分光器コリメータ５２により、スリット５１の像を波長分散型分光器５のグレーティング５３上に結像する。すなわち、スリット５１とグレーティング５３は、それぞれ分光器コリメータ５２の前側焦点、後側焦点位置に配置されている。

グレーティング５３により分光された光は、分光器カメラ光学系５４によって、Ｐ偏光とＳ偏光の偏光分離入力光ビームの２つのスペクトラム像を、それぞれ、反射型液晶素子アレイデバイス６の第１液晶素子アレイ６１、第２液晶素子アレイ６２上に結像する。すなわち、グレーティング５３と、第１液晶素子アレイ６１、第２液晶素子アレイ６２とは、それぞれ、分光器カメラ光学系５４の前側焦点位置、後側焦点位置に配置されている。これにより、第１液晶素子アレイ６１上には、Ｓ偏光のスペクトラム像がそのアレイ方向に結像され、第２液晶素子アレイ６２上には、Ｐ偏光のスペクトラム像がそのアレイ方向に結像される。第１液晶素子アレイ６１と第２液晶素子アレイ６２は、互いに独立して動作するので、光学系に偏光特性が存在する場合、これを補償することも可能である。

また、この光学系を見ると分かるように、分光器カメラ光学系５４は出側テレセントリックとなっており、主光線は、第１液晶素子アレイ６１、第２液晶素子アレイ６２に対してそれぞれ垂直に入射する。又、波長に応じた入射角度の変動もないので、液晶素子により与えられるリターデーションが、光束通過角度によって変動しないようにされ、正確なものとなる。

反射型液晶素子アレイドライバ１３により、第１液晶素子アレイ６１、第２液晶素子アレイ６２の各単位液晶素子（アレイとなって配列されているものの一つ一つ）に印加する電圧を調整することにより、各単位液晶素子のリターデーションを調節する。これによって、第１液晶素子アレイ６１、第２液晶素子アレイ６２から反射して、入射してきた経路を逆にたどって戻っていく光束の、偏光の状態（一般には楕円偏光になっている）を、各単位液晶素子毎、すなわち入射した光の波長毎に変えることができる。

第１液晶素子アレイ６１、第２液晶素子アレイ６２で変調されて反射された光は、分光器カメラ光学系５４によりグレーティング５３上に集光され、ここで、波長毎に分散していた光が２つの光束（Ｐ偏光とＳ偏光）に集められる。集められた光束は、分光器コリメータ５２によりスリット５１上に集光され、スリット５１を透過して、プレチルト補正波長板４を通り、ここで、Ｐ偏光とＳ偏光が、第１ウォラストンプリズム２に集光される。

第１ウォラストンプリズム２に集光されたＰ偏光とＳ偏光は、３つの光束となって出射する。すなわち、第１液晶素子アレイ６１、第２液晶素子アレイ６２によりリターデーションを受けていないＰ偏光とＳ偏光は、第１ウォラストンプリズム２によって一つの光束にまとめられ、入射してきた方に戻っていく。Ｐ偏光のうちリターデーションを受けてＳ偏光に変換された成分、Ｓ偏光のうちリターデーションを受けてＰ偏光に変換された成分は、第１ウォラストンプリズム２によって、さらに光路を曲げられ、図１に示すように外側に広がって進行する。そして、第１光学系１により集光された後、第３光学系７により平行光に変えられ、第２ウォラストンプリズム８に入射する。第２ウォラストンプリズム８は、このＰ偏光とＳ偏光を一つの光にまとめて出力する。図１に示す例では、第１光学系１と第３光学系７とでアフォーカルな光学系が構成されている。

また、第１ウォラストンプリズム２による偏光分離点と、波長分散型分光器５に用いられているグレーティング５３における波長分解点、および第２ウォラストンプリズム８による偏光合波点がほぼ共役関係にあるようにされている。これにより、グレーティング５３と第１ウォラストンプリズム２、第２ウォラストンプリズム８を通過する光束断面積を最小にして高価な素子の大きさを小さくすることができる。

以上述べたような光学系において、第２ウォラストンプリズム８から出射する光のスペクトラムは、第１液晶素子アレイ６１、第２液晶素子アレイ６２によって受けたリターデーションによって変化するので、反射型液晶素子アレイドライバ１３の出力により、このスペクトル分布を変化させることができ、チューナブルフィルタとしての作用を果たしている。なお、図１において、波長分散型分光器５と反射型液晶素子アレイデバイス６を合わせたものが、液晶空間変調素子を用いたゼロ分散型分光器に相当する。

図２は、本発明の実施の形態の１例である光源装置の光学系の概要を示す図である。以下の図において、前出の図に示された構成要素と同じ構成要素には、同じ符号を付してその説明を省略することがある。

図２に示す光源装置は、図１に示されたチューナブルフィルタに、白色光源９とリレー光学系１０、折り曲げミラー１１が付属している点が、図１に示されたチューナブルフィルタと異なるのみであるので、同一の部分の説明を省略し、異なる部分についてのみ説明を行う。

白色光源９から出射した白色光は、リレー光学系１０を経て折り曲げミラー１１により折り曲げられ、チューナブルフィルタに入射する。このとき、リレー光学系１０を調整することにより、第１光学系１を透過した光束が、光軸に平行な平行光束となるようにしておく。この光源装置の出力は、第２ウォラストンプリズム８からの出射光として取り出させる。前述のように、反射型液晶素子アレイドライバ１３の出力により、第２ウォラストンプリズム８から射出する光のスペクトル分布を変化させることができるので、この光源装置は可変スペクトル光源装置として使用することができる。なお、光源は、連続スペクトルを持つ光源であれば、必ずしも白色光源でなくてもよい。

図３は、本発明の実施の形態の１例であるスペクトル分布測定装置の光学系の概要を示す図である。図３に示すスペクトル分布測定装置は、図１に示すチューナブルフィルタに、リレー光学系１０、折り曲げミラー１１と、出力光学系１２、光量検出器１４、演算装置１５が付属されているものであり、他の部分の構成は図１に示すチューナブルフィルタと同じであるので、同じ構成の部分の説明を省略し、異なる部分のみの説明を行う。

物体（OBJECT）から放出された光は、リレー光学系１０を経て折り曲げミラー１１により折り曲げられ、チューナブルフィルタに入射する。このとき、リレー光学系１０を調整することにより、第１光学系１を透過した光束が、光軸に平行な平行光束となるようにしておく。第２ウォラストンプリズム８からの出力光は出力光学系１２により光量検出器１４に集光され、光量検出器１４により出力光の強度が測定される。

反射型液晶素子アレイドライバ１３により、第１液晶素子アレイ６１、第２液晶素子アレイ６２に所定量のリターデーションかけ、そのときの第２ウォラストンプリズム８からの出力を光量検出器１４により測定する。これを、第１液晶素子アレイ６１、第２液晶素子アレイ６２にかけるリターデーションを変えて繰り返し、リターデーションの量と第２ウォラストンプリズム８からの出力の関係を演算装置１５により演算することにより、物体（OBJECT）から放出された光のスペクトル分布を測定することができる。これは、マルチプレックス分光法と呼ばれ、アダマール変換分光法が代表例である。

例えばある波長に対応する第１液晶素子アレイ６１の一つの単位液晶素子において、入射するＰ偏光の全て（又は規定％）をＳ偏光に、その波長に対応する第２液晶素子アレイ６２の一つの単位液晶素子において、入射するＳ偏光の全て（又は前述の規定％）をＰ偏光にするような変調をかけ、他の波長については、変調をかけないようにすれば、変調をかけられた波長の光のみが光量検出器１４で検出される。この測定を、変調をかける波長を順次変えて行えば、入射光のスペクトル分布を測定することができる。このスペクトル測定装置は、機械的な可動部がなく、機構が簡単である。

以上の説明においては、ウォラストンプリズムを用いていたが、ウォラストンプリズムを改良したノマルスキープリズムを用いても同様の効果が得られる。

本発明の実施の形態の１例であるチューナブルフィルタの光学系の概要を示す図である。 本発明の実施の形態の１例である光源装置の光学系の概要を示す図である。 本発明の実施の形態の１例であるスペクトル分布測定装置の光学系の概要を示す図である。

符号の説明

１…第１光学系、２…第１ウォラストンプリズム、３…第２光学系、４…プレチルト補正波長板、５…波長分散型分光器、６…反射型液晶素子アレイデバイス、７…第３光学系、８…第２ウォラストンプリズム、９…白色光源、１０…リレー光学系、１１…折り曲げミラー、１２…出力光学系、１３…反射型液晶素子アレイドライバ、１４…光量検出器、１５…演算装置、５１…分光器のスリット、５２…分光器コリメータ、５３…グレーティング、５４…分光器カメラ光学系、６１…第１液晶素子アレイ、６２…第２液晶素子アレイ

Claims (8)

1. 入力光を、互いに直交する振動方向を持った２つの直線偏光に分離する第一偏光子と、
   前記第一偏光子で分離された、前記２つの直線偏光の各々を分光する波長分散型の分光器と、
   前記分光器で分光されて形成した２つのスペクトラム像をそれぞれ偏光変調する反射型の液晶空間変調素子と、
   前記液晶空間変調素子から前記２つの直線偏光が前記第一偏光子に再入射され、前記第一偏光子から射出された前記２つの直線偏光の一部を合波して出力する第二偏光子と、を備え、
   前記第一偏光子は、再入射された前記２つの直線偏光のそれぞれを、前記液晶空間変調素子によって偏光の状態が変化した光と、偏光の状態が変化していない光に分離し、
   前記第二偏光子は、前記第一偏光子から射出された前記偏光の状態が変化した２つの光を合波して出力することを特徴とするチューナブルフィルタ。
2. 前記第一偏光子及び前記第二偏光子はウォラストンプリズム又はノマルスキープリズムであることを特徴とする請求項１に記載のチューナブルフィルタ。
3. 光軸に沿って入力光ビームが入射するよう配置された正のパワーを有する第一光学系と、
   前記入力光ビームの進行方向に沿って前記第一光学系の次の位置に設置された第一ウォラストンプリズムと、
   前記第一ウォラストンプリズムによって前記入力光ビームが互いに直交する振動方向を持った２つの直線偏光成分に分離されて生じた２つの偏光分離入力光ビームを受け、かつこれらに収束作用を与える、正のパワーを有する第二光学系と、
   前記２つの偏光分離入力光ビームの進行方向に沿って前記第二光学系の次に配置され、入り口スリットを前記第二光学系のほぼ焦点位置に配置し、前記２つの偏光分離入力光ビームを取り込むよう設置された波長分散型の分光器と、
   入射光ビームを反射してほぼ入射して来た方向に戻すと同時に、外部からの指令装置により前記反射光ビームに対して素子ごとに独立的に所定のリターデーションを与える機能を有する反射型液晶素子複数個が一次元配列された上、前記分光器によって形成された前記２つの偏光分離入力光ビームのスペクトラム像の波長分散方向に前記一次元配列方向を合わせ、かつ前記反射型液晶素子の一次元配列が１列ずつ独立的に動作する２列から構成されていることによって、前記分光器によって形成された前記２つの偏光分離入力光ビームの２つのスペクトラム像に一対一に対応する反射型液晶素子アレイデバイスと、
   前記第一光学系を挟んで前記第一ウォラストンプリズムとは反対側に配置された正のパワーを有する第三光学系と、
   前記反射型液晶素子アレイデバイスによって反射され前記分光器内を逆向きに再通過することによって、波長ごとに分解された分光ビームが合波された後、前記入り口スリットから射出された２つの偏光分離出力光ビームを、前記第二光学系、前期第一ウォラストンプリズム、前記第一光学系、および前記第三光学系を経て受光し、偏光成分を合波して重ね合わせ同一方向に出力するよう設置された第二ウォラストンプリズムと、を有し、
   前記第一ウォラストンプリズムは、再入射された前記２つの偏光分離出力光ビームのそれぞれを、前記反射型液晶素子アレイデバイスによって偏光の状態が変化した光と、偏光の状態が変化していない光に分離し、
   前記第二ウォラストンプリズムは、前記第一ウォラストンプリズムから射出された前記偏光の状態が変化した２つの光ビームを合波して出力することを特徴とする構成されるチューナブルフィルタ。
4. 前記第一ウォラストンプリズムによる偏光分離点と前記第二光学系の焦点がほぼ一致していることを特徴とする請求項３に記載のチューナブルフィルタ。
5. 前記第一ウォラストンプリズムによる偏光分離点と、前記分光器に用いられている波長分散素子における波長分解点、および前記第二ウォラストンプリズムによる偏光合波点がほぼ共役関係にあることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載のチューナブルフィルタ。
6. 前記反射型液晶素子アレイデバイスの個々の液晶素子に入射するスペクトラムビームの主光線が前記液晶素子に対してほぼ垂直であることを特徴とする請求項３から請求項５のうちいずれか１項に記載のチューナブルフィルタ。
7. 光源からの光を請求項１から請求項６のうちいずれか１項に記載のチューナブルフィルタに入射させ、前記チューナブルフィルタから射出される光を出力光とすることを特徴とする光源装置。
8. 請求項１から請求項６のうちいずれか１項に記載のチューナブルフィルタの出力光を測定する光量測定装置を有し、前記指令装置の出力と前記光量測定装置の出力とを演算することにより、前記チューナブルフィルタに入射する光のスペクトル分布を測定することを特徴とするスペクトル分布測定装置。

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