JP2017150981A - 分光装置 - Google Patents

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阪口 明
Akira Sakaguchi
明 阪口
水内 公典
Kiminori Mizuuchi
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Abstract

【課題】測定する試料の数が増えても部品点数を増やすことなく、1または2以上の試料から放出される対象光を同時に測定できる分光装置を提供すること。【解決手段】分光装置は、1または2以上の入射開口と、コリメータレンズと、偏光分割複屈折素子と、偏光子と、フーリエ変換レンズと、検出部とを有する。入射開口は、対象光の光束を規定する。1または2以上の入射開口の少なくとも1つは、コリメータレンズの光軸に対してオフセット配置されている。検出部は、フーリエ変換レンズにより形成された干渉縞の強度分布に基づいて対象光のインターフェログラムを取得する。【選択図】図1

Description

本発明は、対象光の分光スペクトルを測定するための分光装置に関する。
生化学分野における臨床検査機器に使用されている分光装置として、特定波長の光に対する試料の吸光度や、蛍光物質を含む試料から放出された蛍光の強度などを測定する分光装置が知られている。上記分光装置の例には、定量PCR法において蛍光強度を測定するための分光装置が含まれる(例えば、特許文献1、2参照)。
特許文献1、2に記載の分光装置では、いずれも、複数の収容部内に収容された反応液(試料)を所定のサイクルで加熱しながら、各試料から放出される蛍光(対象光)をそれぞれ検出する。これにより、特許文献1、2に記載の分光装置は、収容部内の試料の反応をリアルタイムでモニタリングすることができる。
特許第2909216号公報 特許第4704532号公報
特許文献1に記載の分光装置では、光ファイバマルチプレクサを使用して、複数の光ファイバの接続を切替えることで、各試料から放出された対象光を順次、回折格子に導光し、対象光の分光スペクトルを測定する。この場合、同時に1つの試料しか測定できないため、複数の試料について測定を行おうとすると、測定時間が長くなってしまうという問題がある。また、複数の光ファイバの接続を切替えるための切替え部や、当該切替え部を制御するための制御部などが必要となり、装置の部品点数が増加してしまうという問題もある。
また、特許文献2に記載の分光装置では、各試料から放出された対象光をフォトダイオードでそれぞれ検出し、電流アンプなどを用いて信号を処理することで対象光の光量を測定する。この場合、同時にすべての試料について測定しようとすると、試料の数だけフォトダイオードと、電流アンプなどの信号処理回路とが必要となり、装置の部品点数が増加してしまうという問題がある。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、測定する試料の数が増えても部品点数を増やすことなく、1または2以上の試料から放出される対象光を同時に測定できる分光装置を提供することを目的とする。
本発明に係る分光装置は、対象光の分光スペクトルを測定するための分光装置であって、前記対象光の光束を規定するための、1または2以上の入射開口と、前記入射開口で光束を規定された前記対象光を平行光にするためのコリメータレンズと、前記コリメータレンズで平行光にされた前記対象光を、偏光方向が互いに異なる第1偏光および第2偏光に分割するための偏光分割複屈折素子と、前記第1偏光に含まれている、所定の偏光方向の第1偏光成分と、前記第2偏光に含まれている、前記所定の偏光方向と同一方向の第2偏光成分とを透過させる偏光子と、その光軸が前記コリメータレンズの光軸と重なるように配置され、前記第1偏光成分および前記第2偏光成分を重ね合あわせて、前記第1偏光成分および前記第2偏光成分の干渉縞を形成するためのフーリエ変換レンズと、前記フーリエ変換レンズにより形成された前記干渉縞の強度分布に基づいて前記対象光のインターフェログラムを取得する検出部と、を有し、前記1または2以上の入射開口の少なくとも1つは、前記コリメータレンズの光軸に対してオフセット配置されている。
本発明の分光装置によれば、測定する試料の数が増えても部品点数を増やすことなく、1または2以上の試料から放出される対象光を同時に測定することができる。このため、本発明の分光装置では、複数の試料について測定を行おうとした場合でも、試料の数の増加により測定時間が長くならない。
図1Aは、本発明の実施の形態1に係る分光装置の構成を示す模式図であり、図1Bは、本発明の実施の形態1に係る分光装置で形成される干渉縞と、当該干渉縞に基づいて取得されるインターフェログラムとを示す模式図である。 図2Aは、本発明の実施の形態2に係る分光装置の構成を示す模式図であり、図2Bは、本発明の実施の形態2に係る分光装置で形成される干渉縞と、当該干渉縞に基づいて取得されるインターフェログラムとを示す模式図である。 図3Aは、本発明の実施の形態3に係る分光装置の構成を示す模式図であり、図3Bは、本発明の実施の形態3に係る分光装置で形成される干渉縞と、当該干渉縞に基づいて取得されるインターフェログラムとを示す模式図である。 図4は、本発明の実施の形態4に係る分光装置の構成を示す模式図である。 図5は、本発明の実施の形態5に係る分光装置の構成を示す模式図である。 図6Aは、本発明の実施の形態6に係る分光装置の構成を示す模式図であり、図6Bは、本発明の実施の形態6に係る分光装置の構成を示す平面模式図である。
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。本発明に係る分光装置は、対象光に由来する2つの光の干渉により形成される干渉縞に基づいてインターフェログラムを取得し、当該インターフェログラムをフーリエ変換することで対象光の分光スペクトルを測定する、フーリエ変換型分光装置である。
[実施の形態1]
実施の形態1に係る分光装置100は、干渉縞のラインに平行なD方向に沿って配列された3つの入射開口110a〜cを有しており、3つの試料から放出された対象光の分光スペクトルを同時に測定する。
図1Aは、実施の形態1に係る分光装置100の構成を示す模式図である。分光装置100は、3つの入射開口110a〜c、コリメータレンズ120、偏光子(特許請求の範囲では、「第2偏光子」と称している)130、偏光分割複屈折素子140、検光子(特許請求の範囲では、「偏光子」と称している)150、フーリエ変換レンズ160、検出部170および処理部180を有する。分光装置100では、コリメータレンズ120、偏光子130、偏光分割複屈折素子140、検光子150、フーリエ変換レンズ160および検出部170は、この順番で、入射開口110側から配置されている。フーリエ変換レンズ160は、その光軸がコリメータレンズ120の光軸OAと重なるように配置されている。なお、図1Aにおいて、一点鎖線は、コリメータレンズ120の光軸OAを示している。
入射開口110は、試料から放出され、光ファイバ20により入射開口110に導光された対象光の光束を規定する。実施の形態1では、図1Aに示されるように、入射開口110は、3つの入射開口110a〜cからなる。3つの入射開口110a〜cは、同一平面上に配置されていることが好ましい。実施の形態1では、3つの入射開口110a〜cは、同一平面(以下、「入射開口設置面S」ともいう)上に配置されている。
また、入射開口110は、分光装置100内の光学素子を通過した光束が形成する干渉縞領域の外形形状を入射開口110と相似な形状に規定する。入射開口110は、光ファイバ20の端面であってもよいし、遮光部材に形成された対象光を通過させるための開口であってもよい。実施の形態1では、入射開口110は、光ファイバ20の端面である。また、入射開口110の形状および大きさは、対象光の干渉縞(詳細については後述)に基づいてインターフェログラムを取得することができれば特に限定されない。入射開口110の形状(対象光の光軸に垂直な断面における光束の形状)の例には、円形状、楕円形状および多角形状が含まれる。入射開口110の大きさ(対象光の光束幅)は、例えば、直径2mm程度である。3つの入射開口110a〜cの形状および大きさは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。実施の形態1では、3つの入射開口110a〜cの形状は円形状であり、3つの入射開口110a〜cの大きさは同じである。
遮光部材の例には、分光装置100のケース(不図示)が含まれる。また、入射開口110には、対象光に対して透明な樹脂フィルムやガラスなどの透光部材が配置されていてもよい。これにより、入射開口110を介して分光装置100内へ埃が侵入することを防ぐことができる。
3つの入射開口110a〜cの少なくとも1つは、光軸OAに対してオフセット配置されている。実施の形態1では、図1Aに示されるように、入射開口110a,cは、D方向において光軸OAに対してそれぞれオフセット配置されている。一方、入射開口110bは、その中心が光軸OAに重なるように配置されている。このように、少なくとも1つの入射開口110を光軸OAに対してオフセット配置しつつ、複数の入射開口110を設置することで、複数の試料から放出された複数の対象光の分光スペクトルを同時にかつ容易に測定できる。また、3つの入射開口110a〜cは、入射開口設置面S内において干渉縞のラインに平行なD方向に沿って配列されている。
コリメータレンズ120は、入射開口110で光束を規定された対象光を平行光にする。これにより、異なる入射開口110からの複数の光線は、平行光とされた状態で、互いに異なる入射角度で偏光分割複屈折素子140に入射する。
コリメータレンズ120は、入射開口110が含まれる入射開口設置面Sから、コリメータレンズ120の焦点距離f離れた位置に配置されている。コリメータレンズ120の焦点距離fは、干渉縞形成領域の所望の大きさに応じて適宜調整されうる。たとえば、コリメータレンズ120の焦点距離fを大きくすると、干渉縞形成領域の面積を小さくすることができる。
また、コリメータレンズ120の直径は、入射開口110(対象光の光束)の数や、入射開口110の大きさ(対象光の光束幅)などに応じて、適宜設定されうる。また、コリメータレンズ120の形状および材料は、適宜選択されうる。コリメータレンズ120の例には、凸レンズおよび凹レンズが互いに貼り合わされたアクロマートレンズや、閉回路テレビ(CCTV)レンズ、Fマウントレンズなどの写真撮影用レンズが含まれる。コリメータレンズ120の材料の例には、樹脂およびガラスが含まれる。コリメータレンズ120は、例えば、射出成形法により作製されてもよいし、既製品であってもよい。
偏光子130は、対象光に含まれる、所定の偏光方向の偏光成分を透過させる。偏光子130は、後述の検光子150が透過させる偏光の偏光方向に対して同一方向の偏光成分または直交方向の偏光成分を透過させる。実施の形態1では、図1Aに示されるように、偏光子130は、D方向の偏光成分を透過させる。実施の形態1では、偏光子130が透過させる偏光の偏光方向と、検光子150が透過させる偏光の偏光方向とは、同一である。偏光子130は、コリメータレンズ120および偏光分割複屈折素子140の間において、対象光の光路上に配置されている。
なお、偏光子130が透過させる偏光の偏光方向と、検光子150が透過させる偏光の偏光方向とが同一である場合と、直交する場合とでは、形成される干渉縞の位相が逆転するのみであり、測定される対象光の分光スペクトルは同一である。
また、偏光子130の大きさは、入射開口110(対象光の光束)の数や、入射開口110の大きさ(対象光の光束幅)などに応じて、適宜設定されうる。偏光子130の種類の例には、偏光フィルタおよびワイヤーグリッド偏光子が含まれる。たとえば、偏光子130は、ヨウ素を含むポリビニルアルコール(PVA)を有する偏光フィルタ、またはフッ化カルシウム(CaF)製の基板にアルミニウムワイヤが平行に配置されたワイヤーグリッド偏光子である。偏光子130は、既製品であってもよい。
偏光分割複屈折素子140は、コリメータレンズ120で平行光にされ、偏光子130で所定の偏光方向成分のみを透過された対象光を、偏光方向が互いに異なる第1偏光および第2偏光(常光線および異常光線)に分割する。このとき、対象光があらかじめ偏光子130を透過していることで、対象光が楕円偏光または特定の偏光方向の直線偏光であっても、第1偏光の強度と第2偏光の強度とを等しくすることができる。これにより、干渉縞の明暗の差が最大となる。また、実施の形態1では、偏光分割複屈折素子140は、第1偏光および第2偏光の偏光方向が互いに直交するように、入射した対象光を分割する。偏光分割複屈折素子140は、例えば、偏光子130が透過させる光の偏光方向(実施の形態1では、D方向)を基準(0°)としたときに、+45°の方向と、−45°の方向に対象光を分割する。偏光分割複屈折素子140は、偏光子130および検光子150の間において、対象光の光路上に配置されている。
偏光分割複屈折素子140の例には、サバール板、ウオラストンプリズムおよびシェアリングプリズムが含まれる。実施の形態1では、偏光分割複屈折素子140は、サバール板である。サバール板は、例えば、方解石(炭酸カルシウム)や二酸化チタンなどからなる2枚の結晶板を、偏光方向が重ならないように張り合わせることで作製されうる。また、偏光分割複屈折素子140は、既製品であってもよい。
偏光分割複屈折素子140の大きさは、入射開口110(対象光の光束)の数や、入射開口110の大きさ(対象光の光束幅)などに応じて、適宜設定されうる。また、詳細については後述するが、サバール板の結晶板の厚さおよび屈折率は、第1偏光および第2偏光の、所望の光線分離距離に応じて適宜設定されうる。
検光子150は、第1偏光に含まれている、所定の偏光方向の第1偏光成分と、第2偏光に含まれている、前記所定の偏光方向と同一方向の第2偏光成分とを透過させる。実施の形態1では、前述のとおり、検光子150は、偏光子130が透過させる偏光の偏光方向と同一の方向(D方向)の第1偏光成分および第2偏光成分を透過させる。検光子150は、偏光分割複屈折素子140およびフーリエ変換レンズ160の間において、第1偏光および第2偏光の光路上に配置されている。
また、検光子150の大きさは、入射開口110(対象光の光束)の数や、入射開口110の大きさ(対象光の光束幅)などに応じて、適宜設定されうる。検光子150の例は、偏光子130と同じである。検光子150は、既製品であってもよい。
実施の形態1では、偏光子130、偏光分割複屈折素子140および検光子150は、互いに接着されている。このような構成とすることは、装置の小型化および低コスト化の観点から好ましい。
フーリエ変換レンズ160は、第1偏光成分および第2偏光成分を重ね合わせて、第1偏光成分および第2偏光成分の干渉縞を形成する。前述のとおり、フーリエ変換レンズ160は、その光軸がコリメータレンズ120の光軸OAと重なるように配置されている。
フーリエ変換レンズ160の焦点距離fは、干渉縞形成領域の所望の大きさに応じて適宜調整されうる。たとえば、フーリエ変換レンズ160の焦点距離fを大きくすると、干渉縞形成領域の面積を大きくすることができる。
また、フーリエ変換レンズ160の直径は、入射開口110(対象光の光束)の数、入射開口110の大きさ(対象光の光束幅)などに応じて、適宜設定されうる。フーリエ変換レンズ160の形状および材料は、必要に応じて、適宜選択されうる。フーリエ変換レンズ160の例には、凸レンズおよび凹レンズが互いに貼り合わされたアクロマートレンズや、閉回路テレビ(CCTV)レンズ、Fマウントレンズなどの写真撮影用レンズが含まれる。フーリエ変換レンズ160の材料の例には、樹脂およびガラスが含まれる。フーリエ変換レンズ160は、例えば、射出成形法により作製してもよいし、既製品であってもよい。
検出部170は、フーリエ変換レンズ160により形成された干渉縞の強度分布に基づいて対象光のインターフェログラムを取得し、取得したインターフェログラムを処理部180に出力する。検出部170は、干渉縞を撮像するための撮像素子171を有する。検出部180は、フーリエ変換レンズ160からフーリエ変換レンズ160の焦点距離f離れた位置に配置されている。言い換えると、検出部170は、撮像素子171の受光面172が入射開口設置面Sに対する共役面上に位置するように配置されている。検出部170は、例えば、撮像装置および出力装置を含む公知の半導体装置である。
撮像素子171の受光面172の大きさおよび形状は、干渉縞形成領域の大きさや形状などに応じて適宜設定されうる。撮像素子171は、例えば、干渉縞を2次元的に撮像し、干渉縞の強度分布に基づいて対象光のインターフェログラムを取得することができる電荷結合素子(CCD)や相補性金属酸化膜半導体(CMOS)などの固体撮像素子である。
処理部180は、検出部170で取得されたインターフェログラムを処理する。具体的には、処理部180は、インターフェログラムをフーリエ変換して、対象光の分光スペクトルを算出する。処理部180は、例えば、演算装置、記憶装置、入力装置および出力装置を含む公知のコンピュータやマイコンなどによって構成される。
(分光装置における対象光の光路)
次いで、分光装置100における対象光の光路について説明する。3つの試料から放出された対象光の光線は、3本の光ファイバ20により、3つの入射開口110a〜cにそれぞれ導光される。次いで、入射開口110を通過して光束が規定された各対象光の光線は、コリメータレンズ120を透過して平行光となる。平行光となった3つの対象光の光線のうちD方向の偏光成分のみが、偏光子130をそれぞれ透過する。偏光子130を透過したD方向の3つの偏光の光線は、偏光分割複屈折素子140を透過して第1偏光および第2偏光にそれぞれ分割される。次いで、3つの第1偏光の光線に含まれているD方向の第1偏光成分と、3つの第2偏光の光線に含まれているD方向の第2偏光成分とは、検光子150およびフーリエ変換レンズ160を透過し、互いに重ね合わされる。これにより、検出部170が有する撮像素子171の受光面172上に、3つの干渉縞a〜cが形成される。
(干渉縞およびインターフェログラム)
以上のとおり、実施の形態1では、3つの干渉縞a〜cが形成される。このとき、図1Aに示されるように、干渉縞a〜cが形成されている干渉縞形成領域の境界形状は、それぞれ、入射開口110の形状により円形状に規定されている。また、干渉縞a〜cは、撮像素子171の受光面172上で入射開口設置面S上の3つの入射開口110a〜cと共役な位置にそれぞれ形成されている。
図1Bは、実施の形態1に係る分光装置100で形成される干渉縞a〜cと、干渉縞a〜cに基づいて取得されるインターフェログラムとを示す模式図である。実施の形態1に係る分光装置100では、図1Bに示されるように、3つの干渉縞a〜cに基づいて、3つのインターフェログラムが得られる。光軸OAを含み、かつD方向に沿った面を境界面とすると、干渉縞a〜cは、境界面の両側に亘って対称的に形成されている。このとき、D方向において、光軸OAに近いほど干渉縞の強度振幅は大きく、光軸OAから遠くなるほど干渉縞の強度振幅は小さくなる。このため、干渉縞a〜cに基づいて取得されるインターフェログラムは、上記境界面に相当する基準面から離れるほど強度振幅が小さくなる対称的な形状となる(以下、「両側インターフェログラム」ともいう)。インターフェログラムは、干渉する2つの光線の光路差長である最大光路差長L(形成された干渉縞における、0次の干渉に基づくラインと、最も高次の干渉に基づくラインとの間隔xに基づいて算出される光路差長)に亘って有効な波形情報となる。両側インターフェログラムの形状は、基準面の両側において対称であるため、一方の側のインターフェログラムのみが、有効な波形情報となる。
(分光装置の光学設計)
次いで、分光装置100の光学設計の手順について説明する。
1)偏光分割複屈折素子およびフーリエ変換レンズの決定
測定対象とする分光スペクトルの波長領域を可視光領域(約300[nm]〜約800[nm])とすると、対象光の波長の下限値は、可視光の最短波長として300[nm]に設定される。すなわち、対象光の波数の上限値は、上記最短波長の逆数をとって、3333[1/mm]となる。サンプリング定理より、対象光の波形を適切にサンプリングするために必要な空間サンプリング周波数は、上記波数の上限値を2倍した、6666[1/mm]となる。また、ピクセルピッチがp[mm]である撮像素子171の空間サンプリング周波数fは下記式(1)で表される。したがって、上記撮像素子171により対象光を測定するために必要な入射光の波形の拡大率αは、下記式(2)で表される。
Figure 2017150981
Figure 2017150981
下記表1は、拡大率αと、フーリエ変換レンズ160の焦点距離f[mm]と、偏光分割複屈折素子140(サバール板)を構成する結晶板(方解石)の1枚当りの厚さt[mm]と、偏光分割複屈折素子140の光線分離距離d[mm]との関係を示す。
Figure 2017150981
使用する撮像素子171のピクセルピッチpが分かっていれば、上記式(1)および上記式(2)に基づいて、対象光の測定に必要な拡大率αを算出できる。そして、算出した拡大率αに基づいて、表1から使用すべき偏光分割複屈折素子140(サバール板)を構成する結晶板1枚当たりの厚さt[mm]と、使用すべきフーリエ変換レンズ160の焦点距離f[mm]とを決定することができる。
偏光分割複屈折素子140がサバール板の場合、サバール板の光線分離距離dは、下記式(3)により表されることが知られている。したがって、使用すべきサバール板の厚さtが決定されると、同時に光線分離距離dも決定される。
Figure 2017150981
[上記式(3)において、tはサバール板を構成する結晶板の厚さであり、nは常光線に対する結晶の屈折率であり、nは異常光線に対する結晶の屈折率である。]
たとえば、撮像素子171の受光面172のサイズが2/3インチ(8.8[mm]×6.6[mm])、画像サイズが1.0Mピクセル、かつピクセルピッチpが7.5[μm]のとき、上記式(1)より、空間サンプリング周波数fは133[1/mm]となる。したがって、上記式(2)より、必要な拡大率αは約50倍となる。上記表1から拡大率αとして51.4倍に着目すると、サバール板を構成する結晶板1枚当りの厚さtを2[mm]、フーリエ変換レンズの焦点距離fを16[mm]と決定することができる。このとき、表1から、サバール板による光線分離距離dが0.311[mm]となることがわかる。
2)コリメータレンズの決定
測定の高精度化の観点からは、撮像素子171の受光面172上における干渉縞形成領域の面積は、大きいことが好ましい。実施の形態1では、干渉縞形成領域の形状は円形状であるため、干渉縞形成領域の面積は干渉縞形成領域の直径に相当する。撮像素子171の受光面172上における干渉縞形成領域の直径の最大値D[mm]は、干渉縞形成領域の形状および数、ならびに撮像素子171の受光面172の大きさに応じて決定される。同じ形状であり、かつ同じ大きさのn個の干渉縞形成領域内が、長手方向の長さがy[mm]である撮像素子171の受光面172に形成される場合に、受光面上における干渉縞形成領域の直径の最大値D[mm]は、下記式(4)で表される。以下、干渉縞形成領域の直径Dとは、干渉縞形成領域の直径の最大値を意味するものとする。
Figure 2017150981
また、入射開口110の大きさ(実施の形態1では、光ファイバ20の開口径)をφとおくと、入射開口110で光束幅をφに規定された対象光が、直径Dの干渉縞形成領域を形成するときの光学倍率βは、下記式(5)で表される。
Figure 2017150981
光学倍率βは、コリメータレンズ120の焦点距離fに対するフーリエ変換レンズ160の焦点距離fの比(f/f)で与えられるため、コリメータレンズ120の焦点距離fは、下記式(6)で表される。したがって、前述した手順により決定されたフーリエ変換レンズ160の焦点距離fと、上記式(5)で算出される所望の光学倍率βとに基づいて、使用すべきコリメータレンズ120の焦点距離f[mm]を決定することができる。
Figure 2017150981
たとえば、撮像素子171の受光面172のサイズが2/3インチ(8.8[mm]×6.6[mm])であり、かつ円形状の干渉縞形成領域が3つ形成される場合、上記式(4)より、上記干渉縞形成領域の直径Dは、φ2.9[mm]となる。光ファイバ20の開口がφ2[mm]のとき、上記式(5)より、光学倍率βは1.5倍となる。そして、上記式(6)より、使用すべきコリメータレンズ120の焦点距離fを11[mm]と決定することができる。
3)波数分解の算出
一般的に、波数分解Δσは、インターフェログラムにおける最大光路差長Lに依存し、下記式(7)で表される。最大光路差長Lは、干渉縞形成領域内に形成された干渉縞における、0次の干渉に基づくラインと、最も高次の干渉に基づくラインとの間隔xに基づいて算出される光路差長である。波長分解Δσは、数値が小さいほど分解能が高く、より高精度に対象光の分光スペクトルを測定できることを意味する。図1Bに示されるように、上記の間隔xは、干渉縞形成領域の半径D/2に相当する。また、両側インターフェログラムにおける最大光路差長Lは、下記式(8)で表されることが知られている。したがって、前述した手順により、偏光分割複屈折素子140の光線分離距離dと、フーリエ変換レンズ160の焦点距離fと、干渉縞形成領域の直径の最大値Dとは、決定できるため、下記式(7)および下記式(8)に基づいて、分光装置100の波数分解Δσを算出することができる。
Figure 2017150981
Figure 2017150981
たとえば、前述した手順により決定された、偏光分割複屈折素子140の光線分離距離(d=0.311[mm])と、フーリエ変換レンズ160の焦点距離(f=16[mm])と、干渉縞形成領域の直径の最大値(D=φ2.9[mm])とを上記式(7)および上記式(8)に代入すると、分光装置100における波数分解Δσを360[1/cm]と算出することができる。
波数分解Δσは、コリメータレンズ120の焦点距離f、偏光分割複屈折素子140の厚さt(光線分離距離d)、フーリエ変換レンズ160の焦点距離fおよび干渉縞形成領域の直径Dに基づいて調整することができる。たとえば、撮像素子171の受光面172上における干渉縞形成領域の数を減らして、1個当りの干渉縞形成領域の面積を大きくしたり、受光面172のサイズが大きい撮像素子171を使用して、干渉縞形成領域の面積を大きくしたりすることで、干渉縞形成領域の直径Dを大きくして、波数分解Δσを小さくすることができる。
以上の手順により、試料から放出される対象光の分光スペクトルを測定するための分光装置100の光学設計を行うことができる。
(効果)
実施の形態1に係る分光装置100は、複数の試料から放出された複数の対象光の干渉縞に基づいて、複数のインターフェログラムを取得して、対象光の分光スペクトルを同時に測定することができる。
また、分光スペクトルを測定する分光装置としては、プリズムや回折格子などの光学部品を使用した分散型分光装置や、サバール板およびレンズを使用した偏光分割干渉方式のフーリエ変換型分光装置(例えば、特許第3095167号および特許第3796024号)などが知られている。分散型分光装置では、高分解能を達成する観点から、入射開口を細いスリットにする必要があり、これにより光学系に取り込める光量が制限されてしまう。これに対して、フーリエ変換型分光装置では、入射開口の形状および大きさに制限がないため、光学系に多くの光を取り込むことができる。すなわち、検出される対象光の強度の大きさ(Jacquinotの優位性)の観点からは、本発明に係るフーリエ変換型分光装置がより好ましい。
また、従来の分光装置と比較して、実施の形態1に係る分光装置100は、光ファイバマルチプレクサを使用することなく、複数の対象光の分光スペクトルを測定することができる。従来の分光装置では、マルチプレクサにおける光ファイバのカップリング部で光の損失が生じることがあるのに対し、分光装置100では、そのような光の損失のおそれがない。さらに、従来の分光装置と比較して、分光装置100では、複数の光ファイバの接続を切替えるための切替え部や、当該切替え部を制御するための制御部などが必要でないため、装置の部品点数が増加することがなく、装置の小型化を実現することができる。
また、本発明に係る分光装置は、分光スペクトルを測定することができるため、所望の波長の光を検出するための光学フィルタや、光学フィルタの切替え機構などを別途設ける必要がない。このため、分光装置を構成する部品点数を減少させ、シンプルな構造の分光装置を実現できる。
[実施の形態2]
実施の形態2に係る分光装置200は、干渉縞のラインの並び方向に沿うD方向において、光軸OAに接するように配置されている2つの入射開口210d,eを有しており、2つの試料から放出された対象光の分光スペクトルを同時に測定する。
実施の形態2に係る分光装置200では、入射開口210の数および配置だけが実施の形態1に係る分光装置100と異なる。そこで、実施の形態1に係る分光装置100と同一の構成要素については同一の符号を付してその説明を省略する。
図2Aは、実施の形態2に係る分光装置200の構成を示す模式図である。分光装置200は、2つの入射開口210d,e、コリメータレンズ120、偏光子(特許請求の範囲では、「第2偏光子」と称している)130、偏光分割複屈折素子140、検光子(特許請求の範囲では、「偏光子」と称している)150、フーリエ変換レンズ160、検出部170および処理部180を有する。図2Aにおいて、一点鎖線は、コリメータレンズ120の光軸OAを示している。
実施の形態2では、図2Aに示されるように、入射開口210は、2つの入射開口210d,eからなる。実施の形態2では、2つの入射開口210d,eは、同一平面(入射開口設置面S)上に配置されている。入射開口210の形状や大きさなどについては、実施の形態1に係る分光装置100の入射開口110と同様であるため、その説明を省略する。
2つの入射開口210d,eの少なくとも1つは、光軸OAに対してオフセット配置されている。実施の形態2では、図2Aに示されるように、入射開口210d,eは、いずれも、光軸OAに対してオフセット配置されている。また、2つの入射開口210d,eは、D方向において、光軸OAを含み、かつD方向に沿う面に接するように配置されている。
(干渉縞およびインターフェログラム)
図2Bは、実施の形態2に係る分光装置200で形成される干渉縞d,eと、干渉縞d,eに基づいて取得されるインターフェログラムとを示す模式図である。実施の形態2に係る分光装置200では、図2Bに示されるように、2つの干渉縞d,eが形成される。これら2つの干渉縞d,eに基づいて2つのインターフェログラムが得られる。2つの干渉縞d,eは、光軸OAを含み、かつD方向に沿った面である境界面を基準としたときに、いずれか一方の側に形成されている。より具体的には、2つの干渉縞d,eは、上記境界面に接するように形成されている。前述したとおり、D方向において、光軸OAに近いほど干渉縞の振幅強度は大きく、光軸OAからの遠くなるほど干渉縞の振幅強度は小さくなる。このため、干渉縞d,eに基づいて取得されるインターフェログラムは、上記境界面に相当する基準面から離れるほど振幅強度が小さくなる非対称的な形状となる(以下、「片側インターフェログラム」ともいう)。このように片側インターフェログラムが形成されるのは、偏光分割複屈折素子140で分割された第1偏光および第2偏光の光路差が等しくなる位置、すなわち0次の干渉に基づくラインが形成される位置は、常に光軸OA上となるからである。インターフェログラムは、最大光路差長L(形成された干渉縞における、0次の干渉に基づくラインと、最も高次の干渉に基づくラインとの間隔xに基づいて算出される光路差長)に亘って有効な波形情報となる。このため、両側インターフェログラムと比較した場合に、同じ大きさの干渉縞形成領域が形成されたとしても、片側インターフェログラムでは、2倍の光路差長に相当する情報を得ることができる。
(分光装置の光学設計)
ここで、実施の形態2に係る分光装置200の光学設計について説明する。コリメータレンズ120、偏光分割複屈折素子140およびフーリエ変換レンズ160の各パラメータ、ならびに波数分解Δσは、実施の形態1と同様に決定されうるため、その説明を省略する。
一方、前述のとおり、片側インターフェログラムが得られる場合には、両側インターフェログラムが得られる場合と比較して、2倍の光路差長に相当する情報が得られる。すなわち、図2Bに示されるように、干渉縞形成領域内に形成された干渉縞における、0次の干渉に基づくラインと、最も高次の干渉に基づくラインとの間隔xは、干渉縞形成領域の直径Dに相当する。この結果、片側インターフェログラムの最大光路差長Lは、上記式(8)の代わりに下記式(9)で表される。
Figure 2017150981
[上記式(9)において、dは偏光分割複屈折素子140の光線分離距離であり、fはフーリエ変換レンズ160の焦点距離であり、Dは干渉縞形成領域の直径である。]
上記式(7)〜(9)からわかるとおり、片側インターフェログラムにおける波数分解は、両側インターフェログラムにおける波数分解より2倍小さくなることがわかる。すなわち、両側インターフェログラムに基づいて対象光の分光スペクトルを測定する場合と比較して、片側インターフェログラムに基づいて対象光の分光スペクトルを測定する場合には、2倍高い分解能で分光スペクトルを測定することができることがわかる。
(効果)
実施の形態2に係る分光装置200は、実施の形態1に係る分光装置100と同様の効果を有する。さらに、分光装置200では、D方向において入射開口210をオフセット配置し、片側インターフェログラムに基づいて対象光の分光スペクトルを測定する。結果として、より高い分解能で対象光の分光スペクトルを測定することができる。
[実施の形態3]
実施の形態3に係る分光装置300は、干渉縞のラインに平行なD方向に沿って2列に配列され、かつ干渉縞のラインの並び方向に沿うD方向において、光軸OAを含み、かつD方向に沿う面に接するように配置されている合計6つの入射開口110を有しており、6つの試料から放出された対象光の分光スペクトルを同時に測定する。
実施の形態3に係る分光装置300では、入射開口310の数および配置だけが実施の形態2に係る分光装置200と異なる。そこで、実施の形態2に係る分光装置200と同一の構成要素については同一の符号を付してその説明を省略する。
図3Aは、実施の形態3に係る分光装置300の構成を示す模式図である。分光装置300は、6つの入射開口310f〜k、コリメータレンズ120、偏光子(特許請求の範囲では、「第2偏光子」と称している)130、偏光分割複屈折素子140、検光子(特許請求の範囲では、「偏光子と称している)150、フーリエ変換レンズ160、検出部170および処理部180を有する。図3Aにおいて、一点鎖線は、コリメータレンズ120の光軸OAを示している。
実施の形態3では、図3Aに示されるように、入射開口310は、6つの入射開口310f〜kからなる。実施の形態3では、6つの入射開口310f〜kは、同一平面(入射開口設置面S)上に配置されている。入射開口310の形状や大きさなどについては、実施の形態1に係る分光装置100の入射開口110と同様であるため、その説明を省略する。
6つの入射開口310f〜kの少なくとも1つは、光軸OAに対してオフセット配置されている。実施の形態3では、図3Aに示されるように、6つの入射開口310f〜kは、いずれも、光軸OAに対してオフセット配置されている。また、入射開口310f〜kは、それぞれD方向に沿って2列に3つずつ配列されており、D方向において、光軸OAを含み、かつD方向に沿う面に接するように配置されている。
(干渉縞およびインターフェログラム)
図3Bは、実施の形態3に係る分光装置300で形成される干渉縞f〜kと、干渉縞f〜kに基づいて取得されるインターフェログラムとを示す模式図である。実施の形態3に係る分光装置300では、図3Bに示されるように、6つの干渉縞f〜kが形成される。これら6つの干渉縞f〜kに基づいて6つの片側インターフェログラムが得られる。前述のとおり、干渉縞f〜kは、D方向において光軸OAを含み、かつD方向に沿った面(境界面)から離れるほど振幅強度が小さくなる。しかし、干渉縞f〜kの振幅強度の大きさは、D方向の位置によらない。このため、D方向に配列される入射開口310の数が増えても、干渉縞f〜kに基づいて取得されるインターフェログラムから、高精度に対象光の分光スペクトルを測定することができる。
(効果)
実施の形態3に係る分光装置300は、実施の形態2に係る分光装置200と同様の効果を有する。
[実施の形態4]
実施の形態4に係る分光装置400は、干渉縞のラインに平行なD方向に沿って2列に配列され、かつ干渉縞のラインの並び方向に沿う方向Dにおいて、光軸OAを含み、かつD方向に沿う面に接するように配置されている合計12個の入射開口410を有しており、12個の試料から放出された対象光の分光スペクトルを同時に測定する。実施の形態4に係る分光装置400では、干渉縞形成領域はD方向において圧縮される。
実施の形態4に係る分光装置400では、入射開口410の数および配置と、アナモフィックコンバータ420を有することとが実施の形態2に係る分光装置200と異なる。そこで、実施の形態2に係る分光装置200と同一の構成要素については同一の符号を付してその説明を省略する。
図4は、実施の形態4に係る分光装置400の構成を示す模式図である。分光装置400は、12個の入射開口410、コリメータレンズ120、偏光子(特許請求の範囲では、「第2偏光子」と称している)130、偏光分割複屈折素子140、検光子(特許請求の範囲では、「偏光子」と称している)150、アナモフィックコンバータ420、フーリエ変換レンズ160、検出部170および処理部180を有する。図4において、一点鎖線は、コリメータレンズ120の光軸OAを示している。
実施の形態4では、図4に示されるように、入射開口410は、12個の入射開口410からなる。実施の形態4では、12個の入射開口410は、同一平面(入射開口設置面S)上に配置されている。入射開口410の形状や大きさなどについては、実施の形態1に係る分光装置100の入射開口110と同様であるため、その説明を省略する。
12個の入射開口410の少なくとも1つは、光軸OAに対してオフセット配置されている。実施の形態4では、図4に示されるように、12個の入射開口410は、いずれも、光軸OAに対してオフセット配置されている。12個の入射開口410は、D方向に沿って2列に6つずつ配列されており、D方向において光軸OAを含み、かつD方向に沿う面に接するように配置されている。
アナモフィックコンバータ420は、結像面の位置を維持し、フーリエ変換レンズ160の焦点距離をD方向とD方向とにおいて異なる値に変化させる。実施の形態4では、アナモフィックコンバータ420は、入射した対象光を、D方向における光束幅を一定に維持しつつ、D方向における光束幅を大きくする。フーリエ変換レンズ160単体の焦点距離と比較して、このアフォーカル系を有するフーリエ変換レンズの合成焦点距離は、より小さくなる。これにより、D方向における結像倍率は小さくなる。結果として、アナモフィックコンバータ420は、干渉縞が形成される干渉縞形成領域をラインに平行なD方向において圧縮することができる。アナモフィックコンバータ420は、コリメータレンズ120およびフーリエ変換レンズ160の間に配置されている。実施の形態4では、アナモフィックコンバータ420は、検光子150およびフーリエ変換レンズ160の間において、その光軸が光軸OAと合致するように配置されている。
アナモフィックコンバータ420による干渉縞形成領域の圧縮率(アフォーカル倍率)は、入射開口410の数や大きさ、検出部170撮像素子171の受光面172のサイズなどに応じて、適宜設定されうる。たとえば、D方向におけるアフォーカル倍率が1/2倍、かつD方向におけるアフォーカル倍率が1倍のとき、入射開口410で円形状に規定された対象光は、アナモフィックコンバータ420により縦横比(D方向における長さに対するD方向における長さの比)が1:2の楕円形状の干渉縞形成領域に干渉縞を形成する。アナモフィックコンバータ420は、例えば、公知のアナモフィックコンバータレンズである。実施の形態4では、アナモフィックコンバータ420は、負のパワーを有するシリンドリカル形状の第1レンズ群421と、正のパワーを有するシリンドリカル形状の第2レンズ群422とを有する。
(干渉縞およびインターフェログラム)
実施の形態4に係る分光装置400では、図4に示されるように、12個の干渉縞が形成される。より具体的には、撮像素子171の受光面172上に形成される12個の干渉縞は、撮像素子171の受光面172上で入射開口設置面S上の12個の入射開口410と共役な位置に形成される。このとき、撮像素子171の受光面172上に形成される12個の干渉縞形成領域の形状は、アナモフィックコンバータ420によってD方向において圧縮された楕円形状となる。これらの12個の干渉縞により12個の片側インターフェログラムが得られる。アナモフィックコンバータ420により、D方向において干渉縞を圧縮しても干渉縞の強度分布に変化はないため、取得されるインターフェログラムに影響はない。すなわち、アナモフィックコンバータ420により、撮像素子171の受光面172を効率的に利用して、より多くの対象光の分光スペクトルを測定することができる。
(分光装置の光学設計)
ここで、実施の形態4に係る分光装置400の光学設計について説明する。コリメータレンズ120、偏光分割複屈折素子140およびフーリエ変換レンズ160の各パラメータおよび波数分解Δσは、実施の形態1,2と同様に、決定されうるため、その説明を省略する。ここでは、アナモフィックコンバータ420の決定について説明する。
アナモフィックコンバータ420のD方向におけるアフォーカル倍率γは、第1レンズ群421の焦点距離fと、第2レンズ群422の焦点距離fとにより下記式(10)で表される。一方、アナモフィックコンバータ420のD方向におけるアフォーカル倍率は、1となる。このとき、光学系のフーリエ変換レンズ160の焦点距離fは、γ倍される。
Figure 2017150981
上記式(10)より、所望のアフォーカル倍率γを得るために第1レンズ群421の焦点距離fと、第2レンズ群422の焦点距離fとを決定することができる。
たとえば、D方向におけるアフォーカル倍率γを1/2倍とする場合には、焦点距離fが−20[mm]である第1レンズ群421と、焦点距離fが40mmである第2レンズ群422とを使用すればよい。D方向において、撮像素子171の受光面172上に3個の干渉縞を形成できる分光装置は、アフォーカル倍率γが1/2倍であるアナモフィックコンバータ420を挿入されることで、6個の干渉縞を形成できるようになる。
(効果)
実施の形態4に係る分光装置400は、実施の形態2に係る分光装置200と同様の効果を有する。さらに、実施の形態4に係る分光装置400では、アナモフィックコンバータ420により、D方向において干渉縞形成領域を圧縮することができる。これにより、撮像素子171の受光面172に、より多くの干渉縞を形成できる。すなわち、撮像素子171の受光面172を効率的に利用して、より多くの対象光の分光スペクトルを同時に測定することができる。
[実施の形態5]
実施の形態5に係る分光装置500は、2つの分光装置400(実施の形態4参照)を有する。前述のとおり、実施の形態4に係る分光装置400は、12個の試料から放出された対象光の分光スペクトルを測定できる。すなわち、実施の形態5に係る分光装置500は、合計24個の試料から放出された対象光の分光スペクトルを同時に測定することができる。
図5は、実施の形態5に係る分光装置500の構成を示す模式図である。分光装置500は、結像光学ユニット510、光ファイバ20および2つの分光装置400を有する。
結像光学ユニット510は、光ファイバ20とともに試料から放出された光を分光装置400に導光する。結像光学ユニット510は、例えば、反射ミラー511および撮影レンズ512を有する。
反射ミラー511は、試料から放出された対象光を撮影レンズ512に向けて反射させる。反射ミラー511は、対象光を反射することができれば特に限定されず、例えば、金属製の基板または表面に金属膜が形成された樹脂製の基板である。
撮影レンズ512は、反射ミラー511で反射した対象光を結像面512Sに結像する。撮影レンズ512は、例えば、カメラに使用される、フォーカスレンズやズームレンズなどの光学部品を有する撮影レンズである。
光ファイバ20は、一端が撮影レンズ512の結像面512S上に位置するように配置されており、他端が分光装置400の入射開口410の入射開口設置面S上に位置するように配置されている。実施の形態5では、24本の光ファイバ20の一端は、結合面512S上に配置されており、24本の光ファイバ20の他端は、2つの分光装置400における入射開口設置面S上に12本ずつ配置されている。
(分光装置における対象光の光路)
24個の試料から放出された対象光は、結像光学ユニット510によって24本の光ファイバ20内にそれぞれ導光される。具体的には、24個の試料から放出された対象光は、反射ミラー511で反射して撮影レンズ512に入射する。撮影レンズ512を透過した対象光は、撮影レンズ512の結像面512Sに向けて集光される。次いで、結像面512S上の24本の光ファイバ20内に入射する。24本の光ファイバ20に入射した対象光の半分は、12本の光ファイバ20を介して一方の分光装置400に導光され、対象光の残りは、残り12本の光ファイバ20を介して他方の分光装置400に導光される。
(効果)
実施の形態5に係る分光装置500は、実施の形態4に係る分光装置400と同様の効果を有する。さらに、複数の分光装置を使用することで、同時に分光スペクトルを測定することができる対象光の数を増やすことができる。
上記実施の形態5では、24個の試料から放出される対象光の分光スペクトルを測定する場合について説明したが、測定対象の試料の数は、特に限定されず、48個であってもよいし、96個であってもよいし、それ以上であってもよい。
[実施の形態6]
実施の形態6に係る分光装置600では、光軸OAからオフセット配置されている入射開口610の配置に合わせて、検出部170の撮像素子171の受光面172もオフセット配置されている。
実施の形態6に係る分光装置600では、入射開口610の数と、検出部170における撮像素子171の受光面172の配置とが実施の形態2に係る分光装置200と異なる。そこで、実施の形態2に係る分光装置200と同一の構成要素については同一の符号を付してその説明を省略する。
図6Aは、実施の形態6に係る分光装置600の構成を示す模式図であり、図6Bは、実施の形態6に係る分光装置600の構成を示す平面模式図である。分光装置600は、入射開口610、コリメータレンズ120、偏光子(特許請求の範囲では、「第2偏光子」と称している)130、偏光分割複屈折素子140、検光子(特許請求の範囲では、「偏光子」と称している)150、フーリエ変換レンズ160、検出部170および処理部180を有する。図6A、Bにおいて、一点鎖線は、コリメータレンズ120の光軸OAを示している。
入射開口610の形状や大きさなどについては、実施の形態1に係る分光装置100の入射開口110と同様であるため、その説明を省略する。
実施の形態6では、図6Bに示されるように、入射開口610は、光軸OAに対してオフセット配置されている。また、入射開口610は、D方向において光軸OAを含み、かつD方向に沿う面に接するように配置されている。
検出部170は、撮像素子171の受光面172の中心が干渉縞形成領域に重なるようにオフセットされている。光軸OAからオフセット配置されている入射開口610の配置に合わせて、撮像素子171の受光面172の位置をオフセットすることは、干渉縞形成領域の面積に対して撮像素子171の受光面172のサイズが小さい場合などに、撮像素子171の受光面172を効率的に受光に使用する観点から好ましい。撮像素子171の受光面172をより効率的に受光に使用する観点からは、検出部170は、撮像素子171の受光面172の中心と、干渉縞形成領域の中心とが重なるようにオフセット配置されていることが好ましい。このとき、撮像素子171の受光面172に複数の干渉縞が形成される場合には、「干渉縞形成領域の中心」とは、複数の干渉縞形成領域の重心を意味する。実施の形態6では、検出部170は、撮像素子171の受光面172の中心と、干渉縞形成領域の中心とが合致するようにオフセット配置されている。
(効果)
実施の形態6に係る分光装置600は、実施の形態2に係る分光装置200と同様の効果を有する。さらに、実施の形態6に係る分光装置600では、光軸OAからオフセット配置されている入射開口610の配置に合わせて、検出部170の撮像素子171の受光面172もオフセット配置されている。これにより、検出部170における撮像素子171の受光面172を効率的に受光に使用することができる。
なお、上記実施の形態1〜6に係る分光装置100、200、300、400、500、600では、偏光子130がコリメータレンズ120および偏光分割複屈折素子140の間に配置されている態様について説明したが、本発明に係る分光装置は、この態様に限定されない。たとえば、偏光子は、入射開口およびコリメータレンズの間に配置されていてもよい。
また、上記実施の形態1〜6では、偏光子130を有する分光装置100、200、300、400、500、600について説明したが、本発明に係る分光装置は、偏光子130を有していなくてもよい。これは、試料から放出される対象光がランダム偏光の光である場合には、偏光子130を透過させなくても、偏光分割複屈折素子140で分離される正常光および異常光の時間平均強度が互いに等しくなり、検光子150を透過する第1方向成分および第2方向成分の大きさが互いに等しくなるためである。
また、上記実施の形態1〜6では、光ファイバ20を使用して試料から放出された対象光を分光装置100、200、300、400、500、600に導光する態様について説明したが、本発明に係る分光装置は、この態様に限定されない。たとえば、結像光学ユニットなどを用いて、試料から放出された対象光を分光装置の入射開口に入射させてもよい。
本発明の分光装置は、1または2以上の試料から放出される対象光を同時に測定できるため、例えば生化学分野における臨床検査機器およびPCR装置として有用である。
20 光ファイバ
100〜600 分光装置
110a〜c、210d,e、310f〜k、410、610 入射開口
120 コリメータレンズ
130 偏光子(第2偏光子)
140 偏光分割複屈折素子
150 検光子(偏光子)
160 フーリエ変換レンズ
170 検出部
171 撮像素子
172 受光面
180 処理部
420 アナモフィックコンバータ
421 第1レンズ群
422 第2レンズ群
510 結像光学ユニット
511 反射ミラー
512 撮影レンズ
512S 結像面
OA 光軸
S 入射開口設置面

Claims (11)

  1. 対象光の分光スペクトルを測定するための分光装置であって、
    前記対象光の光束を規定するための、1または2以上の入射開口と、
    前記入射開口で光束を規定された前記対象光を平行光にするためのコリメータレンズと、
    前記コリメータレンズで平行光にされた前記対象光を、偏光方向が互いに異なる第1偏光および第2偏光に分割するための偏光分割複屈折素子と、
    前記第1偏光に含まれている、所定の偏光方向の第1偏光成分と、前記第2偏光に含まれている、前記所定の偏光方向と同一方向の第2偏光成分とを透過させる偏光子と、
    その光軸が前記コリメータレンズの光軸と重なるように配置され、前記第1偏光成分および前記第2偏光成分を重ね合あわせて、前記第1偏光成分および前記第2偏光成分の干渉縞を形成するためのフーリエ変換レンズと、
    前記フーリエ変換レンズにより形成された前記干渉縞の強度分布に基づいて前記対象光のインターフェログラムを取得する検出部と、
    を有し、
    前記1または2以上の入射開口の少なくとも1つは、前記コリメータレンズの光軸に対してオフセット配置されている、
    分光装置。
  2. 前記入射開口および前記コリメータレンズの間、または前記コリメータレンズおよび前記偏光分割複屈折素子の間に配置されており、前記所定の偏光方向に対して、同一方向の偏光成分または直交方向の偏光成分を透過させるための第2偏光子をさらに有する、請求項1に記載の分光装置。
  3. 前記1または2以上の入射開口は、前記干渉縞のラインの並び方向に沿う方向において、前記コリメータレンズの光軸を含み、かつ前記干渉縞のラインに平行な方向に沿う面に接するように配置されている、請求項1または請求項2に記載の分光装置。
  4. 前記入射開口の数は、複数であり、
    複数の前記入射開口は、前記干渉縞のラインに平行な方向に沿ってそれぞれ配列されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の分光装置。
  5. 前記コリメータレンズおよび前記フーリエ変換レンズの間に配置され、前記干渉縞のラインに平行な方向において前記干渉縞が形成される干渉縞形成領域を圧縮するためのアナモフィックコンバータをさらに有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の分光装置。
  6. 前記入射開口に導光される前記対象光を結像するための結像光学ユニットをさらに有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の分光装置。
  7. 前記検出部は、前記干渉縞が形成される受光面を含む撮像素子を有し、
    前記撮像素子は、前記受光面の中心が、前記干渉縞が形成される干渉縞形成領域の中心に重なるように配置されている、
    請求項1〜6のいずれか一項に記載の分光装置。
  8. 前記偏光分割複屈折素子は、サバール板である、請求項1〜7のいずれか一項に記載の分光装置。
  9. 前記インターフェログラムを処理するための処理部をさらに有し、
    前記処理部は、前記インターフェログラムをフーリエ変換して、前記対象光の分光スペクトルを算出する、請求項1〜8のいずれか一項に記載の分光装置。
  10. 前記対象光は、光ファイバによって前記入射開口に導光され、
    前記入射開口は、前記光ファイバの端面である、
    請求項1〜9のいずれか一項に記載の分光装置。
  11. 前記入射開口は、遮光部材に形成された前記対象光を通過させるための開口である、
    請求項1〜9のいずれか一項に記載の分光装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018110563A1 (ja) 2016-12-12 2018-06-21 パウダーテック株式会社 ブレーキ摩擦材用酸化鉄粉末
CN110307902A (zh) * 2019-06-27 2019-10-08 南京理工大学 双通道干涉型高光谱成像装置及方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02245622A (ja) * 1989-03-20 1990-10-01 Hitachi Ltd 偏光干渉分光装置
JPH02268234A (ja) * 1989-04-11 1990-11-01 Satoshi Kawada マルチチャネルフーリエ変換分光装置
JPH0727613A (ja) * 1993-07-15 1995-01-31 Nisshin Flour Milling Co Ltd マルチチャンネル型フーリエ変換分光装置
JPH1096603A (ja) * 1996-09-20 1998-04-14 Canon Inc 干渉計測装置
US20120268745A1 (en) * 2011-04-20 2012-10-25 Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona Ultra-compact snapshot imaging fourier transform spectrometer
JP2013024637A (ja) * 2011-07-19 2013-02-04 Graduate School For The Creation Of New Photonics Industries 分光撮像装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02245622A (ja) * 1989-03-20 1990-10-01 Hitachi Ltd 偏光干渉分光装置
JPH02268234A (ja) * 1989-04-11 1990-11-01 Satoshi Kawada マルチチャネルフーリエ変換分光装置
JPH0727613A (ja) * 1993-07-15 1995-01-31 Nisshin Flour Milling Co Ltd マルチチャンネル型フーリエ変換分光装置
JPH1096603A (ja) * 1996-09-20 1998-04-14 Canon Inc 干渉計測装置
US20120268745A1 (en) * 2011-04-20 2012-10-25 Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona Ultra-compact snapshot imaging fourier transform spectrometer
JP2013024637A (ja) * 2011-07-19 2013-02-04 Graduate School For The Creation Of New Photonics Industries 分光撮像装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018110563A1 (ja) 2016-12-12 2018-06-21 パウダーテック株式会社 ブレーキ摩擦材用酸化鉄粉末
CN110307902A (zh) * 2019-06-27 2019-10-08 南京理工大学 双通道干涉型高光谱成像装置及方法

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