JP2008139652A - 光源装置、スペクトル変調器、及びスペクトル測定装置 - Google Patents
光源装置、スペクトル変調器、及びスペクトル測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008139652A JP2008139652A JP2006326973A JP2006326973A JP2008139652A JP 2008139652 A JP2008139652 A JP 2008139652A JP 2006326973 A JP2006326973 A JP 2006326973A JP 2006326973 A JP2006326973 A JP 2006326973A JP 2008139652 A JP2008139652 A JP 2008139652A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polarization
- light
- polarized light
- wavelength
- spectrum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
【課題】可動部が無く、異なった波長分布の光を放出することができるスペクトル変調器を提供する。
【解決手段】PBS1に入射した光はP偏光、S偏光成分に分けられ、それぞれ偏波保持光ファイバ2、3を通して2つの光路に分けられる。そして、回折格子5で波長分散された光は、各波長ごとに、偏波保持光ファイバ2、3の端面に共役な位置に結像する。この位置にLCOS素子アレイ6が置かれ、変調によって、直線偏光であった入射光が楕円偏光になり、入射した光路を逆にたどって進行する。PBS1に戻ってきた光は、変調されていない光の成分は、最初に入射した方向に戻るが、変調されて偏光状態が逆になった成分の光は、射出光と書かれた方向に射出される。従って、LCOS素子アレイ6の各LCOS素子での変調の度合いを制御することにより、異なったスペクトル分布を有する光を取り出すことができ、スペクトル変調器として使用することができる。
【選択図】 図2
【解決手段】PBS1に入射した光はP偏光、S偏光成分に分けられ、それぞれ偏波保持光ファイバ2、3を通して2つの光路に分けられる。そして、回折格子5で波長分散された光は、各波長ごとに、偏波保持光ファイバ2、3の端面に共役な位置に結像する。この位置にLCOS素子アレイ6が置かれ、変調によって、直線偏光であった入射光が楕円偏光になり、入射した光路を逆にたどって進行する。PBS1に戻ってきた光は、変調されていない光の成分は、最初に入射した方向に戻るが、変調されて偏光状態が逆になった成分の光は、射出光と書かれた方向に射出される。従って、LCOS素子アレイ6の各LCOS素子での変調の度合いを制御することにより、異なったスペクトル分布を有する光を取り出すことができ、スペクトル変調器として使用することができる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、光源装置、スペクトル変調器、及びスペクトル測定装置に関するものである。
現在、さまざまな機器の検査に単色光または所望の分光特性を持った光が必要とされる。このうち、単色光については白色光源などの光を分光器に導くことにより比較的簡単に作ることができる。一方、CCD(特にデジカメなどの可視用のもの)などの検査には、特定の波長分布を持った光が使用される。特定の波長分布を持った光を形成する方法として、従来、多層膜を用いたフィルタが用いられていた。
しかしながら、多層膜を用いたフィルタの場合、比較的安価に作ることができるが、自由にスペクトル分布を作ることは難しい。また、蒸着により多層膜を形成したフィルタは同じものを数多く作る場合、コストを下げることができるが、多くの種類のものを少量作る場合はコストが高くなる。また、特に開発の段階での評価では多くの種類の分光特性を持ったフィルタが要求される。
又、ある波長分布を有する光から、その波長分布と異なる波長分布を有する光を形成するスペクトル変調器は、所望の波長分布を持つ光を形成する目的のために必要とされる。
さらには、従来のスペクトル測定装置は、回折格子やプリズム等の分光素子を回転させて、光量測定装置に入射する光の波長を変えることにより、光のスペクトルを測定していたので、可動部があり、機構が複雑になるという問題点があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、可動部が無く、異なった波長分布の光を放出することができる光源装置、スペクトル変調器、及びスペクトル測定装置を提供することを課題とする。
前記課題を解決するための第1の手段は、光源と、前記光源からの光を、異なる光路を持つP偏光とS偏光とに分離する偏光分離素子と、前記偏光分離素子で分離された前記P偏光と前記S偏光とのそれぞれを伝送する偏波保持光ファイバと、前記偏波保持光ファイバの出射端面より出射する前記P偏光及びS偏光を分光しスペクトラム像を形成する分光器と、前記スペクトラム像の結像位置にライン状に配設され、分光された前記P偏光及びS偏光に対して、波長毎に、所望の量だけ偏光を変調する偏光変調素子を有してなり、前記偏光変調素子により偏光を変調された光を、光路を逆に進行させることによって前記分光器に戻し、そこで、分散された各波長の光を合成し、再び、前記偏波保持光ファイバを逆に通過させて前記偏光分離素子へ戻し、前記偏光分離素子では入射時分離した前記P偏光及びS偏光の各々と偏光状態が直交する成分の光を取り出して出力光とすることを特徴とする光源装置である。
前記課題を解決するための第2の手段は、前記第1の手段であって、前記偏光分離素子は、偏光ビームスプリッタ(PBS)であり、前記偏光変調素子は、液晶偏光変調素子であることを特徴とするものである。
前記課題を解決するための第3の手段は、入射する光を、異なる光路を持つP偏光とS偏光とに分離する偏光分離素子と、前記偏光分離素子で分離された前記P偏光と前記S偏光とのそれぞれを伝送する偏波保持光ファイバと、前記偏波保持光ファイバの出射端面より出射する前記P偏光及びS偏光を分光しスペクトラム像を形成する分光器と、前記スペクトラム像の結像位置にライン状に配設され、分光された前記P偏光及びS偏光に対して、波長毎に、所望の量だけ偏光を変調する偏光変調素子を有してなり、前記偏光変調素子により偏光を変調された光を、光路を逆に進行させることによって前記分光素子に戻し、そこで、分散された各波長の光を合成し、再び、前記偏波保持光ファイバを逆に通過させて前記偏光分離素子へ戻し、前記偏光分離素子では入射時分離した前記P偏光及びS偏光の各々と偏光状態が直交する成分の光を取り出して出力光とすることを特徴とするスペクトル変調器である。
前記課題を解決するための第4の手段は、前記第3の手段であって、前記偏光分離素子は、偏光ビームスプリッタ(PBS)であり、前記偏光変調素子は、液晶偏光変調素子であることを特徴とするものである。
前記課題を解決するための第5の手段は、入射する光を、異なる光路を持つP偏光とS偏光とに分離する偏光分離素子と、前記偏光分離素子で分離された前記P偏光と前記S偏光とのそれぞれを伝送する偏波保持光ファイバと、前記偏波保持光ファイバの出射端面より出射する前記P偏光及びS偏光を分光しスペクトラム像を形成する分光器と、前記スペクトラム像の結像位置にライン状に配設され、分光された前記P偏光及びS偏光に対して、波長毎に、所望の量だけ偏光を変調する偏光変調素子を有してなり、前記偏光変調素子により偏光を変調された光を、光路を逆に進行させることによって前記分光素子に戻し、そこで、分散された各波長の光を合成し、再び、前記偏波保持光ファイバを逆に通過させて前記偏光分離素子へ戻し、前記偏光分離素子では入射時分離した前記P偏光及びS偏光の各々と偏光状態が直交する成分の光を取り出して光量検出器で光量を測定し、前記偏光変調素子による変調量と前記光量検出器で測定された光量の関係より、入射する光の分光特性を求めることを特徴とするスペクトル測定装置である。
前記課題を解決するための第6の手段は、前記第5の手段であって、前記偏光分離素子は、偏光ビームスプリッタ(PBS)であり、前記偏光変調素子は、液晶偏光変調素子であることを特徴とするものである。
本発明によれば、可動部が無く、異なった波長分布の光を放出することができる光源装置、スペクトル変調器、及びスペクトル測定装置を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態の例を図を用いて説明する。図1は、本発明のスペクトル変調器の原理を示す図である。図1に示すスペクトル変調器は、偏光ビームスプリッタ(PBS)や結晶部材などからなる偏光分離部(偏光分離素子)と分光器(分光素子、回折格子を使ったものでもプリズムを使ったものでもかまわない)と偏光変調素子であるLCOS(Liquid Crystal On Silicon)等から構成される。偏光変調素子は、入射する直線偏光を楕円偏光に変換し、その楕円度を制御可能なもの、入射する直線偏光を振動方向が異なった直線偏光に変換し、その方向を制御可能なもの等、入射する光の偏光状態と出射する光の偏光状態を異なったものとし、その異なり具合を制御できるものであればよい。
図の左側からハロゲンランプやキセノンランプのような白色光源からの光を入射する。すると、この白色光は偏光分離部で互いに直交する二つの偏光成分に分離される。その後、この光は分光器に入射し、波長ごとに分散される。図1ではこの分散方向を紙面に垂直な方向としている。そしてこの分散された各々の波長の光が集光する位置にLCOSを配置する。図ではLCOSは紙面に垂直に素子が並ぶライン状のものが二段になっている。二段あるのは偏光分離部で二つに分けたそれぞれの偏光の集光位置に対応させるためである。
分光器で分散された光は、このLCOS等の素子の各々に入射し、ここで波長ごとに偏光状態が変調される。そして、光はLCOSで反射され、再び分光器に入射し、波長ごとに分かれた光が合成されて偏光分離部に入射する。偏光分離部では光源から来た光が分離された際の偏光状態と直交する偏光成分が出射されるようにする。このようにすることにより、白色光源からの光を波長ごとに強度変調することができ所望の分光特性を有する光を作ることができる。すなわち、偏光変調素子によって、入射光を波長毎に変調し、変調された光成分のみを偏光分離部から出射させることにより、スペクトル変調を行っている。
図1に示す構成に光源を付加すれば、可動部が無く、異なった波長分布の光を放出することができる光源装置を実現することができる。又、図1に示す構成に出力光の光量検出器を付加し、偏光変調素子の操作量と光量検出器の出力を演算することにより、スペクトル測定装置を実現することができる。
図2は、本発明の実施の形態であるスペクトル変調器の概要を示す図である。この実施の形態においては、偏光分離部にPBS1を使用している。まずハロゲンランプなどの白色光源からの光をPBS1に入射させる。するとここで入射光はP偏光、S偏光に分離される。分離された光をそれぞれ偏波保持光ファイバ2、3に入射させる。このとき偏波保持光ファイバ2、3の固有偏光の方向をPBS1のP偏光、S偏光の方向に合わせておくと、PBS1で分離された光は偏光状態を保ちながら偏波保持光ファイバ2、3の出射面まで導かれる。以下の説明においては、P偏光は、PBS1のコート面で反射されて偏波保持光ファイバ2に入射し、S偏光はPBS1のコート面を透過して偏波保持光ファイバ3に入射するものとする。
偏波保持光ファイバ2、3から出射した光は、それぞれ凹面ミラー4(平行光生成光学系)に入射し、ここで平行光に変換されて反射され、分光器である回折格子5の入り口まで導かれる。回折格子5に入射した光は波長ごとに分離されて再び凹面ミラー4(集光光学系)に入射し、反射されて、二段のLCOS素子アレイ6に集光されて入射する。LCOS素子アレイ6の面と偏波保持光ファイバ2、3の出射面とは互いに共役とされている。この実施の形態においては、凹面ミラー4を、平行光形成光学系と集光光学系とに共用している。
LCOS素子アレイ6は、単位LCOS素子が、紙面と垂直方向にライン状に並んだもので、各単位LCOS素子は、分散された各波長の光を処理するようにされている。前述のように、このようなライン状に並んだ単位LCOS素子が二段設けられ、それぞれ、P偏光、S偏光の光を受けて処理するようにされている。
そして、このLCOS素子アレイ6に入射した光は、各単位LCOS素子により偏光が変調される。具体的には単位LCOS素子の偏光軸はP偏光、S偏光の光軸に対して45°傾いており、その方向とそれに直交する方向の電場成分に自由に位相差をかけることができるようになっている。変調によって、直線偏光であった入射光が楕円偏光になり、反射されて入射した光路を逆にたどって進行する。そして凹面ミラー4でコリメートされた光は回折格子5に入射し、波長分散されていた光が合成されて凹面ミラー4に入射し、反射されて偏波保持光ファイバ2、3の端面に集光される。偏波保持光ファイバ2、3を通過した光は、PBS1に入射する。
PBS1に戻ってきた光は、前述のように単位LCOS素子で変調され楕円偏光となっているので、PBS1で分離されて偏波保持光ファイバ2に向かったP偏光には、それがPBS1に帰ってきたときにはS偏光成分が含まれている。このうち、P偏光成分は、PBS1のコートで反射されて、入射光と同じ方向に戻っていくが、S偏光成分はPBS1のコートを透過し、図2に射出光と書かれた方向に射出される。
同様、PBS1で分離されて偏波保持光ファイバ3に向かったS偏光には、それがPBS1に帰ってきたときにはP偏光成分が含まれている。このうち、S偏光成分は、PBS1のコートを透過し、入射光と同じ方向に戻っていくが、P偏光成分はPBS1のコートで反射され、図2に射出光と書かれた方向に射出される。
このようにして、図2に射出光と書かれた方向には、単位LCOS素子で変調された成分だけを取り出すことができ、従って、LCOS素子アレイ6の各単位LCOS素子での変調の度合いを制御することにより、異なったスペクトル分布を有する光を取り出すことができ、スペクトル変調器として使用することができる。なお、LCOS素子アレイ6は、P偏光用とS偏光用の2つがあるので、これらを別々に制御することにより、射出光の偏光の状態をも併せて制御することができる。
以上の説明においては、スペクトル変調器としての実施の形態を説明したが、図2に示す光学系に所定の光源を加えれば、これらが、スペクトル分布を制御できる光源として使用できることは明らかである。
又、図2に示す光学系に、射出光の光量を測定する光量検出器を加えれば、これらをスペクトル測定装置として使用することができる。例えば、LCOS素子アレイ6を構成する単位LCOS素子のうち、1つの波長に対応する単位LCOS素子において、入射するP偏光の全て(又は規定%)をS偏光に、入射するS偏光の全て(又は前述の規定%)をP偏光にするような変調をかけ、他の波長については、変調をかけず、P偏光は全量P偏光で反射させ、S偏光は全量S偏光で反射させるようにすれば、変調をかけられた波長の光のみが光量検出器で検出される。この測定を、変調をかける波長を順次変えて行えば、入射光のスペクトル分布を測定することができる。このスペクトル測定器は、機械的な可動部がなく、機構が簡単である。
本実施の形態は、偏光分離素子であるPBS1からの出力光を偏波保持光ファイバ2、3で受け、偏波保持光ファイバ2、3の出力端面間の間隔を非常に小さくすることに特徴を有している。図2に示されるようにLCOS素子アレイ6においては、単位LCOS素子がライン状に並んだものが、P偏光、S偏光に対応して二段に並んでいる。このようなものを製造する場合、半導体プロセスで製造するが、すると、この二段の間隔は非常に小さいものなる。具体的には1素子程度になる。一方、PBS1で分離された光の幅は、PBS1をどんなに小さく作ってもmmオーダの間隔になる。この間隔の違いをマッチングさせるためには、高倍の光学系でリレーすることが考えられる。しかしながら、このようにすると装置の組み立てなどに手間がかかりコストアップにつながる。そこで、この実施の形態においては、偏光分離素子であるPBS1からの出力光を偏波保持光ファイバ2、3で受け、偏波保持光ファイバ2、3の他端面からの光を凹面ミラー4に導くことにしている。よって、図2から分かるように非常にシンプルな構成で、偏波保持光ファイバ2、3の出力端面の間隔を小さくすることができ、その結果、P偏光とS偏光をLCOS素子アレイ6の二段の狭い間隔に対応した位置に結像させることができ、前述の問題を解決することができる。
1…PBS(偏光ビームスプリッタ)、2…偏波保持光ファイバ、3…偏波保持光ファイバ、4…凹面ミラー、5…回折格子、6…LCOS素子アレイ
Claims (6)
- 光源と、前記光源からの光を、異なる光路を持つP偏光とS偏光とに分離する偏光分離素子と、前記偏光分離素子で分離された前記P偏光と前記S偏光とのそれぞれを伝送する偏波保持光ファイバと、前記偏波保持光ファイバの出射端面より出射する前記P偏光及びS偏光を分光しスペクトラム像を形成する分光器と、前記スペクトラム像の結像位置にライン状に配設され、分光された前記P偏光及びS偏光に対して、波長毎に、所望の量だけ偏光を変調する偏光変調素子を有してなり、前記偏光変調素子により偏光を変調された光を、光路を逆に進行させることによって前記分光器に戻し、そこで、分散された各波長の光を合成し、再び、前記偏波保持光ファイバを逆に通過させて前記偏光分離素子へ戻し、前記偏光分離素子では入射時分離した前記P偏光及びS偏光の各々と偏光状態が直交する成分の光を取り出して出力光とすることを特徴とする光源装置。
- 前記偏光分離素子は、偏光ビームスプリッタ(PBS)であり、前記偏光変調素子は、液晶偏光変調素子であることを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
- 入射する光を、異なる光路を持つP偏光とS偏光とに分離する偏光分離素子と、前記偏光分離素子で分離された前記P偏光と前記S偏光とのそれぞれを伝送する偏波保持光ファイバと、前記偏波保持光ファイバの出射端面より出射する前記P偏光及びS偏光を分光しスペクトラム像を形成する分光器と、前記スペクトラム像の結像位置にライン状に配設され、分光された前記P偏光及びS偏光に対して、波長毎に、所望の量だけ偏光を変調する偏光変調素子を有してなり、前記偏光変調素子により偏光を変調された光を、光路を逆に進行させることによって前記分光素子に戻し、そこで、分散された各波長の光を合成し、再び、前記偏波保持光ファイバを逆に通過させて前記偏光分離素子へ戻し、前記偏光分離素子では入射時分離した前記P偏光及びS偏光の各々と偏光状態が直交する成分の光を取り出して出力光とすることを特徴とするスペクトル変調器。
- 前記偏光分離素子は、偏光ビームスプリッタ(PBS)であり、前記偏光変調素子は、液晶偏光変調素子であることを特徴とする請求項3に記載のスペクトル変調器。
- 入射する光を、異なる光路を持つP偏光とS偏光とに分離する偏光分離素子と、前記偏光分離素子で分離された前記P偏光と前記S偏光とのそれぞれを伝送する偏波保持光ファイバと、前記偏波保持光ファイバの出射端面より出射する前記P偏光及びS偏光を分光しスペクトラム像を形成する分光器と、前記スペクトラム像の結像位置にライン状に配設され、分光された前記P偏光及びS偏光に対して、波長毎に、所望の量だけ偏光を変調する偏光変調素子を有してなり、前記偏光変調素子により偏光を変調された光を、光路を逆に進行させることによって前記分光素子に戻し、そこで、分散された各波長の光を合成し、再び、前記偏波保持光ファイバを逆に通過させて前記偏光分離素子へ戻し、前記偏光分離素子では入射時分離した前記P偏光及びS偏光の各々と偏光状態が直交する成分の光を取り出して光量検出器で光量を測定し、前記偏光変調素子による変調量と前記光量検出器で測定された光量の関係より、入射する光の分光特性を求めることを特徴とするスペクトル測定装置。
- 前記偏光分離素子は、偏光ビームスプリッタ(PBS)であり、前記偏光変調素子は、液晶偏光変調素子であることを特徴とする請求項5に記載のスペクトル測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006326973A JP2008139652A (ja) | 2006-12-04 | 2006-12-04 | 光源装置、スペクトル変調器、及びスペクトル測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006326973A JP2008139652A (ja) | 2006-12-04 | 2006-12-04 | 光源装置、スペクトル変調器、及びスペクトル測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008139652A true JP2008139652A (ja) | 2008-06-19 |
Family
ID=39601176
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006326973A Pending JP2008139652A (ja) | 2006-12-04 | 2006-12-04 | 光源装置、スペクトル変調器、及びスペクトル測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008139652A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013152179A (ja) * | 2012-01-26 | 2013-08-08 | Nikon Corp | 分光器及び顕微分光システム |
-
2006
- 2006-12-04 JP JP2006326973A patent/JP2008139652A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013152179A (ja) * | 2012-01-26 | 2013-08-08 | Nikon Corp | 分光器及び顕微分光システム |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2023058479A (ja) | 光計測において照明を提供するためのシステム | |
JP6665532B2 (ja) | 光源装置、照明装置及びプロジェクター | |
TWI545385B (zh) | 光源單元以及投影式顯示裝置 | |
US11906281B2 (en) | Device and method for measuring thickness and refractive index of multilayer thin film by using angle-resolved spectral reflectometry | |
JP6332987B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP4729423B2 (ja) | 光学干渉計 | |
TWI731979B (zh) | 標記檢測裝置及標記檢測方法、測定裝置、曝光裝置及曝光方法以及元件製造方法 | |
JP7081327B2 (ja) | 光源装置及びプロジェクター | |
JP5023707B2 (ja) | チューナブルフィルタ、光源装置、及びスペクトル分布測定装置 | |
KR102327898B1 (ko) | 광학 결합기-분할기를 구비한 이중 파장 이중 간섭계 | |
JP4645173B2 (ja) | 分光器、及びこれを備えている顕微分光装置 | |
JP5286648B2 (ja) | 光源装置、スペクトル変調器、及びスペクトル測定装置 | |
JP2015125424A (ja) | 光学装置、リソグラフィ装置、及び物品の製造方法 | |
JP2008139652A (ja) | 光源装置、スペクトル変調器、及びスペクトル測定装置 | |
WO2017126215A1 (ja) | 位相シフト量測定装置 | |
JPH11183116A (ja) | 光波干渉測定方法および装置 | |
JP2000346612A (ja) | 干渉計および干渉測定方法 | |
JP2001241914A (ja) | 斜入射干渉計用光学系およびこれを用いた装置 | |
JP2006322835A (ja) | 干渉測定装置及びリニアエンコーダ | |
JP2007227973A (ja) | 光遅延素子、照明光学装置、露光装置及び方法、並びに半導体素子製造方法 | |
JP2003194627A (ja) | 分光器 | |
JP2010032785A (ja) | チューナブルフィルタ、光源装置およびスペクトル分布測定装置 | |
JP5311790B2 (ja) | 画像表示装置 | |
JP2004198348A (ja) | 干渉計及び投影露光装置の製造方法 | |
JPH0555114A (ja) | 露光装置 |