JP5022714B2 - 乾燥機 - Google Patents
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Description
(1) ローダハンド3bがテーブル28上に移動し(図6(a))、
(2) ローダハンド3bが下降し、
(3) ローダハンド3bがワーク9を把持し、
(4) テーブル28がワーク9を解放し、
(5) ローダハンド3bが上昇し、
(6) ローダハンド3bが乾燥機41上に移動し(図6(b))、
(7) ローダハンド3bが下降し(図6(c))、
(8) 乾燥機41のチャック49がワーク9を把持し、
(9) ローダハンド3bがワーク9を解放し、
(10) ローダハンド3bが上昇し、
(11) 乾燥機41が回転し(図6(d))、
(12) 回転停止し、
(13) ローダハンド3bが下降し、
(14) ローダハンド3bがワーク9を把持し、
(15) 乾燥機41のチャック49がワーク9を解放し、
(16) ローダハンド3bが上昇し(図6(e))、
(17) ローダハンド3bがワーク9の収納位置に移動する、
という工程で加工済ワークの乾燥(ワーク表面の水分と切粉の除去)を行っていた。
(1) テーブル28が乾燥機41の下に移動し、
(2) 乾燥機のスピン軸42が下降し、
(3) スピン軸のチャック49がワーク9を把持し、
(4) テーブル28がワーク9を解放し、
(5) スピン軸42が上昇し、
(6) スピン軸42が回転し、
(7) その回転が停止し、
(8) ローダハンド3bが乾燥機41の下に移動し、
(9) ローダハンド3bが上昇し、
(10) ローダハンド3bがワーク9を把持し、
(11) スピン軸のチャック49がワーク9を解放し、
(12) ローダハンド3bが下降し、
(13) ローダハンド3bがワーク9収納位置に移動する、
という工程で、乾燥機へのワークのロードアンロードを含む工程が行われる。
(1) テーブル28の旋回により加工済ディスク基板9を保持したワーク受部が乾燥位置6に移動し(図1(a))、
(2) 乾燥機のスピン軸42が下降し(図1(b))、
(3) スピン軸の下端の把持爪48が開いてディスク基板9の内周縁を把持し、
(4) テーブル28がディスク基板9を解放し、
(5) スピン軸42が上昇し(図1(c))、
(6) スピン軸42が回転し(図1(d))、
(7) スピン軸42が回転停止し、
(8) ローダ12bが移動してハンド3bの先端をスピン軸42の下に挿入し(図1(e))、
(9) スピン軸42が下降し(図1(f))、
(10) ハンド3bの吸着パッド20がディスク基板9を吸着し、
(11) スピン軸の把持爪48が縮閉してディスク基板9を解放し、
(12) スピン軸42が上昇し(図1(g))、
(13) ローダハンド3bがワーク収納カセット上に移動する、
という工程で、加工済ディスク基板9に付着した水分や切粉の除去を行って乾燥済ワークをワーク収納位置に搬送する。そして、ローダハンド3bを下向きにし、次いでローダハンド3bが下降した後、当該ハンド先端の吸着パッドの吸着を解くことにより、加工及び乾燥済ワークを収納カセット18bに収納する。
4 待機位置
5 ワーク加工位置
6 ワーク乾燥位置
9 ディスク基板(ワーク)
12b アンロード側ローダ
28 ロータリーテーブル
30 ワーク受部
41 乾燥機
42 乾燥機のスピン軸
49 ワーク把持チャック
Claims (2)
- ワーク受部(30)に載置されたワークをワーク加工位置(5)からワーク乾燥位置(6)に搬送するテーブル(28)と、前記ワーク乾燥位置に停止したワーク受部の直上に昇降可能に配置されて鉛直軸回りに回転駆動されるスピン軸(42)と、このスピン軸の下端に装着された下向きのワーク把持チャック(49)と、上昇した前記スピン軸下端のワーク把持チャックとワーク乾燥位置のワーク受部との間に挿入されるローダハンド(3b)とを備え、前記スピン軸が下降して加工位置から乾燥位置に移動した加工済の円板状ワークを前記ワーク把持チャックで把持して当該スピン軸が上昇して回転することによりスピン乾燥を行い、乾燥済ワークをワーク受部とスピン軸との間に挿入されたローダハンド(3b)に受渡すことを特徴とする、乾燥機。
- 前記テーブル(28)が、鉛直方向の旋回軸(27)を中心とする同一円周上に等間隔に配置された少なくとも3個のワーク受部(30)を備えて前記旋回軸回りに一方向に間歇回転するロータリーテーブルであり、前記ワーク乾燥位置(6)が、前記ロータリーテーブルの間歇回転によりワーク受部の1個がワーク加工位置(5)に位置したときにその旋回方向下流側に隣接するワーク受部が位置する位置であり、かつ、前記ロータリーテーブルの間歇回転によりワーク受部の1個がワーク加工位置(5)に位置したときにその旋回方向上流側のワーク受部が位置する位置を加工前ワークを待機させる待機位置(4)としたことを特徴とする、請求項1記載の乾燥機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007011443A JP5022714B2 (ja) | 2007-01-22 | 2007-01-22 | 乾燥機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007011443A JP5022714B2 (ja) | 2007-01-22 | 2007-01-22 | 乾燥機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008176893A JP2008176893A (ja) | 2008-07-31 |
JP5022714B2 true JP5022714B2 (ja) | 2012-09-12 |
Family
ID=39703793
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007011443A Active JP5022714B2 (ja) | 2007-01-22 | 2007-01-22 | 乾燥機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5022714B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6364648A (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-23 | Toshiba Corp | 光学デイスク用原盤の現像方法 |
JP2802783B2 (ja) * | 1989-09-04 | 1998-09-24 | システム精工株式会社 | ハードディスク基板の洗浄・乾燥装置 |
JPH03192521A (ja) * | 1989-12-21 | 1991-08-22 | Fuji Electric Co Ltd | 薄膜磁気記録媒体の製造方法 |
JP2001216634A (ja) * | 2000-01-31 | 2001-08-10 | Hirata Corp | ディスク洗浄・乾燥装置 |
JP2002251718A (ja) * | 2001-02-21 | 2002-09-06 | Showa Denko Kk | ディスク形ワークの洗浄乾燥装置及び洗浄乾燥方法 |
JP2002251794A (ja) * | 2001-02-23 | 2002-09-06 | Ricoh Co Ltd | フォトレジスト除去装置 |
JP4556245B2 (ja) * | 2006-04-03 | 2010-10-06 | 株式会社太陽 | ハードディスク基板の洗浄・乾燥装置 |
-
2007
- 2007-01-22 JP JP2007011443A patent/JP5022714B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008176893A (ja) | 2008-07-31 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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