JP5022601B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
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Description
また、入射光の波長をλ、焦点距離をf、光入射側媒質の屈折率をn0、光出射側媒質の屈折率をn1、mを非負の整数、前記光透過膜の屈折率の最大値をn0+Δnmaxとした場合において、前記n0に対する差分をΔn(r)とするとき、
Δn(r)=Δnmax[1+m−n1r2/(2λf)]
をほぼ満たすことを特徴とする。
W=a(1+m−n1r2/(2λf))
を満たすことを特徴とする。
これにより、集光素子の膜厚が均一であることから、従来の半導体プレーナープロセスによって集光素子の形成が可能であり、製造コストを低減させることができる。
これにより、正確な屈折率分布を実現することができるため、集光効率が高まる。
また、上記目的を達成するため、本発明に係る固体撮像装置は、入射光を集光する集光素子と受光素子とを備える単位画素が2次元状に設置された撮像領域を有する固体撮像装置であって、前記集光素子は、前記入射光が入射する基板と、前記基板上の前記入射光が入射する位置に形成された、光透過膜の集合体とを備え、前記光透過膜は、前記入射光の波長と同程度か、それより短い幅のゾーン形状を有し、前記光透過膜の集合体が、前記単位画素内の一点からの距離に対応した一つの放物線で表される実効屈折率分布を生じることを特徴とする。
さらに、前記撮像領域の中央付近に配置された前記単位画素の集光素子と、前記撮像領域の周辺付近に配置された単位画素の集光素子とでは、前記光透過膜の線幅が異なることを特徴とする。
さらに、前記撮像領域の中央付近に配置された前記単位画素では、前記受光素子の中心軸と前記集光素子の中心軸が一致するように形成され、前記撮像領域の周辺付近に配置された前記単位画素では、前記受光素子の中心軸より前記集光素子の中心軸が前記撮像領域の中央寄りに形成されていることを特徴とする。
(実施の形態1)
図4は、本発明の実施の形態1に係る単位画素の基本構造を示す断面図である。固体撮像装置(青色光用単位画素)71は、サイズが2.25μm角であり、入射光9を集光する分布屈折率レンズ(「光透過膜の集合体」ともいう。)1、青色光(B)を色分離して透過させるカラーフィルタ2、入射光を電荷に変換する受光素子(Siフォトダイオード)6、電荷を転送するための電気信号伝送部4、Al配線3、平坦化層5、およびSi基板7を備える。なお、上記分布屈折率レンズ1は、所定の膜厚t(例えば、1μm)を有している。
c))でもよいし、低屈折率光透過材料の線幅が一定(図6(d))でも勿論よい。また、各分割領域において、光透過膜の断面が貫通していなくてもよい(図6(e))。つまり、図6(e)に示すように。1つの分割領域において、高屈折率光透過材料が「L字型」に形成され(即ち、低屈折率光透過材料が貫通していなく)、残りの部分に低屈折率光透過材料が形成されていてもよい。この場合、上記図6(a)と図6(e)に示されるように、1つの分割領域における高屈折率光透過材料の体積比が同じであれば、これらは同等の屈折率を有するといえる。
neff={W×nh+(a−W)nl}/a (1)
で表すことができる。ここで、Wは分割領域内の高屈折率光透過材料の線幅(線幅の合計も含む。)、aは各分割領域の幅、nhおよびnlはそれぞれ高屈折率光透過材料および低屈折率光透過膜材料の屈折率をそれぞれ表している。
ここで、入射光の波長をλ、焦点距離をf、光入射側材料(光入射側媒質)の屈折率をn0、光出射側材料(光出射側媒質)の屈折率をn1、非負の整数をm、光透過膜の屈折率の最大値をn0+Δnmax(この場合、Δnmaxは1.53)とし、位置rにおける前記n0に対する屈折率の差分をΔn(r)とする。
W=a(1+m−n1r2/(2λf)) (3)
を満たす。
および、rm < |r| < rm+1であり、
フレネルゾーン境界rm>0は、
rm 2=2mλf/n1
を満たす。なお、本発明に係る分布屈折率レンズの屈折率分布は、各分割領域における放物線の中心値をとるように設計している。
図8(a)〜(c)は、本発明の実施の形態2に係る単位画素の基本構造を示す図である。固体撮像装置の各画素に垂直に入ってきたB光10、G光11およびR光12は、それぞれB用分布屈折率レンズ105、G用分布屈折率レンズ106およびR用分布屈折率レンズ107によって集光され、B用カラーフィルタ13、G用カラーフィルタ14およびR用カラーフィルタ15を通過して、各受光部で電気信号への変換が行われる。本発明に係る分布屈折率レンズ105〜107では、入射光10〜12の波長によって各単位画素のレンズ構造を最適化することが可能であることから、色による集光効率の違いはなくなり高効率に集光することができる。すなわち、B用分布屈折率レンズ105では、同心円状の各分割領域における高屈折率光透過材料の線幅(の合計)の減少率が大きい(即ち、外側になるほど光透過膜の線幅が急激に細くなる)のに対して、G用分布屈折率レンズ106、R用分布屈折率レンズ107となるにつれて、緩やかな線幅の減少(即ち、外側の光透過膜でも線幅が急激に細くならない)となっている。これは、上記(2)式にも示したように、屈折率分布が入射光の波長λに反比例するためである。
図10は、本発明の実施の形態3に係る単位画素の基本構造を示す図である。固体撮像装置72に垂直に入ってきた入射光9は、分布屈折率レンズ1によって集光され、カラーフィルタ2を通過して、受光部(図では省略している。)に到達する。このとき、入射光9の焦点距離19は、これまでに説明したとおり、各単位画素の集光素子であるレンズの構造によって可変させることができでる。
図13は、本発明の実施の形態4に係る単位画素の基本構造を示す図である。固体撮像装置73に特定の角度θで入ってきた入射光9は、分布屈折率レンズ1によって集光され、カラーフィルタ2を通過して、受光部6に到達する。分布屈折率レンズ1のパラメータである焦点距離、波長および膜厚を変化させることによって、高角度入射に強いレンズが形成することが可能である。例えば、本実施の形態では、入射角30°のG光(λ=550nm)に対して、焦点距離2.9μm、レンズ長0.9μmの分布屈折率レンズを形成している。このときの集光効率は50%であり、マイクロレンズの約5倍の集光効率となっている。
図15(a)〜(c)は、本発明の実施の形態5に係る固体撮像装置の基本構造を示す図である。本固体撮像装置は、31万画素のVGAを使用している。図15(a)に示すように、信号光26は光学レンズ27によって集光され、分布屈折率レンズを有する固体撮像装置28上に照射される。受光素子および配線等からなる半導体集積回路8ならびに分布屈折率レンズが2次元状に配列されている固体撮像装置28においては、中心部分の単位画素と周辺部分の単位画素とでは、光の入射角度が異なる。図15(b)に示すように、固体撮像装置28の中心部分の単位画素には入射光31がほぼ0°で入射するのに対して、図15(c)に示すように、周辺部分の単位画素には入射光32が約30°で入射する。
図17(a)〜(d)は、本発明の実施の形態1〜5に係る固体撮像装置の製造工程を示す図である。以下に説明するように、本発明に係る分布屈折率レンズの形成はナノインプリンティングとエッチングによって行う。
2 カラーフィルタ
3 Al配線
4 電気信号伝送部
5 平坦化層
6 受光素子(Siフォトダイオード)
7 Si基板
8 半導体集積回路
9、26 入射光
13 B光用カラーフィルタ
14 G光用カラーフィルタ
15 R光用カラーフィルタ
16 B光用レンズの屈折率分布
17 G光用レンズの屈折率分布
18 R光用レンズの屈折率分布
19 焦点距離
20 短焦点用レンズの屈折率分布
21 中焦点用レンズの屈折率分布
22 長焦点用レンズの屈折率分布
27 光学レンズ
28 固体撮像装置
29 中心部の画素用の分布屈折率レンズ
30 周辺部の画素用の分布屈折率レンズ
31 入射光(中心部)
32 入射光(周辺部)
33 マイクロレンズ
34 入射光(斜め入射)
35 入射光(垂直入射)
70〜73、80 固体撮像装置
101 高屈折率材料(TiO2)
102 低屈折率材料(空気)
103 隣り合う分割領域の幅
104 ゾーンの線幅(合計)
104a、104b ゾーンの線幅
105 B光用分布屈折率レンズ
106 G光用分布屈折率レンズ
107 R光用分布屈折率レンズ
150 ゾーンの線幅(合計)
150a〜150c ゾーンの線幅
200 レジスト
201 TiO2
202 金型
203 Arイオンミリング
204 ウェットエッチング
Claims (5)
- 入射光を集光する集光素子と受光素子とを備える単位画素が2次元状に設置された撮像領域を有する固体撮像装置であって、
前記集光素子は、
光透過膜の集合体を備え、前記光透過膜は、前記入射光の波長と同程度か、それより短い幅のゾーン形状を有し、前記光透過膜の集合体が、前記単位画素内の一点からの距離に対応した一つの放物線で表される実効屈折率分布を生じ、
前記撮像領域の中央付近に配置された前記単位画素の集光素子と、前記撮像領域の周辺付近に配置された単位画素の集光素子とでは、前記光透過膜の線幅が異なり、
前記撮像領域の中央付近に配置された前記単位画素の集光素子よりも、前記撮像領域の周辺付近に配置された単位画素の集光素子のほうが、前記単位画素内の前記光透過膜の線幅の合計が少なく、前記単位画素の内の前記放物線で表される実効屈折率分布の変化が大きい
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 少なくとも、前記入射光のうち第1の色光用の第1の単位画素と、
前記第1の色光の代表波長とは異なる代表波長を有する第2の色光用の第2の単位画素とを備え、
前記第1の単位画素は、第1の集光素子を備え、
前記第2の単位画素は、前記第2の色光の焦点距離が前記第1の集光素子の前記第1の色光の焦点距離と等しい第2の集光素子を備える
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記撮像領域は、当該撮像領域の中央から周辺にかけて複数の同心状の領域で分割され、同一の領域内に属する前記単位画素の前記集光素子の焦点距離は等しく、前記同一の領域外に属する前記単位画素の前記集光素子の焦点距離とは異なる
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - さらに、前記単位画素は、
前記集光素子の出射面側に、受光素子の上部を開口部とする配線層を備え、
前記集光素子で集光された光の焦点が、前記配線層の前記開口部の位置と一致している
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記撮像領域の中央付近に配置された前記単位画素では、前記受光素子の中心軸と前記集光素子の中心軸が一致するように形成され、前記撮像領域の周辺付近に配置された前記単位画素では、前記受光素子の中心軸より前記集光素子の中心軸が前記撮像領域の中央寄りに形成されている
ことを特徴とする請求項4記載の固体撮像装置。
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JP4456040B2 (ja) * | 2005-06-17 | 2010-04-28 | パナソニック株式会社 | 固体撮像素子 |
US7265328B2 (en) * | 2005-08-22 | 2007-09-04 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus providing an optical guide for an imager pixel having a ring of air-filled spaced slots around a photosensor |
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KR100791337B1 (ko) * | 2006-08-11 | 2008-01-03 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
JP2008083189A (ja) | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位相シフトマスクおよび集光素子の製造方法 |
KR100829378B1 (ko) * | 2006-12-27 | 2008-05-13 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 이미지 센서 및 이의 제조 방법 |
JP2008192771A (ja) * | 2007-02-02 | 2008-08-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像素子およびその製造方法 |
US20080259214A1 (en) * | 2007-04-17 | 2008-10-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Video signal processing device, integrated circuit, and imaging apparatus |
TW200913238A (en) * | 2007-06-04 | 2009-03-16 | Sony Corp | Optical member, solid state imaging apparatus, and manufacturing method |
JP5283371B2 (ja) * | 2007-11-29 | 2013-09-04 | パナソニック株式会社 | 固体撮像素子 |
JP2009252978A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-29 | Panasonic Corp | 固体撮像素子およびその製造方法 |
JP2010135212A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Panasonic Corp | 発光素子、それを用いた表示装置および照明装置、ならびに発光素子の製造方法 |
JP5277063B2 (ja) | 2009-04-20 | 2013-08-28 | パナソニック株式会社 | 集光素子、集光素子群および固体撮像装置 |
CN102263187A (zh) | 2010-05-31 | 2011-11-30 | 展晶科技(深圳)有限公司 | 发光二极管封装结构及其制造方法 |
JP5496794B2 (ja) * | 2010-07-01 | 2014-05-21 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置 |
CN103620782B (zh) * | 2011-07-08 | 2016-04-13 | 松下知识产权经营株式会社 | 固体摄像元件以及摄像装置 |
JP6192379B2 (ja) * | 2013-06-18 | 2017-09-06 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
CN103715215B (zh) * | 2013-12-30 | 2018-10-16 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 一种对角度敏感的图像像素单元 |
KR20150089644A (ko) * | 2014-01-28 | 2015-08-05 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
US9690014B2 (en) * | 2015-01-22 | 2017-06-27 | INVIS Technologies Corporation | Gradient index lens and method for its fabrication |
US10186623B2 (en) * | 2016-02-05 | 2019-01-22 | Texas Instruments Incorporated | Integrated photodetector |
US9978789B2 (en) * | 2016-06-06 | 2018-05-22 | Visera Technologies Company Limited | Image-sensing device |
JP6685887B2 (ja) * | 2016-12-13 | 2020-04-22 | 株式会社日立製作所 | 撮像装置 |
WO2019135539A1 (ko) * | 2018-01-03 | 2019-07-11 | 주식회사 엘지화학 | 광학 필름 |
CN110021618B (zh) * | 2019-04-25 | 2022-04-29 | 德淮半导体有限公司 | 一种图像传感器及其制造方法 |
US11711600B2 (en) * | 2019-07-09 | 2023-07-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Meta-optical device and optical apparatus including the same |
KR20210059290A (ko) * | 2019-11-15 | 2021-05-25 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 이미지 센싱 장치 |
JP2022074053A (ja) * | 2020-10-29 | 2022-05-17 | 三星電子株式会社 | 色分離レンズアレイを備えるイメージセンサ及びそれを含む電子装置 |
KR20220104507A (ko) * | 2021-01-18 | 2022-07-26 | 삼성전자주식회사 | 메타렌즈를 구비하는 카메라 및 그를 포함하는 전자 장치 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63147365A (ja) * | 1986-12-10 | 1988-06-20 | Mitsubishi Electric Corp | 固体撮像装置 |
JPH09251943A (ja) * | 1996-03-15 | 1997-09-22 | Toshiba Corp | レジストパターン形成方法および半導体装置 |
JPH11186530A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-09 | Sony Corp | マイクロレンズの形成方法 |
JP2001108812A (ja) * | 1999-10-13 | 2001-04-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光学素子 |
JP2001210812A (ja) * | 2000-01-27 | 2001-08-03 | Canon Inc | 固体撮像装置及びそれを備えた固体撮像システム |
JP2003066229A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-05 | Kyocera Corp | 縞状偏光子 |
JP2003215309A (ja) * | 2001-04-17 | 2003-07-30 | Sony Corp | 反射防止フィルム及び反射防止層付きプラスチック基板 |
JP2003229553A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-15 | Sharp Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4994664A (en) | 1989-03-27 | 1991-02-19 | Massachusetts Institute Of Technology | Optically coupled focal plane arrays using lenslets and multiplexers |
JPH04343471A (ja) * | 1991-05-21 | 1992-11-30 | Nec Corp | 固体撮像素子 |
JPH05251673A (ja) | 1992-03-05 | 1993-09-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光検出装置 |
JP2000039503A (ja) | 1998-07-22 | 2000-02-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レンズアレイ |
EP1107316A3 (en) * | 1999-12-02 | 2004-05-19 | Nikon Corporation | Solid-state image sensor, production method of the same and digital camera |
JP2001318217A (ja) | 2000-05-08 | 2001-11-16 | Japan Science & Technology Corp | 有効屈折率法を用いたブレーズド位相型回折光学素子及びその製造方法 |
JP2002135796A (ja) | 2000-10-25 | 2002-05-10 | Canon Inc | 撮像装置 |
US20040005482A1 (en) | 2001-04-17 | 2004-01-08 | Tomio Kobayashi | Antireflection film and antireflection layer-affixed plastic substrate |
JP4343471B2 (ja) | 2001-12-14 | 2009-10-14 | 山陽特殊製鋼株式会社 | 磁歪部材およびその製造方法 |
JP2003332547A (ja) * | 2002-05-16 | 2003-11-21 | Fuji Film Microdevices Co Ltd | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP3840203B2 (ja) * | 2002-06-27 | 2006-11-01 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及び固体撮像装置を用いたカメラシステム |
JP4109944B2 (ja) * | 2002-09-20 | 2008-07-02 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置の製造方法 |
US7115853B2 (en) * | 2003-09-23 | 2006-10-03 | Micron Technology, Inc. | Micro-lens configuration for small lens focusing in digital imaging devices |
US20060102827A1 (en) | 2004-11-17 | 2006-05-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Solid-state imaging device |
-
2004
- 2004-12-15 EP EP04807109A patent/EP1696249A1/en not_active Withdrawn
- 2004-12-15 JP JP2005516325A patent/JP5022601B2/ja active Active
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- 2004-12-15 CN CNB2004800379474A patent/CN100397105C/zh active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63147365A (ja) * | 1986-12-10 | 1988-06-20 | Mitsubishi Electric Corp | 固体撮像装置 |
JPH09251943A (ja) * | 1996-03-15 | 1997-09-22 | Toshiba Corp | レジストパターン形成方法および半導体装置 |
JPH11186530A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-09 | Sony Corp | マイクロレンズの形成方法 |
JP2001108812A (ja) * | 1999-10-13 | 2001-04-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光学素子 |
JP2001210812A (ja) * | 2000-01-27 | 2001-08-03 | Canon Inc | 固体撮像装置及びそれを備えた固体撮像システム |
JP2003215309A (ja) * | 2001-04-17 | 2003-07-30 | Sony Corp | 反射防止フィルム及び反射防止層付きプラスチック基板 |
JP2003066229A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-05 | Kyocera Corp | 縞状偏光子 |
JP2003229553A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-15 | Sharp Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7851837B2 (en) | 2010-12-14 |
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