JP5022191B2 - 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
本発明に係る欠陥検査方法及び装置の第1の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
次に、本発明に係るパターン領域別検査方式設定を含む検査方法の第2の実施の形態について図15及び図16を用いて説明する。図15は本発明に係る第2の実施の形態において設定箇所選択画面を示す図であり、図16は本発明に係る第2の実施の形態において検査方法の手順を示す図である。第2の実施の形態において、上記第1の実施の形態と相違する点は、指定していない箇所の画像特徴量範囲又は/及び欠陥検出閾値を、指定箇所において設定された画像特徴量範囲又は/及び欠陥検出閾値を基にウェハ上の位置座標を基準して3次元空間で平面で補間し、該補間されたパターン領域毎の画像特徴量範囲を用いてパターン領域の弁別を実行し、さらに、弁別したパターン領域別に上記補間された追加閾値を加味した欠陥検出閾値を適用して欠陥検出を行うことにある。
次に、本発明に係るパターン領域別検査方式設定を含む検査方法の第3の実施の形態について図17及び図18を用いて説明する。図17は本発明に係る第3の実施の形態において検査方法の手順を示す図であり、図18は本発明に係る実施の形態において設定箇所選択画面を示す図である。第3の実施の形態において、第1の実施の形態と相違する点は、CAD図から画像特徴量を算出し、該算出された画像特徴量の散布図上でパターン領域毎の画像特徴量範囲を設定することにある。
次に、本発明に係るパターン領域別検査方式設定を含む検査方法の第4の実施の形態について図19を用いて説明する。図19は本発明に係る第4の実施の形態において、座標範囲設定画面を示す図である。第4の実施の形態において、上記第1の実施の形態と相違する点は、選択されたパターン領域についての座標範囲を検査画像上で指定することにある。
Claims (10)
- 検査対象物を撮像した検査画像と参照画像との差分を算出し、該算出された差分が欠陥検出閾値を超える場合には欠陥と判定する欠陥検査方法であって、
検査対象物上で検査画像または参照画像を取得する領域を指定する領域指定過程と、
該領域指定過程で指定した領域を撮像して得た前記検査画像または前記参照画像についての画像特徴量を算出する算出過程と、
該算出過程で算出された画像特徴量の散布図を作成する作成過程と、
該作成過程で作成された画像特徴量の散布図上で前記検査対象物上に形成されたパターン領域毎の画像特徴量範囲を指定し、該指定したパターン領域毎の画像特徴量範囲と前記算出過程で算出される前記検査画像または前記参照画像についての画像特徴量とを元に各パターン領域を弁別する領域弁別過程と、
該領域弁別過程で弁別したパターン領域毎に欠陥検査方式及び前記欠陥検出閾値を含む感度を指定する指定過程と、
前記検査対象物上の前記領域指定過程で指定していない箇所における画像特徴量範囲または欠陥検出閾値を、前記検査対象物上の前記領域指定過程で指定した箇所における画像特徴量範囲または欠陥検出閾値を基準に補間して算出する補間過程とを有することを特徴とする欠陥検査方法。 - 前記領域弁別過程で弁別したパターン領域を前記検査画像または前記参照画像上に表示する表示過程を有することを特徴とする請求項1記載の欠陥検査方法。
- 更に、前記指定過程で指定された前記パターン領域毎に前記欠陥検査方式及び前記欠陥検出閾値によって判定された欠陥判定結果を画面表示する表示過程を有することを特徴とする請求項1記載の欠陥検査方法。
- 検査対象物を撮像した検査画像と参照画像との差分を算出し、該算出された差分が欠陥検出閾値を超える場合には欠陥と判定する欠陥検査方法であって、
検査対象物のCAD図上で画像特徴量を算出する領域を指定する領域指定過程と、
該領域指定過程で指定された領域について前記CAD図から画像特徴量を算出する算出過程と、
該算出過程で算出された画像特徴量の散布図を作成する作成過程と、
該作成過程で作成された画像特徴量の散布図上で前記検査対象物上に形成されたパターン領域毎の画像特徴量範囲を指定し、該指定したパターン領域毎の画像特徴量範囲と前記算出過程で算出される前記検査画像または前記参照画像についての画像特徴量とを元に各パターン領域を弁別する領域弁別過程と、
該領域弁別過程で弁別したパターン領域毎に欠陥検査方式及び前記欠陥検出閾値を含む感度を指定する指定過程と、
前記検査対象物上の前記領域指定過程で指定していない箇所における画像特徴量範囲または欠陥検出閾値を、前記検査対象物上の前記領域指定過程で指定した箇所における画像特徴量範囲または欠陥検出閾値を基準に補間して算出する補間過程とを有することを特徴とする欠陥検査方法。 - 検査対象物を撮像した検査画像と参照画像との差分を算出し、該算出された差分が欠陥検出閾値を超える場合には欠陥と判定する欠陥検査方法であって、
検査対象物の指定された領域を撮像して得られた前記検査画像または前記参照画像の画像上で、前記検査対象物上の指定された領域に形成されたパターン領域毎の範囲を指定する第1の指定過程と、
前記範囲を指定されたパターン領域毎に欠陥検査方式及び前記欠陥検出閾値を含む感度を指定する第2の指定過程と、
前記検査対象物上の指定していない箇所における画像特徴量範囲または欠陥検出閾値を、前記検査対象物上の指定した箇所における画像特徴量範囲または欠陥検出閾値を基準に補間して算出する補間過程とを有することを特徴とする欠陥検査方法。 - 検査対象物を撮像した検査画像と参照画像との差分を算出し、該算出された差分が欠陥検出閾値を超える場合には欠陥と判定する欠陥検査装置であって、
検査対象物上で検査画像または参照画像を取得する領域を指定する領域指定手段と、
該領域指定手段で指定した領域を撮像して得た前記検査画像または前記参照画像についての画像特徴量を算出する画像処理部と、
該画像処理部で算出された画像特徴量の散布図を作成する作成手段と、
該作成手段で作成された画像特徴量の散布図上で前記検査対象物上に形成されたパターン領域毎の画像特徴量範囲を指定するGUI部と、
該GUI部で指定したパターン領域毎の画像特徴量範囲と前記画像処理部で算出される前記検査画像または前記参照画像についての画像特徴量とを元に各パターン領域を弁別する領域弁別部と、
前記検査対象物上の前記領域指定手段で指定していない箇所における画像特徴量範囲または欠陥検出閾値を、検査対象物上の指定した箇所における画像特徴量範囲または欠陥検出閾値を基準に補間して算出する補間算出手段とを備え、
前記GUI部は、該領域弁別部で弁別したパターン領域毎に欠陥検査方式及び前記欠陥検出閾値を含む感度を指定することを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記GUI部は、更に、前記領域弁別部で弁別したパターン領域を前記検査画像または前記参照画像上に表示することを特徴とする請求項6記載の欠陥検査装置。
- 前記GUI部は、更に、前記指定された前記パターン領域毎に前記欠陥検査方式及び前記欠陥検出閾値によって判定された欠陥判定結果を画面表示することを特徴とする請求項6記載の欠陥検査装置。
- 検査対象物を撮像した検査画像と参照画像との差分を算出し、該算出された差分が欠陥検出閾値を超える場合には欠陥と判定する欠陥検査装置であって、
検査対象物のCAD図上で画像特徴量を算出する領域を指定する領域指定手段と、
該領域指定手段で指定された領域について前記CAD図から画像特徴量を算出する画像処理部と、
該画像処理部で算出された画像特徴量の散布図を作成する作成手段と、
該作成手段で作成された画像特徴量の散布図上で前記検査対象物上に形成されたパターン領域毎の画像特徴量範囲を指定するGUI部と、
該GUI部で指定したパターン領域毎の画像特徴量範囲と前記画像処理部で算出される前記検査画像または前記参照画像についての画像特徴量とを元に各パターン領域を弁別する領域弁別部と
前記検査対象物上の前記領域指定手段で指定していない箇所における画像特徴量範囲または欠陥検出閾値を、検査対象物上の指定した箇所における画像特徴量範囲または欠陥検出閾値を基準に補間して算出する補間算出手段とを備え、
前記GUI部は、該領域弁別部で弁別したパターン領域毎に欠陥検査方式及び前記欠陥検出閾値を含む感度を指定することを特徴とする欠陥検査装置。 - 検査対象物を撮像した検査画像と参照画像との差分を算出し、該算出された差分が欠陥検出閾値を超える場合には欠陥と判定する欠陥検査装置であって、
検査対象物のCAD図上で画像特徴量を算出する領域を指定し、該指定された領域を撮像して得られた前記検査画像または前記参照画像の画像上で、前記検査対象物上に形成されたパターン領域毎の範囲を指定し、さらに、前記範囲を指定されたパターン領域毎に欠陥検査方式及び前記欠陥検出閾値を含む感度を指定するGUI部と、
該GUI部で指定したパターン領域毎の画像特徴量範囲と前記検査画像または前記参照画像の画像特徴量とを元に各パターン領域を弁別する領域弁別部と、
前記検査対象物上の前記画像特徴量を算出する領域として指定していない箇所における画像特徴量範囲または欠陥検出閾値を、検査対象物上の指定した箇所における画像特徴量範囲または欠陥検出閾値を基準に補間して算出する補間算出手段とを備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
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