JP5114302B2 - パターン検査方法,パターン検査装置及びパターン処理装置 - Google Patents
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Description
Lの間隔の間にP3とP4がある場合:下に凸のラインエンド
Lの間隔の間にP1とP3がある場合:左に凸のラインエンド
Lの間隔の間にP2とP4がある場合:右に凸のラインエンド
また、各コーナー間は直線部と考えることができる。また、コーナー間の長さがある特定の長さ以上の場合を直線部としても良い。また、線検出フィルタを用いて直線部を検出してもよい。ラインの幅Lはユーザーが指定してもよい。
2 設定部
3 異常通知部
4 表示部
5 モード切替SW
10 基準パターン記憶部
11 撮像パターン記憶部
12 許容範囲生成部
13 異常判定部
121 部位検出部
122 変形量検出部
123 基準パターン修正部
124 許容範囲生成部
125 部分変形量算出部
126 全体変形量算出部
1231 部分修正部
1232 全体修正部
1233 オフセット補正部
1234 傾き補正部
1251 端点検出部
1252 コーナー検出部
1253 直線検出部
1254 変形量記憶部
1261 傾き検出部
1262 オフセット検出部
1263 全体変形量記憶部
1264 傾き補正部
1265 変形量再算出部
1266 全体オフセット算出部
1267 各部位変形量決定部
Claims (12)
- 電子デバイスパターンを撮像して得た対象パターンの画像を基に、パターンの変形の許容範囲を用いて欠陥等の異常を検出するパターン検査装置において、
異常を検出する対象パターンに対応する基準パターンに基づくデータを記憶する基準パターン記憶手段と、
前記対象パターンを撮像して得た画像データに基づくデータを記憶する画像データ記憶手段と、
前記基準パターン記憶手段に記憶された基準パターンに基づくデータのパターンの一部であるパターン端部が、前記画像データの記憶手段の撮像画像データに基づくデータの対応するパターン端部の位置となるように、当該基準パターンに基づくデータのパターン端部を選択的に修正する基準パターン修正手段と、
当該修正された基準パターンを基に前記許容範囲を設定し、前記対象パターンの輪郭が、当該許容範囲外にある場合に、前記対象パターンを異常と判定する異常判定手段を設けたことを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項1のパターン検査装置において、
前記基準パターン記憶手段の基準パターンに基づくデータと、前記画像データ記憶手段の撮像画像データに基づくデータを用いて、変形量データを求める変形量検出手段と、
前記基準パターン記憶手段の基準パターンに基づくデータと、前記変形量検出手段の変形量データに基づいて、対象パターンの許容範囲に基づくデータを生成する許容範囲生成手段を備えたことを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項2のパターン検査装置において、
前記基準パターン記憶手段からの基準パターンに基づくデータから、パターンの部位を検出する部位検出手段とを備え、
前記変形量検出手段は、前記対象パターンを撮像して得た画像データに基づくデータと、前記部位検出手段のパターン部位に基づくデータに基づいて、変形量を求めることを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項3のパターン検査装置において、
前記基準パターン修正手段は、前記変形量検出手段の変形量データに基づいて前記基準パターンに基づくデータを修正するものであって、
前記基準パターン修正手段の修正したパターンに基づくデータに基づいて、対象パターンの許容範囲に基づくデータを生成する許容範囲生成部とを備え、
前記異常判定手段は、当該許容範囲生成部で生成された許容範囲に基づくデータと前記画像データ記憶手段の撮像画像データを用いて、対象パターンの異常を判定することを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項4のパターン検査装置において、
前記変形量データは、パターン画像の位置情報及びまたは傾きに基づく値であることを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項4又は請求項5のパターン検査装置において、
前記基準パターン修正手段は、基準パターンに基づくデータを全体的に修正する全体修正手段と、部分的に修正する部分修正手段を備えることを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項1のパターン検査装置において、
基準パターンに基づくデータは、対象パターンに対応した半導体装置の設計データに基づくデータであることを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項1のパターン検査装置において、
基準パターンに基づくデータは、パターンを撮像して得た画像データに基づくデータであることを特徴とするパターン検査装置。 - 電子デバイスパターンを撮像して得た対象パターンの画像を基に、パターンの変形の許容範囲を用いて欠陥等の異常を検出するパターン検査方法において、
異常を検出する対象パターンに対応する基準パターンデータを記憶すること、
前記対象パターンを撮像して得た画像データを記憶すること、
前記基準パターンデータのパターン端部が部分的に、撮像画像データの対応するパターン端部の位置となるように、当該基準パターンに基づくデータのパターン端部を修正すること、
当該修正された基準パターンを基に前記許容範囲を設定し、前記対象パターンの輪郭が、当該許容範囲外にある場合に、前記対象パターンを異常と判定することを特徴とするパターン検査方法。 - 請求項9のパターン検査方法において、
前記基準パターンデータと、前記撮像画像データを用いて変形量データを求めること、
前記基準パターンデータと、前記変形量データに基づいて、対象パターンの許容範囲に基づくデータを生成することを特徴とするパターン検査方法。 - 請求項10のパターン検査方法において、
前記基準パターンデータから、パターンの部位を検出すること、
該パターンの部位に基づくデータと撮像画像データを用いて、対象パターンの異常を判定することを特徴とするパターン検査方法。 - 請求項11のパターン検査方法において、
前記基準パターンデータを前記変形量データに基づいて修正すること、
該修正した基準パターンデータに基づいて、対象パターンの許容範囲に基づくデータを生成すること、
該許容範囲に基づくデータと撮像画像データを用いて、対象パターンの異常を判定することを特徴とするパターン検査方法。
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