JP5017930B2 - 半導体装置、はんだバンプ接続用基板の製造方法及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
(付記1)第1基板の主面に形成された複数の第1電極と、前記第1電極に対応して第2基板の主面に形成された複数の第2電極とを対向させてはんだバンプにより接続し、前記第1及び第2基板の前記主面間をアンダフィルで充填された半導体装置造において、
夫々のはんだバンプ間に絶縁物からなる柱状構造物を有する半導体装置。
(付記2)前記柱状構造物が、最近接位置にある前記はんだバンプの間に設けられていることを特徴とする付記1記載の半導体装置。
(付記3)さらに、前記柱状構造物が第2近接位置にある前記はんだバンプ間にも設けられていることを特徴とする付記1又は2記載の半導体装置。
(付記4)前記柱状構造物が、感光性絶縁樹脂からなることを特徴とする付記1、2又は3記載の半導体装置。
(付記5)主面に形成された複数の電極と、前記電極上に形成されたはんだバンプとを有するはんだバンプ接続用基板において、
前記はんだバンプ接続用基板の前記主面に立設された絶縁物からなる柱状構造物が、最近接位置にある前記はんだバンプの間に設けられていることを特徴とするはんだバンプ接続用基板。
(付記6)第1基板を、前記第1基板の主面に形成された複数のはんだバンプを用いて接続するための複数の電極を主面に備えたはんだバンプ接続用基板において、
前記はんだバンプ接続用基板の前記主面に立設された絶縁物からなる柱状構造物が、最近接位置にある前記電極間に設けられていることを特徴とするはんだバンプ接続用基板。
(付記7)さらに、前記柱状構造物が第2近接位置にある前記はんだバンプ間にも設けられていることを特徴とする付記5又は6記載のはんだバンプ接続用基板。
(付記8)前記柱状構造物が、感光性絶縁樹脂からなることを特徴とする付記5、6又は7記載のはんだバンプ接続用基板。
(付記9)基板の主面に複数の電極を形成する工程と、
前記電極上にはんだバンプを形成する工程と、
前記基板上に感光性絶縁樹脂層を形成する工程と、
前記感光性絶縁樹脂層を露光及び現像して、最近接位置にある前記電極間に前記感光性絶縁樹脂層からなる柱状構造物を形成する工程とを有することを特徴とするはんだバンプ接続用基板の製造方法。
(付記10)前記柱状構造物を、第2近接位置にある前記電極間に形成することを特徴とする付記9記載のはんだバンプ形成用基板の製造方法。
(付記11)前記柱状構造物の形成工程後に、前記はんだバンプを形成することを特徴とする付記9またと10記載のはんだバンプ接続用基板の製造方法。
(付記12)基板の主面に複数の電極を形成する工程と、
前記電極上にはんだバンプを形成する工程と、
前記基板上に感光性絶縁樹脂層を形成する工程と、
前記感光性絶縁樹脂層を露光及び現像して、最近接位置にある前記電極間に前記感光性絶縁樹脂層からなる柱状構造物を形成する工程と、
前記第1電極に対応して主面に形成された複数の第2電極を備えた第2基板の前記主面上に、前記第1電極と前記第2電極とを対向させて前記はんだバンプにより接続する工程と、
前記第1及び第2基板の前記主面間をアンダフィルで充填する工程とを有することを特徴とすることを特徴とする半導体装置の製造方法。
1a、2a 電極
1b 絶縁膜
2 第2基板
3、3−1、3−2 はんだバンプ
4、4−2、4A〜4D、4−2A〜4−2D 柱状構造物
4a 柱状構造物
5 アンダーフィル
6 スペーサ
7 感光性絶縁樹脂層
10、20 はんだバンプ接続用基板
30 フリップチップ
41 LSI
41a、42a 電極
42 電子回路基板
43 はんだバンプ
44 網状スペーサ
Claims (5)
- 第1基板の主面に形成された複数の第1電極と、前記第1電極に対応して第2基板の主面に形成された複数の第2電極とを対向させてはんだバンプにより接続し、前記第1及び第2基板の前記主面間をアンダフィルで充填された半導体装置において、
一端が前記第1又は第2基板の一方の前記主面上に固定して立設され、他端が前記第1又は第2基板の他方の前記主面との間に隙間を有する絶縁物からなる柱状構造物が、夫々のはんだバンプ間に設けられたことを特徴とする半導体装置。 - 前記柱状構造物が、最近接位置にある前記はんだバンプの間に設けられていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- さらに、前記柱状構造物が第2近接位置にある前記はんだバンプ間にも設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の半導体装置。
- 基板の主面に複数の電極を形成する工程と、
前記電極上にはんだバンプを形成する工程と、
前記基板上に前記はんだバンプの高さより薄い感光性絶縁樹脂層を形成する工程と、
前記感光性絶縁樹脂層を露光及び現像して、最近接位置にある前記電極間に前記感光性絶縁樹脂層からなる柱状構造物を形成する工程と、
前記第1電極に対応して主面に形成された複数の第2電極を備えた第2基板の前記主面上に、前記柱状構造物の高さより高いスペーサを介在させて、前記第1電極と前記第2電極とを対向させて前記はんだバンプにより接続する工程と、を有することを特徴とするはんだバンプ接続用基板の製造方法。 - 基板の主面に複数の電極を形成する工程と、
前記電極上にはんだバンプを形成する工程と、
前記基板上に前記はんだバンプの高さより薄い感光性絶縁樹脂層を形成する工程と、
前記感光性絶縁樹脂層を露光及び現像して、最近接位置にある前記電極間に前記感光性絶縁樹脂層からなる柱状構造物を形成する工程と、
前記第1電極に対応して主面に形成された複数の第2電極を備えた第2基板の前記主面上に、前記第1及び第2基板の間隔が前記柱状構造物の高さより大きくなるように、前記第1電極と前記第2電極とを対向させて前記はんだバンプにより接続する工程と、
前記第1及び第2基板の前記主面間をアンダフィルで充填する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
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KR20200013202A (ko) * | 2018-07-27 | 2020-02-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | 구동칩, 회로기판 어셈블리 및 이를 포함하는 표시 장치 |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090127703A1 (en) * | 2007-11-20 | 2009-05-21 | Fujitsu Limited | Method and System for Providing a Low-Profile Semiconductor Assembly |
JP2009192796A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Seiko Instruments Inc | 液晶表示装置 |
JP5515251B2 (ja) * | 2008-08-01 | 2014-06-11 | 富士電機株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP5385004B2 (ja) * | 2009-05-22 | 2014-01-08 | 富士通テン株式会社 | 回路部品 |
US8424748B2 (en) * | 2009-12-21 | 2013-04-23 | Intel Corporation | Solder in cavity interconnection technology |
JP5505171B2 (ja) * | 2010-07-30 | 2014-05-28 | 富士通株式会社 | 回路基板ユニット、回路基板ユニットの製造方法、及び電子装置 |
JP2012049221A (ja) * | 2010-08-25 | 2012-03-08 | Toppan Printing Co Ltd | 太陽電池モジュールとその製造方法とバックシート付き回路層と太陽電池 |
US8710654B2 (en) * | 2011-05-26 | 2014-04-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP6189181B2 (ja) * | 2013-11-06 | 2017-08-30 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP6515047B2 (ja) * | 2016-03-11 | 2019-05-15 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
CN110383440A (zh) * | 2017-02-17 | 2019-10-25 | 索尼半导体解决方案公司 | 半导体装置、芯片状半导体元件、配备有半导体装置的电子设备以及制造半导体装置的方法 |
KR102318773B1 (ko) * | 2017-09-19 | 2021-10-28 | 구글 엘엘씨 | 칩 간 정밀 이격용 정지부로서의 필라들 |
WO2019146252A1 (ja) * | 2018-01-23 | 2019-08-01 | 株式会社村田製作所 | 基板接合構造、および基板の接合方法 |
JP2020107834A (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-09 | 大日本印刷株式会社 | 電子ユニット |
JP7142604B2 (ja) * | 2019-05-15 | 2022-09-27 | 日本特殊陶業株式会社 | 配線基板およびその製造方法 |
JP7321009B2 (ja) * | 2019-07-01 | 2023-08-04 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板、接合型配線基板及び配線基板の製造方法 |
JP7293056B2 (ja) * | 2019-09-12 | 2023-06-19 | キオクシア株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2021129084A (ja) * | 2020-02-17 | 2021-09-02 | キオクシア株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JPWO2022239711A1 (ja) * | 2021-05-10 | 2022-11-17 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61203648A (ja) * | 1985-02-15 | 1986-09-09 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | はんだ接続体を有する回路装置 |
JPH01152637A (ja) * | 1987-12-09 | 1989-06-15 | Nec Corp | 半導体素子の実装方法 |
JP2907168B2 (ja) * | 1996-12-20 | 1999-06-21 | 日本電気株式会社 | 半導体装置および半導体装置と基板の接合構造 |
JP2001351942A (ja) * | 2000-06-08 | 2001-12-21 | Toshiba Corp | 半導体装置および電子回路ユニット |
JP2004134653A (ja) * | 2002-10-11 | 2004-04-30 | Sharp Corp | 基板接続構造およびその基板接続構造を有する電子部品の製造方法 |
JP2006100552A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Rohm Co Ltd | 配線基板および半導体装置 |
-
2006
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104471680A (zh) * | 2012-07-16 | 2015-03-25 | 美光科技公司 | 垫上柱体互连结构、半导体裸片及包含所述互连结构的裸片组合件及相关方法 |
CN104471680B (zh) * | 2012-07-16 | 2018-02-16 | 美光科技公司 | 垫上柱体互连结构、半导体裸片、裸片组合件及相关方法 |
KR20200013202A (ko) * | 2018-07-27 | 2020-02-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | 구동칩, 회로기판 어셈블리 및 이를 포함하는 표시 장치 |
KR102150260B1 (ko) * | 2018-07-27 | 2020-09-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 구동칩, 회로기판 어셈블리 및 이를 포함하는 표시 장치 |
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