JP5017621B2 - サファイヤ基板とその製造方法 - Google Patents
サファイヤ基板とその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5017621B2 JP5017621B2 JP2000236119A JP2000236119A JP5017621B2 JP 5017621 B2 JP5017621 B2 JP 5017621B2 JP 2000236119 A JP2000236119 A JP 2000236119A JP 2000236119 A JP2000236119 A JP 2000236119A JP 5017621 B2 JP5017621 B2 JP 5017621B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sapphire substrate
- manufacturing
- substrate
- sapphire
- plane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Led Devices (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体成長用サファイヤ基板とその製造方法に関するものであり、特にIII族窒化物半導体もしくは窒化ガリウム系化合物半導体をエピタキシャル成長させるためのサファイヤ基板とその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、青色発光素子素材であるIII族窒化物半導体や窒化ガリウム系化合物半導体等(以下、双方を含んでGaN等と称する)のエピタキシャル成長用基板として、サファイヤ(Al2O3)基板が知られ、用いられている。これはサファイヤの格子定数がGaN等の格子定数と比較的近似しているため、GaN等をエピタキシャル成長させやすく、且つ、その種の基板材料の中では最も価格が安いためである。
【0003】
図4はエピタキシャル成長用サファイヤ基板の外観形状の一例を示した斜視図である。図示するようにサファイヤ基板2は円盤形状であり、その直径は約50.8mm(2インチ)もしくは約76.2mm(3インチ)、厚みは0.2〜1.0mm程度である。サファイヤ基板2の表面8は、GaN等を良好にエピタキシャル成長させるために平滑に研磨加工される。
【0004】
前記サファイヤ基板に代表される従来のエピタキシャル成長用基板では、前記平滑研磨後に、GaN等をエピタキシャル成長させるために1000℃程度の温度で結晶成長が行われていた。しかしながら常温に戻した成長後の結晶(GaN)に特殊なエッチング処理を施すと、図5の平面図に示すように、結晶中に細かな線状の欠陥5が発見される。この欠陥5はエピタキシャル成長用基板に内在する潜傷が原因で発生すると考えられている。この欠陥5のために青色発光素子製品の歩留りを一定以上に向上できないという問題点があったが、前記潜傷を除去する方法が提案されている。
【0005】
この方法はエピタキシャル成長用基板に研磨加工を施し、次いでこの基板を電気炉を用いて大気雰囲気中で熱処理(アニール処理)して、基板に内在する潜傷を除去するというものである。こうすると簡単な工程の追加のみで潜傷が除去されるため、青色発光素子製品の生産性が向上するという大きな効果を奏する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし前記の潜傷除去方法では、アニール処理の際、図6に示すように平板状治具4の上にエピタキシャル成長用基板10を面接触で載置するため、アニール処理の高温により基板表面11が治具4と反応し、焼き付きを起こしてしまうことがあった。
【0007】
また、その焼き付きを防ぐため、図7に示すように基板10の周縁部を棒状の治具12で3点支持して、基板10と治具12との接触箇所をできるだけ小さくしてアニール処理を行う方法も考案されていたが、このアニール処理では、電気炉内の雰囲気に気体の流動が生じるため、その雰囲気の流動や熱処理によって、基板表面11に汚れの溶着や炉芯管内の雰囲気中のゴミの付着等が起こり易かった。
【0008】
以上の焼き付き、及び汚れやゴミの溶着・付着によって基板表面は荒れやすくなり、この荒れが基板の品質低下を招いていた。
【0009】
更に、従来の潜傷除去方法のように、基板表面を平滑研磨した後にアニール処理を施すと、潜傷は除去できるものの、基板表面に荒れが発生するという問題点もあった。
【0010】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであって、基板表面の荒れを除去してエピタキシャル成長用基板、特にサファイヤ基板の品質を高めることを目的とするものである。
【0011】
上記の目的を達成するために、請求項1に記載のサファイヤ基板の製造方法は、サファイヤ基板を研磨する第1の研磨工程と、第1の研磨工程により研磨されたサファイヤ基板をアニール処理する工程とを含む、半導体エピタキシャル成長用サファイヤ基板の製造方法において、前記アニール処理の際、治具によりサファイヤ基板の周縁部を線接触支持して両面を非接触状態で空隙を設けつつ覆ってアニール温度1300℃〜1900℃の範囲でアニール処理することにより潜傷を除去する工程と、アニール処理されたサファイヤ基板のうち、少なくとも前記エピタキシャル成長に使用する側の表面を前記エピタキシャル成長に適した状態まで再び研磨する第2の研磨工程と、を含む。
【0012】
また、請求項2に記載のサファイヤ基板の製造方法は、請求項1に記載のサファイヤ基板の製造方法において、前記治具が、前記サファイヤ基板の表面の大きさと同等、又は前記サファイヤ基板の表面より大きい略凹部を有する形状の部材と、または/且つ、前記サファイヤ基板の他方の面を空隙を設けつつ覆う蓋状の部材からなり、前記凹部は、前記治具と前記サファイヤ基板の表面が非接触状態になるように前記サファイヤ基板を周縁部で支持して、前記サファイヤ基板の表面との間に空隙を形成する形状である。
【0013】
また、請求項3に記載のサファイヤ基板の製造方法は、請求項1又は2に記載のサファイヤ基板の製造方法において、前記治具がサファイヤ材からなる。
【0015】
また、請求項4に記載のサファイヤ基板の製造方法は、請求項1乃至3の何れかに記載のサファイヤ基板の製造方法において、前記アニール処理の工程におけるアニール時間を1時間〜24時間の範囲とする。
【0016】
また、請求項5に記載のサファイヤ基板の製造方法は、請求項1乃至4の何れかに記載のサファイヤ基板の製造方法において、前記サファイヤ基板にエピタキシャル成長させる半導体がIII族窒化物半導体もしくは窒化ガリウム系化合物半導体である。
【0017】
また、請求項6に記載のサファイヤ基板の製造方法は、請求項1乃至5の何れかに記載のサファイヤ基板の製造方法において、前記第1の研磨工程および第2の研磨工程により研磨される側の基板の表面をc面とする。
【0018】
また、請求項7に記載のサファイヤ基板の製造方法は、請求項1乃至5の何れかに記載のサファイヤ基板の製造方法において、前記第1の研磨工程および第2の研磨工程により研磨される側の基板の表面をa面あるいはr面とする。
【0019】
また、請求項8に記載のサファイヤ基板の製造方法は、請求項1乃至5の何れかに記載のサファイヤ基板の製造方法において、前記サファイヤ基板に、オフ基板を用いる。
【0020】
また、請求項9に記載のサファイヤ基板は、請求項1乃至8の何れかに記載のサファイヤ基板の製造方法により製造される。
【0021】
【実施例】
以下、本発明の実施例を図面を参照しながら詳細に説明する。図1は本実施例の一例であるサファイヤ基板の製造工程を示したフローチャートである。ここではc面を結晶成長面とするサファイヤ基板の製造工程について説明する。まずc面を結晶成長面とする平板形状の原基板を作成する(ステップS101)。この平板形状の原基板は、本出願人がすでに出願済みの特願平12−137781号「単結晶材製造方法、シード基板、ダイおよび単結晶材製造装置」により結晶成長させた単結晶板を円形に切り出して作成してもよい。
【0022】
次に原基板の片側表面に研磨を施す(ステップS102)。この研磨は前記c面がエピタキシャル成長可能な程度になるまで平滑研磨する工程である。次に、研磨されたサファイヤ基板を、電気炉を用いて大気雰囲気中でアニール処理する(ステップS103)。このアニール処理によってサファイヤ基板の潜傷を除去しようとするものである。請求項1と4に記載のように、アニール温度は1300℃〜1900℃程度、アニール時間は1時間〜24時間の範囲で適宜変更可能であるが、最も好ましい組み合わせは約1700℃前後・8時間程度であった。このアニール処理によりサファイヤ基板の潜傷が完全に除去されたことが確認された。
【0023】
なお上記アニール温度とアニール時間の範囲は次のような理由から決定した。まずアニール温度は、1300℃未満ではサファイヤ基板の潜傷が完全に除去されないこと、一方1900℃を超えて設定しようとする場合、電気炉を所望する温度範囲まで加熱することが困難であるということから決定した。またアニール時間に関しては、1時間未満ではサファイヤ基板の潜傷が完全に除去されないこと、一方24時間を超えて設定した場合、潜傷は完全に除去されるもののサファイヤ基板の表面の荒れが激しくなることから決定した。
【0024】
図2はアニール処理するサファイヤ基板2を、保持台1と蓋3からなる治具に載置した状態を示す断面図である。同図において保持具1は、円盤形状のサファイヤ基板2の半径より大きな径寸法を有する底浅の略半球状凹部を有する形状であり、サファイヤ基板2を基板周縁部9で線接触支持する。c面6とその反対側の表面8とは治具に非接触状態で支持される。サファイヤ基板2はc面6を下側に向け、基板周縁部9で前記略半球状凹部に線接触支持されるため、結果的にc面6と前記半球状凹部とで閉微少空間7aが形成される。このような保持具1とサファイヤ基板2のセットを多数積層し、最上部のセットをサファイヤ製の蓋3で覆うことで、全ての基板の表面8上に閉微少空間7bを形成する。なお蓋3の代わりに保持具1で最上部のセットを覆って閉微少空間7bを形成してもよい。
【0025】
以上のように、治具の形状を基板2の両面を覆う密封形状にしたので、上記アニール処理の雰囲気の流動による、c面6及び表面8の汚れの溶着や雰囲気中のゴミの付着による表面の荒れを防止して、基板2の製品品質を高めることが可能となる。なお治具の材料はサファイヤ材が最も好ましい。その理由は治具をサファイヤ材にすることでアニール処理の高温処理に耐えられると同時に、基板2と同材料にすることで、高温での治具材料の拡散によるc面6及び表面8の荒れを防止するためである。
【0026】
以上により、基板2の両面が、保持具1と蓋3とで覆われて、気体の流動のほとんどない閉微少空間7a・7bを形成するため、アニール処理における基板両面の汚れやゴミ等の付着を防止できる。また、保持台1と基板2の接触箇所は、基板周縁部9だけに限られるため従来の平板状治具4(図6図示)に比して大幅に低減される。従って結晶成長面(c面6)の焼き付きを防止することができる。
【0027】
なお、保持具1と蓋3の形状は上記の機能を有する範囲内で種々変更可能であることはいうまでもなく、例えば保持台1の前記略半球状凹部を図3(a)、(b)の断面図に示すように外周部に略テーパ状の面を有した凹部形状にしてもよい。
【0028】
前記ステップS102と、前記ステップS103によりサファイヤ基板に内在する潜傷は除去できるものの、前記ステップS103後に先述したように基板両面に荒れが発生する。そこで、ステップS102と同様に、エピタキシャル成長可能な程度まで、アニール処理したサファイヤ基板の結晶成長面(c面)を平滑に再度研磨する(ステップS104)。この工程は仕上げの微細最終研磨のみで前記c面の荒れを取り除き、サファイヤ基板の品質を高めるものである。
【0029】
以上の工程を経て得られたサファイヤ基板を用いて、GaN等をエピタキシャル成長させたところ、非常に良好なGaN等の単結晶が得られた。
【0030】
なお、上記本実施例ではc面を結晶成長面とするc面サファイヤ基板を用いて説明したが、a面もしくはr面を結晶成長面とする、いわゆるa面サファイヤ基板もしくはr面サファイヤ基板についても、図1に示す工程により製造することができる。なお、a面サファイヤ基板やr面サファイヤ基板についてのアニール温度は1300℃〜1900℃とすることにより、非常に良好なGaN等の単結晶が得られることを確認した。
【0031】
また、前記c面、a面、r面に対し任意のオフ角だけ傾いたサファイヤ基板(以下、オフ基板と称する)を用いて図1に示す工程により、エピタキシャル成長用基板を製造してもよく、前記c面、a面、r面サファイヤ基板をエピタキシャル成長に用いた場合に比べ、より特性の良好なエピタキシャル層を成長させることが可能であるとともに、オフ基板の品質も高めることが可能である。
【0032】
以上説明したように、請求項1、2、5に記載のサファイヤ基板の製造方法は治具でサファイヤ基板表面に閉空間を形成するとともに、アニール処理後のサファイヤ基板に研磨を施すことによって、アニール処理の際の汚れの溶着や雰囲気中のゴミの付着、あるいはアニール処理後の表面の荒れを除去することができるので、GaN等のエピタキシャル成長用のサファイヤ基板の品質を高めることが可能となる。
【0033】
また、請求項3に記載のサファイヤ基板の製造方法は、治具をサファイヤ製にすることで基板と同材料にし、アニール処理の高温処理における治具材料の拡散による基板表面の荒れを防止することができ、サファイヤ基板の品質をより一層高めることが可能となる。
【0034】
また、請求項1、4、6、7に記載のサファイヤ基板の製造方法は、前記第1の研磨工程および第2の研磨工程により研磨される側の表面をサファイヤのc面、a面、r面の何れかとし、前記第2のアニール処理工程におけるアニール温度を1300℃〜1900℃、アニール時間を1時間〜24時間の範囲としたので、サファイヤの融点(2050℃)より低いアニール温度でc面、a面、あるいはr面サファイヤ基板の表面の荒れを防止することができ、これによりc面、a面、あるいはr面サファイヤ基板の品質を高めることが可能となる。
【0035】
また、請求項8に記載のサファイヤ基板の製造方法は、エピタキシャル成長用基板にオフ基板を用いることにより、より特性の良好なエピタキシャル層を成長させることが可能になると共に、オフ基板の品質を高めることも可能となる。
【0036】
また、請求項9に記載のサファイヤ基板は、請求項1乃至8の何れかに記載のサファイヤ基板の製造方法により製造されるので、基板表面の荒れが防止された、品質の高いサファイヤ基板が得られるので、サファイヤ基板の歩留りが向上すると共に青色発光素子の発光の効率化が図れるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本実施例のサファイヤ基板の製造工程の一例を示したフローチャート。
【図2】 本実施例のアニール処理の際のサファイヤ基板とその治具との載置状態を示した断面図。
【図3】(a) 保持台の基板支持用凹部の、他の事例を示す断面図。
(b) 保持台の基板支持用凹部の、更に他の事例を示す断面図。
【図4】 エピタキシャル成長用の一般的なサファイヤ基板の外観の一例を示した斜視図。
【図5】 表面に細かな線状の欠陥を伴った結晶成長後のサファイヤ基板の様子を示した平面図。
【図6】 従来の、基板と平板状治具との載置状態を示す断面図。
【図7】 従来の、基板と3点支持用治具との載置状態を示す斜視図。
【符号の説明】
1・・・保持具
2・・・サファイヤ基板
3・・・蓋
4・・・平板状治具
5・・・欠陥
6・・・c面
7a、7b・・・閉微少空間
8・・・サファイヤ基板の表面
9・・・基板周縁部
10・・・エピタキシャル成長用基板
11・・・基板表面
12・・・棒状の治具
Claims (9)
- サファイヤ基板を研磨する第1の研磨工程と、第1の研磨工程により研磨されたサファイヤ基板をアニール処理する工程とを含む、半導体エピタキシャル成長用サファイヤ基板の製造方法において、前記アニール処理の際、治具によりサファイヤ基板の周縁部を線接触支持して両面を非接触状態で空隙を設けつつ覆ってアニール温度1300℃〜1900℃の範囲でアニール処理することにより潜傷を除去する工程と、アニール処理されたサファイヤ基板のうち、少なくとも前記エピタキシャル成長に使用する側の表面を前記エピタキシャル成長に適した状態まで再び研磨する第2の研磨工程と、を含むことにより、サファイヤ基板表面の荒れを除去することを特徴とする、サファイヤ基板の製造方法。
- 前記治具は、前記サファイヤ基板の表面の大きさと同等、又は前記サファイヤ基板の表面より大きい略凹部を有する形状の部材と、または/且つ、前記サファイヤ基板の他方の面を空隙を設けつつ覆う蓋状の部材からなり、前記凹部は、前記治具と前記サファイヤ基板の表面が非接触状態になるように前記サファイヤ基板を周縁部で支持して、前記サファイヤ基板の表面との間に空隙を形成する形状であることを特徴とする請求項1に記載のサファイヤ基板の製造方法。
- 前記治具がサファイヤ材からなることを特徴とする請求項1又は2に記載のサファイヤ基板の製造方法。
- 前記アニール処理の工程におけるアニール時間を1時間〜24時間の範囲としたことを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載のサファイヤ基板の製造方法。
- 前記サファイヤ基板にエピタキシャル成長させる半導体がIII族窒化物半導体もしくは窒化ガリウム系化合物半導体であることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載のサファイヤ基板の製造方法。
- 前記第1の研磨工程および第2の研磨工程により研磨される側の基板の表面をc面とする、請求項1乃至5の何れかに記載のサファイヤ基板の製造方法。
- 前記第1の研磨工程および第2の研磨工程により研磨される側の基板の表面をa面あるいはr面とする、請求項1乃至5の何れかに記載のサファイヤ基板の製造方法。
- 前記サファイヤ基板に、オフ基板を用いることを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載のサファイヤ基板の製造方法。
- 請求項1乃至8の何れかに記載のサファイヤ基板の製造方法により製造されるサファイヤ基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000236119A JP5017621B2 (ja) | 2000-08-03 | 2000-08-03 | サファイヤ基板とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000236119A JP5017621B2 (ja) | 2000-08-03 | 2000-08-03 | サファイヤ基板とその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002050577A JP2002050577A (ja) | 2002-02-15 |
JP5017621B2 true JP5017621B2 (ja) | 2012-09-05 |
Family
ID=18728226
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000236119A Expired - Fee Related JP5017621B2 (ja) | 2000-08-03 | 2000-08-03 | サファイヤ基板とその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5017621B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101244754B1 (ko) * | 2004-07-06 | 2013-03-18 | 더 리전트 오브 더 유니버시티 오브 캘리포니아 | 광전자 응용을 위한 (알루미늄질소, 인듐질소, 갈륨질소, 알루미늄인듐질소, 알루미늄갈륨질소, 인듐갈륨질소, 또는 알루미늄인듐갈륨질소)와 (아연황, 아연셀레늄, 또는 아연황셀레늄) 사이의 웨이퍼 결합 방법 |
US7919815B1 (en) | 2005-02-24 | 2011-04-05 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Spinel wafers and methods of preparation |
JP5236148B2 (ja) * | 2005-05-12 | 2013-07-17 | 日本碍子株式会社 | エピタキシャル基板、半導体素子、エピタキシャル基板の製造方法、半導体素子の製造方法、およびiii族窒化物結晶における転位偏在化方法 |
JP2007137736A (ja) * | 2005-11-21 | 2007-06-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | サファイア基板の製造方法 |
JP2009051678A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-12 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | サファイア基板の製造方法 |
JP5724819B2 (ja) * | 2011-10-17 | 2015-05-27 | 日立金属株式会社 | 窒化物半導体成長用基板及びその製造方法、窒化物半導体エピタキシャル基板、並びに窒化物半導体素子 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5520262A (en) * | 1978-08-01 | 1980-02-13 | Toshiba Corp | Production of sapphire single crystal substrate |
JPH07201745A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-08-04 | Hitachi Cable Ltd | 半導体ウェハ及びその製造方法 |
JPH09129651A (ja) * | 1995-08-31 | 1997-05-16 | Hewlett Packard Co <Hp> | サファイア基板のサーマル・アニーリング方法及び装置 |
JP2001010898A (ja) * | 1999-06-24 | 2001-01-16 | Nec Corp | 結晶基板およびその製造方法 |
-
2000
- 2000-08-03 JP JP2000236119A patent/JP5017621B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002050577A (ja) | 2002-02-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5514439A (en) | Wafer support fixtures for rapid thermal processing | |
TWI242248B (en) | Holder and method for thermal treating semiconductor substrate | |
US7393418B2 (en) | Susceptor | |
CN1249780C (zh) | 生长GaN晶体衬底的方法和GaN晶体衬底 | |
JP5496007B2 (ja) | 高品質ホモエピタキシ用微傾斜窒化ガリウム基板 | |
JP2004088077A (ja) | 半導体ウエハ処理用部材 | |
US11830724B2 (en) | Apparatus and method for manufacturing a wafer | |
JP2009543352A (ja) | ウェハプラットフォーム | |
JP5017621B2 (ja) | サファイヤ基板とその製造方法 | |
JP2009182126A (ja) | 化合物半導体基板の加工方法および化合物半導体基板 | |
JP3055471B2 (ja) | 半導体基板の製造方法及びその製造装置 | |
EP1396879A1 (en) | Method of fabricating semiconductor wafer and susceptor used therefor | |
JP2004107114A (ja) | Iii族窒化物系化合物半導体基板の製造方法 | |
JP2004091234A (ja) | エピタキシャルウェーハとその製造方法 | |
JP2003022989A (ja) | エピタキシャル半導体ウェーハ及びその製造方法 | |
JP3094312B2 (ja) | サセプター | |
TWI254362B (en) | Epitaxial growth method | |
JP5294087B2 (ja) | 半導体ウェーハおよびその製造方法 | |
JPH0473930A (ja) | ヘテロエピタキシャル成長用基板 | |
JPWO2009060914A1 (ja) | エピタキシャルウェーハ | |
JP3687578B2 (ja) | 半導体シリコン基板の熱処理治具 | |
JP4007598B2 (ja) | サセプタおよびその製造方法 | |
JP4350438B2 (ja) | 半導体熱処理用部材 | |
JP2003142405A (ja) | 半導体基板の製造方法 | |
WO2015182280A1 (ja) | サファイア基板、サファイア基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070802 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110328 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110822 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111020 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111020 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120213 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120313 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120514 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120515 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5017621 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150622 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150622 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |