JP5008998B2 - 電子部品 - Google Patents

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Description

本発明は、光機能素子を備えた電子部品に関する。
従来、固体撮像素子などの光機能素子をより一層小型化し、かつ効率的に製造するために、1枚の半導体基板に多数の光機能素子を形成し、その後、個々の光機能素子ごとに分割(ダイジング)することによって、光機能素子を備えた電子部品を得る方法が知られている。
光機能素子は、一般的に損傷や湿気により変化しやすいので、半導体基板に形成された受光部として働く機能素子を封止することにより、光機能素子の変化を防止する方法が知られている。例えば、樹脂等からなる封止材(以下、接着層とも呼ぶ)を挟んで、光機能素子が形成された半導体基板に、板ガラス等からなる光透過性のキャップ基板(以下、保護部材とも呼ぶ)を接着固定する構成の電子部品が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2005−056999号公報
しかしながら、光機能素子が、例えば青色発光ダイオードやUV発光ダイオードなどから照射された紫外線領域の波長を含む光の受光部として機能する場合、光透過性の保護部材を通して接着層にも紫外線領域の波長を含む光が照射されることになる。このため、樹脂等で形成された接着層が紫外線領域の波長を含む光によって変化し、接着層の崩壊や保護部材の剥離などの虞があった。
一方、光機能素子が紫外線領域の波長を含む光の発光部として機能する場合、光機能素子から発した紫外線領域の波長を含む光によって、樹脂等で形成された接着層が変化する虞があった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、光機能素子が形成された基板と光透過性の保護部材とを接合する接着層が、光によって変化することを防止可能な電子部品を提供することを第一の目的とする。
また、光によって接着層が変化することのない電子部品を効率的に製造できる電子部品の製造方法を提供することを第二の目的とする。
さらに、光による接着層の変化を防止でき、かつ個々の光機能素子ごとに分割しても、光機能素子を機能させることが可能な素子実装基板を提供することを第三の目的とする。
本発明の請求項1に係る電子部品は、光機能素子を備える第一部材、および前記光機能素子と対向するように前記第一部材に重ねて配される光透過性の第二部材、を少なくとも備え、前記第一部材、前記第二部材および前記光機能素子が重なる第一領域と、前記第一領域を除き、前記第一部材、前記第二部材、および、これらの間に配された接着層が在る第二領域とからなり、前記第二領域は、遮光性部材を有し、前記遮光性部材は、前記第二部材にあって、前記第一部材と対向する一面側及び前記第一部材と対向しない他面側に各々配され、前記一面側の遮光性部材と前記他面側の遮光性部材は、前記第二部材を挟んで互いに重なり、前記一面側の遮光性部材と前記他面側の遮光性部材とが、互いに異なる波長域の光を遮光する材料で形成され、且つ前記接着層の変化を促進させる光のうち、一部の波長域の光を前記一面側の遮光性部材で遮光し、更に、残りの波長域の光を前記他面側の遮光性部材で遮光することを特徴とする。
本発明の請求項に係る電子部品は、請求項において、前記遮光性部材は、前記接着層の側面を被覆するように延設されていることを特徴とする。
本発明の請求項に係る電子部品は、請求項1において、前記遮光性部材は、前記接着層と重なる領域に加え、該領域よりも外側まで延設されていることを特徴とする。
本発明の電子部品によれば、光透過性の第二部材に照射された光のうち、第一領域を除いた第二領域に照射された光は、遮光性部材によって遮られ、第一部材と第二部材とを接合する接着層に到達することがない。これにより、接着層が、光によって変化する性質を持つ場合、遮光性部材によって光を遮ることにより、接着層が変化して第一部材と第二部材とが剥離してしまったり、接着層の一部が変化して封止機能が損なわれるなどの不具合を確実に防止できる。
また、本発明の電子部品の製造方法によれば、多数の光機能素子を備えた素子実装基板を用いて、光機能素子を機能させるための構成を持たせない第二領域において、個々の光機能素子ごとに切断し、分割することによって、多数の電子部品を一括して効率的に得ることができる。そして、このようにして得られた電子部品は、遮光性部材の形成によって、接着層が光により変化することを確実に防止できる。
また、本発明の素子実装基板によれば、第二領域でそれぞれの光機能素子ごとに分割して、多数の電子部品が一括して形成される。この時、素子実装基板の第二領域は、光機能素子を機能させるための構成を持たせないので、素子実装基板を第二領域で切断しても、それぞれの光機能素子を機能させることができる。
[電子部品]
(第一実施形態)
以下、本発明に係る電子部品の一例について、図面を参照して説明する。なお、本実施形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
図1は、本発明の電子部品の一例を示す側面断面図である。電子部品10は、光機能素子11を備える第一部材(素子基板とも呼ぶ)12と、この光機能素子11と対向するように第一部材12に重ねて配される光透過性の第二部材(保護基板とも呼ぶ)13を有する。
電子部品10は、第一部材12と第二部材との重なり方向から見たときに、光機能素子11が在る第一領域αと、この第一領域αを除いた第二領域βの2つの領域に区分できる。
即ち、第一領域αは、光機能素子11が存在する領域であって、第一部材12、第二部材13および光機能素子11が重なる。
第二領域βは、光機能素子11が存在しない領域であって、第一部材12、第二部材13、および、これらの間の少なくとも一部に接着層14が在る。そして、この第二領域βには、遮光性部材15が配されている。
第一部材12の一面側12aには、光機能素子11の受光面11aが露呈されている。第二部材13は、第二領域βにおいて、第一部材12と対向する一面側13aに接着層14が配される。この接着層14は、第二領域βにおいて第一部材12と第二部材13とを接合させる。
また、第二部材13は、第二領域βにおいて、第一部材12と対向しない他面側13bに、遮光性部材15が配される。
なお、電子部品10は、例えば、図2に示す素子実装基板1を分割して形成したものである。即ち、一枚の第一部材12には、複数の光機能素子11が形成され、互いに隣接するそれぞれの光機能素子11ごとに第二領域βで区画されている。
そして、素子実装基板1は、それぞれの光機能素子11ごとに、第二領域βの分割位置Cに沿って分割されることにより、個々の電子部品10が切り出される。切り出された個々の電子部品10は、その側面が切り出された際の切断面となる。
以上のような構成の電子部品10の作用を説明する。なお、説明にあたって、光機能素子11は、例えば、紫外線センサと想定する。図3に示すように、光機能素子11を備えた電子部品10は、第二部材13の他面側13bに紫外線を含む光Lが照射されると、第一領域αにおいては、光Lは第二部材13を透過して、光機能素子11の受光面11aに入射する。光機能素子11は、光Lに含まれる紫外線の光量に応じて、信号を出力する。
一方、第二部材13の他面側13bに照射された紫外線を含む光Lのうち、第二領域βに照射された光Lは、第二部材13の他面側13bに形成された遮光性部材15によって遮光され、第二部材13に入射することを阻止される。このため、第二領域βに配された接着層14に、紫外線を含む光Lが到達することがない。
これにより、接着層14が、例えば、紫外線によって変化する性質を持つ場合、遮光性部材15によって紫外線を含む光Lを遮光してしまうことにより、接着層14が変化して第一部材12と第二部材13とが剥離してしまったり、接着層14の一部が変化により欠損して封止構造が破れ、光機能素子11が湿気に晒されて不具合を引き起こすといったことを確実に防止することが可能になる。
なお、上述した実施形態では、光機能素子11の一例として紫外線センサを挙げたが、これ以外にも光機能素子としては、例えば、赤外線センサ、固体撮像素子などの受光素子や、紫外線発光ダイオード、赤外線発光ダイオード、可視光発光ダイオードなどの発光素子などが挙げられる。
第一部材12としては、半導体基板、例えば、シリコンウェハなどが挙げられる。第二部材13としては、赤外光〜可視光〜紫外光まで透過可能なガラスが好ましい。ガラスの種類としては、例えば、石英ガラス、テンパックス(商品名:SCHOTT社)、シリカ系ガラス、微量のイオンを導入した不純物ドープガラスなどが挙げられる。また、光機能素子がα線などの放射線の影響を受ける場合、低α線ガラスを用いることも好ましい。
遮光性部材15としては、接着層14を変化させる光を遮光可能な材料であれば、どのようなものであってもよいが、例えば、厚みが0.05〜1μm程度の金属膜が好ましい。このような金属膜は、第二部材13と密着性が良い金属を単層、あるいは複層で用いればよい。好ましい金属膜としては、単層では例えば、Al,Cr,Tiなどが挙げられる。また複層としては、例えば、Cr/Ni,Ti/Ni,Cr/Au,Ti/Au,Cr/Cu,Ti/Cu,Ti/TiW/Cuなどが挙げられる。
遮光性部材15は、第二部材13に対して直接接合が可能な材料で構成されることも好ましい。例えば、第二部材13にガラスを用いた場合、遮光性部材15としてSiを用いて陽極接合によって形成することが可能である。
ここで、遮光性部材15の遮光性とは、接着層14として用いた材料を変化させる波長域の光を少なくとも遮光する性質を示し、必ずしも可視光領域を含む波長域の光を遮光することを意味しない。即ち、遮光性部材が遮光する光の波長域は、接着層14の材料に応じて(接着層の変化が促進される光の波長域に応じて)決定されればよい。例えば、接着層14が紫外線によって変化が促進されるのであれば、遮光性部材15として少なくとも紫外線領域の波長域の光が遮光できればよい。
また、接着層14の変化が促進される波長域の全域に渡って、一種類の遮光性部材だけで光を遮光する必要はなく、互いに遮光できる波長域が異なる二種類以上の遮光性部材を用いて、接着層14の変化を促進させる光を段階的に遮光する構成であっても良い。
接着層14としては、常温硬化型接着剤、光硬化型接着剤、熱硬化型接着剤など、例えば、特開2005−56999号公報や特開2006−147864号公報に記載された各種接着剤を使用することができる。
以下、本発明の電子部品の他の実施形態を列記する。なお、それぞれの実施形態で参照する図面は、一枚の第一部材に複数の光機能素子が形成され、それぞれの電子部品を切り出す前の状態を示している。また、第一実施形態と同一の構成に関する説明は略す。
(第二実施形態)
図4に示す第二実施形態の電子部品20は、第一実施形態の電子部品に、更に中間部材27を配したものである。
電子部品20を構成する第一部材22には、光機能素子21が形成されている。そして、光機能素子21を含まない第二領域βにおいて、第二部材23の他面側23bに遮光性部材25が形成されている。この第一部材22と第二部材23とは、第二領域βにおいて接着層24および中間部材(スペーサーとも呼ぶ)27を介して接合されている。
この遮光性部材25は、第一実施形態と同様に、第二領域βにおいて、光機能素子21の受光面21aの法線方向に沿って、接着層24を変化させる波長を含む光が入射した際に、接着層24にこの光が到達することを防ぐ。そして、この第二実施形態においては、更に、接着層24と重なる領域γよりも外側まで遮光性部材25が延設されている。これによって、光機能素子21に入射する、接着層24を変化させる波長を含む光が、光機能素子21の受光面21aの法線方向よりも傾斜した角度、即ち、第二部材23の他面側23bに対して斜めに光が入射した場合においても、光が接着層24の側面に照射されることを防止する。これにより、接着層24が側面からが変化するのを防ぐことができる。なお、中間部材27を構成する材料としては、例えば、特開2005−56999号公報や特開2006−147864号公報に記載された中間部材を構成する材料を使用することができる。
第一部材22と第二部材23との間に中間部材27を形成することによって、第一実施形態のように第一部材と第二部材とが薄い接着層を介して重なっている場合と比較して、第一領域αにおいて光機能素子21の受光面21aと第二部材23との間隔を広げることができる。これによって、第二部材23が物理的な応力を受けて撓んでも、第二部材23の一面側23aが光機能素子21に接触し、光機能素子21が損傷する可能性を低減することができる。
また、中間部材27を形成することによって、光機能素子21の受光面21aと第二部材23との間隔が広がるので、光機能素子21の受光面21aの法線方向から大幅に傾斜した角度の光は、中間部材27の側面に照射されることになる。これにより、受光面21aの法線方向からに大幅に傾斜した角度の光が光機能素子21の受光面21aにダイレクトに入射することを防止することが可能になる。
(第三実施形態)
図5に示す第三実施形態の電子部品30は、第二実施形態の中間部材の両面に接着層34,34を配したものである。
電子部品30は、光機能素子31を含まない第二領域βにおいて、第二部材33の他面側33bに遮光性部材35が形成されている。この遮光性部材35は、第一実施形態と同様に、第二領域βにおいて、接着層34を変化させる波長を含む光が入射した際に、接着層34にこの光が到達することを防ぐ。
そして、この第三実施形態では、第二領域βにおいて、第一部材32と第二部材33との間に中間部材37が配されるとともに、この中間部材37と第一部材32との間、および中間部材37と第二部材33との間に、それぞれ接着層34,34が形成されている。中間部材37の両側にそれぞれに接着層34,34を配し、第一部材32と第二部材33とを接合することによって、第一部材32と第二部材33とが、中間部材37を介してより一層強固に接合される。また、中間部材37と第二部材33との間にある接着層34は、中間部材37によっても光の入射を防ぐことができる。
(第四実施形態)
図6に示す第四実施形態の電子部品40は、第三実施形態において第二部材の他面側に配されていた遮光性部材を、第二部材43の一面側43aに配したものである。
電子部品40の第二領域βにおいて、第二部材43の一面側43aに遮光性部材45が形成されている。また、第二領域βにおいて、第一部材42と第二部材43との間に中間部材47が配されるとともに、この中間部材47と第一部材42との間、および中間部材47と遮光性部材45との間にそれぞれ接着層44,44が形成されている。この遮光性部材45は、第一実施形態と同様に、第二領域βにおいて、接着層44を変化させる波長を含む光が入射した際に、接着層44にこの光が到達することを防ぐ。
また、第四実施形態においては、第二部材43の一面側43aに遮光性部材45を形成することによって、第一の実施形態のように第二部材の他面側に遮光性部材を形成した場合と比べて、第二部材43の他面側43bを凹凸無く平坦にすることができる。このため、第二部材43の他面側43bから入射する光が乱反射を起こすことなく、光機能素子41の受光面41aに達することができる。また、第二部材43の一面側43aに遮光性部材45を形成することによって、第二部材43の中を屈折しつつ伝播する光が接着層44,44に達することも確実に防ぐことができる。
(第五実施形態)
図7に示す第五実施形態の電子部品50は、第三実施形態においては第二部材の他面側に、第四実施形態においては第二部材の一面側に配されていた遮光性部材を、第二部材53の一面側53aおよび他面側53bの両方に配したものである。
電子部品50の第二領域βにおいて、第二部材53の一面側53aに遮光性部材55aが、また、第二部材53の他面側53bにも遮光性部材55bがそれぞれ形成されている。また、第二領域βにおいて、第一部材52と第二部材53との間に中間部材57が配されるとともに、この中間部材57と第一部材52との間、および中間部材57と遮光性部材55aとの間にそれぞれ接着層54,54が形成されている。
この第五実施形態では、例えば、この遮光性部材55aと遮光性部材55bとが、互いに異なる波長域の光を遮光する材料で形成される。そして、接着層54の変化を促進させる光のうち、一部の波長域の光を遮光性部材55bで遮光し、更に、残りの波長域の光を遮光性部材55aで遮光する。これにより、接着層54を変化させる波長域の光を全て、1つの遮光性部材で遮光しなくてもよいので、遮光性部材を構成する材料の選択の幅が広がる。また、1つの遮光性の材料では実現が難しい、より広い波長域に渡る光を遮光することができる。なお、これら複数の遮光性部材55aと遮光性部材55bが遮光可能な光の波長範囲は、互いにその一部が重複していてもよく、また、互いに連続しない離れた波長域の光を遮光する構成であっても良い。
(第六実施形態)
図8に示す第六実施形態の電子部品60は、第四実施形態の遮光性部材を、接着層64,64の側面64aまで延設したものである。
電子部品60の第二領域βにおいて、第二部材63の一面側62aに遮光性部材65が形成されている。この遮光性部材65は、第一実施形態と同様に、第二領域βにおいて、接着層64を変化させる波長を含む光が入射した際に、接着層64にこの光が到達することを防ぐ。
また、第六実施形態では、第二領域βにおいて、第一部材62と第二部材63との間に中間部材67が配されるとともに、この中間部材67と第一部材62との間、および中間部材67と遮光性部材65aとの間にそれぞれ接着層64,64が形成されている。そして、第二部材63の一面側62aに形成された遮光性部材65は、更に、この接着層64,64の側面64aまで被覆するように延設されている。
遮光性部材65が接着層64の側面64aまで被覆するように延設することによって、例えば、光機能素子61に入射する、接着層64を変化させる波長を含む光が、光機能素子61の受光面61aの法線方向よりも傾斜した角度、即ち、第二部材63の他面側63bに対して斜めに光が入射した場合においても、光が接着層64の側面に照射されることを確実に防止する。また、第一部材62と第二部材63との間で乱反射した光が接着層64の側面に照射されることも防止できる。これにより、接着層64が側面から変化することを確実に防止できる。
(第七実施形態)
図9に示す第七実施形態の電子部品70は、第六実施形態に示した電子部品に、光機能素子71の受光面71aを覆う保護膜79を更に配したものである。
電子部品70を構成する第一部材72には、光機能素子71の受光面71aを覆う保護膜79が形成されている。この第七実施形態においても、第六実施形態と同様に、第二領域βにおいて、接着層74を変化させる波長を含む光が入射した際に、接着層74にこの光が到達することを防ぐ。また、遮光性部材75が接着層74の側面74aまで被覆するように延設することによって、第二部材73の他面側73bに対して斜めに光が入射した場合においても、光が接着層74の側面に照射されることを確実に防止する。
更に加えて、第七実施形態においては、光機能素子71の受光面71aを保護膜79で覆うことによって、電子部品70の製造工程において、光機能素子71の受光面71aが損傷することを防止できる(製造工程については後述する)。保護膜79を構成する材料としては、光機能素子が受光または発光する光が透過可能な材料、例えば、透明な樹脂や、低温CVDによるSiO膜などが挙げられる。
(第八実施形態)
図10に示す第八実施形態の電子部品80は、中間部材に遮光性を持たせたものである。
電子部品80は、第一部材82と第二部材83とが、第二領域βにおいて接着層84および遮光性中間部材(遮光性材料として機能する中間部材)87を介して接合されている。
この第八実施形態によれば、遮光性中間部材87を用いることによって、第二部材83に遮光性部材を形成する代わりに、中間部材自体を遮光性材料として機能させることができるようになる。これにより、第二領域βにおいて、接着層64を変化させる波長を含む光が第二部材83の他面側83aから入射した際に、遮光性中間部材87によって、接着層84にこの光が到達することを防ぐことができ、接着層84の変化を確実に防止することが可能になる。
遮光性中間部材87を用いることによって、中間部材とは別に遮光性材料を形成した場合と比較して、電子部品80全体の厚みを薄くすること可能になる。また、中間部材と遮光性部材とをそれぞれ形成する工程が、遮光性中間部材87を形成する一工程で済むので、電子部品の製造工程の簡略化にも寄与する。なお、遮光性中間部材87として、Siなどを用いれば、陽極接合によって第二部材83に対して直接接合することができるので、遮光性中間部材87と第二部材83との間に別途、接着層を形成する必要がない。
[素子実装基板]
次に、本発明の素子実装基板について説明する。なお、上述した各実施形態の電子部品は、以下に示す構成の素子実装基板から、それぞれの光機能素子ごとに分割して得られるものである。図11(a)は、本発明の素子実装基板の全体を示す概略図であり、図11(b)は、図11(a)のA−A線における断面形状を示した拡大図である。素子実装基板100は、複数の光機能素子101を備えるウエハ状の第一部材102、および光機能素子101と対向するように第一部材102に重ねて配されるウエハ状の第二部材103を備えている。
この素子実装基板100は、第一部材102、第二部材103および光機能素子101が重なる第一領域αと、この第一領域αを除き、第一部材102、第二部材103、遮光性部材104および接着層105が在り、互いに隣接する光機能素子101どうしを区画する第二領域βとからなる。そして、この第二領域βにおいて、それぞれの光機能素子101ごとに分割後も、それぞれの光機能素子101が機能する構成を成す。
素子実装基板100は、第二領域βに設定される切断予定線Cに沿って、第二領域βでそれぞれの光機能素子101ごとに分割され、多数の電子部品110が一括して形成される。この時、例えば、第一部材102の一面側102aに形成された光機能素子101の信号電極(リード)を、第一部材102の他面側102bから取り出せるように、第一部材102に貫通電極を形成することによって、素子実装基板100を第二領域βで切断しても、それぞれの光機能素子101を機能させることができる。
このような素子実装基板100によれば、光機能素子101の信号電極(リード)は、第一部材102の一面側102aに沿って第二領域βまで延ばさない構成であるので、第二領域βで切断してそれぞれの電子部品110を分割しても、それぞれの光機能素子101が機能させられる。そして、遮光性部材104の形成によって、第二部材103から入射した光が接着層105に達することがないので、接着層105が光により変化することを確実に防止できる。
[電子部品の製造方法]
次に、上述したような素子実装基板から電子部品を製造する、本発明の電子部品の製造方法の一例について説明する。図12は、電子部品の製造方法の一例を示す説明図である。まず、第一部材121に多数の光機能素子122を形成する(図12(a)参照)。次に、隣接する光機能素子122どうしを区画するように、接着層123aを介して中間部材124を積層する(図12(b)参照)。更に、この接着層123aと中間部材124によって区画された、それぞれの光機能素子122の発光面122aに重ねて、保護膜125を形成する(図12(c)参照)。
一方、光透過性の第二部材126を用意し(図12(d)参照)、この第二部材126の一面側126aと他面側126bに、それぞれ遮光性部材127を形成する(図12(e)参照)。更に、第二部材126の一面側126aに形成した遮光性部材127に重ねて、接着層123bを形成する(図12(f)参照)。
そして、第一部材122に重ねて形成した中間部材124と、第二部材126の接着層123bとを重ねて押圧し、第一部材122と第二部材126とを一体に接合する(図12(g)参照)。これにより、素子実装基板130が得られる。この時、光機能素子122の発光面122aに重ねて保護膜125を形成しておくことによって、上述した各工程での加工に伴う物理的応力などで、光機能素子122の発光面122aが損傷することを防止できる。
この後、素子実装基板130を第二領域βで個々の光機能素子122ごとに切断すれば、多数の電子部品131を一括して効率的に得ることができる(図12(h)参照)。このようにして得られた電子部品131は、遮光性部材127の形成によって、第二部材123から入射した光が接着層123a,123bに達することがないので、接着層123a,123bが光により変化することを確実に防止できる。
本発明の電子部品の一例を示す断面図である。 本発明の素子実装基板一例を示す断面図である。 本発明の電子部品の作用を示す説明図である。 本発明の電子部品の他の一例を示す断面図である。 本発明の電子部品の他の一例を示す断面図である。 本発明の電子部品の他の一例を示す断面図である。 本発明の電子部品の他の一例を示す断面図である。 本発明の電子部品の他の一例を示す断面図である。 本発明の電子部品の他の一例を示す断面図である。 本発明の電子部品の他の一例を示す断面図である。 本発明の素子実装基板の一例を示す平面図(a)および断面図(b)である。 本発明の電子部品の製造方法の一例を示す断面図である。
符号の説明
10…電子部品、11…光機能素子、12…第一部材、13…第二部材、14…接着層、15…遮光性部材、α…第一領域、β…第二領域。

Claims (3)

  1. 光機能素子を備える第一部材、および前記光機能素子と対向するように前記第一部材に重ねて配される光透過性の第二部材、を少なくとも備え、
    前記第一部材、前記第二部材および前記光機能素子が重なる第一領域と、
    前記第一領域を除き、前記第一部材、前記第二部材、および、これらの間に配された接着層が在る第二領域とからなり、
    前記第二領域は、遮光性部材を有し、
    前記遮光性部材は、前記第二部材にあって、前記第一部材と対向する一面側及び前記第一部材と対向しない他面側に各々配され、
    前記一面側の遮光性部材と前記他面側の遮光性部材は、前記第二部材を挟んで互いに重なり、
    前記一面側の遮光性部材と前記他面側の遮光性部材とが、互いに異なる波長域の光を遮光する材料で形成され、且つ
    前記接着層の変化を促進させる光のうち、一部の波長域の光を前記一面側の遮光性部材で遮光し、更に、残りの波長域の光を前記他面側の遮光性部材で遮光することを特徴とする電子部品。
  2. 前記遮光性部材は、前記接着層の側面を被覆するように延設されていることを特徴とする請求項に記載の電子部品。
  3. 前記遮光性部材は、前記接着層と重なる領域に加え、該領域よりも外側まで延設されていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品。
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