JPH1168126A - 紫外線検知装置 - Google Patents
紫外線検知装置Info
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- JPH1168126A JPH1168126A JP9238865A JP23886597A JPH1168126A JP H1168126 A JPH1168126 A JP H1168126A JP 9238865 A JP9238865 A JP 9238865A JP 23886597 A JP23886597 A JP 23886597A JP H1168126 A JPH1168126 A JP H1168126A
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- H01L2924/301—Electrical effects
- H01L2924/3025—Electromagnetic shielding
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 長期間にわたって紫外線が照射されても封止
が不完全とならない紫外線検知装置を提供する。また、
紫外線の光路との位置関係が人の目で容易に確認できる
紫外線検知装置を提供する。 【構成】 紫外線検知装置は、紫外線を受光するセンサ
（１）と、前記センサを格納しかつ前記センサに紫外線
を入射させるために少なくとも１つの面に開口部を有す
る容器（２、３、４）と、前記開口部を塞ぐためのカバ
ーガラス（６）と、前記容器に前記カバーガラスを接着
する接着剤（５）と、前記接着剤への紫外線の入射を遮
蔽する遮光手段（８）とを具備する。遮光手段（８）が
接着剤（５）への紫外線の入射を防ぐので、接着剤
（５）が紫外線により劣化することはなく、長期間紫外
線を照射しても封止が不完全となることはない。また、
センサの周囲に蛍光物質を付着させれば、目視で紫外線
の光路を確認することができる。
が不完全とならない紫外線検知装置を提供する。また、
紫外線の光路との位置関係が人の目で容易に確認できる
紫外線検知装置を提供する。 【構成】 紫外線検知装置は、紫外線を受光するセンサ
（１）と、前記センサを格納しかつ前記センサに紫外線
を入射させるために少なくとも１つの面に開口部を有す
る容器（２、３、４）と、前記開口部を塞ぐためのカバ
ーガラス（６）と、前記容器に前記カバーガラスを接着
する接着剤（５）と、前記接着剤への紫外線の入射を遮
蔽する遮光手段（８）とを具備する。遮光手段（８）が
接着剤（５）への紫外線の入射を防ぐので、接着剤
（５）が紫外線により劣化することはなく、長期間紫外
線を照射しても封止が不完全となることはない。また、
センサの周囲に蛍光物質を付着させれば、目視で紫外線
の光路を確認することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、紫外線検知装置に
関し、特に紫外線を検知するフォトダイオードやイメー
ジセンサなどの紫外線検知装置の構造に関する。
関し、特に紫外線を検知するフォトダイオードやイメー
ジセンサなどの紫外線検知装置の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、入射された光を電気信号に変換し
て出力することができる、フォトダイオードやイメージ
センサなどの半導体装置が知られている。このような半
導体装置は、一般的には、図７の断面図や図８の上面図
に示されるような構造を有している。
て出力することができる、フォトダイオードやイメージ
センサなどの半導体装置が知られている。このような半
導体装置は、一般的には、図７の断面図や図８の上面図
に示されるような構造を有している。
【０００３】これらの図に示される半導体装置は、シリ
コンなどの半導体チップ１、セラミックスなどで作られ
た部材２、部材３、および部材４などから構成されるパ
ッケージ、エポキシ樹脂などの接着剤５、および光透過
性を有する封止ガラス６などにより構成されている。半
導体チップ１はパッケージの部材２上に貼り付けられ、
電気的な配線７がワイヤボンディング法などにより形成
されている。部材２、部材３、および部材４などから構
成されるパッケージは上部面に開口部を有している。封
止ガラス６はパッケージの開口部を覆い、部材４上でか
つパッケージの開口部の周囲に塗布された接着剤５によ
り、部材４に接着されている。部材４上の接着剤５は、
図８に示されるように、パッケージの外周部に隙間なく
塗布されているので、半導体チップ１は外部から完全に
封止されている。封止が完全であれば、半導体チップ１
は湿気や不純物から保護される。このような半導体装置
に上方から照射される光は、パッケージの開口部から封
止ガラス６を透過して半導体チップ１に入射する。半導
体チップ１は入射した光を電気信号に変換し、リード
（図示せず）を通して外部に出力する。
コンなどの半導体チップ１、セラミックスなどで作られ
た部材２、部材３、および部材４などから構成されるパ
ッケージ、エポキシ樹脂などの接着剤５、および光透過
性を有する封止ガラス６などにより構成されている。半
導体チップ１はパッケージの部材２上に貼り付けられ、
電気的な配線７がワイヤボンディング法などにより形成
されている。部材２、部材３、および部材４などから構
成されるパッケージは上部面に開口部を有している。封
止ガラス６はパッケージの開口部を覆い、部材４上でか
つパッケージの開口部の周囲に塗布された接着剤５によ
り、部材４に接着されている。部材４上の接着剤５は、
図８に示されるように、パッケージの外周部に隙間なく
塗布されているので、半導体チップ１は外部から完全に
封止されている。封止が完全であれば、半導体チップ１
は湿気や不純物から保護される。このような半導体装置
に上方から照射される光は、パッケージの開口部から封
止ガラス６を透過して半導体チップ１に入射する。半導
体チップ１は入射した光を電気信号に変換し、リード
（図示せず）を通して外部に出力する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような半導体装置
は、可視光だけではなく紫外線を光電変換することもで
きるので、紫外線検知装置としても用いられている。し
かしながら、照射される光が紫外線である場合は、接着
剤５は紫外線の照射によって徐々に劣化してしまう。こ
のため、長期間の紫外線の照射により、紫外線検知装置
のガラス封止が不完全になってしまうという問題があっ
た。
は、可視光だけではなく紫外線を光電変換することもで
きるので、紫外線検知装置としても用いられている。し
かしながら、照射される光が紫外線である場合は、接着
剤５は紫外線の照射によって徐々に劣化してしまう。こ
のため、長期間の紫外線の照射により、紫外線検知装置
のガラス封止が不完全になってしまうという問題があっ
た。
【０００５】また、紫外線は目では見えないので、紫外
線の光路を容易に確認することはできない。このため、
例えばこのような紫外線検知装置を紫外線の検出に用い
る光学システムを組み上げる場合は、蛍光板などを使用
して紫外線検知装置と紫外線の光路の位置関係を確認し
なければならず、可視光の光学システムを組み上げる場
合と比較して手間がかかり、容易ではなかった。
線の光路を容易に確認することはできない。このため、
例えばこのような紫外線検知装置を紫外線の検出に用い
る光学システムを組み上げる場合は、蛍光板などを使用
して紫外線検知装置と紫外線の光路の位置関係を確認し
なければならず、可視光の光学システムを組み上げる場
合と比較して手間がかかり、容易ではなかった。
【０００６】本発明の目的は、上述の従来技術における
問題点に鑑み、長期間にわたって紫外線が照射されても
封止が不完全とならない紫外線検知装置を提供すること
である。
問題点に鑑み、長期間にわたって紫外線が照射されても
封止が不完全とならない紫外線検知装置を提供すること
である。
【０００７】本発明の他の目的は、紫外線の光路との位
置関係が人の目で容易に確認できる紫外線検知装置を提
供することである。
置関係が人の目で容易に確認できる紫外線検知装置を提
供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係わる紫外線検知装置では、紫外線を受光
するセンサと、前記センサを格納しかつ前記センサに紫
外線を入射させるために少なくとも１つの面に開口部を
有する容器と、前記開口部を塞ぐためのカバーガラス
と、前記容器に前記カバーガラスを接着する接着剤と、
前記接着剤への紫外線の入射を遮蔽する遮光手段とを備
えている。このような構成により、接着剤への紫外線の
照射を遮ることができるので、接着剤が紫外線により劣
化することはなく、長期間紫外線を照射してもガラス封
止は不完全とならない。
め、本発明に係わる紫外線検知装置では、紫外線を受光
するセンサと、前記センサを格納しかつ前記センサに紫
外線を入射させるために少なくとも１つの面に開口部を
有する容器と、前記開口部を塞ぐためのカバーガラス
と、前記容器に前記カバーガラスを接着する接着剤と、
前記接着剤への紫外線の入射を遮蔽する遮光手段とを備
えている。このような構成により、接着剤への紫外線の
照射を遮ることができるので、接着剤が紫外線により劣
化することはなく、長期間紫外線を照射してもガラス封
止は不完全とならない。
【０００９】この場合、前記カバーガラスが紫外線を透
過可能なガラスから成るよう構成することもできる。こ
れによって、紫外線を的確に前記センサに入射させるこ
とができる。
過可能なガラスから成るよう構成することもできる。こ
れによって、紫外線を的確に前記センサに入射させるこ
とができる。
【００１０】またこの場合、前記遮光手段が前記カバー
ガラス上の少なくとも一部分に形成されたマスクである
よう構成することもできる。これによって、簡単な構造
で容易かつ確実に接着剤への紫外線の入射を遮蔽するこ
とができる。
ガラス上の少なくとも一部分に形成されたマスクである
よう構成することもできる。これによって、簡単な構造
で容易かつ確実に接着剤への紫外線の入射を遮蔽するこ
とができる。
【００１１】また、本発明に係わる紫外線検知装置は、
紫外線を受光するセンサと、前記センサを格納しかつ前
記センサに紫外線を入射させるために少なくとも１つの
面に開口部を有する容器と、前記容器上でかつ前記開口
部の周囲に塗布された接着剤と、前記接着剤によって前
記容器上に接着されて前記開口部を塞ぎかつ紫外線を透
過可能なカバーガラスと、前記カバーガラス上でかつ前
記接着剤を覆う領域に形成されかつ紫外線を透過しない
材料より成るマスクとを備え、前記センサは前記開口部
から前記カバーガラスを通して入射した紫外線を受光し
かつ前記マスクにより前記接着剤への紫外線の入射が遮
られるよう構成することもできる。これにより、接着剤
への紫外線の照射を確実に遮ることができるので、接着
剤が紫外線により劣化することはなく、長期間紫外線を
照射してもガラス封止は不完全とならない。
紫外線を受光するセンサと、前記センサを格納しかつ前
記センサに紫外線を入射させるために少なくとも１つの
面に開口部を有する容器と、前記容器上でかつ前記開口
部の周囲に塗布された接着剤と、前記接着剤によって前
記容器上に接着されて前記開口部を塞ぎかつ紫外線を透
過可能なカバーガラスと、前記カバーガラス上でかつ前
記接着剤を覆う領域に形成されかつ紫外線を透過しない
材料より成るマスクとを備え、前記センサは前記開口部
から前記カバーガラスを通して入射した紫外線を受光し
かつ前記マスクにより前記接着剤への紫外線の入射が遮
られるよう構成することもできる。これにより、接着剤
への紫外線の照射を確実に遮ることができるので、接着
剤が紫外線により劣化することはなく、長期間紫外線を
照射してもガラス封止は不完全とならない。
【００１２】またこの場合、前記マスク上の少なくとも
一部分に蛍光物質を付着させることもできる。これによ
って、紫外線検知装置と紫外線の光路の関係を目視によ
り容易に把握することができる。また、新たに蛍光物質
を配置する場所を設けなくともよいので効率がよい。
一部分に蛍光物質を付着させることもできる。これによ
って、紫外線検知装置と紫外線の光路の関係を目視によ
り容易に把握することができる。また、新たに蛍光物質
を配置する場所を設けなくともよいので効率がよい。
【００１３】また、本発明に係わる紫外線検知装置は、
紫外線を受光するセンサと、前記センサを格納しかつ前
記センサに紫外線を入射させるために少なくとも１つの
面に開口部を有する容器と、前記容器の前記開口部の周
辺領域の裏側に塗布された接着剤と、前記接着剤によっ
て前記容器の内部側に接着されて前記開口部を塞ぎかつ
紫外線を透過可能なカバーガラスとを備え、前記センサ
は前記開口部から前記カバーガラスを通して入射した紫
外線を受光しかつ前記容器の前記開口部の周辺領域によ
り前記接着剤への紫外線の入射が遮られるよう構成する
こともできる。これにより、簡単な構造で接着剤へ紫外
線が入射するのを遮ることができ、長期間紫外線を照射
してもガラス封止が不完全となることはない。
紫外線を受光するセンサと、前記センサを格納しかつ前
記センサに紫外線を入射させるために少なくとも１つの
面に開口部を有する容器と、前記容器の前記開口部の周
辺領域の裏側に塗布された接着剤と、前記接着剤によっ
て前記容器の内部側に接着されて前記開口部を塞ぎかつ
紫外線を透過可能なカバーガラスとを備え、前記センサ
は前記開口部から前記カバーガラスを通して入射した紫
外線を受光しかつ前記容器の前記開口部の周辺領域によ
り前記接着剤への紫外線の入射が遮られるよう構成する
こともできる。これにより、簡単な構造で接着剤へ紫外
線が入射するのを遮ることができ、長期間紫外線を照射
してもガラス封止が不完全となることはない。
【００１４】この場合、前記容器の前記開口部の周辺領
域上の少なくとも一部分に蛍光物質を付着させることも
できる。これによって、紫外線検知装置と紫外線の光路
の位置関係を目視により容易に確認することができる。
域上の少なくとも一部分に蛍光物質を付着させることも
できる。これによって、紫外線検知装置と紫外線の光路
の位置関係を目視により容易に確認することができる。
【００１５】また、本発明に係わる紫外線検知装置は、
紫外線を受光するセンサと、前記センサを格納しかつ前
記センサに紫外線を入射させるために少なくとも１つの
面に開口部を有する容器と、前記開口部を塞ぐカバーガ
ラスと、前記センサの周囲の少なくとも一部分に付着し
た蛍光物質とを備えるよう構成することもできる。これ
により、紫外線検知装置と紫外線の光路の位置関係を目
視により容易に確認することができ、また紫外線検知装
置と光学系との位置調整なども容易に行うことができ
る。
紫外線を受光するセンサと、前記センサを格納しかつ前
記センサに紫外線を入射させるために少なくとも１つの
面に開口部を有する容器と、前記開口部を塞ぐカバーガ
ラスと、前記センサの周囲の少なくとも一部分に付着し
た蛍光物質とを備えるよう構成することもできる。これ
により、紫外線検知装置と紫外線の光路の位置関係を目
視により容易に確認することができ、また紫外線検知装
置と光学系との位置調整なども容易に行うことができ
る。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る紫外線検知装
置につき図面を参照して説明する。
置につき図面を参照して説明する。
【００１７】図１は本発明の第１の実施形態に係る紫外
線検知装置の断面図、図２はその上面図である。
線検知装置の断面図、図２はその上面図である。
【００１８】これらの図に示される紫外線検知装置は、
封止ガラス６上にマスク８が形成されている以外は、図
７および図８に示される従来の紫外線検知装置と同様の
構成を有する。封止ガラス６は紫外線を透過するガラス
でできており、かつマスク８は紫外線を透過しない材
質、例えば金属や紙などでできている。このようなマス
ク８が封止ガラス６上でかつ接着剤５を覆う領域に形成
されている。
封止ガラス６上にマスク８が形成されている以外は、図
７および図８に示される従来の紫外線検知装置と同様の
構成を有する。封止ガラス６は紫外線を透過するガラス
でできており、かつマスク８は紫外線を透過しない材
質、例えば金属や紙などでできている。このようなマス
ク８が封止ガラス６上でかつ接着剤５を覆う領域に形成
されている。
【００１９】このような紫外線検知装置に上方から紫外
線が照射されると、紫外線は部材２、部材３、および部
材４からなるパッケージの開口部から封止ガラス６を透
過して半導体チップ１に入射する。半導体チップ１は入
射した紫外線を対応する電気信号に変換する。変換され
た電気信号はリード（図示せず）を通して外部に出力さ
れる。これにより、紫外線を検知することができる。一
方、マスク８は、紫外線が接着剤５に入射するのを遮る
よう作用する。このため、接着剤５が紫外線により劣化
することはなく、本実施形態の紫外線検知装置に長期間
紫外線を照射しても、封止が不完全になることはない。
線が照射されると、紫外線は部材２、部材３、および部
材４からなるパッケージの開口部から封止ガラス６を透
過して半導体チップ１に入射する。半導体チップ１は入
射した紫外線を対応する電気信号に変換する。変換され
た電気信号はリード（図示せず）を通して外部に出力さ
れる。これにより、紫外線を検知することができる。一
方、マスク８は、紫外線が接着剤５に入射するのを遮る
よう作用する。このため、接着剤５が紫外線により劣化
することはなく、本実施形態の紫外線検知装置に長期間
紫外線を照射しても、封止が不完全になることはない。
【００２０】図３は本発明の第２の実施形態に係る紫外
線検知装置の断面図、図４はその上面図である。
線検知装置の断面図、図４はその上面図である。
【００２１】マスク８上にリング状の平面形状に蛍光物
質９が付着されている以外は、図１および図２に示され
る第１の実施形態の紫外線検知装置と同様の構成であ
る。蛍光物質９には紫外線を照射すると可視光を発光す
る物質が用いられ、例えばサリチル酸ナトリウムなどで
ある。
質９が付着されている以外は、図１および図２に示され
る第１の実施形態の紫外線検知装置と同様の構成であ
る。蛍光物質９には紫外線を照射すると可視光を発光す
る物質が用いられ、例えばサリチル酸ナトリウムなどで
ある。
【００２２】この実施形態の紫外線検知装置に紫外線が
照射されても、マスク８により接着剤５への紫外線の入
射は遮られるので、接着剤５は紫外線により劣化せず、
封止が不完全になることはない。更に、紫外線が蛍光物
質９に照射すると、蛍光物質９が蛍光として可視光を発
生する。このため、紫外線がどこに照射されているか目
視で確認することができ、紫外線検知装置と紫外線の光
路の位置関係を容易に把握することができる。例えば、
紫外線を用いた干渉計において、同心円状の紫外線の干
渉縞の中心の位置にイメージセンサなどの半導体チップ
１がくるように紫外線検知装置を配置しなければならな
い場合は、紫外線による蛍光物質９の発光が上下左右対
称になる位置を探すことによって、同心円状の干渉縞の
中心の位置を探して配置することができる。
照射されても、マスク８により接着剤５への紫外線の入
射は遮られるので、接着剤５は紫外線により劣化せず、
封止が不完全になることはない。更に、紫外線が蛍光物
質９に照射すると、蛍光物質９が蛍光として可視光を発
生する。このため、紫外線がどこに照射されているか目
視で確認することができ、紫外線検知装置と紫外線の光
路の位置関係を容易に把握することができる。例えば、
紫外線を用いた干渉計において、同心円状の紫外線の干
渉縞の中心の位置にイメージセンサなどの半導体チップ
１がくるように紫外線検知装置を配置しなければならな
い場合は、紫外線による蛍光物質９の発光が上下左右対
称になる位置を探すことによって、同心円状の干渉縞の
中心の位置を探して配置することができる。
【００２３】本実施形態の紫外線検知装置では、蛍光物
質９はマスク８上に配置されているので、面積を大きく
して新たに蛍光物質９を配置する場所を設ける必要がな
く、効率がよい。蛍光物質９はマスク８上以外の場所に
配置することもできるが、紫外線の照射により蛍光物質
９が発した光が半導体チップ１に入射すれば余分な信号
となるので、蛍光物質９はその蛍光が半導体チップ１に
入射しない位置に配置することが好ましい。また、蛍光
物質９は、第４図に示されるようにリング状の平面形状
に限定されるものではなく、例えばリングの一部が欠け
た平面形状であっても、ほぼ同様の効果が得られる。
質９はマスク８上に配置されているので、面積を大きく
して新たに蛍光物質９を配置する場所を設ける必要がな
く、効率がよい。蛍光物質９はマスク８上以外の場所に
配置することもできるが、紫外線の照射により蛍光物質
９が発した光が半導体チップ１に入射すれば余分な信号
となるので、蛍光物質９はその蛍光が半導体チップ１に
入射しない位置に配置することが好ましい。また、蛍光
物質９は、第４図に示されるようにリング状の平面形状
に限定されるものではなく、例えばリングの一部が欠け
た平面形状であっても、ほぼ同様の効果が得られる。
【００２４】図５は本発明の第３の実施形態に係る紫外
線検知装置の断面図である。
線検知装置の断面図である。
【００２５】これらの図に示される紫外線検知装置は、
シリコンなどの半導体チップ１、セラミックスなどで作
られた部材２、部材３、および部材４などから構成され
るパッケージ、エポキシ樹脂などの接着剤５、紫外線を
透過する封止ガラス６、および開口部を有しかつ紫外線
を透過しない例えば金属などの材料でできている部材１
０により構成されている。半導体チップ１はパッケージ
の部材２上に貼り付けられ、電気的な配線７がワイヤボ
ンディング法などにより形成されている。部材１０の内
部側でかつ開口部の周囲に接着剤５を塗布し、封止ガラ
ス６を接着しているので、封止ガラス７は部材１０の内
部側に接着されかつ接着剤５を部材１０の一部分が覆う
ような構成となっている。また、本実施形態では、パッ
ケージの部材２は部材３よりあらかじめ大きくされてお
り、封止ガラス６を接着した部材１０を部材２に貼り付
けることにより、紫外線検知装置が組み立てられる。
シリコンなどの半導体チップ１、セラミックスなどで作
られた部材２、部材３、および部材４などから構成され
るパッケージ、エポキシ樹脂などの接着剤５、紫外線を
透過する封止ガラス６、および開口部を有しかつ紫外線
を透過しない例えば金属などの材料でできている部材１
０により構成されている。半導体チップ１はパッケージ
の部材２上に貼り付けられ、電気的な配線７がワイヤボ
ンディング法などにより形成されている。部材１０の内
部側でかつ開口部の周囲に接着剤５を塗布し、封止ガラ
ス６を接着しているので、封止ガラス７は部材１０の内
部側に接着されかつ接着剤５を部材１０の一部分が覆う
ような構成となっている。また、本実施形態では、パッ
ケージの部材２は部材３よりあらかじめ大きくされてお
り、封止ガラス６を接着した部材１０を部材２に貼り付
けることにより、紫外線検知装置が組み立てられる。
【００２６】このような紫外線検知装置に紫外線が照射
されても、接着剤５への紫外線の入射は部材１０の一部
分により遮られるので、接着剤５が紫外線により劣化す
ることはない。このため、長期間の紫外線の照射により
封止が不完全になることもない。
されても、接着剤５への紫外線の入射は部材１０の一部
分により遮られるので、接着剤５が紫外線により劣化す
ることはない。このため、長期間の紫外線の照射により
封止が不完全になることもない。
【００２７】図６は本発明の第４の実施形態に係る紫外
線検知装置の断面図である。
線検知装置の断面図である。
【００２８】部材１０上でかつ部材１０の開口部の周囲
に蛍光物質１１が付着されている以外は、図５に示され
る第３の実施形態の紫外線検知装置と同様の構成であ
る。蛍光物質１１には紫外線を照射すると可視光を発光
する物質が用いられ、例えばサリチル酸ナトリウムなど
である。
に蛍光物質１１が付着されている以外は、図５に示され
る第３の実施形態の紫外線検知装置と同様の構成であ
る。蛍光物質１１には紫外線を照射すると可視光を発光
する物質が用いられ、例えばサリチル酸ナトリウムなど
である。
【００２９】紫外線の接着剤５への照射が部材１０の一
部分により遮られるため、紫外線により封止が不完全に
なることはないのに加え、蛍光物質１１が紫外線の照射
により蛍光を発するので、第２の実施形態と同様、紫外
線検知装置と紫外線の光路の位置関係を容易に把握する
ことができる。また、面積を大きくして新たに蛍光物質
１１を配置する場所を設ける必要もなく、効率がよい。
部分により遮られるため、紫外線により封止が不完全に
なることはないのに加え、蛍光物質１１が紫外線の照射
により蛍光を発するので、第２の実施形態と同様、紫外
線検知装置と紫外線の光路の位置関係を容易に把握する
ことができる。また、面積を大きくして新たに蛍光物質
１１を配置する場所を設ける必要もなく、効率がよい。
【００３０】具体的な実施形態をあげたが、本発明は接
着剤への紫外線の入射が遮られるような構成であればよ
く、また蛍光物質は半導体チップの周囲の少なくとも一
部に配置されていればよく、前述の実施形態には限定さ
れない。
着剤への紫外線の入射が遮られるような構成であればよ
く、また蛍光物質は半導体チップの周囲の少なくとも一
部に配置されていればよく、前述の実施形態には限定さ
れない。
【００３１】
【発明の効果】以上のように、本発明の紫外線検知装置
によれば、接着剤への紫外線の入射を防ぐことができる
ので、接着剤が紫外線により劣化することはなく、長期
間にわたって紫外線を照射しても封止は不完全とはなら
ない。
によれば、接着剤への紫外線の入射を防ぐことができる
ので、接着剤が紫外線により劣化することはなく、長期
間にわたって紫外線を照射しても封止は不完全とはなら
ない。
【００３２】また、紫外線検知装置と紫外線の光路の位
置関係を目視により容易に把握することができる。この
ため紫外線検知装置と光学系との位置調整を容易に行う
ことができる。
置関係を目視により容易に把握することができる。この
ため紫外線検知装置と光学系との位置調整を容易に行う
ことができる。
【図１】本発明の第１の実施形態に係る紫外線検知装置
の断面図である。
の断面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る紫外線検知装置
の上面図である。
の上面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る紫外線検知装置
の断面図である。
の断面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る紫外線検知装置
の上面図である。
の上面図である。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る紫外線検知装置
の断面図である。
の断面図である。
【図６】本発明の第４の実施形態に係る紫外線検知装置
の断面図である。
の断面図である。
【図７】従来の紫外線検知装置の断面図である。
【図８】従来の紫外線検知装置の上面図である。
１ 半導体チップ ２ 部材 ３ 部材 ４ 部材 ５ 接着剤 ６ 封止ガラス ７ 配線 ８ マスク ９ 蛍光物質 １０ 部材 １１ 蛍光物質
Claims (8)
- 【請求項１】 紫外線を受光するセンサと、 前記センサを格納しかつ前記センサに紫外線を入射させ
るために少なくとも１つの面に開口部を有する容器と、 前記開口部を塞ぐためのカバーガラスと、 前記容器に前記カバーガラスを接着する接着剤と、 前記接着剤への紫外線の入射を遮蔽する遮光手段と、 を具備することを特徴とする紫外線検知装置。 - 【請求項２】 前記カバーガラスが紫外線を透過可能な
ガラスから成ることを特徴とする請求項１に記載の紫外
線検知装置。 - 【請求項３】 前記遮光手段が前記カバーガラス上の少
なくとも一部分に形成されたマスクであることを特徴と
する請求項２に記載の紫外線検知装置。 - 【請求項４】 紫外線を受光するセンサと、 前記センサを格納しかつ前記センサに紫外線を入射させ
るために少なくとも１つの面に開口部を有する容器と、 前記容器上でかつ前記開口部の周囲に塗布された接着剤
と、 前記接着剤によって前記容器上に接着されて前記開口部
を塞ぎかつ紫外線を透過可能なカバーガラスと、 前記カバーガラス上でかつ前記接着剤を覆う領域に形成
されかつ紫外線を透過しない材料より成るマスクと、 を具備し、前記センサは前記開口部から前記カバーガラ
スを通して入射した紫外線を受光しかつ前記マスクによ
り前記接着剤への紫外線の入射が遮られていることを特
徴とする紫外線検知装置。 - 【請求項５】 前記マスク上の少なくとも一部分に蛍光
物質を付着させたことを特徴とする請求項３または４の
いずれか１項に記載の紫外線検知装置。 - 【請求項６】 紫外線を受光するセンサと、 前記センサを格納しかつ前記センサに紫外線を入射させ
るために少なくとも１つの面に開口部を有する容器と、 前記容器の前記開口部の周辺領域の裏側に塗布された接
着剤と、 前記接着剤によって前記容器の内部側に接着されて前記
開口部を塞ぎかつ紫外線を透過可能なカバーガラスと、 を具備し、前記センサは前記開口部から前記カバーガラ
スを通して入射した紫外線を受光しかつ前記容器の前記
開口部の周辺領域により前記接着剤への紫外線の入射が
遮られていることを特徴とする紫外線検知装置。 - 【請求項７】 前記容器の前記開口部の周辺領域上の少
なくとも一部分に蛍光物質を付着させたことを特徴とす
る請求項６に記載の紫外線検知装置。 - 【請求項８】 紫外線を受光するセンサと、 前記センサを格納しかつ前記センサに紫外線を入射させ
るために少なくとも１つの面に開口部を有する容器と、 前記開口部を塞ぐカバーガラスと、 前記センサの周囲の少なくとも一部分に付着した蛍光物
質と、 を具備することを特徴とする紫外線検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9238865A JPH1168126A (ja) | 1997-08-20 | 1997-08-20 | 紫外線検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9238865A JPH1168126A (ja) | 1997-08-20 | 1997-08-20 | 紫外線検知装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1168126A true JPH1168126A (ja) | 1999-03-09 |
Family
ID=17036415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9238865A Pending JPH1168126A (ja) | 1997-08-20 | 1997-08-20 | 紫外線検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1168126A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1624493A3 (fr) * | 2004-07-23 | 2006-09-13 | Stmicroelectronics Sa | Procédé de fabrication de module optique pour boîtier semiconducteur à capteur optique |
| JP2008192811A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Fujikura Ltd | 電子部品およびその製造方法ならびに素子実装基板 |
| US8081554B2 (en) | 2009-08-19 | 2011-12-20 | Panasonic Corporation | Optical pickup device with specific wavelength light blocking members for preventing further curing of adhesive |
| JP2016004974A (ja) * | 2014-06-19 | 2016-01-12 | 京セラ株式会社 | 発光装置 |
| WO2020261754A1 (ja) | 2019-06-28 | 2020-12-30 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体パッケージ、および、電子装置 |
-
1997
- 1997-08-20 JP JP9238865A patent/JPH1168126A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1624493A3 (fr) * | 2004-07-23 | 2006-09-13 | Stmicroelectronics Sa | Procédé de fabrication de module optique pour boîtier semiconducteur à capteur optique |
| US7391576B2 (en) | 2004-07-23 | 2008-06-24 | Stmicroelectronics S.A. | Manufacturing of optical units for semiconductor packages with optical sensors |
| JP2008192811A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Fujikura Ltd | 電子部品およびその製造方法ならびに素子実装基板 |
| US8081554B2 (en) | 2009-08-19 | 2011-12-20 | Panasonic Corporation | Optical pickup device with specific wavelength light blocking members for preventing further curing of adhesive |
| JP2016004974A (ja) * | 2014-06-19 | 2016-01-12 | 京セラ株式会社 | 発光装置 |
| WO2020261754A1 (ja) | 2019-06-28 | 2020-12-30 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体パッケージ、および、電子装置 |
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