JP5000926B2 - 吊り下げ具及びそれを備えた熱処理装置 - Google Patents
吊り下げ具及びそれを備えた熱処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5000926B2 JP5000926B2 JP2006142819A JP2006142819A JP5000926B2 JP 5000926 B2 JP5000926 B2 JP 5000926B2 JP 2006142819 A JP2006142819 A JP 2006142819A JP 2006142819 A JP2006142819 A JP 2006142819A JP 5000926 B2 JP5000926 B2 JP 5000926B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- chamber
- workpiece
- heating chamber
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Description
20 被処理物
30 加熱室
31 開口部
32,33 開閉扉(遮蔽部材)
34,35 シャッタ部材(遮蔽部材)
40 中間領域
50 冷却室
51 開口部
52 扉
60 被処理物付け外し部
70 搬送装置
80 吊り下げ具
81 フック部(吊り下げ部)
82 閉鎖部
83 持ち上げ部
Claims (3)
- 熱処理室の上面及び一方の側面に連続して設けられた開口部を前記一方の側面に直交する方向に経由して前記熱処理室の内部に進退自在にされ、被処理物の上部を着脱自在に吊り下げる吊り下げ部と、
前記吊り下げ部の上方に連続して前記熱処理室の外部に配置され、断熱材を含み、前記熱処理室の上面における前記開口部の周縁部に選択的に支持されて前記開口部における前記熱処理室の上面側の少なくとも一部を閉鎖する閉鎖部と、
前記閉鎖部の上方に連続して前記熱処理室の外部に配置され、搬送装置のアームに持ち上げられる持ち上げ部と、を備えることを特徴とする吊り下げ具。 - 請求項1に記載の吊り下げ具と、
それぞれの上面及び一方の側面に前記吊り下げ具の吊り下げ部が挿通される開口部を有する加熱室及び冷却室と、
前記加熱室と前記冷却室との間に配置された中間領域と、
前記加熱室、前記中間領域及び前記冷却室の配列方向である第1の方向に直交する第2の方向で前記中間領域に隣接する位置に配置され、前記吊り下げ部に被処理物が着脱される被処理物付け外し部と、
前記吊り下げ具を前記第1の方向及び前記第2の方向に沿って搬送する搬送装置と、を備えることを特徴とする熱処理装置。 - 前記加熱室は、前記熱処理室の上面における前記開口部の前記吊り下げ具の閉鎖部が閉鎖する部分を除く部分を遮蔽する遮蔽部材を有することを特徴とする請求項2に記載の熱処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006142819A JP5000926B2 (ja) | 2006-05-23 | 2006-05-23 | 吊り下げ具及びそれを備えた熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006142819A JP5000926B2 (ja) | 2006-05-23 | 2006-05-23 | 吊り下げ具及びそれを備えた熱処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007315624A JP2007315624A (ja) | 2007-12-06 |
JP5000926B2 true JP5000926B2 (ja) | 2012-08-15 |
Family
ID=38849644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006142819A Expired - Fee Related JP5000926B2 (ja) | 2006-05-23 | 2006-05-23 | 吊り下げ具及びそれを備えた熱処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5000926B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108165905B (zh) * | 2018-03-23 | 2023-10-10 | 广东兴成铝业有限公司 | 一种铝型材挤出后时效处理装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07278647A (ja) * | 1994-04-11 | 1995-10-24 | Daido Steel Co Ltd | 回転熱処理炉 |
JP3782594B2 (ja) * | 1998-12-03 | 2006-06-07 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
JP2002284477A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-03 | Noritake Co Ltd | 基板吊下げ用ハンガー、把持装置、および吊下げ搬送式基板熱処理装置 |
-
2006
- 2006-05-23 JP JP2006142819A patent/JP5000926B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007315624A (ja) | 2007-12-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105378142B (zh) | 用于溅射系统的玻璃托盘 | |
JP5359887B2 (ja) | ガラス板成形用加熱装置及びガラス板の曲げ成形方法 | |
EP3211663A1 (en) | Horizontal furnace system and method for handling wafer boats, and wafer boat | |
WO2012063926A1 (ja) | 搬送装置及び搬送熱処理システム | |
JP5696612B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JP5000926B2 (ja) | 吊り下げ具及びそれを備えた熱処理装置 | |
TW201320221A (zh) | 基板冷卻機構及基板冷卻方法以及熱處理裝置 | |
KR101713196B1 (ko) | 인라인 열처리 장치 | |
JP2007187398A (ja) | 連続式熱処理炉 | |
JP6184718B2 (ja) | 熱処理炉 | |
KR20070119516A (ko) | 래크, 래크 시스템, 열처리장치, 및 열처리 시스템 | |
JP2019007675A (ja) | 熱処理炉及びこれに用いられる遮熱機構 | |
JP2015050341A (ja) | 基板処理装置及びメンテナンス方法 | |
JP5142471B2 (ja) | 熱処理炉用ロボットアーム装置 | |
KR20040094400A (ko) | 종형 열 처리 장치 | |
JP2005277049A (ja) | 熱処理システム及び熱処理方法 | |
JP2009132980A (ja) | 連続真空浸炭炉 | |
JP2016008812A (ja) | 熱処理装置 | |
US20220152685A1 (en) | Workpiece transport unit, hot pressing epuipment, workpiece transport method, and hot pressing method | |
TW200916850A (en) | Cooling device for sheet treated product and heat treatment system mounting the device | |
JP2742572B2 (ja) | 半導体ウェーハの縦型熱処理装置 | |
KR101936239B1 (ko) | 열처리로 | |
JP3696505B2 (ja) | 熱処理装置および熱処理方法 | |
JP3662893B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JP2016013592A (ja) | 搬送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090508 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20090508 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120515 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120517 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5000926 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150525 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |