JP2007315624A - 吊り下げ具及びそれを備えた熱処理装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】低コストでトラブルの発生が少なく、被処理物を立てた状態で熱処理できる吊り下げ具及びそれを備えた熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理装置10は、吊り下げ具80、加熱室30、中間領域40、冷却室50、被処理物付け外し部60及び搬送装置70を備える。加熱室30、中間領域40及び冷却室50を、矢印X方向に沿って配置した。中間領域40に隣接する被処理物付け外し部60内で、付け外し装置90を矢印X方向に直交する矢印Y方向に沿って移動自在にした。被処理物付け外し部60において、被処理物20を吊り下げた吊り下げ具80を、搬送装置70と付け外し装置90との間で受け渡す。吊り下げ具80を保持した搬送装置70を、矢印X方向に沿って移動させる。被処理物20は吊り下げ具80に吊り下げられた状態で開口部31,51を経由して加熱室30及び冷却室50に搬入出される。
【選択図】図1

Description

この発明は、加熱室や冷却室を含む熱処理室で熱処理が施される平板状の被処理物を熱処理室の内部に搬入出するための吊り下げ具、及び、この吊り下げ具を備えた熱処理装置に関する。
従来、約1400度の高温下で加熱した後に冷却する熱処理を施す熱処理装置において、平板状の被処理物は、ローラ等の搬送部材上に寝かされた状態で加熱室及び冷却室に搬入出されている(例えば、特許文献1参照。)。
被処理物は、上述のような高温下で、寝かされた状態で搬送部材上を搬送されると、自重によって変形することがある。また、加熱室の内壁部材やヒータから落下した塵埃がその表面に付着しやすく、熱処理にムラを生じる問題がある。
そこで、従来の熱処理装置では、被処理物を立てた状態で熱処理室の内部に収納して熱処理する構成が提案されている。
特開2003−207280公報
しかし、被処理物を立てた状態で加熱室や冷却室の内部に搬入出するためには、被処理物をクランプする機構や支持する機構が必要になる。これらの機構が複雑であると、特に高温の加熱室内で正確に動作しなくなる可能性が高くなる。また、被処理物をクランプする機構や支持する機構が複雑であると、高価な耐熱部品を多数用いる必要があり、設備費等のコストの上昇を招く。このため、被処理物を立てた状態で加熱室や冷却室の内部に搬入出するための機構をできる限り単純化する必要がある。
この発明の目的は、低コストでトラブルの発生が少なく、被処理物を立てた状態で加熱室や冷却室の内部に搬入出することができる吊り下げ具及びそれを備えた熱処理装置を提供することにある。
この発明の吊り下げ具は、吊り下げ部、閉鎖部及び持ち上げ部を備える。吊り下げ部は、熱処理室の上面及び一方の側面に連続して設けられた開口部を一方の側面に直交する方向に経由して熱処理室の内部に進退自在にされ、被処理物の上部を着脱自在に吊り下げる。閉鎖部は、吊り下げ部の上方に連続して熱処理室の外部に配置され、断熱材を含み、熱処理室の上面における開口部の周縁部に選択的に支持されて開口部における熱処理室の上面側の少なくとも一部を閉鎖する。持ち上げ部は、閉鎖部の上方に連続して熱処理室の外部に配置され、搬送装置のアームに持ち上げられる。
被処理物の上部を吊り下げる吊り下げ部のみが熱処理室の内部に配置され、吊り下げ部の上方に連続する閉鎖部及び持ち上げ部は、熱処理部の外部に配置される。閉鎖部が開口部の周縁部に支持されることで、被処理物は、吊り下げ部によって熱処理室の内部に立てた状態で吊り下げられる。搬送装置が持ち上げ部を持ち上げることで、吊り下げ部に吊り下げられた被処理物が、吊り下げ具とともに搬送される。被処理物は立てた状態で熱処理されるので、被処理物が自重で変形することがなく、均一に熱処理される。
上述のように、熱処理室の内部に配置されるのは、吊り下げ部のみである。また、熱処理室に対する被処理物の搬入出時に、被処理物を持ち替える等の作業の必要がない。このため、吊り下げ部は簡単な構造となる。さらに、熱処理室の開口部の少なくとも一部が断熱材を含む閉鎖部で閉鎖され、熱処理室の内部の断熱性が維持される。
この発明の熱処理装置は、上述の吊り下げ具、加熱室及び冷却室、中間領域、被処理物付け外し部及び搬送装置を備える。加熱室及び冷却室は、それぞれの上面に吊り下げ具の吊り下げ部を挿通させる開口部を有する。中間領域は、加熱室と冷却室との間に配置される。被処理物付け外し部は、加熱室、中間領域及び冷却室の配置方向である第1の方向に直交する第2の方向で中間領域に隣接する位置に配置される。被処理物付け外し部では、吊り下げ具の吊り下げ部に被処理物が着脱される。搬送装置は、第1及び第2の方向に吊り下げ具を搬送する。
この構成では、搬送装置は、加熱室、中間領域、冷却室及び被処理物付け外し部に沿って、T字形の搬送経路を移動することで吊り下げ具を搬送する。被処理物は、被処理物付け外し部で吊り下げ具に吊り下げられ、搬送装置によって被処理物付け外し部から加熱室へ搬送される。被処理物は、加熱室で加熱処理された後に、中間領域を経由して冷却室にに搬送される。冷却室で冷却された被処理物は、冷却室から被処理物付け外し部へ搬送され、被処理物付け外し部で吊り下げ具から取り外される。
加熱室、中間領域及び冷却室が、この順に配置されるとともに、被処理物付け外し部から加熱室までの距離、及び、冷却室から被処理物付け外し部までの距離が、ともに短くなるので、被処理物が効率よく搬送される。
この発明の熱処理装置の加熱室は、前記熱処理室の上面における開口部の少なくとも一部を遮蔽する遮蔽部材を有している。加熱室の開口部の全部が、吊り下げ具の閉鎖部及び遮蔽部材で閉鎖及び遮蔽される。
この発明の吊り下げ具によれば、被処理物を立てた状態で熱処理できるので、被処理物が自重で変形することがなく、被処理物を均一に熱処理することができる。また、耐熱部品が少数かつ簡単な構造で済むので、低コスト化することができる。さらに、熱処理室に対する搬入出時に、被処理物を持ち替える必要がないので、トラブルの発生を少なくすることができる。また、炉の開口部を閉鎖部で閉鎖することで、炉内の熱が炉外へ逃げず、消費エネルギを抑制することができる。
この発明の熱処理装置によれば、加熱室、中間領域及び冷却室を、この順に配置することで、被処理物付け外し部と加熱室及び冷却室との距離がともに短くなるので、被処理物を効率よく搬送することができる。したがって、被処理物を効率よく熱処理することができる。
図1は、この発明の実施形態に係る熱処理装置10の概略の構成を示す平面図である。図2は、熱処理装置10の概略の構成を示す正面図である。図3は、熱処理装置10における加熱室30の概略の構成を示す右側面断面図である。
熱処理装置10は、一例として、平板状の被処理物20である板材に対して熱処理を行う。熱処理装置10は、加熱室30、中間領域40、冷却室50、被処理物付け外し部60、搬送装置70及び吊り下げ具80を備えている。中間領域40には、例えば除冷室が配置される。
加熱室30、中間領域40及び冷却室50は、この順に矢印X方向(この発明の第1の方向である。)に沿って一直線上に配置されている。被処理物付け外し部60は、中間領域40に対して、矢印X方向に直交する矢印Y方向(この発明の第2の方向である。)に隣接する位置に配置されている。加熱室30、中間領域40及び冷却室50の背面側には、矢印X方向に沿ってレール71が配置されており、搬送装置70はレール71に案内されて経路上を移動自在にされている。搬送装置70は、略水平方向に延出した一対のアーム72を上下方向に移動自在に備えている。
被処理物付け外し部60には、付け外し装置90が配置されている。付け外し装置90は、略水平方向に延出した一対のアーム91を備えている。アーム91は、アーム72の移動範囲における最上部よりも低く最下部よりも高い位置に配置されている。付け外し装置90は、被処理物付け外し部60内で矢印Y方向に移動自在にされている。なお、付け外し装置90は、アーム91を矢印Y方向に沿って伸縮自在に備えたものであってもよい。
加熱室30は、断熱材料で構成された外壁部材、及び、外壁部材の内側に配置されたヒータを備え、被処理物20を約1200度〜約1400度の高温で熱処理する。加熱室30は、開口部31、開閉扉32,33、シャッタ部材34,35をさらに備えている。開閉扉32,33及びシャッタ部材34,35が、この発明の遮蔽部材に相当する。
開口部31は、加熱室30の上面及び中間領域40側の側面(この発明の一方の側面である。)に設けられ、矢印X方向及び垂直方向に沿って延びるスリット状に形成されている。吊り下げ具80は、一部が開口部31を経由して加熱室30の内部に進退自在となる位置に配置されている。
加熱室30の中間領域40側の側面では、開閉扉32,33が互いに左右対称にスライド自在にされており、開閉扉32,33は加熱室30の側面の開口部31を開閉する。開閉扉32,33は、吊り下げ具80に吊り下げられた被処理物20を加熱室30に搬入出する際に加熱室30の側面の開口部31を開放し、それ以外のときに加熱室30の側面の開口部31を閉鎖する。これによって、加熱室30の内部の熱の放散が抑制される。これに限らず、開閉扉32,33は、1枚で構成されて矢印X方向及び矢印Y方向に移動できるようにしたもの等の種々の構成とすることができる。
図4は、加熱室30の上面の一部の構成を示す平面図である。シャッタ部材34,35は、矢印X方向に沿って配置されている。シャッタ部材34とシャッタ部材35とは、例えば大きさを除いて略同様に構成されている。
シャッタ部材34は、遮蔽板34A及び伸縮部材34Bを備えている。遮蔽板34Aは、開口部31の矢印X方向に沿う一部の範囲を遮蔽自在な大きさ及び形状に形成されている。遮蔽板34Aは、断熱材料で構成されている。伸縮部材34Bは、矢印Y方向に沿って伸縮する。遮蔽板34Aは、伸縮部材34Bの伸縮によって、開口部31の一部を開放及び遮蔽する。
シャッタ部材35は、遮蔽板35A及び伸縮部材35Bを備えている。遮蔽板35Aは、開口部31の矢印X方向に沿う他の範囲を遮蔽自在な大きさ及び形状に形成されている。遮蔽板35Aは、断熱材料で構成されている。伸縮部材35Bは、矢印Y方向に沿って伸縮する。遮蔽板35Aは、伸縮部材35Bの伸縮によって、開口部35の一部を開放及び遮蔽する。
加熱室30に被処理物20が収納されていないときは、シャッタ部材34,35によって加熱室30の上面の開口部31の全範囲が遮蔽される。シャッタ部材34,35により、加熱室30内の熱が上面の開口部31から外部へ放散することを防止でき、消費エネルギが抑制される。
加熱室30に被処理物20が収納されているときは、例えば、加熱室30の上面の開口部31内でシャッタ部材34によって遮蔽される範囲に吊り下げ具80が挿入されている。その場合は、シャッタ部材34は上面の開口部31を開放する位置にし、シャッタ部材35は上面の開口部31の残りの部分を遮蔽する位置にする。
冷却室50は、上面及び中間領域側の側面(この発明の一方の側面である。)に連続する開口部51を備えている。開口部51は、矢印X方向及び垂直方向に延びるスリット状に形成されている。加熱室30の上面の開口部31と冷却室50の上面の開口部51とは、矢印X方向に平行な一直線上に配置されている。
冷却室50は、中間領域40側の側面に、開閉扉52が左右にスライド自在にされており、扉52は冷却室50の側面の開口部51を開閉する。開閉扉52は、吊り下げ具80に吊り下げられた被処理物20を冷却室50に搬入出する際に側面の開口部51を開放し、それ以外のときに側面の開口部51を閉鎖する。冷却室50において、加熱処理された後の高温の被処理物20が、所定時間かけて所定温度まで冷却される。
吊り下げ具80は、フック部(この発明の吊り下げ部に相当する。)81、閉鎖部82及び持ち上げ部83A,83Bを備えている。フック部81、閉鎖部82及び持ち上げ部83A,83Bは、下方からこの順に配置されている。
フック部81は、耐熱材料で構成され、加熱室30の内部に配置される。フック部81に、被処理物20が吊り下げられる。フック部81は、例えば円弧状に形成される。フック部81は、冷却室50においても冷却室50の内部に配置される。
閉鎖部82は、断熱材料で構成され、加熱室30の上面で外側から開口部31のうちシャッタ部材34によって遮蔽される範囲を閉鎖する。閉鎖部82は、開口部31の周縁部に支持される。フック部81に吊り下げられた被処理物20の荷重が、開口部31の周縁部で支持される。これによって、被処理物20は、フック部81によって加熱室30の内部に立てた状態で吊り下げられる。閉鎖部82が加熱室30の上面の開口部31の一部を閉鎖するため、シャッタ部材35を遮蔽位置にすることで加熱室30の上面の開口部31の全範囲が閉鎖され、加熱室30の内部の熱の外部への放散が抑制される。このため、消費エネルギが抑制される。
閉鎖部82は、冷却室50においても加熱室30と同様に、冷却室50の開口部51の周縁部で支持されるように配置され、開口部51の少なくとも一部を閉鎖する。
持ち上げ部83A,83Bは、一例としてリング状を呈し、加熱室30の外部であって閉鎖部82の上方に一対ずつ位置する。一対の持ち上げ部83Aは、搬送装置70の一対のアーム72に等しい間隔で配置されている。一対の持ち上げ部83Bは、付け外し装置90の一対のアーム91に等しい間隔で配置されている。
被処理物付け外し部60では、付け外し装置90と搬送装置70との間で、被処理物20の受渡しが行われる。熱処理前の被処理物20を熱処理装置10内に搬入する際には、先ず、吊り下げ具80のフック部81に被処理物20を吊り下げる。被処理部20を吊り下げた吊り下げ具80の持ち上げ部83Bにアーム91を貫通させ、アーム91に持ち上げ部83Bを引っ掛けることで、付け外し装置90に吊り下げ具80を保持させる。
次いで、吊り下げ具80を保持した付け外し装置90を、矢印Y方向に沿って背面側に移動させる。このとき、搬送装置70のアーム72は、移動範囲における最下部に位置させておく。吊り下げ具80を保持した付け外し装置90が矢印Y方向に沿って背面側に移動することで、アーム72は付け外し装置90が保持している吊り下げ具80の持ち上げ部83Aに貫通する。ここで、付け外し装置90の移動を停止し、アーム72を移動範囲における最上部に移動させ、アーム72に持ち上げ部83Aを引っ掛けることで、被処理物20を吊り下げた吊り下げ具80を搬送装置70に保持させる。最後に、付け外し装置90を矢印Y方向に沿って前面側に移動させ、付け外し装置90から搬送装置70への被処理物20の受渡しが完了する。
熱処理後の被処理物20を熱処理装置10から搬出する際には、付け外し装置90を矢印Y方向に沿って背面側に移動させ、搬送装置70に保持された吊り下げ具80の持ち上げ部83Bにアーム91を貫通させる。次いで、搬送装置70のアーム72を移動範囲における最下部に移動させ、アーム91に持ち上げ部83Bを引っ掛けることで、付け外し装置90に吊り下げ具80を保持させる。吊り下げ具80を保持した付け外し装置90を、矢印Y方向に沿って前面側に移動させることで、熱処理を完了した被処理物20を吊り下げ具80とともに熱処理装置10から搬出することができる。
アーム72に持ち上げ部83A,83Bを引っ掛けて吊り下げ具80を持ち上げた状態で搬送装置70が矢印X方向に沿って移動することで、フック部81に吊り下げられた被処理物20が、吊り下げ具80とともに搬送される。被処理物20を立てた状態で熱処理できるので、被処理物20が自重で変形することがなく、均一に熱処理される。また、搬送装置70に対する被処理物20の受け渡しが、加熱室30の外部の常温下で行われるので、トラブル発生時に即座に対処できる。
加熱室30の内部に配置されるのは、フック部81のみである。また、被処理物20を加熱室30及び冷却室40に搬入出する時に、被処理物20を持ち替える必要がない。このため、フック部81を簡単な構造とすることができ、耐熱材料からなる耐熱部品を、少数かつ簡単な構造で構成することができる。したがって、低コスト化を図ることができる。また、被処理物20の搬送作業におけるトラブルの発生が少なくなる。
加熱室30、中間領域40及び冷却室50が、この順に配置されるとともに、被処理物付け外し部60から加熱室30までの距離、及び、冷却室50から被処理物付け外し部60までの距離が、ともに短くなるので、被処理物20が効率よく搬送される。
また、熱処理装置10では、被処理物付け外し部60から加熱室30までの距離と、冷却室50から被処理物付け外し部60までの距離と、を略同じにできる。このため、搬送装置70は、熱処理すべき被処理物20を被処理物付け外し部60から加熱室30へ搬送し、被処理物20が加熱室30で加熱処理されている間に、冷却室50に収納されている被処理物20を被処理物付け外し部60へ搬送できる。また、冷却室50から被処理物付け外し部60へ被処理物20を搬送している間に、加熱室30での加熱処理が進行し、被処理物20を加熱室30から中間領域40、冷却室50へ搬送できるようになる。したがって、被処理物20が効率よく熱処理される。
なお、中間領域40では、加熱処理後の被処理物20と加熱処理前の被処理物20との間で熱交換を行うこともできる。
この発明の実施形態に係る熱処理装置10の概略の構成を示す平面図である。 熱処理装置の概略の構成を示す正面図である。 熱処理装置の概略の構成を示す右側面断面図である。 加熱室の上面の一部の構成を示す平面図である。
符号の説明
10 熱処理装置
20 被処理物
30 加熱室
31 開口部
32,33 開閉扉(遮蔽部材)
34,35 シャッタ部材(遮蔽部材)
40 中間領域
50 冷却室
51 開口部
52 扉
60 被処理物付け外し部
70 搬送装置
80 吊り下げ具
81 フック部(吊り下げ部)
82 閉鎖部
83 持ち上げ部

Claims (3)

  1. 熱処理室の上面及び一方の側面に連続して設けられた開口部を前記一方の側面に直交する方向に経由して前記熱処理室の内部に進退自在にされ、被処理物の上部を着脱自在に吊り下げる吊り下げ部と、
    前記吊り下げ部の上方に連続して前記熱処理室の外部に配置され、断熱材を含み、前記熱処理室の上面における前記開口部の周縁部に選択的に支持されて前記開口部における前記熱処理室の上面側の少なくとも一部を閉鎖する閉鎖部と、
    前記閉鎖部の上方に連続して前記熱処理室の外部に配置され、搬送装置のアームに持ち上げられる持ち上げ部と、を備えることを特徴とする吊り下げ具。
  2. 請求項1に記載の吊り下げ具と、
    それぞれの上面及び一方の側面に前記吊り下げ具の吊り下げ部が挿通される開口部を有する加熱室及び冷却室と、
    前記加熱室と前記冷却室との間に配置された中間領域と、
    前記加熱室、前記中間領域及び前記冷却室の配列方向である第1の方向に直交する第2の方向で前記中間領域に隣接する位置に配置され、前記吊り下げ部に被処理物が着脱される被処理物付け外し部と、
    前記吊り下げ具を前記第1の方向及び前記第2の方向に沿って搬送する搬送装置と、を備えることを特徴とする熱処理装置。
  3. 前記加熱室は、前記熱処理室の上面における前記開口部の前記吊り下げ具の閉鎖部が閉鎖する部分を除く部分を遮蔽する遮蔽部材を有することを特徴とする請求項2に記載の熱処理装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108165905A (zh) * 2018-03-23 2018-06-15 清远市兴成铝业有限公司 一种铝型材挤出后时效处理装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07278647A (ja) * 1994-04-11 1995-10-24 Daido Steel Co Ltd 回転熱処理炉
JP2000171163A (ja) * 1998-12-03 2000-06-23 Koyo Thermo System Kk 熱処理装置
JP2002284477A (ja) * 2001-03-28 2002-10-03 Noritake Co Ltd 基板吊下げ用ハンガー、把持装置、および吊下げ搬送式基板熱処理装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07278647A (ja) * 1994-04-11 1995-10-24 Daido Steel Co Ltd 回転熱処理炉
JP2000171163A (ja) * 1998-12-03 2000-06-23 Koyo Thermo System Kk 熱処理装置
JP2002284477A (ja) * 2001-03-28 2002-10-03 Noritake Co Ltd 基板吊下げ用ハンガー、把持装置、および吊下げ搬送式基板熱処理装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108165905A (zh) * 2018-03-23 2018-06-15 清远市兴成铝业有限公司 一种铝型材挤出后时效处理装置
CN108165905B (zh) * 2018-03-23 2023-10-10 广东兴成铝业有限公司 一种铝型材挤出后时效处理装置

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