JP4998407B2 - Iii−v族窒化物系半導体基板の製造方法 - Google Patents
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せてIII−V族窒化物系半導体基板を得るIII−V族窒化物系半導体基板の製造方法に関する。
しかし、この方法でも、やはりサファイア基板と低温成長バッファ層との結晶格子のずれは如何ともし難く、成長の開始当初は前述のステップフローモードではなく、3次元島状成長モードで結晶成長が進行する。このため、こうして得られたGaNは、109〜1010cm−2もの転位密度を有している。この欠陥は、GaN系デバイス、特にLD(レーザダイオード)や紫外発光のLED(発光ダイオード)を製作する上で障害となる。
例えば、特許文献1では、下地基板にGaAs基板を用いて作製したGaN自立基板において、上方に凸の反りが生じる例が図示されている(特許文献1の図11、図15)。GaN基板が反っている場合、その反りに対応するように、GaN基板の結晶軸も面内で分布を持つ。このことは、特許文献1の図15を用いた説明でも指摘されている。
図8は、基板Wの結晶軸の傾きの方向をあらわすパラメータを定義するための説明図である。基板Wの表面(おもて面)S上のある任意の点Aにおいて、表面Sに対し、表面Sに最も近い低指数面(基準となる結晶面)fがある傾きを持っていたとする。このとき、低指数面fの結晶軸(結晶軸の方向)aの傾きは、表面Sの法線nに対して、表面Sに最も近い低指数面fの法線ベクトルVがどちらにどれだけ傾いているかを調べればよい。これは、X線回折測定によって、容易に知ることができる。研磨前の元の基板がどちらに反っていたかを知るには、この基板の表面Sに最も近い低指数面fの法線ベクトルVを表面Sに投影したときにできるベクトルVSが、基板の面内でどちらを向いているかを見れば分かる。
表面S0が凹の反りを持った研磨前の元のGaN自立基板W0では、表面S0の各位置の法線は互いに平行ではなく、表面S0上方の一点(ないし所定領域)に収束するような分布を持ち、結晶軸aも同様な分布を持つ。従って、研磨加工後のGaN自立基板W1の結晶軸aは、図9(1)に示すように、GaN自立基板W1上方の一点(ないし所定領域)に収束するような分布を持つ。これを、上記ベクトルVSを用いて表示したのが図9(2)であり、基板W1面内のベクトルVSは、いずれも基板W1の中心付近の特定部位へと向かって収束するような分布となり、且つベクトルVSの大きさは、基板W1の中心側では小さく、基板W1の外周側になるほど大きくなる。
物系半導体基板が反っても、III−V族窒化物系半導体基板の面内の結晶軸の傾きの分布
を低減することができるIII−V族窒化物系半導体基板の製造方法を提供することにある
。
板表面に最も近い低指数面をC面とするのがより好ましい。さらに、そのC面は、III族
面とするのが好ましい。或いは、前記III−V族窒化物系半導体基板は、六方晶系であり
、且つ基板表面に最も近い低指数面がA面、M面又はR面のいずれかとしてもよい。
前記III−V族窒化物系半導体基板の表面は、鏡面研磨加工が施されていることが好ま
しい。
を用いて、前記異種基板上に前記III−V族窒化物系半導体結晶をヘテロエピタキシャル
成長させた後、前記異種基板を除去することにより前記III−V族窒化物系半導体基板を
得ることを特徴とするIII−V族窒化物系半導体基板の製造方法である。
でき、大幅に歩留まりを向上できる。
いて説明する。
つ互いに平行な、平板状の円形の基板(ウェハ)である。
異種基板1の基準となる結晶面の結晶軸aは、異種基板1の中心Oにおいて、表面1aの法線nに対して異種基板1の基準となる結晶面の結晶軸aが角度αだけ傾斜している。また、基板中心Oで結晶軸aが角度αだけ傾斜して傾斜方向に、異種基板1の中心Oから半径方向に20mmの位置において、表面1aの法線nに対して結晶軸aが角度ηだけ傾斜している。角度αと角度ηとの関係は、η−αの絶対値である|η−α|が0.02°
よりも大きく、|η−α|>0.02°となっている。
異種基板1の基準となる結晶面は、例えば、サファイア基板のような六方晶系の場合には、C面((0001)面)、A面((11−20)面)、M面((10−10)面)、R面((−1012)面)などである。
長させた場合に、III−V族窒化物系半導体層の表裏面の欠陥密度差に起因した内部応力
により、分離されたIII−V族窒化物系半導体層の表面は凹状に反ってしまう。このため
、III−V族窒化物系半導体層の表裏面を研磨して平坦なIII−V族窒化物系半導体基板を作製すると、研磨加工後の基板の結晶軸は、図9(1)に示すような基板の中心付近の特定部位へと傾いた分布、或いは図9(2)に示すような基板面上のベクトルVSを用いて表現すると、いずれも基板の中心付近の特定部位へと向かって収束するような分布となる。
、且つ異種基板1の面内の各点において異種基板1の表面1aの法線nに対し結晶軸aが異種基板1の半径方向の外側に傾斜している異種基板1を用い、即ち、上記反りによるIII−V族窒化物系半導体基板の結晶軸の半径方向の内側への傾斜角分布とは逆方向の傾斜
角分布を持つ異種基板1を用いて、反りによって生じるIII−V族窒化物系半導体基板の
結晶軸の傾きの分布を相殺して低減している。
このため、本実施形態の製造方法で得られるIII−V族窒化物系半導体基板の面内の結
晶軸の傾きの分布・バラツキは小さく、このIII−V族窒化物系半導体基板を用いて作製
されるデバイス、例えば発光素子にあっては、エピタキシャル層の結晶軸の傾き分布に起因する面内の発光波長のバラツキを低減でき、発光素子の歩留まりを大幅に向上できる。
の位置における結晶軸aの傾斜角度ηとの関係を、|η−α|>0.02°としたのは、
|η−α|が0.02°以下では、上記傾斜角分布による相殺効果が十分に得られないか
らである。
この実施形態の異種基板1は、図2に示すように、裏面1bは平坦で、平坦な裏面1bに対して表面1aが凹面上に形成されており、異種基板1の中心部が薄く、異種基板1の外周側になるほど厚くなっている。異種基板1内の基準となる結晶面の結晶軸aは、平坦な裏面1bに垂直な方向にほぼ一様に揃っている。このため、異種基板1の中心部では表面1aの法線nと結晶軸aとはほぼ一致し、基板中心部から離れるほど表面1aの法線nに対する結晶軸aの半径方向の外側への傾斜角が大きくなっている。図2の凹面状の表面1aの異種基板1を撓めて表面1aを平坦にしたときの、表面1aの結晶軸aの傾き分布は、図1(2)の異種基板1と同様になり、図1の異種基板1と同等の相殺効果が得られる。なお、異種基板1の裏面1bは必ずしも平坦でなくともよい。
AlN基板等が挙げられる。
また、上記実施形態では、異種基板上にIII−V族窒化物系半導体層を成長させた場合
に、分離したIII−V族窒化物系半導体層の表面が凹面状に反ってしまう場合について説
明したが、本発明は、分離したIII−V族窒化物系半導体層の表面が凸面状に反ってしま
うが場合にも応用できる。具体的には、0.02°<|η−α|の関係を満たし、且つ異
種基板1の面内の各点において異種基板1の表面1aの法線nに対し結晶軸aが異種基板1の半径方向の内側に傾斜している異種基板1を用いることにより、反りによって発生するIII−V族窒化物系半導体基板の結晶軸の傾きの分布を相殺して低減することが可能で
ある。
ボイド形成剥離法(Void-assisted Separation Method:VAS法)を用いて、自立し
たGaN基板を作製した。基板の作製手順および条件は、以下の通りである。
布には、特定傾きの分布は見られなかった。また、サファイア基板表面の中心位置と中心から半径r=20mmの位置との表面の高さの差を反り量(μm)として表1に示す。なお、表1において(表2、表3でも同じ)、基板表面を上にしたときに上方に凸の反りが生じている場合には凸、凹の反りが生じている場合には凹とし、凸、凹の次の数値は反り量の大きさを表している。例えば、試料番号No.1で「凸4」は、基板表面を上にしたと
きに上方に凸の反りを有し、基板中心から20mm離れたオフ方向の位置にて反り量が4μmであることを表している。
加工には、図3(a)に示すような球面状の凸面部3を有するセラミックプレート2を用いた。セラミックプレート2の凸面部3が、その中心Oから半径r=20mmの距離Pにおいて、d=10、20、30、40、50μmだけ曲がった一定曲率を持った5種類のセラミックプレート2を準備した。
これら5種類のセラミックプレート2の凸面部3に、ワックスを用いて、試料番号No.
6〜No.10のサファイア基板10の裏面10bをそれぞれ貼り付けた(図3(b))。
次に、セラミックプレート2の凸面部3に対応して、反りが生じたサファイア基板10の表面10aを平坦化した。まず、ダイヤモンド砥粒径が約15μmの砥石を用いて研削した。次に、定盤表面が螺旋溝に加工された錫定盤に、砥粒径3μmのダイヤモンド砥粒スラリを供給しながら定盤を回転させて研磨した。最後に、研磨布を貼り付けた定盤に、コロイダルシリカスラリを供給しながら定盤を回転させてポリッシュを行い、加工歪のない平坦な表面10aに加工した(図3(c))。
次にワックスを温め、セラミックプレー卜2からサファイア基板10を取り外した後、洗浄した(図3(d))。サファイア基板10をセラミックプレー卜2から取り外すと、セラミックプレー卜2の凸面部3に貼り付けられ、弾性変形されていたサファイア基板10が元の状態に戻り、裏面10bは平坦になり、研削加工等された表面10aは凹面状となった。これらサファイア基板10の結晶軸aの傾き分布は、加工前の同様に、裏面10bに垂直で面内でほぼ均一であった。こうして、試料番号No.11〜No.15の実施例のサファイア基板10を作製した。これら実施例のサファイア基板10は、図2に示す上記実施形態の基板1と同様な結晶軸分布を持つことになる。
板中心からの距離rが大きくなるほど、基板外周向きに大きくなる分布を持っていた。また、サファイア基板10のr=20mmの位置の反り量も表2に示す。
1〜No.15の実施例の単結晶サファイア基板の計10枚について、VAS法により、図
4に示すように、GaNの自立基板を製造した。
いることが確認できた。即ち、本発明にかかる結晶軸の傾きの分布規定が、GaN基板の欠陥密度を悪くする要因にはなっていないことを確認した。
GaN−MQW(多重量子井戸)層20、Mgドープp型Al0.15GaNクラッド層
21である。エピタキシャル層18〜21の合計の厚さは、100μm以下である。
実施例のサファイア基板(試料番号No.11〜No.15)を用いて作製したGaN基板17上に形成したLEDエピタキシャル層では、比較例の市販品のサファイア基板(試料番号No.1〜No.5)を用いて作製したGaN基板17上に形成したLEDエピタキシャル層に比べ、面内の発光波長バラツキを大幅に低減することができた。
1a 表面
1b 裏面
2 セラミックプレート
3 凸面部
10 サファイアC面基板(サファイア基板)
10a 表面
10b 裏面
16 GaN自立基板(GaN基板)
17 GaN自立基板(GaN基板)
a 結晶軸
n 表面の法線
O 基板表面の中心
α 傾斜した角度
η 傾斜した角度
V 法線ベクトル
VS 法線ベクトルを表面上に投影したベクトル
W 基板
W0 表面が凹の反りを持ったGaN自立基板
W1 W0の表裏面を平坦に研磨加工した後のGaN自立基板
Claims (6)
- 異種基板上に六方晶系のIII−V族窒化物系半導体結晶をヘテロエピタキシャル成長させるIII−V族窒化物系半導体基板の製造方法であって、
前記異種基板は、その中心における前記異種基板表面の法線に対して前記異種基板の基準となる結晶面の結晶軸が傾斜している角度αと、その傾斜方向に前記異種基板の中心から半径方向に20mmの位置における、前記異種基板表面の法線に対して前記結晶軸が傾斜している角度ηとの関係が、0.02°<|η−α|であり、且つ、前記異種基板面内の各点において前記異種基板表面の法線に対し前記結晶軸が前記異種基板の半径方向の外側に傾斜しているサファイア基板であることを特徴とするIII−V族窒化物系半導体基板の製造方法。 - 前記III−V族窒化物系半導体結晶は、前記III−V族窒化物系半導体基板の表面に最も近い低指数面がC面であることを特徴とする請求項1に記載のIII−V族窒化物系半導体基板の製造方法。
- 前記III−V族窒化物系半導体結晶は、前記III−V族窒化物系半導体基板の表面に最も近い低指数面がC面のIII族面であることを特徴とする請求項1に記載のIII−V族窒化物系半導体基板の製造方法。
- 前記III−V族窒化物系半導体結晶は、III−V族窒化物系半導体基板の表面に最も近い低指数面がA面、M面又はR面のいずれかであることを特徴とする請求項1に記載のIII−V族窒化物系半導体基板の製造方法。
- 前記III−V族窒化物系半導体基板の表面は、鏡面研磨加工が施されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のIII−V族窒化物系半導体基板の製造方法。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のIII−V族窒化物系半導体基板の製造方法を用いて、前記異種基板上に前記III−V族窒化物系半導体結晶をヘテロエピタキシャル成長させた後、前記異種基板を除去することにより前記III−V族窒化物系半導体基板を得ることを特徴とするIII−V族窒化物系半導体基板の製造方法。
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