JP4994452B2 - レーザ加工装置、加工制御装置および加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、加工ヘッドと被加工物とが衝突しないよう加工ヘッドの移動を制御するレーザ加工装置、加工制御装置および加工装置に関するものである。

従来、１枚の被加工物（板）をレーザ加工して複数の製品（複数のピース）を製造するレーザ加工装置では、１つの製品をレーザ加工を完了する毎に、次の製品の加工位置へ加工ヘッド（加工ノズル）を移動させて１枚の被加工物（以下、ワークという）を順番にレーザ加工している。

レーザ加工では、ワークを保持するために、複数箇所の支持点でワークを支持するワークサポート（被加工物支持台）によってワークを支持している（例えば、特許文献１参照）。

特開２００１−１７０７９０号公報

しかしながら、上記従来技術では、ワークサポートの板と板の間に、加工後の製品の一部が落ち、加工後の製品が傾く場合がある。この傾いた製品と加工ヘッドとの衝突を避けるためには、１つの製品を加工した後、次の製品の加工位置まで加工ヘッドを移動させる際に、例えば加工ヘッドをＺ軸（高さ）方向の原点（最上部）まで上昇させて次の製品の加工位置まで移動させる必要があった。このため、加工ヘッドのＺ軸方向への移動距離が長くなり、ワーク全体のレーザ加工に長時間を要するといった問題があった。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、加工ヘッドと加工後の製品チップとの衝突を防止しつつ、効率良く迅速に被加工物をレーザ加工できるレーザ加工装置、加工制御装置および加工装置を得ることを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、複数箇所の支持点で被加工物を支持するワーク支持台にレーザ加工前の前記被加工物を載置するとともに、レーザ光を前記被加工物に照射する加工ヘッドを前記被加工物に対して水平方向に移動させながら前記加工ヘッドで前記ワーク支持台上の被加工物をレーザ加工するレーザ加工装置において、前記被加工物がレーザ加工された場合に前記被加工物から分離される予定の製品チップと当該製品チップを支持する前記ワーク支持台の支持点との位置関係に基づいて、レーザ加工後の前記製品チップが高さ方向で傾斜してレーザ加工前の被加工物よりも上側の加工ヘッド側に突き出すか否かを判定する傾斜判定部と、前記製品チップのレーザ加工を完了して次の製品チップの加工位置まで前記加工ヘッドを移動させる際の、前記被加工物に対する前記加工ヘッドの高さを、前記傾斜判定部の判定結果に基づいて制御する加工ヘッド制御部と、を備えることを特徴とする。

この発明によれば、製品チップとワーク支持台の支持点との位置関係に基づいて、レーザ加工後の製品チップが加工ヘッド側に突き出すか否かを判定し、この判定結果に基づいて製品チップから次の製品チップまで加工ヘッドを移動させる際の加工ヘッドの高さを制御するので、加工ヘッドと加工後の製品チップとの衝突を防止しつつ、効率良く迅速に被加工物をレーザ加工できるという効果を奏する。

図１は、実施の形態１に係るレーザ加工装置の構成を示すブロック図である。 図２は、製品の傾斜を説明するための図（１）である。 図３は、製品の傾斜を説明するための図（２）である。 図４は、実施の形態１に係るレーザ加工装置の処理手順を示すフローチャートである。 図５は、サポート支持台へのワークサポートの配置を説明するための図である。 図６は、レーザ加工装置による各製品の加工順序を説明するための図である。 図７は、加工後の製品が傾斜する場合を説明するための図（１）である。 図８は、加工後の製品が傾斜する場合を説明するための図（２）である。 図９は、加工後の製品が傾斜しない場合を説明するための図である。 図１０は、製品の突き出し値を説明するための図である。 図１１は、加工ヘッドの上昇させる際の上昇量を説明するための図である。 図１２は、製品の板厚に基づいた加工ヘッドの上昇量を説明するための図である。 図１３は、剣山状のワーク支持部材上と加工後の製品の傾斜を説明するための図である。 図１４は、ワーク支持部材が剣山状である場合の製品の傾斜判定例を説明するための図である。 図１５は、製品が傾斜するか否かの他の判定例を説明するための図である。 図１６は、製品がワークサポート間に落下して、製品がワークの高さよりも下になる場合を説明するための図である。 図１７は、実施の形態２に係るレーザ加工装置の構成を示すブロック図である。 図１８は、ワークサポートの基準位置に対するワークのずれ量を説明するための図である。

符号の説明

１ レーザ加工装置
２ サポート支持台
５ 加工ヘッド
１１ 入力部
１２ サポート情報記憶部
１３ ワーク情報記憶部
１４ 位置関係算出部
１５ 傾斜判定部
１６ ヘッド上昇量算出部
１７ 駆動制御部
１９ 制御部
２２ 位置決め部
２５ 位置検出部
２６ 面内傾斜量算出部
３１ ワーク
４０ 基準位置
Ａ１〜Ａｎ ワークサポート
Ｂ１〜Ｂ１６ 製品
Ｃ１〜Ｃ３ 製品部分
Ｌ１ 配置間隔
Ｍ１〜Ｍｍ 製品
Ｐ１〜Ｐ４ 重心
Ｑ 針
Ｒ１，Ｒ２ 原点
Ｓ１，Ｓ２ ピアス位置
ａ２１〜ａ２６，ａ３１〜ａ３６，ｄ１〜ｄ３ 支持点
ｅ１，ｅ２ 板厚値
ｈ１，ｈ２ 突き出し値

以下に、本発明に係るレーザ加工装置、加工制御装置および加工装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。以下では、レーザ加工前の被加工物（１枚の板）をワークとし、ワークからレーザ加工によってワークから分離されるレーザ加工後の被加工物（１ピース）を製品として説明する。実施の形態におけるワークが特許請求の範囲に記載の被加工物に対応し、実施の形態における製品が特許請求の範囲に記載の製品チップに対応する。製品（製品チップ）は、実際に実製品として加工された部分（実製品としてワークから分離された部分）であってもよいし、実製品以外の部分であってもよい。実製品以外の部分は、例えば、実製品への穴あけ処理や、実製品の縁の切落し処理などによってワークから分離された部分である。

実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係るレーザ加工装置の構成を示すブロック図である。レーザ加工装置１は、１つの製品を加工してから次の製品の加工位置まで加工ヘッドを移動させる際の加工ヘッドの上昇位置（高さ）を、製品とワークサポートとの位置関係に基づいて製品毎に算出するレーザ加工装置である。

レーザ加工装置１は、入力部１１、サポート情報記憶部１２、ワーク情報記憶部１３、位置関係算出部１４、傾斜判定部１５、ヘッド上昇量算出部（ヘッド位置算出部）１６、駆動制御部（加工ヘッド制御部）１７、制御部１９を有している。なお、図１のレーザ加工装置１には、１つの製品の加工が完了した位置から次の製品の加工位置までの加工ヘッドの高さ方向の位置制御に関する手段を示しており、ＮＣプログラムなどを用いた加工制御に関する手段などの図示を省略している。また、図１のレーザ加工装置１では、ワークのレーザ加工を行う加工ヘッドやワークを支持するワークサポートなどの図示を省略している。

入力部１１は、マウスやキーボードを備えて構成され、ワークサポートの挿入位置（後述のサポート支持台２に対する位置）や配置間隔に関する情報をサポート情報として入力する。入力部１１は、入力したワークサポート情報をサポート情報記憶部１２に送る。

また、入力部１１は、ワークに関するワーク情報として、ワークの形状やサイズに関する情報、ワークの板厚に関する情報、製品の形状やサイズに関する情報、各製品のワーク上での位置（配置）に関する情報、サポート支持台２に対するワークの位置に関する情報などを入力する。入力部１１は、入力したワーク情報をワーク情報記憶部１３に送る。入力部１１への種々の情報の入力は、レーザ加工装置１の使用者によって手入力で行ってもよいし、外部装置内に格納されている情報を読込むことによって行ってもよい。

サポート情報記憶部１２は、入力部１１からのサポート情報を記憶するメモリなどの記憶手段であり、ワーク情報記憶部１３は、入力部１１からのワーク情報を記憶するメモリなどの記憶手段である。

位置関係算出部１４は、サポート情報記憶部１２内のサポート情報とワーク情報記憶部１３内のワーク情報に基づいて、加工対象となる各製品とワークサポートとの位置関係（座標）を算出する。位置関係算出部１４は、算出した位置関係を、傾斜判定部１５に送る。

傾斜判定部１５は、位置関係算出部１４が算出した位置関係に基づいて、各製品がレーザ加工後にワークサポートとワークサポートとの間（サポート支持台２の上）に落ちるか否か（製品が傾くか否か）を判定する。

本実施の形態の傾斜判定部１５は、例えば加工後の製品の重心の位置（サポート支持台２に対する位置）を算出する。また、傾斜判定部１５は、製品を支持するワークサポートの各支持点の位置を抽出するとともに、各支持点で囲まれたエリアをサポート領域（支持エリア）として製品毎に抽出する。そして、傾斜判定部１５は、算出した重心の位置がサポート領域内にあるか否かに基づいて、加工後の各製品が傾斜するか否かを判断する。傾斜判定部１５は、算出した重心がサポート領域の外側にある場合に、加工後の製品は傾斜すると判断し、算出した重心がサポート領域の内側にある場合に、加工後の製品は傾斜しないと判断する。

傾斜判定部１５は、加工後の製品は傾斜すると判断した場合に、ワークサポートのサイズ（高さ）や、製品の形状やサイズ、製品の重心位置などに基づいて、加工前に設置されたワークの高さに対して、加工後の製品が突き出す高さ方向の距離（値）を突き出し値（突出寸法）として算出する。換言すると、傾斜判定部１５は、レーザ加工後の製品が高さ方向で傾斜してレーザ加工前のワークよりも上側の加工ヘッド側に突き出す距離を突き出し値として算出する。傾斜判定部１５は、製品が傾斜するか否かの判断結果と、算出した突き出し値をヘッド上昇量算出部１６に送る。

ヘッド上昇量算出部１６は、傾斜判定部１５からの判断結果と突き出し値とに基づいて、次の製品の加工位置まで加工ヘッドを移動させる際の加工ヘッドの上昇量（ワーク加工時からの高さ）（ヘッド上昇量）を、算出する。傾斜判定部１５からの判断結果が傾斜なしの場合、ヘッド上昇量算出部１６は、加工ヘッドの上昇量を０とする。ヘッド上昇量算出部１６は、算出した加工ヘッドの上昇量を駆動制御部１７に送る。

駆動制御部１７は、次の製品の加工位置まで加工ヘッドを移動させる際、ヘッド上昇量算出部１６が算出した上昇量だけ加工ヘッドが上昇するよう加工ヘッドの高さを制御する。制御部１９は、入力部１１、サポート情報記憶部１２、ワーク情報記憶部１３、位置関係算出部１４、傾斜判定部１５、ヘッド上昇量算出部１６、駆動制御部１７を制御する。

ここで、加工後の製品の傾斜について説明する。図２および図３は、製品の傾斜を説明するための図である。図２に示すように、加工後の製品Ｂ１はワークから切り離されているので、ワークサポートＡ１〜Ａ３のうちの複数のワークサポートによって製品Ｂ１が支持されるとは限らない。例えば、ワークから切り離された製品Ｂ１が１つのワークサポートのみによって支持される場合、製品Ｂ１はワークサポート間に落ちて傾くこととなる。図２では、ワークから切り離された製品Ｂ１がワークサポートＡ２のみによって支持され、ワークサポートＡ１とワークサポートＡ２の間に落ちた場合を示している。これにより、製品Ｂ１は加工前と比べて傾斜し、加工前のワークの高さよりも高い位置に突き出すこととなる。

図３に示すように、ワーク３１からは、複数の製品（例えば製品Ｂ１〜Ｂ３）がレーザ加工されて分離される。各製品Ｂ１〜Ｂ３の寸法と、ワークサポートの配置間隔は同一であるとは限らない。このため、製品毎に製品を支持するワークサポートの位置（支持位置）が異なる。したがって、ワーク３１内の製品Ｂ１〜Ｂ３のうち、ワークサポート間に落ちる製品と落ちない製品がある。

図３では、製品Ｂ１がワークサポートＡ１とワークサポートＡ２の間に落ちた場合を示し、製品Ｂ２がワークサポートＡ３とワークサポートＡ４の間に落ちた場合を示している。また、製品Ｂ３が、ワークサポートＡ４とワークサポートＡ５によって支持され、ワークサポート間に落ちない場合を示している。このように、製品毎にワークサポート間に落ちる場合と落ちない場合があるので、本実施の形態では、加工後の製品毎に製品の傾斜の有無を判断する。

つぎに、実施の形態１に係るレーザ加工装置１の処理手順について説明する。図４は、実施の形態１に係るレーザ加工装置の処理手順を示すフローチャートである。レーザ加工装置１のサポート支持台２には、予め複数枚のワークサポートを所定の配置間隔でセットしておく。

図５は、サポート支持台へのワークサポートの配置を説明するための図である。図５では、レーザ加工装置１を上から見た際のワークサポートの上面図を示している。サポート支持台（ワーク支持台）２の上面部には、ワークサポートＡ１〜Ａｎ（ｎは自然数）を挿入して固定する溝部（図示せず）を設けておく。そして、各ワークサポートの配置間隔が所定の距離（配置間隔Ｌ１）となるよう、各溝部に各ワークサポートＡ１〜Ａｎを挿入する。これにより、サポート支持台２へは、所定の位置に所定の間隔で複数のワークサポートＡ１〜Ａｎが配設される。

サポート支持台２へワークサポートＡ１〜Ａｎを配設した後、ワークサポートＡ１〜Ａｎの上にワーク３１を載置する。このとき、ワーク３１の位置決めを行なうための位置決め部（当て面）２２とワーク３１の端部（角）（２辺）が当接するよう、ワーク３１をワークサポートＡ１〜Ａｎ上に載置する。

レーザ加工装置１の入力部１１へは、使用者によってサポート支持台２に対するワークサポートの挿入位置（座標）や配置間隔に関する情報（配置間隔Ｌ１）がサポート情報として入力される。入力部１１は、外部から入力されたワークサポート情報をサポート情報記憶部１２に送り、サポート情報記憶部１２は、入力部１１からのサポート情報を記憶する（ステップＳ１１０）。

また、入力部１１へは、使用者によってワークの形状やサイズに関する情報、製品の形状やサイズに関する情報、各製品のワーク上での位置に関する情報などをワーク情報として入力される。入力部１１は、外部から入力されたワーク情報をワーク情報記憶部１３に送る。ワーク情報記憶部１３は、入力部１１からのワーク情報を記憶する（ステップＳ１２０）。

この後、レーザ加工装置１はワークのレーザ加工を開始する（ステップＳ１３０）。レーザ加工装置１は、ＮＣプログラムに従って、ワーク３１内を順番にレーザ加工していく。ここで、レーザ加工装置１による各製品の加工順序について説明する。図６は、レーザ加工装置による各製品の加工順序を説明するための図である。

レーザ加工装置１は、例えば、製品Ｍ１、製品Ｍ２、製品Ｍ３、・・・製品Ｍｍ（ｍは自然数）の順番で各製品のレーザ加工を行っていく。レーザ加工装置１は、まず製品Ｍ１のレーザ加工を行なうために、加工開始位置（ピアス位置Ｓ１）のピアス加工を行う。そして、製品Ｍ１の外周部（スタート位置Ｔ１）までピアスラインを加工する。この後、スタート位置Ｔ１から製品Ｍ１の外周部のレーザ加工をスタート位置Ｔ１まで（１周分）行なって、製品Ｍ１をワーク３１から切り離す。

レーザ加工装置１は、製品Ｍ１のレーザ加工を完了すると、加工ヘッドを次の製品Ｍ２の加工開始位置（ピアス位置Ｓ２）まで移動させる。つぎに、レーザ加工装置１は、製品Ｍ２のレーザ加工を行なうために、加工開始位置（ピアス位置Ｓ２）のピアス加工を行う。そして、製品Ｍ２の外周部（スタート位置Ｔ２）までピアスラインを加工する。この後、スタート位置Ｔ２から製品Ｍ２の外周部のレーザ加工をスタート位置Ｔ２まで（１周分）行なって、製品Ｍ２をワーク３１から切り離す。

以下、レーザ加工装置１は、製品Ｍ１，Ｍ２と同様の処理手順によってワーク３１内の各製品Ｍ３〜Ｍｍをレーザ加工していく。本実施の形態では、レーザ加工装置１が製品Ｍｉ（ｉは１〜（ｍ−１）の自然数）のレーザ加工を完了して、次の製品Ｍ（ｉ＋１）の加工開始位置まで加工ヘッドを移動させる際に、ワーク３１から切り離された製品Ｍｉの傾きに応じて加工ヘッドの上昇量を制御する。

具体的には、レーザ加工装置１の位置関係算出部１４が、サポート情報記憶部１２内のサポート情報とワーク情報記憶部１３内のワーク情報に基づいて、加工対象となる製品とワークサポートとの位置関係を算出する（ステップＳ１４０）。位置関係算出部１４は、算出した位置関係を、傾斜判定部１５に送る。

傾斜判定部１５は、位置関係算出部１４が算出した位置関係に基づいて、現在加工中の製品がレーザ加工の完了した後にワークサポートとワークサポートとの間（サポート支持台２の上）に落ちて製品が傾くか否かを判定する。

傾斜判定部１５は、まず製品の重心の位置（サポート支持台２に対する位置）を算出する。さらに、傾斜判定部１５は、製品を支持するワークサポートの各支持点の位置（サポート支持台２に対する位置）を抽出するとともに、各支持点で囲まれたエリアをサポート領域として抽出する。

そして、傾斜判定部１５は、製品の重心の位置がサポート領域内にあるか否かを判定する（ステップＳ１５０）。傾斜判定部１５は、重心の位置がサポート領域の外側にある場合に、加工後の製品は傾斜すると判断し、重心の位置がサポート領域の内側にある場合に、加工後の製品は傾斜しないと判断する。

ここで、加工後の製品が傾斜するか否かの判定例について説明する。図７〜図９は、加工後の製品が傾斜するか否かの判定例を説明するための図である。図７〜図９では、レーザ加工装置１を上面から見た場合を示しており、ワークサポートＡ１〜Ａ３の長手方向をＹ軸方向、ワークサポートＡ１〜Ａ３の短手方向をＸ軸方向としている。

図７に示す製品Ｂ４では、重心Ｐ１がワークサポートＡ１とワークサポートＡ２の間に位置している。製品Ｂ４を支持するワークサポートＡ２の支持点のうち、サポート領域の端点となる支持点は、支持点ａ２１と支持点ａ２２であり、製品Ｂ４を支持するワークサポートＡ３の支持点は、支持点ａ３１と支持点ａ３２である。支持点ａ２１，ａ２２は、製品Ｂ４とワークサポートＡ２が当接する位置であって、ワークサポートＡ３とは反対側の端点である。支持点ａ３１，ａ３２は、製品Ｂ４とワークサポートＡ３が当接する位置であって、ワークサポートＡ２とは反対側の端点である。したがって、サポート領域は、支持点ａ２１、支持点ａ２２、支持点ａ３１、支持点ａ３２の４点で囲まれた領域となる。

製品Ｂ４の重心Ｐ１は、支持点ａ２１，ａ２２，ａ３１，ａ３２で囲まれたサポート領域外に位置しているので、製品Ｂ４は、ワーク３１から切り離された後に傾斜すると判断される。製品Ｂ４が傾斜する際、製品Ｂ４は、重心Ｐ１の位置がワークサポート間に落ちて傾斜する。製品Ｂ４の重心Ｐ１は、サポート領域よりも所定の距離だけＸ方向に位置している。このため、製品Ｂ４の重心Ｐ１の位置がワークサポートＡ１，Ａ２間に落ち、重心Ｐ１とサポート領域を介してＸ方向で対向する位置（支持点ａ３１，ａ３２側）がワーク３１の主面よりも上部に突き出すと判定される。

また、図８に示す製品Ｂ５では、重心Ｐ２がワークサポートＡ２とワークサポートＡ３の間に位置している。製品Ｂ５を支持するワークサポートＡ２の支持点のうち、サポート領域の端点となる支持点は、支持点ａ２３と支持点ａ２４であり、製品Ｂ５を支持するワークサポートＡ３の支持点は、支持点ａ３３と支持点ａ３４である。支持点ａ２３，ａ２４は、製品Ｂ５とワークサポートＡ２が当接する位置であって、ワークサポートＡ３とは反対側の端点である。支持点ａ３３，ａ３４は、製品Ｂ５とワークサポートＡ３が当接する位置であって、ワークサポートＡ２とは反対側の端点である。したがって、サポート領域は、支持点ａ２３、支持点ａ２４、支持点ａ３３、支持点ａ３４の４点で囲まれた領域となる。

製品Ｂ５の重心Ｐ２は、支持点ａ２３，ａ２４，ａ３３，ａ３４で囲まれたサポート領域外に位置しているので、製品Ｂ５は、ワーク３１から切り離された後に傾斜すると判断される。製品Ｂ５が傾斜する際、製品Ｂ５は、重心Ｐ２の位置がワークサポート間に落ちて傾斜する。製品Ｂ５の重心Ｐ２は、サポート領域よりも所定の距離だけＹ方向位置している。このため、製品Ｂ５の重心Ｐ２の位置がワークサポートＡ２，Ａ３間に落ち、重心Ｐ２とサポート領域を介してＹ方向で対向する位置（支持点ａ３３，ａ３４側）がワーク３１の主面よりも上部に突き出すと判定される。

また、図９に示す製品Ｂ６では、重心Ｐ３がワークサポートＡ２とワークサポートＡ３の間に位置している。製品Ｂ６を支持するワークサポートＡ２の支持点のうち、サポート領域の端点となる支持点は、支持点ａ２５と支持点ａ２６であり、製品Ｂ６を支持するワークサポートＡ３の支持点は、支持点ａ３５と支持点ａ３６である。支持点ａ２５，ａ２６は、製品Ｂ６とワークサポートＡ２が当接する位置であって、ワークサポートＡ３とは反対側の端点である。支持点ａ３５，ａ３６は、製品Ｂ６とワークサポートＡ３が当接する位置であって、ワークサポートＡ２とは反対側の端点である。したがって、サポート領域は、支持点ａ２５、支持点ａ２６、支持点ａ３５、支持点ａ３６の４点で囲まれた領域となる。

製品Ｂ６の重心Ｐ３は、支持点ａ２５，ａ２６，ａ３５，ａ３６で囲まれたサポート領域内に位置しているので、製品Ｂ６は、ワーク３１から切り離された後に傾斜しないと判断される。製品Ｂ６は、ワーク３１から切り離された後も支持点ａ２５，ａ２６，ａ３５，ａ３６によって支持される。

傾斜判定部１５は、製品の重心の位置がサポート領域内にないと判断した場合（ステップＳ１５０、Ｎｏ）、ワークサポートのサイズ（高さ）や、製品の形状やサイズ、製品の重心位置などに基づいて、突き出し値（加工前に設置されたワークの高さに対して、加工後の製品が突き出す高さ方向の距離）を算出する。

図１０は、製品の突き出し値を説明するための図である。加工後の製品の突き出し値は、ワークサポートＡ１の高さ、製品の形状やサイズ、製品の重心位置などによって異なる値となる。

例えば、図１０の左側に示す製品Ｂ８は、製品Ｂ８の略中央部でワークサポートＡ１に当接しているので、製品Ｂ８の傾斜角（サポート支持台２の底面と製品Ｂ８が成す角度）が大きくなり、突き出し値ｈ１も大きくなる。

一方、図１０の右側に示す製品Ｂ９は、製品Ｂ９の端部近傍でワークサポートＡ１に当接しているので、製品Ｂ９の傾斜角（サポート支持台２の底面と製品Ｂ９が成す角度）が小さくなり、突き出し値ｈ２も小さくなる。

このように、突き出し値は、製品とワークサポートの当接位置が製品の中央部に近いほど大きな値となり、製品とワークサポートの当接位置が製品の端部に近いほど小さな値となる。

また、ワークサポートの高さが低いほど、製品の傾き量が小さくなるので、ワークサポートの上部に突き出す製品の突き出し値が小さくなる。また、製品の傾斜方向のサイズが長いほど、ワークサポートの上部に突き出す製品の突き出し値が大きくなる。また、製品は重心位置が下がるよう傾斜するので、製品の重心位置と対向する側の製品のサイズが長いほど、ワークサポートの上部に突き出す製品の突き出し値が大きくなる。傾斜判定部１５は、製品が傾斜することを示す判断結果と、算出した突き出し値をヘッド上昇量算出部１６に送る。

ヘッド上昇量算出部１６は、傾斜判定部１５から製品が傾斜することを示す判断結果を受けると、傾斜判定部１５からの突き出し値と製品（ワーク３１）の板厚に基づいて、次の製品の加工位置まで加工ヘッドを移動させる際の加工ヘッドの上昇量（高さ）を算出する（ステップＳ１６０）。

図１１は、加工ヘッドの上昇させる際の上昇量を説明するための図である。図１１では、図１０の製品Ｂ８を加工した後の加工ヘッドの上昇量を示している。レーザ加工装置１では、製品Ｂ８を加工する際、加工ヘッド５は、ワークサポートＡ１上に載置されたワークの上面よりも所定の距離だけ高い位置からレーザ光をワーク３１に照射する（１）。

そして、製品Ｂ８の加工が完了すると、製品Ｂ８の突き出し値ｈ１に対応する距離だけ加工ヘッド５を上昇させ（２）、この加工ヘッド５を次の製品の加工開始位置まで移動させる（３）。

つぎに、製品（ワーク３１）の板厚に基づいた、加工ヘッド５の上昇量について説明する。図１２は、製品の板厚に基づいた加工ヘッド５の上昇量を説明するための図である。本実施の形態では、ヘッド上昇量算出部１６は、次の製品の加工位置まで加工ヘッドを移動させる際の加工ヘッドの上昇量を製品の板厚に応じて変更する。

例えば、図１２の左側に示す製品Ｂ１０は、製品の板厚が所定値よりも大きい板厚値ｅ１であるので、製品Ｂ１０を加工した後（１１）、突き出し値に対応する距離だけ加工ヘッド５を上昇させて（１２）、次の製品の加工位置まで加工ヘッド５を移動させる（１３）。

一方、図１２の右側に示す製品Ｂ１１は、製品の板厚が所定値よりも小さい板厚値ｅ２であるので、製品Ｂ１１を加工した後（２１）、加工ヘッド５を上昇させることなく、次の製品の加工位置まで加工ヘッド５を移動させる（２２）。

換言すると、ヘッド上昇量算出部１６は、次の製品の加工位置まで加工ヘッド５を移動させる際に、加工ヘッド５を上昇させるか否かを製品の板厚に基づいて決定する。ヘッド上昇量算出部１６は、例えば製品の板厚値が所定値よりも小さい場合、加工ヘッド５が製品に衝突しても加工ヘッド５の損傷は小さいので、加工ヘッド５を上昇させることなく加工ヘッド５を次の製品の加工開始位置まで移動させる。一方、ヘッド上昇量算出部１６は、製品の板厚値が所定値よりも大きい場合、加工ヘッド５が製品に衝突すると加工ヘッド５の損傷が大きいので、加工ヘッド５を所定の高さまで上昇させてから加工ヘッド５を次の製品の加工開始位置まで移動させる。

ヘッド上昇量算出部１６は、加工後の製品が傾斜しない場合（ステップＳ１５０、Ｙｅｓ）や製品の板厚値が所定値よりも小さい場合の加工ヘッド５の上昇量を０とする。ヘッド上昇量算出部１６は、算出した加工ヘッドの上昇量を駆動制御部１７に送る。

駆動制御部１７は、次の製品の加工位置まで加工ヘッド５を移動させる際、ヘッド上昇量算出部１６から送られてくる加工ヘッド５の上昇量だけ加工ヘッド５を上昇（移動）させる（ステップＳ１７０）。そして、加工ヘッド５を上昇させた状態で、加工ヘッド５は次の製品の加工開始位置まで移動させられる。

この後、レーザ加工装置１は、次の製品の加工を行う（ステップＳ１８０）。レーザ加工装置１は、次に加工を行なう製品が存在するか否かを判断する（ステップＳ１９０）。次に加工を行う製品がワーク３１上に残っている場合（ステップＳ１９０、Ｎｏ）、レーザ加工装置１は、ステップＳ１４０の処理に戻って、ステップＳ１４０〜Ｓ１９０の処理を繰り返す。すなわち、レーザ加工装置１は、次の製品のレーザ加工を行いながら、この製品の加工を完了してさらに次の製品の位置まで加工ヘッド５を移動させる際の加工ヘッド５の上昇量を算出する。そして、算出した上昇量に基づいて加工ヘッド５の高さ方向の位置を制御する。

レーザ加工装置１では、次に加工を行なう製品がワーク３１上からなくなるまで、ステップＳ１４０〜Ｓ１９０の処理を繰り返す。次に加工を行なう製品がワーク３１上からなくなると、レーザ加工装置１はワーク３１へのレーザ加工処理を終了する。

なお、本実施の形態では、ワーク３１を板状のワークサポート上に載置してワーク３１のレーザ加工を行う場合について説明したが、ワーク３１を剣山状のワーク支持部材上に載置してもよい。

図１３は、剣山状のワーク支持部材上と加工後の製品の傾斜を説明するための図である。ワーク支持部材が剣山状である場合も、ワークサポートによって製品を保持する場合と同様に、所定の支持点（針Ｑ）によって製品が保持される。図１３の左側に示した製品Ｂ１３は、製品が傾斜している場合を示しており、図１３の右側に示した製品Ｂ１４は、製品が傾斜せず剣山（支持点）で保持されている場合を示している。

また、ワーク支持部材が剣山状である場合も、ワークサポートによって製品を保持する場合と同様に、製品の重心がサポート領域の内側にあるか否かに基づいて、加工後の製品が傾斜するか否かが判定される。

ここで、ワーク支持部材が剣山状である場合の製品の傾斜判定例について説明する。図１４は、ワーク支持部材が剣山状である場合の製品の傾斜判定例を説明するための図である。同図に示すように、図１４では、レーザ加工装置１を上面から見た場合を示している。

図１４に示す製品Ｂ７では、製品Ｂ７を支持する剣山（支持点）のうち、サポート領域の端点となる支持点は、支持点ｄ１、支持点ｄ２、支持点ｄ３である。したがって、サポート領域は、支持点ｄ１〜ｄ３の３点で囲まれた領域となる。製品Ｂ７の重心Ｐ４は、支持点ｄ１〜ｄ３で囲まれたサポート領域外に位置しているので、製品Ｂ７は、ワーク３１から切り離された後に傾斜すると判断される。

また、本実施の形態では、製品の重心の位置とサポート領域の位置に基づいて、製品が傾斜するか否かを判断したが、これら以外の方法によって製品が傾斜するか否かを判断してもよい。

図１５は、製品が傾斜するか否かの他の判断例を説明するための図である。例えば、製品を支持するワークサポートを支持ワークサポートとした場合に、図１５ではワークサポートＡ１とワークサポートＡ２が製品Ｂ１２の支持ワークサポートとなる。傾斜判定部１５は、製品Ｂ１２を支持ワークサポート間に位置する製品部分（支持エリア内部分）Ｃ１と、支持ワークサポート間に位置しない製品部分（支持エリア外部分）Ｃ２，Ｃ３と、に分割する。製品部分Ｃ２と製品部分Ｃ３は、製品部分Ｃ１を介して対向する位置にある製品部分である。

傾斜判定部１５は、支持ワークサポート間に位置しない製品部分Ｃ２（製品部分Ｃ３）の面積と、製品Ｂ１２の面積と、の面積比率に基づいて製品Ｂ１２が傾斜するか否かを判断してもよい。傾斜判定部１５は、例えば、製品部分Ｃ２（製品部分Ｃ３）の面積が製品Ｂ１２の面積の３分の１よりも大きい場合に製品Ｂ１２は傾斜すると判断する。

また、傾斜判定部１５は、製品部分Ｃ２（製品部分Ｃ３）の面積と、製品部分Ｃ１の面積と、に基づいて製品Ｂ１２が傾斜するか否かを判断してもよい。傾斜判定部１５は、例えば、製品部分Ｃ２（製品部分Ｃ３）の面積が製品部分Ｃ１の面積よりも大きい場合に製品Ｂ１２は傾斜すると判断する。

また、傾斜判定部１５は、製品部分Ｃ２の面積から製品部分Ｃ３の面積を差し引いた面積（絶対値）と、製品部分Ｃ１の面積と、に基づいて製品Ｂ１２が傾斜するか否かを判断してもよい。傾斜判定部１５は、例えば、製品部分Ｃ２の面積から製品部分Ｃ３の面積を差し引いた面積とが、製品部分Ｃ１の面積よりも大きい場合に製品Ｂ１２は傾斜すると判断する。

なお、本実施の形態では、製品が傾斜するか否かの判定に基づいてレーザ加工装置１の加工ヘッド５の高さを制御したが、レーザ加工装置１以外の装置が有する加工ヘッドを、製品が傾斜するか否かの判定に基づいて高さ制御してもよい。

また、本実施の形態では、ワークサポートを配置間隔Ｌ１でサポート支持台２に配設する場合について説明したが、配置間隔Ｌ１は一定の間隔である場合に限らず、ワークサポート間毎に所望の配置間隔で配設してもよい。この場合、ワークサポート間毎に配置間隔の値をサポート情報としてレーザ加工装置１に入力しておく。

また、本実施の形態では、製品の突き出し値に応じた高さまで加工ヘッド５を上昇させて次の製品の加工開始位置まで加工ヘッド５を移動させる場合について説明したが、加工後の製品は傾斜すると判断した場合（判定結果が製品の傾斜である場合）に、製品の突き出し値とは関係なく予め設定した所定の高さまで加工ヘッド５を上昇させてよい。

また、本実施の形態では、製品の板厚に基づいて加工ヘッド５を上昇させるか否かを判断する場合について説明したが、傾斜判定部１５は、加工後の製品は傾斜すると判断した場合に、製品の板厚とは関係なく所定の距離だけ加工ヘッド５を上昇させると判断してもよい。

また、本実施の形態では、製品が傾斜しない場合には加工ヘッド５を上昇させることなく、次の製品の加工位置まで加工ヘッド５を移動させることとしたが、図１６に示すように製品Ｂ１５がワークサポートＡ１，Ａ２間に落下して、製品Ｂ１５がワーク３１の高さよりも下になる場合にも、加工ヘッド５を上昇させることなく次の製品Ｂ１６の加工位置まで加工ヘッド５を移動させてもよい。例えば、加工後の製品にサポート領域が存在しない場合（製品が、サポート支持台２の支持点上にない場合）、この製品はレーザ加工の完了後にワークサポート間に落下する。

また、図７に示したように、製品Ｂ４がＸ軸と略平行な方向で傾斜するような場合において、ワークサポートＡ２のＺ軸方向の長さ（高さ）が製品Ｂ４のＸ方向の長さよりも長い場合には、製品Ｂ４はレーザ加工の完了後にワークサポート間に落下する。したがって、このような場合には加工ヘッド５を上昇させることなく次の製品の加工位置まで加工ヘッド５を移動させる。

また、図８に示したように、製品Ｂ５がＹ軸と略平行な方向で傾斜するような場合、ワークサポートＡ２，Ａ３上に製品Ｂ５が引っ掛かる場合がある。このため、傾斜判定部１５は、ワークサポートＡ２，Ａ３上に製品Ｂ５が引っ掛かると判断した場合、ワークサポートＡ２，Ａ３のＺ軸方向の長さ（高さ）が製品Ｂ５のＹ方向の長さよりも長い場合であっても、製品Ｂ４は傾斜すると判断する。

また、本実施の形態では、製品の加工を完了して次の製品の加工位置へ移動する際に加工ヘッド５を上昇させたが、全ての製品の加工を完了した後、加工ヘッド５をワークの加工開始点（原点）へ戻す際に加工ヘッド５を上昇させてもよい。

また、本実施の形態では、製品の重心の位置とサポートエリアの位置に基づいて、製品が傾斜するか否かを判定したが、製品を支持する支持点の数に基づいて製品が傾斜するか否かを判定してもよい。

例えば、製品を支持する支持点が１点の場合、傾斜判定部１５は、製品が傾斜すると判定する。また、製品を支持する支持点が３点以上の場合、傾斜判定部１５は、製品が傾斜しないと判定する。また、製品を支持する支持点が２点の場合、傾斜判定部１５は、支持ワークサポート間に位置する製品部分Ｃ１の面積と、支持ワークサポート間に位置しない製品部分Ｃ２，Ｃ３の面積とに基づいて、製品が傾斜するか否かを判定する。

また、傾斜判定部１５は、ワークサポートの配置間隔に基づいて、製品が傾斜するか否かを判定してもよい。傾斜判定部１５は、ワークサポートの配置間隔が所定値よりも大きい場合に、製品はワークサポート間に落ちやすいので製品は傾斜すると判断する。また、傾斜判定部１５は、ワークサポートの配置間隔が所定値よりも小さい場合に、製品はワークサポート間に落ちにくいので製品は傾斜しないと判断する。

また、傾斜判定部１５は、製品のサイズ（ワークサポート間方向の長さ）（Ｘ方向の寸法）に基づいて、製品が傾斜するか否かを判定してもよい。傾斜判定部１５は、製品のＸ方向の寸法が所定値よりも小さい場合に、製品はワークサポート間に落ちやすいので製品は傾斜すると判断する。また、傾斜判定部１５は、製品のＸ方向の寸法が所定値よりも大きい場合に、製品はワークサポート間に落ちにくいので製品は傾斜しないと判断する。

また、傾斜判定部１５は、ワークサポートの高さ方向のサイズ（Ｚ軸方向の寸法）に基づいて、製品が傾斜するか否かを判定してもよい。傾斜判定部１５は、ワークサポートのＺ軸方向の寸法が所定値よりも大きい場合、製品がワークサポート間に落ちても製品が被加工物の高さよりも突出することはないので製品は傾斜しないと判断する。また、傾斜判定部１５は、ワークサポートのＺ軸方向の寸法が所定値よりも小さい場合、製品がワークサポート間に落ちると製品が被加工物の高さよりも突出するので製品は傾斜すると判断する。

また、本実施の形態では、レーザ加工装置１の使用者がサポート支持台２に所望の間隔でワークサポートを挿入するとともに、ワークサポートの配置間隔を入力部１１から入力することとしたが、ワークサポートの配置間隔を予め設定しておいてもよい。この場合、使用者は、予め設定されたワークサポートの配置間隔となるようサポート支持台にワークサポートを挿入する。そして、位置関係算出部１４では、予め設定されたワークサポートの配置間隔（値）を用いて、製品とワークサポートとの位置関係を算出する。

なお、製品を加工した後の加工ヘッド５の移動方向にによっては、製品が傾斜した場合であっても加工ヘッド５と製品が衝突しない場合があるので、このような場合には加工ヘッド５を上昇させないこととしてもよい。この場合、加工ヘッド５と製品が衝突するか否かは、製品の重心の位置とサポートエリアの位置を用いて算出される製品の傾斜方向に基づいて判断される。

このように実施の形態１によれば、１つの製品を加工してから次の製品の加工位置まで加工ヘッド５を移動させる際の加工ヘッド５の上昇位置を、製品とワークサポートとの位置関係に基づいて製品毎に算出するので、加工ヘッド５の無駄な上昇を減らすことが可能となる。したがって、加工ヘッド５と加工後の製品との衝突を防止しつつ、効率良く迅速にワーク３１をレーザ加工することが可能となる。

また、製品がレーザ加工前のワークよりも上側の加工ヘッド５側に突き出す距離（突き出し値）に基づいて、加工ヘッド５の上昇量を制御するので、各製品の突き出し値に応じた適切な高さだけ加工ヘッド５を上昇させることが可能となる。したがって、製品毎に加工ヘッド５と製品との衝突を防止でき、迅速にワーク３１をレーザ加工することが可能となる。

また、製品の重心の位置と、製品を支持するワークサポートの各支持点で囲まれたサポート領域の位置とに基づいて、加工ヘッド５の上昇量を制御するので、加工後の製品が傾斜してワーク３１よりも高い位置に突き出すか否かを製品毎に正確に判断することが可能となる。したがって、加工ヘッド５と製品との衝突を製品毎に確実に防止できる。

また、製品がワークサポート間に落下して、製品がワークサポートの高さよりも下になる場合には、加工ヘッド５を上昇させることなく次の製品の加工位置まで加工ヘッド５を移動させるので、加工ヘッド５の無駄な上昇を防止することが可能となる。

また、支持ワークサポート間に位置しない製品部分の面積と、支持ワークサポート間に位置する製品部分の面積と、の面積比率に基づいて製品が傾斜するか否かを判断するので、加工後の製品が傾斜してワーク３１よりも高い位置に突き出すか否かを製品毎に容易に判断することが可能となる。したがって、加工ヘッド５と製品との衝突を製品毎に容易に防止できる。

また、製品の板厚に基づいて、次の製品の加工位置まで加工ヘッド５を移動させる際の加工ヘッド５の上昇量を算出するので、製品の板厚が厚い場合には加工ヘッド５を上昇させることによって確実に加工ヘッド５と製品の衝突を防止できる。また、製品の板厚が薄くて加工ヘッド５と製品の衝突による損傷を無視できる場合は、加工ヘッド５を上昇させることなく次の製品の加工位置まで移動させることによって、迅速にワーク３１をレーザ加工することが可能となる。

また、各製品の加工が完了するまでにリアルタイムで加工ヘッド５の上昇量を算出しておき、製品の加工完了後には、算出しておいた上昇量だけ加工ヘッド５を上昇させて次の製品の加工開始位置まで加工ヘッド５を移動させるので、効率良くワーク３１の加工を行うことが可能となる。

実施の形態２．
つぎに、図１７および図１８を用いてこの発明の実施の形態２について説明する。実施の形態２では、ワーク３１の位置決めを行なうことなくワーク３１がワークサポート上に載置された場合に、ワークサポートに対するワーク３１の位置関係を検出して製品の傾斜を判定する。

図１７は、本発明の実施の形態２に係るレーザ加工装置の構成を示すブロック図である。図１７の各構成要素のうち図１に示す実施の形態１のレーザ加工装置１と同一機能を達成する構成要素については同一番号を付しており、重複する説明は省略する。

レーザ加工装置１は、入力部１１、サポート情報記憶部１２、ワーク情報記憶部１３、位置関係算出部１４、傾斜判定部１５、ヘッド上昇量算出部１６、駆動制御部１７、制御部１９に加えて、位置検出部２５、面内傾斜量算出部２６を有している。

位置検出部２５は、ワークサポート上に載置されたワーク３１の位置を検出する。位置検出部２５は、例えば静電式倣いによる静電容量の変化を利用した非接触式検知方法等による材料端面検知方法によって、ワーク３１の位置検出を行なう。位置検出部２５は、ワークサポート上に載置されたワーク３１の端部（外縁部）となっている３点（同一直線上にない３点）の位置を検出し、検出結果をワーク情報（位置情報）としてワーク情報記憶部１３に送る。

面内傾斜量算出部２６は、ワーク情報記憶部１３内のワーク情報（３点の位置情報など）に基づいて、ワークサポートの基準位置（実施の形態１の図５で示した位置決め部２２）に対するワーク３１のずれ量と基準位置からのＸＹ平面内の傾斜角度（ずれ角）を算出する。

面内傾斜量算出部２６は、算出したワーク３１のずれ量と傾斜角を位置ずれ情報として位置関係算出部１４に入力する。本実施の形態の位置関係算出部１４は、面内傾斜量算出部２６からの位置ずれ情報、サポート情報記憶部１２内のサポート情報、ワーク情報記憶部１３内のワーク情報に基づいて、製品とワークサポートとの位置関係を算出する。

ここで、ワークサポートの基準位置に対するワーク３１のずれ量について説明する。図１８は、ワークサポートの基準位置に対するワークのずれ量を説明するための図である。ワーク３１を位置決め部２２に当接させるようワーク３１をワークサポート上に載置すれば、図１８の点線で示した基準位置４０でワーク３１がワークサポートに支持される。

本実施の形態では、ワーク３１を位置決め部２２に当接させることなく使用者が所望の位置でワーク３１をワークサポート上に載置するので、ワーク３１は基準位置４０に位置するとは限らない。このため、ワーク３１の原点Ｒ２の位置は、基準位置４０の原点Ｒ１の位置と同じであるとは限らない。レーザ加工装置１の位置検出部２５は、ワークのレーザ加工を開始する前（図４のステップＳ１３０の処理の前）に、ワークサポート上に載置されたワーク３１で端部となっている点ｆ１〜ｆ３の位置を検出する。

そして、面内傾斜量算出部２６は、ワーク情報内の点ｆ１〜ｆ３の位置に関する情報、ワークの形状やサイズに関する情報、サポート支持台２に対する基準位置４０（原点Ｒ１）に関する情報などに基づいて、基準位置４０（原点Ｒ１）に対するワーク３１（原点Ｒ２）のずれ量と、基準位置４０からのワーク３１のずれ角θを算出する。

そして、位置関係算出部１４は、面内傾斜量算出部２６からの位置ずれ情報、サポート情報記憶部１２内のサポート情報、ワーク情報記憶部１３内のワーク情報に基づいて、製品とワークサポートとの位置関係を算出する。この後、レーザ加工装置１は、実施の形態１の図４で説明した処理手順と同様の処理手順によってワーク３１をレーザ加工する。

このように、実施の形態２によれば、ワークサポート上に載置されたワーク３１の位置を検出するとともに、この検出した位置の情報を用いて製品とワークサポートとの位置関係を算出するので、ワーク３１を位置決め部２２に当接させることなく使用者が所望の位置でワーク３１をワークサポート上に載置した場合であっても、加工ヘッド５と加工後の製品との衝突を防止することができる。したがって、効率良く迅速にワーク３１をレーザ加工することが可能となる。

以上のように、本発明に係るレーザ加工装置、加工制御装置および加工装置は、加工ヘッドと被加工物の衝突防止に適している。

Claims (9)

1. 複数箇所の支持点で被加工物を支持するワーク支持台にレーザ加工前の前記被加工物を載置するとともに、レーザ光を前記被加工物に照射する加工ヘッドを前記被加工物に対して水平方向に移動させながら前記加工ヘッドで前記ワーク支持台上の被加工物をレーザ加工するレーザ加工装置において、
   前記被加工物がレーザ加工された場合に前記被加工物から分離される予定の製品チップと当該製品チップを支持する前記ワーク支持台の支持点との位置関係に基づいて、レーザ加工後の前記製品チップが高さ方向で傾斜してレーザ加工前の被加工物よりも上側の加工ヘッド側に突き出すか否かを判定する傾斜判定部と、
   前記製品チップのレーザ加工を完了して次の製品チップの加工位置まで前記加工ヘッドを移動させる際の、前記被加工物に対する前記加工ヘッドの高さを、前記傾斜判定部の判定結果に基づいて制御する加工ヘッド制御部と、
   を備えることを特徴とするレーザ加工装置。
2. 前記加工ヘッド制御部が制御する前記被加工物に対する前記加工ヘッドの高さを、前記製品チップ毎に前記製品チップに応じたヘッド上昇量として算出するヘッド位置算出部をさらに備え、
   前記傾斜判定部は、前記製品チップがレーザ加工前の被加工物よりも上側に突き出す高さを突出寸法として前記製品チップ毎に算出し、
   前記ヘッド位置算出部は、前記傾斜判定部が算出した突出寸法に応じたヘッド上昇量を算出し、
   前記加工ヘッド制御部は、前記ヘッド位置算出部が算出したヘッド上昇量に基づいて前記加工ヘッドの高さを制御することを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
3. 前記傾斜判定部は、前記製品チップの重心が、当該製品チップを支持するワーク支持台の各支持点で囲まれた支持エリア外である場合に、レーザ加工後の前記製品チップはレーザ加工前の被加工物よりも上側に突き出すと判定することを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
4. 前記傾斜判定部は、レーザ加工後の前記製品チップが、前記ワーク支持台の支持点上にない場合に、レーザ加工後の前記製品チップはレーザ加工前の被加工物よりも上側に突き出さないと判定することを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
5. 前記傾斜判定部は、レーザ加工後の前記製品チップを、当該製品チップを支持するワーク支持台の各支持点で囲まれた支持エリア内に位置する支持エリア内部分および前記指示エリア外に位置する支持エリア外部分に分割した場合の、前記支持エリア内部分の面積と前記支持エリア外部分の面積との面積比率に基づいて、レーザ加工後の前記製品チップがレーザ加工前の被加工物よりも上側に突き出すか否かを判定することを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
6. 前記ヘッド位置算出部は、前記製品チップの板厚に応じたヘッド上昇量を算出することを特徴とする請求項２に記載のレーザ加工装置。
7. 前記ワーク支持台に対する前記被加工物の配置位置を位置情報として測定する位置検出部と、
   前記位置検出部が測定した位置情報を用いて、レーザ加工後の前記製品チップと当該製品チップを支持する前記ワーク支持台の支持点との位置関係を算出する位置関係算出部と、
   をさらに備え、
   前記傾斜判定部は、前記位置関係算出部が算出した前記製品チップと前記支持点との位置関係に基づいて、レーザ加工後の前記製品チップがレーザ加工前の被加工物よりも上側の加工ヘッド側に突き出すか否かを判定することを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
8. レーザ光を被加工物に照射する加工ヘッドによって、複数箇所の支持点で前記被加工物を支持するワーク支持台上の前記被加工物をレーザ加工する際の、前記加工ヘッドの移動を制御する加工制御装置において、
   前記被加工物がレーザ加工された場合に前記被加工物から分離される予定の製品チップと当該製品チップを支持する前記ワーク支持台の支持点との位置関係に基づいて、レーザ加工後の前記製品チップが高さ方向で傾斜してレーザ加工前の被加工物よりも上側の加工ヘッド側に突き出すか否かを判定する傾斜判定部と、
   前記製品チップのレーザ加工を完了して次の製品チップの加工位置まで前記加工ヘッドを移動させる際の、前記被加工物に対する前記加工ヘッドの高さを、前記傾斜判定部の判定結果に基づいて制御する加工ヘッド制御部と、
   を備えることを特徴とする加工制御装置。
9. 複数箇所の支持点で被加工物を支持するワーク支持台に加工前の前記被加工物を載置するとともに、加工ヘッドを前記被加工物に対して水平方向に移動させながら前記加工ヘッドで前記ワーク支持台上の被加工物を加工する加工装置において、
   前記被加工物が加工された場合に前記被加工物から分離される予定の製品チップと当該製品チップを支持する前記ワーク支持台の支持点との位置関係に基づいて、加工後の前記製品チップが高さ方向で傾斜して加工前の被加工物よりも上側の加工ヘッド側に突き出すか否かを判定する傾斜判定部と、
   前記製品チップの加工を完了して次の製品チップの加工位置まで前記加工ヘッドを移動させる際の、前記被加工物に対する前記加工ヘッドの高さを、前記傾斜判定部の判定結果に基づいて制御する加工ヘッド制御部と、
   を備えることを特徴とする加工装置。

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