JP4984635B2 - ターボ分子ポンプおよびターボ分子ポンプシステム - Google Patents
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Description
請求項2の発明に係るターボ分子ポンプシステムは、請求項1に記載のターボ分子ポンプと、保守用信号入力部および駆動用信号入力部のいずれか一方を選択する選択操作部が設けられた操作ユニットと、を備え、判定手段は、検出手段により接続が検出された場合には、選択操作部により選択された信号入力部からの操作信号を有効と判定することを特徴とする。
請求項3の発明に係るターボ分子ポンプシステムは、請求項1に記載のターボ分子ポンプと、所定時間を変更する変更手段が設けられた操作ユニットと、を備えたことを特徴とする。
請求項4の発明は、請求項3に記載のターボ分子ポンプシステムにおいて、操作ユニットは、保守用信号入力部および駆動用信号入力部のいずれか一方を選択する選択操作部を備え、判定手段は、接続が検出された場合には、選択操作部により選択された信号入力部からの操作信号を有効と判定するようにしたものである。
請求項5の発明は、請求項2乃至4のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプシステムにおいて、操作ユニットは、駆動制御ユニットのポンプ情報の操作ユニットへの出力を要求する信号と、ターボ分子ポンプを操作する信号とを保守用操作信号として出力するようにしたものである。
請求項6の発明は、請求項5に記載のターボ分子ポンプシステムにおいて、操作ユニットが、ポンプ情報を外部へ出力する出力手段を備えたものである。
次に、駆動制御ユニット3の操作モードについて、図3,4を用いて説明する。図3は操作モード切替の基本的な動作を示したものである。駆動制御ユニット3の電源がオンされると、操作モードはリモートモードとなる。その後、入力部C1に操作ユニット4が接続されているか否かの検出動作を行い、入力部C1に操作ユニット4が接続されていることが検出されると操作ユニットモードに切り替わる。逆に、操作ユニット4を接続した状態から接続を外して分離すると、操作モードは操作ユニットモードからリモートモードへと切り替わる。
図3に示した操作モード切替動作は基本形を示したものであり、さらに、操作ユニット4のモードスイッチ44の状態や制御部34に設定されている遅延時間設定に応じて、図4に示すようなより細かな切り替え動作を行うことができる。まず、モードスイッチ44の状態によるモード切替について説明する。
上述した説明では、操作ユニット4を分離して操作ユニットモードからリモートモードに切り替える場合、分離すると直ちに操作モードが切り替わるようになっている。しかし、誤って接続を外してしまった場合や、作業の関係でいったん外してつなぎ直したい場合に、不用意にリモートモードに切り替わると不都合が生じる場合がある。例えば、真空処理装置がダウンしている場合、装置コントローラ11のリモート信号はストップ状態となっており、ロータ回転状態で不用意にリモートモードに切り替わるとブレーキがかかってしまうという不都合が生じる。
(1)駆動制御ユニット3が保守用信号入力部C1と駆動用信号入力部C2とを備え、操作ユニット4が保守用信号入力部C1に着脱可能に接続されるように構成したので、ターボ分子ポンプの小型化および低コスト化を図ることができ、装置に組み付ける際の自由度が増える。
(2)駆動制御ユニット3は、(a)保守用信号入力部C1への操作ユニット4の接続および非接続を検出する検出手段34と、(b)接続が検出された場合には保守用信号入力部C1からの操作信号が有効で駆動用信号入力部C2からの操作信号が無効であると判定し、非接続が検出された場合には駆動用信号入力部C2からの操作信号が有効で保守用信号入力部C1からの操作信号が無効であると判定する判定手段34とを備え、判定手段34により有効とされた操作信号に基づいて駆動制御を行うようにした。その結果、操作ユニット4の着脱に連動して、使用すべき操作信号が自動的に選択される。
(4)保守用信号入力部C1および駆動用信号入力部C2、ポンプ本体2との接続コネクタおよび電源入力用コネクタを、駆動制御ユニット3の筐体の一つの面に配置することで、真空処理装置内における駆動制御ユニット3の配置の自由度が増す。
(5)また、ターボ分子ポンプと操作ユニット4とを備えたターボ分子ポンプシステムとすることにより、ターボ分子ポンプの小型化および低コスト化を図ることができ、装置に組み付ける際の自由度が増える。
(7)保守用信号入力部C1および駆動用信号入力部C2のいずれか一方を選択する選択操作部44を設け、接続が検出された場合には、選択操作部44により選択された信号入力部からの操作信号を有効と判定するようにしたので、操作ユニット4が接続された状態でも操作ユニットモードとリモートモードとの切替を行うことができる。
2:ポンプ本体
3:駆動制御ユニット
4:操作ユニット
11:装置コントローラ
34:制御部
C1,C2:入力部
44:モードスイッチ
48:情報出力端子
Claims (6)
- 真空処理装置において真空排気を行うポンプ本体と、
前記真空処理装置の筐体内に収納され、前記ポンプ本体を駆動制御する駆動制御ユニットと、を備え、
前記駆動制御ユニットは、(a)入力操作部を有する操作ユニットが着脱可能に接続され、その操作ユニットからの保守用操作信号が入力される保守用信号入力部と、(b)駆動用操作信号が入力される駆動用信号入力部と、(c)前記保守用信号入力部への前記操作ユニットの接続および非接続を検出する検出手段と、(d)前記接続が検出された場合には前記保守用信号入力部からの操作信号が有効で前記駆動用信号入力部からの操作信号が無効であると判定し、前記非接続が検出された場合には前記駆動用信号入力部からの操作信号が有効で前記保守用信号入力部からの操作信号が無効であると判定する判定手段と、を有して、前記判定手段により有効とされた操作信号に基づいて前記駆動制御を行い、
前記判定手段は、前記検出手段の検出状態が接続から非接続に変化した場合には、非接続に変化してから所定時間経過するまでは接続時の有効判定を継続し、所定時間経過後は前記駆動用信号入力部からの操作信号を有効と判定することを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項1に記載のターボ分子ポンプと、
前記保守用信号入力部および駆動用信号入力部のいずれか一方を選択する選択操作部が設けられた操作ユニットと、を備え、
前記判定手段は、前記検出手段により接続が検出された場合には、前記選択操作部により選択された信号入力部からの操作信号を有効と判定することを特徴とするターボ分子ポンプシステム。 - 請求項1に記載のターボ分子ポンプと、
前記所定時間を変更する変更手段が設けられた操作ユニットと、を備えたことを特徴とするターボ分子ポンプシステム。 - 請求項3に記載のターボ分子ポンプシステムにおいて、
前記操作ユニットは、前記保守用信号入力部および駆動用信号入力部のいずれか一方を選択する選択操作部を備え、
前記判定手段は、前記接続が検出された場合には、前記選択操作部により選択された信号入力部からの操作信号を有効と判定することを特徴とするターボ分子ポンプシステム。 - 請求項2乃至4のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプシステムにおいて、
前記操作ユニットは、前記駆動制御ユニットのポンプ情報の前記操作ユニットへの出力を要求する信号と、前記ターボ分子ポンプを操作する信号とを前記保守用操作信号として出力することを特徴とするターボ分子ポンプシステム。 - 請求項5に記載のターボ分子ポンプシステムにおいて、
前記操作ユニットは、前記ポンプ情報を外部へ出力する出力手段を備えたこと特徴とするターボ分子ポンプシステム。
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