JP4970115B2 - 導電性ダイヤモンド被覆網状電極、その製造方法及び同電極を備えたオゾン水生成装置 - Google Patents
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Description
剥離率=(C1−C2)/C1×100(%)
2 載置台
3 外枠
21 真空容器
Claims (6)
- 融点が1300K以上の高融点金属で形成された網状基材に導電性ダイヤモンド膜をプラズマCVD法により被覆する導電性ダイヤモンド被覆網状電極の製造方法であって、
真空容器内に前記網状基材を載置した載置台を設け、前記載置台に載置された網状基材の外周を取り囲むように前記網状基材を形成する高融点金属の融点と同等以上の融点を有する高融点金属で形成された外枠を前記載置台の外周部に設け、前記真空容器内に炭素源を含む原料ガスを供給し、前記載置台および外枠を包み込むようにプラズマを形成して前記網状基材に導電性ダイヤモンド膜を被覆する工程を備え、前記載置台は網状電極を載置する載置面が凹凸状に形成され、前記外枠はその上端面の外周部に丸味のある面取りが施された、導電性ダイヤモンド被覆網状電極の製造方法。 - 前記網状基材はTiあるいはMoで形成された、請求項1に記載した製造方法。
- 前記外枠は載置台の外周部に隙間を介して設けられた、請求項1又は2項に記載した製造方法。
- 融点が1300K以上の高融点金属で形成された網状基材に導電性ダイヤモンド膜が被覆された導電性ダイヤモンド被覆網状電極であって、
請求項1から3のいずれか1項に記載された製造方法によって製造された、導電性ダイヤモンド被覆網状電極。 - 前記網状基材の線材部の円相当直径が50〜500μm であり、前記導電性ダイヤモンド膜の網状基材の表裏面における被覆率が50〜100%であり、前記導電性ダイヤモンド膜が被覆された網状基材の線材部における導電性ダイヤモンド膜の平均膜厚が800nm以下である、請求項4に記載した導電性ダイヤモンド被覆網状電極。
- 陽極電極と陰極電極とがプロトン透過膜を挟んで配置され、水を電気分解してオゾンを生成させると共に当該オゾンが水に溶解したオゾン水を製造するオゾン水生成装置であって、
少なくとも前記陽極電極として請求項4又は5に記載された導電性ダイヤモンド被覆網状電極を用いた、オゾン水生成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007100378A JP4970115B2 (ja) | 2007-04-06 | 2007-04-06 | 導電性ダイヤモンド被覆網状電極、その製造方法及び同電極を備えたオゾン水生成装置 |
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JP2008255437A JP2008255437A (ja) | 2008-10-23 |
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JP2007100378A Active JP4970115B2 (ja) | 2007-04-06 | 2007-04-06 | 導電性ダイヤモンド被覆網状電極、その製造方法及び同電極を備えたオゾン水生成装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP4970115B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP5323798B2 (ja) * | 2010-11-10 | 2013-10-23 | 株式会社神戸製鋼所 | 水溶液の電解方法 |
CN102531097A (zh) * | 2012-01-18 | 2012-07-04 | 苏州大学 | 水膜混合放电反应器 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61124572A (ja) * | 1984-11-21 | 1986-06-12 | Hitachi Chem Co Ltd | 化学蒸着方法 |
JPH02188494A (ja) * | 1989-01-13 | 1990-07-24 | Idemitsu Petrochem Co Ltd | ダイヤモンド類薄膜の製造方法および製造装置 |
JPH09268395A (ja) * | 1996-04-02 | 1997-10-14 | Permelec Electrode Ltd | 電解用電極及び該電極を使用する電解槽 |
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Publication number | Publication date |
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JP2008255437A (ja) | 2008-10-23 |
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