JP5284716B2 - ダイヤモンド電極とそのダイヤモンド電極の製造方法、およびオゾン発生装置 - Google Patents
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10mm×10mm×1mm(厚)の純Ti板、純Nb板を夫々基材として用いた。その基材の表面にダイヤモンド砥粒によりキズ付け処理を施し、その基材をマイクロ波加熱CVD装置のチャンバー内に設置した。その後、チャンバー内が0.3Paになるまで真空排気した後に、表1に示す圧力(水素ガス圧)の水素ガスをチャンバー内に導入し、表1に示す昇温速度に応じたマイクロ波の出力を印加し、昇温を行った。
チタン圧延材を、表2に示す所定の断面積(ストランド部の断面積)を有する線径に加工したエキスパンドメタルを、100×150mm2のサイズに切り取り、これを電極基材とした。その基材の表面にダイヤモンド砥粒によりキズ付け処理を施し、マイクロ波加熱CVD装置のチャンバー内に設置した。その後、チャンバー内が0.3Paになるまで真空排気した後に、表2に示す圧力(水素ガス圧)の水素ガスをチャンバー内に導入し、表2に示す昇温速度に応じたマイクロ波の出力を印加し、昇温を行った。
Claims (9)
- 純Ti、Ti合金、純Nb、純Taからなる群から選ばれる1種以上の基材金属からなる電極基材と、
前記電極基材の表面に、ボロンをドープして形成された導電性ダイヤモンド皮膜とよりなり、
前記電極基材と前記導電性ダイヤモンド皮膜との界面には前記基材金属種の水素化物が形成されており、
X線回析測定で得られる前記水素化物の主ピ−クと前記電極基材を構成する基材金属の主ピ−クとの強度比(水素化物の主ピ−ク/基材金属の主ピ−ク)が、0.1以上、3.0以下であることを特徴とするダイヤモンド電極。 - 前記導電性ダイヤモンド皮膜の膜厚が、1μm以上、5μm未満であることを特徴とする請求項1記載のダイヤモンド電極。
- 前記電極基材は線材で形成されており、その線材の長手方向に直交する断面の断面積は、0.1mm2以上、10.0mm2以下であることを特徴とする請求項1または2記載のダイヤモンド電極。
- 前記線材は複数本であり、それら線材同士は重なり合っていないことを特徴とする請求項3記載のダイヤモンド電極。
- 前記電極基材はエキスパンドメタルであり、そのストランド部の長手方向に直交する断面の断面積は、0.1mm2以上、10.0mm2以下であることを特徴とする請求項1または2記載のダイヤモンド電極。
- 純TiまたはTi合金からなる基材金属の表面に、炭化水素ガスと水素ガスの混合ガス雰囲気中での気相合成により導電性ダイヤモンド皮膜を形成するダイヤモンド電極の製造方法であって、
前記基材金属を入れたチャンバー内に水素ガスを導入し、前記チャンバー内の水素ガス圧を1.2×103Pa以上とすると共に、30℃/min以上、100℃/min以下の速度で、前記チャンバー内の温度を650℃以上、900℃以下の温度にまで上げることで、前記基材金属を加熱してその表面に水素を吸収させる昇温工程と、
その昇温工程後に、炭化水素ガスの容積比率が8%以下の炭化水素ガスと水素ガスの混合ガスを前記チャンバー内に導入して、前記チャンバー内の前記混合ガス圧を1.33×103Pa以上とし、前記電極基材の表面にボロンをドープした導電性ダイヤモンド皮膜を形成する成膜工程とからなることを特徴とするダイヤモンド電極の製造方法。 - 純Nbまたは純Taからなる基材金属の表面に、炭化水素ガスと水素ガスの混合ガス雰囲気中での気相合成により導電性ダイヤモンド皮膜を形成するダイヤモンド電極の製造方法であって、
前記基材金属を入れたチャンバー内に水素ガスを導入し、前記チャンバー内の水素ガス圧を1.2×103Pa以上とすると共に、20℃/min以上、60℃/min以下の速度で、前記チャンバー内の温度を650℃以上、900℃以下の温度にまで上げることで、前記基材金属を加熱してその表面に水素を吸収させる昇温工程と、
その昇温工程後に、炭化水素ガスの容積比率が8%以下の炭化水素ガスと水素ガスの混合ガスを前記チャンバー内に導入して、前記チャンバー内の前記混合ガス圧を1.33×103Pa以上とし、前記電極基材の表面にボロンをドープした導電性ダイヤモンド皮膜を形成する成膜工程とからなることを特徴とするダイヤモンド電極の製造方法。 - 前記炭化水素ガスがメタンであることを特徴とする請求項6または7記載のダイヤモンド電極の製造方法。
- 請求項1乃至5のいずれかに記載のダイヤモンド電極を陽極に使用したことを特徴とするオゾン発生装置。
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