JP4964591B2 - 有機el素子及び有機el素子の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は有機EL素子の製造方法であって、前記無機材料膜の厚さが0.5nm以上5nm以下である有機EL素子の製造方法である。
本発明は有機EL素子の製造方法であって、前記無機材料膜を、前記隔壁膜の前記孔の底面と側面に形成する有機EL素子の製造方法である。
本発明は有機EL素子の製造方法であって、前記有機材料は、ポリエチレンジオキシチオフェンと、ポリアニリンのいずれか一方又は両方を含有する有機EL素子の製造方法である。
本発明は有機EL素子の製造方法であって、前記有機材料に含有される前記溶媒は親水性溶媒である有機EL素子の製造方法である。
本発明は有機EL素子の製造方法であって、前記親水性溶媒は水とアルコールのいずれか一方又は両方を含有する有機EL素子の製造方法である。
本発明は有機EL素子の製造方法であって、前記無機材料膜は、酸化チタンを主成分とする有機EL素子の製造方法である。
本発明は有機EL素子の製造方法であって、前記無機材料膜の構成物質を含むターゲットをスパッタリングしてスパッタ粒子を放出させ、前記孔底面に位置する前記透明電極膜の表面に前記スパッタ粒子を付着させて前記無機材料膜を形成する有機EL素子の製造方法である。
本発明は有機EL素子であって、透明基板上に配置され、所定形状にパターニングされた透明電極膜と、少なくとも前記透明電極膜上に位置する隔壁膜と、前記隔壁膜に形成され、底面に前記透明電極膜が位置する複数の孔と、各前記孔内にそれぞれ配置された有機膜と、少なくとも前記有機膜上に配置された上部電極膜とを有し、前記透明電極膜と前記上部電極膜との間に電圧を印加すると、前記有機膜が発光する有機EL素子であって、各前記孔内に位置する前記透明電極膜上と、各前記孔の側面には酸化チタンを主成分とする無機材料膜が形成され、前記無機材料膜の厚さが0.5nm以上5nm以下であり、前記有機膜は、液状の有機材料の液滴が前記無機材料膜の表面に着弾し、乾燥して形成された有機EL素子である。
本発明は有機EL素子であって、前記有機膜はポリエチレンジオキシチオフェンと、ポリアニリンのいずれか一方又は両方を含有する有機EL素子である。
本発明は有機EL素子であって、前記無機材料膜は親水性である有機EL素子である。
本発明は有機EL素子であって、前記透明電極膜は疎水性の導電材料を主成分とする有機EL素子である。
本発明は有機EL素子であって、前記疎水性の導電材料はインジウム錫酸化物と、酸化亜鉛と、酸化錫とからなる群より選択されるいずれか1種類の導電材料を含有する有機EL素子である。
[図2](a)〜(d):本発明の有機EL素子の製造工程の後半を説明する断面図
[図3]本発明の有機EL素子の製造工程の他の例を説明する断面図
[図4](a)〜(c):従来技術の有機EL素子の製造工程を説明する断面図
次いで全体を加熱乾燥し、塗布層から余分な第一の溶媒を除去すれば、第一の有機化合物を主成分とし、膜厚が均一な第一の有機層21が形成される(図1(d))。
他方、透明電極膜12は無機材料膜14に密着されているので、無機材料膜14には正孔が注入される。
図3の符号3は本発明の他の例の有機EL素子を示している。この有機EL素子3では、無機材料膜34がスパッタリングによって、孔16の側面と、孔16の底面に連続して形成されている。
アルコールは親水性溶媒であるので、アルコール又は水を有する第一の溶媒は、親水性溶媒である。従って、無機材料膜14の主成分に親水性の無機材料を用い、透明電極膜の主成分に疎水性の導電材料を用いれば、上記第一の溶媒の無機材料膜14に対する親和性が、透明電極膜12よりも高くなる。
尚、本発明に用いる第一の溶媒はアルコールや水に限定されず、第一の有機化合物を化学的に変性させないものであれば、他の親水性溶媒を用いることができる。
また、正孔輸送物質のような第一の有機化合物と一緒に、色素や分散剤や緩衝剤等の添加剤を溶媒に分散させることもできる。
Claims (13)
- 透明基板上に配置され、所定形状にパターニングされた透明電極膜と、
少なくとも前記透明電極膜上に位置する隔壁膜と、
前記隔壁膜に形成され、底面に前記透明電極膜が位置する複数の孔と、
各前記孔内にそれぞれ配置された有機膜と、
少なくとも前記有機膜上に配置された上部電極膜とを有し、
前記透明電極膜と前記上部電極膜との間に電圧を印加すると、前記有機膜が発光する有機EL素子を製造する有機EL素子の製造方法であって、
前記透明電極膜上に前記隔壁膜を配置し、
前記隔壁膜が有する前記孔底面に露出する前記透明電極膜上に、マスクを介して無機材料膜を形成した後、
含有する溶媒の前記無機材料膜に対する親和性が、前記透明電極膜に対する親和性よりも高い液状の有機材料の液滴を前記孔に向けて噴出し、前記無機材料膜の表面に着弾させて配置し、前記有機膜を形成する有機EL素子の製造方法。 - 前記無機材料膜の厚さが0.5nm以上5nm以下である請求項1記載の有機EL素子の製造方法。
- 前記無機材料膜を、前記隔壁膜の前記孔の底面と側面に形成する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の有機EL素子の製造方法。
- 前記有機材料は、ポリエチレンジオキシチオフェンと、ポリアニリンのいずれか一方又は両方を含有する請求項1記載の有機EL素子の製造方法。
- 前記有機材料に含有される前記溶媒は親水性溶媒である請求項1記載の有機EL素子の製造方法。
- 前記親水性溶媒は水とアルコールのいずれか一方又は両方を含有する請求項5記載の有機EL素子の製造方法。
- 前記無機材料膜は、酸化チタンを主成分とする請求項1記載の有機EL素子の製造方法。
- 前記無機材料膜の構成物質を含むターゲットをスパッタリングしてスパッタ粒子を放出させ、前記孔底面に位置する前記透明電極膜の表面に前記スパッタ粒子を付着させて前記無機材料膜を形成する請求項1記載の有機EL素子の製造方法。
- 透明基板上に配置され、所定形状にパターニングされた透明電極膜と、
少なくとも前記透明電極膜上に位置する隔壁膜と、
前記隔壁膜に形成され、底面に前記透明電極膜が位置する複数の孔と、
各前記孔内にそれぞれ配置された有機膜と、
少なくとも前記有機膜上に配置された上部電極膜とを有し、
前記透明電極膜と前記上部電極膜との間に電圧を印加すると、前記有機膜が発光する有機EL素子であって、
各前記孔内に位置する前記透明電極膜上と、各前記孔の側面には酸化チタンを主成分とする無機材料膜が形成され、
前記無機材料膜の厚さが0.5nm以上5nm以下であり、
前記有機膜は、液状の有機材料の液滴が前記無機材料膜の表面に着弾し、乾燥して形成された有機EL素子。 - 前記有機膜はポリエチレンジオキシチオフェンと、ポリアニリンのいずれか一方又は両方を含有する請求項9記載の有機EL素子。
- 前記無機材料膜は親水性である請求項9記載の有機EL素子。
- 前記透明電極膜は疎水性の導電材料を主成分とする請求項11記載の有機EL素子。
- 前記疎水性の導電材料はインジウム錫酸化物と、酸化亜鉛と、酸化錫とからなる群より選択されるいずれか1種類の導電材料を含有する請求項12記載の有機EL素子。
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