TWI406586B - Method for manufacturing organic electroluminescent element and organic electroluminescent element - Google Patents
Method for manufacturing organic electroluminescent element and organic electroluminescent element Download PDFInfo
- Publication number
- TWI406586B TWI406586B TW094115405A TW94115405A TWI406586B TW I406586 B TWI406586 B TW I406586B TW 094115405 A TW094115405 A TW 094115405A TW 94115405 A TW94115405 A TW 94115405A TW I406586 B TWI406586 B TW I406586B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- film
- organic
- transparent electrode
- electrode film
- inorganic material
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 10
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims abstract description 54
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims abstract description 52
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims abstract description 52
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 44
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 20
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 30
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 claims description 24
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 14
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- -1 poly(ethylenedioxy) Polymers 0.000 claims description 10
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 claims description 9
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 8
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 8
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 claims description 7
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical compound C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 claims description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 4
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 4
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 claims description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 2
- 239000013077 target material Substances 0.000 claims description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 abstract description 80
- 239000010408 film Substances 0.000 description 229
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 9
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 229920001467 poly(styrenesulfonates) Polymers 0.000 description 3
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 2
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 2
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- SHXCHSNZIGEBFL-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzothiazole;zinc Chemical compound [Zn].C1=CC=C2SC=NC2=C1 SHXCHSNZIGEBFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 125000005678 ethenylene group Chemical group [H]C([*:1])=C([H])[*:2] 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229960002796 polystyrene sulfonate Drugs 0.000 description 1
- 239000011970 polystyrene sulfonate Substances 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003967 siloles Chemical class 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/12—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
- H05B33/22—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of auxiliary dielectric or reflective layers
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/12—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
- H05B33/14—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of the electroluminescent material, or by the simultaneous addition of the electroluminescent material in or onto the light source
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
本發明係有關於有機電激發光元件的技術，特別是有關使用於顯示裝置的有機電激發光元件、和其製造技術。
先前，使用了有機電激發光(Electro-Luminescence)元件的顯示裝置已被使用。若說明關於有機電激發光元件的製造製程的一例，第4(a)圖的符號110係表示使用於製造有機電激發光元件的處理對象基板。
處理對象基板110係具有透明基板111、和形成於透明基板111的表面的透明電極膜112、和配置於透明基板111之形成有透明電極膜112之側之面的隔壁膜115；在隔壁膜115形成孔116，在孔116的底面係露出透明電極膜112。
為了使用此處理對象基板110而製造有機電激發光元件，將分散有電洞輸送物質的液狀的第一有機材料填充於噴墨列印機的槽，在將該噴墨列印機的噴嘴朝向孔116的狀態下，噴出第一有機材料，在孔116底面的透明電極膜112的表面形成第一有機材料的塗佈層後，乾燥該塗佈層而使溶劑蒸發，形成以電洞輸送物質作為主成分的第一有機層121(第4(b)圖)。
準備分散有發光物質的第二有機材料、和分散有電子輸送物質的第三有機材料，與上述第一有機層121相同地
使用噴墨列印機，形成以發光物質作為主成分的第二有機層122、和以電子輸送物質作為主成分的第三有機層123，而且在第三有機層123上形成上部電極膜125，而得到有機電激發光元件101(第4(c)圖)。
由第一~第三有機層121~123所構成的有機膜120係形成為以透明電極膜112與上部電極膜125挾持的狀態，若對透明電極膜112與上部電極膜125分別施加正電壓及負電壓，則電洞被注入第一有機層121、電子被注入第三有機層123。
第一~第三有機層121~123係以電洞輸送物質、和發光物質、和電子輸送物質作為各個的主成分，所以電洞係由第一有機層121被運至第二有機層122、電子係由第三有機層123被運往第二有機層122，若在第二有機層122成功與電子結合，則使第二有機層122發光。
由第二有機層122放出的光之中，向透明電極膜112側放出的光係透過透明電極膜112和透明基板111而放出至有機電激發光元件101的外部。
如上所述，如使用噴墨列印機，則因為可僅在所希望的位置塗佈第一~第三有機材料，所以可不浪費第一~第三有機材料，而可有效率地形成第一~第三有機層121~123。
然而，一般而言，被使用於第一有機材料的溶劑與透明電極膜112的親和性低，在配置第一有機材料於孔116內部時，第一有機材料不會在透明電極膜112表面擴展，
而變成滴狀，如第4(b)圖所示，在孔116底面的中央部分係第一有機層121的膜厚變厚，在孔116的側面附近係膜厚變薄，第一有機層121的膜厚變為不均勻。
在該狀態下，若將第二有機材料塗佈於第一有機層121表面，而形成第二有機層122，則第二有機層122的膜厚亦變為不均勻。如第二有機層122般，當含有發光物質的層的膜厚變為不均勻，則在有機膜120內的發光量或發光色為不安定而變為不均勻，而使發光效率下降。
為了解決如此的問題，一般周知：在透明電極膜112的表面事先形成親水性有機薄膜後，塗佈第一有機材料的方法(例如：參照專利文獻1)。然而，在此方法中，因為在有機氣體的環境長時間放置玻璃基板而形成親水性有機薄膜，所以製造時間變長。另外，親水性有機薄膜之對第一有機材料的親和性亦不充分。
〔專利文獻1〕日本特開2002-237383號公報
本發明係為了解決上述先前技術的不妥而創作，其目的在提供發光效率高的有機電激發光元件。
為了解決上述課題，本發明為一種有機電激發光元件的製造方法，係製造具有：配置於透明基板上，被圖形化
成預定形狀的透明電極膜、和至少位於前述透明電極膜上的隔壁膜、和形成於前述隔壁膜，且在底面位有前述透明電極膜的複數的孔、和各個配置於前述各孔內的有機膜、和至少配置於前述有機膜上的上部電極膜，若於前述透明電極膜與前述上部電極膜之間施加電壓，則使前述有機膜發光的有機電激發光元件之有機電激發光元件的製造方法；於前述透明電極膜上配置前述隔壁膜，在露出於前述隔壁膜所具有的前述孔底面的前述透明電極膜上，形成無機材料膜後，將所含有的溶劑的對前述無機材料膜的親和性，比對前述透明電極膜的親和性高的液狀的有機材料，配置於前述無機材料膜的表面而形成前述有機膜。
本發明為有機電激發光元件的製造方法，其中，將前述有機材料的液滴朝向前述孔噴出，向前述無機膜表面配置前述組成物。
本發明為有機電激發光元件的製造方法，其中，前述有機材料係含有聚乙撐二氧噻吩(poly(ethylenedioxy)thiophene)、和聚苯胺(polyaniline)的任一方或兩方。
本發明為有機電激發光元件的製造方法，其中，前述有機材料所含有的前述溶劑為親水性溶劑。
本發明為有機電激發光元件的製造方法，其中，前述親水性溶劑為水或醇類的任一方或兩方。
本發明為有機電激發光元件的製造方法，其中，前述無機材料膜係以氧化鈦作為主成分。
本發明為有機電激發光元件的製造方法，其中，濺鍍
包含前述無機材料膜的構成物質的靶材，使濺鍍粒子放出，在位於前述孔底面的前述透明電極膜的表面，使前述濺鍍粒子附著而形成前述無機材料膜。
本發明為有機電激發光元件，具有：配置於透明基板上，被圖形化成預定形狀的透明電極膜、和至少位於前述透明電極膜上的隔壁膜、和形成於前述隔壁膜，且在底面位有前述透明電極膜的複數的孔、和各個配置於前述各孔內的有機膜、和至少配置於前述有機膜上的上部電極膜，若於前述透明電極膜與前述上部電極膜之間施加電壓，則使前述有機膜發光的有機電激發光元件；在位於前述各孔內的前述透明電極膜上，形成以氧化鈦作為主成分的無機材料膜，前述有機膜係形成於前述無機材料膜的表面。
本發明為有機電激發光元件，其中，前述有機膜係含有聚乙撐二氧噻吩(poly(ethylenedioxy)thiophene)、和聚苯胺(polyaniline)的任一方或兩方。
本發明為有機電激發光元件，其中，前述無機材料膜為親水性。
本發明為有機電激發光元件，其中，前述透明電極膜係以疏水性的導電材料作為主成分。
本發明為有機電激發光元件，其中，前述疏水性的導電材料係含有選自銦錫氧化物、氧化鋅、氧化錫所成群組之任1種的導電材料。
如藉由本發明，在位於孔的底面的透明電極膜的表面，因為形成有對於有機材料的溶劑的親和性高的無機材料膜，所以在於孔內部配置有機材料時，有機材料擴展於無機材料膜的表面，形成膜厚均勻的有機層。當在此有機層表面配置新的有機材料時，亦因為新的有機材料係配置於膜厚均勻的有機層的表面，所以其塗佈層的膜厚亦變為均勻。因而，在透明電極膜上係層疊膜厚均勻的有機層，形成具有複數有機層的有機膜。當含有發光物質的有機層的膜厚為均勻時，若施加電壓於有機膜，則發光量或發光色係變為安定、發光效率變高。如藉由濺鍍而形成無機材料膜，則不只成膜時間變短，亦容易控制膜厚，另外，所成膜的無機材料膜與透明電極膜的密接性亦高。
說明本發明的有機電激發光元件的製造製程的一例。第1(a)圖的符號10係表示使用於有機電激發光元件的製造的處理對象基板，此處理對象基板10係具有透明基板11。
在透明基板11的表面，延設複數條相互絕緣的細長的透明電極膜12，在透明基板11的配置有透明電極膜12之側的面形成有隔壁膜15。
隔壁膜15係具有複數的孔16，在各透明電極膜12上分別配置複數個孔16。各孔16係將作為絕緣性樹脂膜的絕緣膜予以蝕刻而形成，在各孔16的底面係露出透明電
極膜12。
為了使用此處理對象基板10而製造有機電激發光元件，係配置由鈦所構成的靶材，在事先形成有真空環境的濺鍍裝置的真空槽內部，搬入處理對象基板10，將處理對象基板10的形成有隔壁膜15之側的面朝向靶材而設置。
第1(b)圖係表示處理對象基板10朝向靶材5而配置的狀態，在該狀態下係於隔壁膜15上配置有遮罩18。遮罩18係在孔16上的位置具有開口，在開口的內部係露出位於孔16底面的透明電極膜12，而隔壁膜15的表面係以遮罩18覆蓋。
因而，一面真空排氣真空槽內部，同時引入由O2
氣體所構成的反應氣體，若濺鍍靶材5，濺鍍粒子並不會到達以遮罩18所覆蓋的部分，但已通過遮罩18的開口的濺鍍粒子係到達露出於孔16的底面的透明電極膜12，與反應氣體反應而形成由氧化鈦(TiO2
)所構成的無機材料膜14(第1(c)圖)。
構成無機材料膜14的氧化鈦膜的膜厚係不特別限定，但若設定膜厚為5Å以下，則非常難以均勻形成膜厚，另外，若膜厚超過50Å，則因為阻礙HOLE(電洞)的移動，所以其膜厚為0.5nm以上、5nm以下(5Å以上、50Å以下)為理想。
接著，將在由水所構成的第1溶劑分散有由電洞輸送物質所構成的第一有機化合物之液狀的第一有機材料，填充於未圖示的噴墨列印機的槽，使該噴墨列印機的噴嘴，
靜止在由真空槽取出的處理對象基板10的孔16上的位置，當由噴嘴噴出第一有機材料，第一有機材料的液滴就彈著於孔16內部，而將第一有機材料配置於無機材料膜14的表面。
一般而言，在使電洞輸送物質分散的溶劑(第一溶劑)係使用如乙醇、甲醇的醇類、或水。隔壁膜15係以如聚亞醯胺樹脂的絕緣性材料所構成，其表面係事先接觸電漿，因為對上述的第一溶劑的親和性變低，因此即使在噴出第一有機材料時噴嘴的位置偏移，而在孔16的外側彈著於隔壁膜15的表面，第一有機材料亦不在隔壁膜15的表面擴展而成為滴狀。
由氧化鈦所構成的無機材料膜14的對於第一溶劑的親和性，比起隔壁膜15表面的對於第一溶劑的親和性而言非常高，因而如第一有機材料的彈著位置為孔16的附近，形成為滴狀的第一有機材料係被拉近於無機材料膜14而向孔16內部移動，結果，使第一有機材料被配置在無機材料膜14的表面。
透明電極膜12係由如ITO(銦．錫氧化物)的透明導電材料所構成，由於如此的透明電極膜12的對於第一溶劑的親和性，比起無機材料膜14而言非常低，因此若在透明電極膜12表面直接配置第一有機材料，會被彈開，而若配置第一有機材料於無機材料膜14表面，則不會彈開而擴展，形成膜厚均勻的塗佈層。
接著加熱乾燥全體，如由塗佈層除去多餘的第一溶劑
，則形成將第一有機化合物作為主成分，且膜厚均勻的第一有機層21(第1(d)圖)。
接著，將由發光物質所構成的第二有機化合物已分散於第二溶劑的液狀的第二有機材料，填充於噴墨列印機的槽，使該噴墨列印機的噴嘴靜止在孔16上，當由噴嘴噴出第二有機材料，第二有機材料的液滴就彈著於孔16的內部，而配置第二有機材料於第一有機層21的表面。
如上所述，因為第一有機層21的膜厚均勻，其表面變為平坦，所以若配置第二有機材料於第一有機層21的表面，則形成膜厚均勻的塗佈層。接著加熱乾燥全體，如由該塗佈層除去多餘的第二溶劑，則形成將第二有機化合物作為主成分，且膜厚均勻的第二有機層22(第2(a)圖)。
接著，將由電子輸送物質所構成的第三有機化合物已分散於第三溶劑的液狀的第三有機材料，填充於噴墨列印機的槽，使該噴墨列印機的噴嘴靜止在孔16上，當由噴嘴噴出第三有機材料，第三有機材料的液滴就彈著於孔16的內部，而配置第三有機材料於第二有機層22的表面，形成塗佈層。接著，加熱乾燥全體，若由第三有機材料的塗佈層除去多餘的第三溶劑，則形成第三有機層23(第2(b)圖)。
第2(b)圖的符號20係表示由被形成於孔16的內部的第一~第三有機層21~23所構成的有機膜。接著，將形成有有機膜20的狀態下之處理對象基板10，搬入事先形
成有真空環境的蒸鍍裝置的真空槽內部，以將隔壁膜15側的面朝向真空槽內部的蒸鍍源的狀態配置，如第2(c)圖所示，在隔壁膜15上配置電極用遮罩28。
電極用遮罩28具有複數細長的開口。在電極用遮罩28配置於隔壁膜15上的狀態下，各開口為儘量在透明電極膜12與孔16上的位置交叉，因而在各開口的內部係露出隔壁膜15的表面、和有機膜20的表面。
在此狀態下，若由蒸鍍源使電極材料的蒸氣放出，則已通過開口的蒸氣會附著於在隔壁膜15表面的開口內露出的部分和有機膜20的表面，在孔16上的位置與透明電極膜12交叉的細長的上部電極膜為形成與開口相同的數。
第2(d)圖的符號1係表示形成有上部電極膜25的狀態下的有機電激發光元件。在此，各透明電極膜12係形成為直線狀，相互隔著預定間隔而平行配置，各上部電極膜25亦形成為直線狀，因為以與透明電極膜12呈正交的方式各個交叉，因此在形成在相同的透明電極膜12上的複數的有機膜20係形成為密接有各個相異的上部電極膜25的狀態。
因而，若選擇透明電極膜12與上部電極膜25而各個施加正電壓與負電壓，則對被選擇的透明電極膜12上的有機膜20之中與所選擇的上部電極膜25密接的有機膜20注入電子。
有機膜20之形成有第三有機層23側的面上與上部電
極膜25密接，第三有機層23係因為含有由電子輸送物質所構成的第三有機化合物，所以由上部電極膜25注入的電子係由第三有機層23向第二有機層22輸送。
另一方面，透明電極膜12係因為密接於無機材料膜14，所以對無機材料膜14注入電洞。
在此，第一有機化合物係以作為電洞輸送物質的PEDOT(poly(ethylenedioxy)thiophene、聚乙撐二氧噻吩)所構成，使用PEDOT時的第一有機層21的工作函數為5.0eV。另外，由ITO所構成的透明電極膜12的工作函數為4.8eV。對此，因為由氧化鈦所構成的無機材料膜14的工作函數為在4.8eV與5.0eV之間，所以注入至無機材料膜14的電洞係被輸送至第一有機層21、而且，被輸送至第一有機層21中的PEDOT而注入至第二有機層22。
第二有機層22係因為將由發光物質所構成的第二有機化合物作為主成分，所以若注入至第二有機層22的電子與電洞結合，則激發發光物質，而使第二有機層22發光。如上所述，在本發明中因為第二有機層22的膜厚變為均勻，所以在第二有機層22內不會產生電阻差，第二有機層22為均勻的發光。
無機材料膜14的膜厚係因為成為具有透光性的程度的薄，在由第二有機層22放出的光之中，放出至無機材料膜14側的光係通過第一有機層21、無機材料膜14、透明電極膜12、和透明基板11而放出至有機電激發光元件1的外部。
如上所述，在此有機電激發光元件1中，由於僅對位於被選擇的透明電極膜12上的有機膜20之中與被選擇的上部電極膜25密接的有機膜20施加電壓而放出光，因此藉由選擇上部電極膜25和透明電極膜12，可只使所希望的有機膜20發光，而顯示如文字或圖的圖像資訊。
如於有機膜20添加色素，可將由有機電激發光元件放出的光著色為色素的顏色。例如：以3個以上的有機膜20作為1組的發光單位，在構成發光單位的各有機膜20，使其含有紅、綠、藍等不同顏色的色素，如以各發光單位作為一像素而使其發光，亦可彩色顯示圖像資訊。
當使色素添加至由複數的有機層21~23所構成的有機膜20時，添加色素的有機層21~23係不特別限定，而比起含有發光物質的有機層22，以添加至無機材料膜14側的有機層22、21較為理想，其中，以添加至含有發光物質的有機層22更為理想。
以上，說明關於只在露出於孔16的底面的透明電極膜12的表面形成無機材料膜14的情況，但本發明不限定於此。
第3圖的符號3係表示本發明的其他例的有機電激發光元件。在此有機電激發光元件3中，藉由濺鍍，於孔16的側面、和孔16的底面連續形成無機材料膜34。
於此有機電激發光元件3中，亦因為第一有機材料係在孔16的內部的位置被配置於無機材料膜34的表面，所以第一有機層21的膜厚變為均勻，因而形成於第一有機
層21表面的第二有機層22的膜厚亦變為均勻。
以上係說明關於有機膜20具有第一~第三有機層21~23的情況，而本發明不限定於此，如有機膜至少具有電洞輸送物質、和發光物質，則亦可以2層以下的有機層構成1個有機膜，另外，亦可以4層以上的有機層構成1個有機膜。亦可使電洞輸送物質、發光物質在各有機層含有，亦可在相同的有機層含有。
在透明電極膜12與無機材料膜14之間、有機膜20與上部電極膜25之間的任一方或兩方，設置如緩衝層的其他層亦佳。電洞輸送物質不限定於由PEDOT所構成，亦可使用PEDOT/PSS(poly(styrenesulfonate)，聚苯乙烯磺酸酯)、PANI(polyaniline，聚苯胺)等。
分散第一有機化合物的溶劑(第一溶劑)亦不限定於水，如對無機材料膜14的親和性，為比起透明電極膜12高者，則可使用甲醇、乙醇、丁醇等醇類，另外，亦可混合2種以上該些溶劑而使用。
醇類係親水性溶劑，所以具有醇類或水的第一溶劑為親水性溶劑。因而，如在無機材料膜14的主成分使用親水性的無機材料，在透明電極膜的主成分使用疏水性的導電材料，則上述第一溶劑之對無機材料膜14的親和性，變為比透明電極膜12高。
而且，使用於本發明的第一溶劑係不限定於醇類或水，如為不使第一有機化合物化學改質者，亦可使用其他的親水性溶劑。
另外，亦可與如電洞輸送物質的第一有機化合物一起，使色素或分散劑或緩衝劑等添加劑分散於溶劑。
使用於本發明的發光物質係不特別限定，可使用聚對苯伸乙烯(poly paraphenylene vinylene)及其衍生物或聚萘撐亞乙烯(poly naphthylene vinylene)、聚烷基噻吩(poly alkylthiophene)等各種發光物質。
作為電子輸送物質，可使用Alq(三(8-羥基喹啉)鋁(III)錯合物)、或silole衍生物、鋅的苯并噻唑(benzothiazole)錯合物等各種。另外使發光物質或電子輸送物質分散的溶劑(第二、第三溶劑)亦不特別限定，可使用水、二甲苯、乙醇、甲醇等各種溶劑。單獨使用這些溶劑亦佳、混合2種以上而使用亦佳。另外，在使發光物質或電子輸送物質分散於溶劑的液狀有機材料，亦可添加分散劑、緩衝劑、色素等添加物。
構成透明電極膜12的物質亦不限定於ITO，如為透光性高、且具有導電性者，則能將氧化鋅或氧化錫等其他導電材料作為透明電極膜12的主成分而使用，另外亦可一起使用2種以上之這些導電材料。ITO、和氧化鋅、和氧化錫為疏水性的導電材料，在以疏水性的導電材料作為主成分的透明電極膜12上，如配置上述親水性的無機材料膜，則含有親水性溶劑的有機材料不彈開而塗佈於無機材料膜14上。
構成上部電極膜25的導電材料亦不特別限定，可使用鎂合金、鋁合金、金屬鈣等各種導電材料。上部電極膜
的成膜法亦不限定於真空蒸鍍法，亦可以離子鍍覆法(ion plating)、離子化蒸鍍法、濺鍍法等其他成膜方法成膜。
構成隔壁膜15的樹脂材料係不限定於聚亞醯胺樹脂，亦可使用環氧樹脂等其他樹脂材料。另外，構成隔壁膜15的材料係不限定於樹脂材料，亦可使用矽等無機材料，而以使用絕緣性材料較為理想。另外，層疊2種以上由絕緣材料所構成的絕緣層，形成1個隔壁膜亦佳。
以上，說明了關於在將透明電極膜12與上部電極膜25兩方，各個每形成複數條的情況，但本發明不限定於此。將透明電極膜12與上部電極膜25之中之任一方的電極膜成膜成大面積，將另一方的電極膜分割成複數個，分別設置可對所分割的各電極膜個別施加電壓的電晶體等的電氣手段，則藉由選擇施加電壓的電極膜，可只使所希望的有機膜發光。
1‧‧‧有機電激發光元件
3‧‧‧有機電激發光元件
5‧‧‧靶
10‧‧‧處理對象基板
11‧‧‧基板
12‧‧‧透明電極膜
14‧‧‧無機材料膜
14‧‧‧無機材料膜
15‧‧‧隔壁膜
16‧‧‧孔
18‧‧‧遮罩
20‧‧‧有機膜
21‧‧‧第一有機層
22‧‧‧第二有機層
23‧‧‧第三有機層
25‧‧‧上部電極膜
28‧‧‧電極用遮罩
34‧‧‧無機材料膜
101‧‧‧有機電激發光元件
110‧‧‧處理對象基板
111‧‧‧透明基板
112‧‧‧透明電極膜
115‧‧‧隔壁膜
116‧‧‧孔
120‧‧‧有機膜
121‧‧‧第一有機層
122‧‧‧第二有機層
123‧‧‧第三有機層
125‧‧‧上部電極膜
〔第1圖〕(a)~(d)：說明本發明的有機電激發光元件的製造製程的前半的剖面圖
〔第2圖〕(a)~(d)：說明本發明的有機電激發光元件的製造製程的後半的剖面圖
〔第3圖〕說明本發明的有機電激發光元件的製造製程的其他例的剖面圖
〔第4圖〕(a)~(c)：說明先前技術的有機電激
發光元件的製造製程的剖面圖
10‧‧‧處理對象基板
11‧‧‧透明基板
12‧‧‧透明電極膜
14‧‧‧無機材料膜
15‧‧‧隔壁膜
16‧‧‧孔
20‧‧‧有機膜
21‧‧‧第一有機層
22‧‧‧第二有機層
23‧‧‧第三有機層
25‧‧‧上部電極膜
28‧‧‧電極用遮罩
Claims (11)
- 一種有機電激發光元件的製造方法，係製造一種有機電激發光元件，該有機電激發光元件具有：配置於透明基板上，被圖形化成預定形狀的透明電極膜、和至少位於前述透明電極膜上的隔壁膜、和形成於前述隔壁膜，且在底面位有前述透明電極膜的複數的孔、和各個配置於前述各孔內的有機膜、和至少配置於前述有機膜上的上部電極膜，於前述透明電極膜與前述上部電極膜之間施加電壓的話，則使前述有機膜發光；於前述透明電極膜上配置前述隔壁膜，在露出於前述隔壁膜所具有的前述孔底面的前述透明電極膜上，形成以氧化鈦作為主成分的無機材料膜後，把含有溶劑的液狀的有機材料，配置於前述無機材料膜的表面，而形成前述有機膜，該含有溶劑的液狀的有機材料，係該溶劑對前述無機材料膜的親和性比該溶劑對前述透明電極膜的親和性還要高。
- 如申請專利範圍第1項所記載的有機電激發光元件的製造方法，其中，將前述有機材料的液滴朝向前述孔噴出，來配置組成物到前述無機材料膜表面。
- 如申請專利範圍第1項所記載的有機電激發光元件的製造方法，其中，前述有機材料係含有聚乙撐二氧噻 吩(poly(ethylenedioxy)thiophene)、和聚苯胺(polyaniline)的任一方或兩方。
- 如申請專利範圍第1項所記載的有機電激發光元件的製造方法，其中，前述有機材料所含有的前述溶劑為親水性溶劑。
- 如申請專利範圍第4項所記載的有機電激發光元件的製造方法，其中，前述親水性溶劑為水或醇類的任一方或兩方。
- 如申請專利範圍第1項所記載的有機電激發光元件的製造方法，其中，濺鍍包含前述無機材料膜的構成物質的靶材，使濺鍍粒子放出，在位於前述孔底面的前述透明電極膜的表面，使前述濺鍍粒子附著而形成前述無機材料膜。
- 一種有機電激發光元件，係具有：配置於透明基板上，被圖形化成預定形狀的透明電極膜、和至少位於前述透明電極膜上的隔壁膜、和形成於前述隔壁膜，且在底面位有前述透明電極膜的複數的孔、和各個配置於前述各孔內的有機膜、和至少配置於前述有機膜上的上部電極膜，於前述透明電極膜與前述上部電極膜之間施加電壓的話，則使前述有機膜發光；在位於前述各孔內的前述透明電極膜上，形成以氧化 鈦作為主成分的無機材料膜，前述有機膜係形成於前述無機材料膜的表面。
- 如申請專利範圍第7項所記載的有機電激發光元件，其中，前述有機膜係含有聚乙撐二氧噻吩(poly(ethylenedioxy)thiophene)、和聚苯胺(polyaniline)的任一方或兩方。
- 如申請專利範圍第7項所記載的有機電激發光元件，其中，前述無機材料膜為親水性。
- 如申請專利範圍第9項所記載的有機電激發光元件，其中，前述透明電極膜係以疏水性的導電材料作為主成分。
- 如申請專利範圍第10項所記載的有機電激發光元件，其中，前述疏水性的導電材料係含有選自銦錫氧化物、氧化鋅、氧化錫所成群組之任1種的導電材料。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004143778 | 2004-05-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW200603669A TW200603669A (en) | 2006-01-16 |
| TWI406586B true TWI406586B (zh) | 2013-08-21 |
Family
ID=35394549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW094115405A TWI406586B (zh) | 2004-05-13 | 2005-05-12 | Method for manufacturing organic electroluminescent element and organic electroluminescent element |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4964591B2 (zh) |
| KR (1) | KR101223333B1 (zh) |
| CN (1) | CN100566487C (zh) |
| GB (1) | GB2423870B (zh) |
| TW (1) | TWI406586B (zh) |
| WO (1) | WO2005112517A1 (zh) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009158585A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Toppan Printing Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法 |
| CN109742248A (zh) * | 2018-03-29 | 2019-05-10 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 电致发光器件及其制作方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW431120B (en) * | 1998-07-22 | 2001-04-21 | Tdk Corp | Organic electroluminescent device |
| TW439392B (en) * | 1998-08-13 | 2001-06-07 | Tdk Corp | Organic EL device |
| TW463526B (en) * | 1998-06-26 | 2001-11-11 | Idemitsu Kosan Co | Luminescent device |
| TW557364B (en) * | 2001-04-17 | 2003-10-11 | Sony Corp | Antireflection film and antireflection layer-affixed plastic substrate |
| TW560224B (en) * | 2001-08-20 | 2003-11-01 | Tdk Corp | Organic EL element and its producing method |
| JP2004235128A (ja) * | 2002-12-04 | 2004-08-19 | Dainippon Printing Co Ltd | 有機ｅｌ素子およびその製造方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001203081A (ja) * | 1999-11-09 | 2001-07-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜ｅｌ素子およびその製造方法 |
| JP2002237383A (ja) * | 2000-03-31 | 2002-08-23 | Seiko Epson Corp | 有機ｅｌ素子の製造方法、有機ｅｌ素子 |
| US6916553B2 (en) | 2001-03-29 | 2005-07-12 | Agfa-Gevaert | Stable electroluminescent devices |
| JP4802422B2 (ja) * | 2001-08-31 | 2011-10-26 | 大日本印刷株式会社 | エレクトロルミネッセント素子の製造方法 |
| CA2462904C (en) | 2001-10-24 | 2014-01-21 | Lumitec Ag | Three-dimensional electroluminescent display |
| US7483001B2 (en) * | 2001-11-21 | 2009-01-27 | Seiko Epson Corporation | Active matrix substrate, electro-optical device, and electronic device |
| US7361413B2 (en) | 2002-07-29 | 2008-04-22 | Lumimove, Inc. | Electroluminescent device and methods for its production and use |
| JP4289852B2 (ja) * | 2002-09-18 | 2009-07-01 | 大日本印刷株式会社 | エレクトロルミネッセント素子の製造方法 |
| JP2004127551A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Seiko Epson Corp | 有機ｅｌ装置とその製造方法、および電子機器 |
-
2005
- 2005-05-11 KR KR1020067006457A patent/KR101223333B1/ko active IP Right Grant
- 2005-05-11 GB GB0611571A patent/GB2423870B/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-05-11 JP JP2006519533A patent/JP4964591B2/ja active Active
- 2005-05-11 CN CNB2005800012953A patent/CN100566487C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-05-11 WO PCT/JP2005/008595 patent/WO2005112517A1/ja active Application Filing
- 2005-05-12 TW TW094115405A patent/TWI406586B/zh active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW463526B (en) * | 1998-06-26 | 2001-11-11 | Idemitsu Kosan Co | Luminescent device |
| TW431120B (en) * | 1998-07-22 | 2001-04-21 | Tdk Corp | Organic electroluminescent device |
| TW439392B (en) * | 1998-08-13 | 2001-06-07 | Tdk Corp | Organic EL device |
| TW557364B (en) * | 2001-04-17 | 2003-10-11 | Sony Corp | Antireflection film and antireflection layer-affixed plastic substrate |
| TW560224B (en) * | 2001-08-20 | 2003-11-01 | Tdk Corp | Organic EL element and its producing method |
| JP2004235128A (ja) * | 2002-12-04 | 2004-08-19 | Dainippon Printing Co Ltd | 有機ｅｌ素子およびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB0611571D0 (en) | 2006-07-19 |
| GB2423870B (en) | 2009-02-11 |
| GB2423870A (en) | 2006-09-06 |
| TW200603669A (en) | 2006-01-16 |
| CN100566487C (zh) | 2009-12-02 |
| KR101223333B1 (ko) | 2013-01-16 |
| JP4964591B2 (ja) | 2012-07-04 |
| WO2005112517A1 (ja) | 2005-11-24 |
| CN1898994A (zh) | 2007-01-17 |
| JPWO2005112517A1 (ja) | 2008-03-27 |
| KR20070021103A (ko) | 2007-02-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI250502B (en) | Organic electroluminescent device and its driving method, illuminating apparatus, and electronic machine | |
| US20100209614A1 (en) | Coating method, and coating apparatus | |
| TW558912B (en) | Electroluminescent element | |
| WO2013125352A1 (ja) | 有機電子素子および有機電子素子の製造方法 | |
| KR20020028228A (ko) | 전도성 폴리머 버퍼층을 갖는 대영역 유기 전자 소자 및그 제조 방법 | |
| WO2001074121A1 (fr) | Dispositif electroluminescent organique et procede de fabrication | |
| Islam et al. | A review on fabrication process of organic light emitting diodes | |
| JP2007273093A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法および有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
| TW201332179A (zh) | 有機電激發光顯示面板及其製造方法 | |
| US20050069713A1 (en) | Capillary coating method | |
| JP2004306191A (ja) | テーブル装置、成膜装置、光学素子、半導体素子及び電子機器 | |
| JP2009064642A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、および製造装置 | |
| JP2000323280A (ja) | 電界発光素子およびその製造方法 | |
| TWI406586B (zh) | Method for manufacturing organic electroluminescent element and organic electroluminescent element | |
| JP2012204202A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスパネル及びその製造方法 | |
| KR20060049997A (ko) | 유기 일렉트로루미네선스 장치 및 유기 일렉트로루미네선스장치의 제조 방법 및 전자 기기 | |
| JP2000156291A (ja) | 電界発光素子およびその製造方法 | |
| JP2007026684A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス表示素子 | |
| JP2003257631A (ja) | 有機ｅｌ素子の形成方法 | |
| US20090294157A1 (en) | Electro-optic device and method for manufacturing the same | |
| US9923164B2 (en) | Method for manufacturing transparent electrode, transparent electrode, and organic electroluminescence device provided with the same | |
| JP2003317949A (ja) | 有機ｅｌ素子の製造方法 | |
| JP2009129567A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法および有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
| JP2011238377A (ja) | 有機ｅｌディスプレイの製造方法及び有機ｅｌディスプレイ | |
| JP4354674B2 (ja) | 薄膜製造装置 |