JP4962339B2 - キャパシタの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施の形態に先立ち、本願発明者が試験的に作製したキャパシタについて説明する。図3〜図5は、このキャパシタの製造途中の断面図である。
図6〜図9は、本発明の第1実施形態に係るキャパシタの製造途中の断面図である。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
次に、第1、第2実施形態の変形例について説明する。
第1、第2実施形態では、金属箔20としてアルミニウム箔を使用した。しかし、金属箔20は、弁金属よりなる箔であればアルミニウム箔に限定されず、ニオブ箔、タンタル箔、及びチタン箔のいずれかを金属箔20として用いてもよい。
第1、第2実施形態では、第1、第2電極パッド35a、35bを金属膜のパターニングにより形成したが、これに代えてガスデポジション法により第1、第2電極パッド35a、35bを形成するようにしてもよい。
第1、第2実施形態では、例えば図7(c)で説明したように、全面に導電層26がベタ状に形成されたパッケージ基材25を使用した。
前記キャパシタ誘電体膜上に高分子導電性材料層を形成する工程と、
前記金属箔に複数の貫通孔を形成する工程と、
前記金属箔の他方の主面に支持基材を貼付する工程と、
前記支持基材を貼付した後、前記貫通孔に絶縁材料を充填する工程と、
前記絶縁材料を充填した後、前記高分子導電性材料層が露出するように該絶縁性材料を平坦化する工程と、
前記平坦化した面に、表面に導電層が形成された基材を貼付する工程と、
次いで、前記支持基材を除去する工程と、
前記支持基材を除去した前記絶縁材料に、電極引出しホールを形成する工程と
を有することを特徴とするキャパシタの製造方法。
前記貫通孔の内部と前記高分子導電性材料層の上に前記絶縁材料よりなる絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層を研磨もしくは切削もしくは研削することにより、前記絶縁層を除去して平坦面を得ることを特徴とする付記1又は付記2に記載のキャパシタの製造方法。
前記保護層に、前記金属箔の他方の主面に至る深さの接続ホールを形成する工程と、
前記電極引出しホールと前記接続ホールに、それぞれ第1、第2電極パッドを形成する工程とを更に有することを特徴とする付記1〜4のいずれかに記載のキャパシタの製造方法。
Claims (5)
- 金属箔の一方の主面を陽極酸化してキャパシタ誘電体膜を形成する工程と、
前記キャパシタ誘電体膜上に高分子導電性材料層を形成する工程と、
前記金属箔に複数の貫通孔を形成する工程と、
前記金属箔の他方の主面に支持基材を貼付する工程と、
前記支持基材を貼付した後、前記貫通孔に絶縁材料を充填する工程と、
前記絶縁材料を充填した後、前記高分子導電性材料層が露出するように該絶縁性材料を平坦化する工程と、
前記平坦化した面に、表面に導電層が形成された基材を貼付する工程と、
次いで、前記支持基材を除去する工程と、
前記支持基材を除去した前記絶縁材料に、電極引出しホールを形成する工程と
を有することを特徴とするキャパシタの製造方法。 - 前記貫通孔を形成する工程は、前記金属箔をプレス打ち抜き加工することにより行われることを特徴とする請求項1に記載のキャパシタの製造方法。
- 前記絶縁材料を充填する工程は、
前記貫通孔の内部と前記高分子導電性材料層の上に前記絶縁材料よりなる絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層を研磨もしくは切削もしくは研削することにより、前記絶縁層を除去して平坦面を得ることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のキャパシタの製造方法。 - 前記絶縁材料を充填する工程の前に、前記高分子導電性材料層の上に犠牲導電膜を形成する工程を更に有することを特徴とする請求項3に記載のキャパシタの製造方法。
- 電極引出ホールを形成する工程の前に、前記金属箔の他方の主面の上に絶縁性の保護層を形成する工程と、
前記保護層に、前記金属箔の他方の主面に至る深さの接続ホールを形成する工程と、
前記電極引出しホールと前記接続ホールに、それぞれ第1、第2電極パッドを形成する工程とを更に有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のキャパシタの製造方法。
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