JP4960362B2 - バッチ堆積ツールおよび圧縮ボート - Google Patents
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Description
[0001]本発明の実施形態は概して、バッチ処理中に基板を支持および移送して、ポンピング容積を低減するための方法および装置に関する。本発明の実施形態はまた、バッチ処理チャンバにおける均一なガス送出および均一な熱伝達のための方法および装置に関する。
[0002]基板製作プロセスの有効性はしばしば、デバイス歩留まりおよび所有コスト(COO)である2つの関連する重要な要因によって測定される。これらの要因は、電子機器、ひいては市場でのデバイス製造業者の競争力を生み出すコストに直接影響を与えるため、重要である。COOは、多数の要因に影響されるが、1時間に生成される基板数に大きく影響される。バッチ処理は、費用を実質的に増大させることなく処理される基板数を実質的に増大させることによって、効率的にCOOを改良する。
Claims (15)
- バッチ処理チャンバにおける圧縮基板ボートであって、
垂直に配置された第1の複数の平行平面を画定する第1の複数の基板支持体を有する第1の基板ボートと、
第2の複数の平行平面を画定する第2の複数の基板支持体を有する第2の基板ボートと、
前記圧縮基板ボードが閉位置にあるときに前記第1の複数の平行平面のそれぞれが前記第2の複数の平行平面のそれぞれの間に入り込み、且つ前記圧縮基板ボードが開位置にあるときに前記第1および第2の基板ボートが独立してロード可能であるように、前記第1の基板ボートおよび前記第2の基板ボートを接続する接続機構と、を備える、圧縮基板ボート。 - 前記接続機構がピボットを備える、請求項1に記載の圧縮基板ボート。
- 前記ピボットがセラミック軸受を備える、請求項2に記載の圧縮基板ボート。
- 前記第1の基板ボートおよび第2の基板ボートの各々が、
頂部プレートと、
底部プレートと、
それぞれが複数の基板支持体を有する少なくとも3つの支持バーであって、前記頂部プレートおよび前記底部プレートが前記少なくとも3つの支持バーによって接続されている、少なくとも3つの支持バーと、
を備える、請求項1に記載の圧縮基板ボート。 - 前記第1の基板ボートおよび第2の基板ボートの前記基板支持体が、周縁に沿った3つのポイントで前記基板に接触するように構成されており、前記3つのポイントが190度〜200度の弧を形成する、請求項4に記載の圧縮基板ボート。
- 前記第1の基板ボートおよび第2の基板ボートの各々が、
頂部プレートと、
底部プレートと、
少なくとも3つの支持バーと、
前記少なくとも3つの支持バーに取り付けられている複数の基板支持体と、
をさらに備える、請求項1に記載の圧縮基板ボート。 - バッチ処理システム用の基板ボートであって、
第1の複数の平行平面を画定する第1の複数の基板支持体を有するボート本体と、
第2の複数の平行平面を画定する第2の複数の積層基板支持体を有する基板ホルダであって、前記ボート本体が前記基板ホルダに接続されているときに前記第1の複数の平行平面のそれぞれが前記第2の複数の平行平面のそれぞれの間に入り込むように前記ボート本体に除去可能に接続されている、基板ホルダと、
を備える、基板ボート。 - 前記ボート本体が、
ベース部材と、
前記ベース部材に垂直に接続されている複数の支持部材であって、前記第1の複数の基板支持体が前記複数の支持部材上に積層状に形成されている、複数の支持部材と、
を備える、請求項7に記載の基板ボート。 - 前記第1の複数の基板支持体の各々が、前記基板ホルダを収容するように構成されている周縁に沿った複数の開口を有する、請求項8に記載の基板ボート。
- 前記基板ホルダが、
ホルダベースと、
複数の支持ロッドと、
前記複数の支持ロッドに積層状に接続されている複数の基板支持体であって、複数の支持ピンが複数の支持リング上に形成されている、基板支持体と、
を備える、請求項7に記載の基板ボート。 - 前記ホルダベースが、ローダに係合するように構成されている底部側に構築された複数のスロットを有する、請求項10に記載の基板ボート。
- 前記ボート本体および前記基板ホルダをロックおよびロック解除するように構成されているロック機構をさらに備える、請求項7に記載の基板ボート。
- バッチ処理システムのための基板ボートであって、
ベース部材と、前記ベース部材に接続されている複数の垂直な支持部材と、第1の複数の平行平面を画定し且つ前記複数の垂直な支持部材上に積層状に形成されている複数の基板支持体と、を有するボート本体と、
ホルダベースと、複数の支持ロッドと、前記複数の支持ロッドに積層状に接続されている第2の複数の平行平面を画定する複数の支持リングであって複数の支持ピンが前記複数の支持リング上に形成されている支持リングと、を有する基板ホルダと、
前記基板ボートが閉位置にあるときに前記第1の平行平面のそれぞれが前記第2の平行平面のそれぞれの間に入り込むように、前記基板ホルダと前記ボート本体を接合するコネクタと、
を備える、基板ボート。 - 前記複数の基板支持体の各々が、前記基板ホルダを収容するように構成されている周縁に沿った複数の開口を有する、請求項13に記載の基板ボート。
- 前記ホルダベースが、ローダに係合するように構成されている底部側に構築された複数のスロットを有する、請求項14に記載の基板ボート。
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