JP4947890B2 - 半導体装置、sramおよび半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
<構造>
図1は、本実施の形態1に係わる半導体装置(トランジスタ)の構成を示す平面図である。また、図2は、図1のII−II断面の構成を示す断面図である。
次に、図1,2または図6,7に示した半導体装置(トランジスタ)の製造方法について説明する。
本実施の形態は、実施の形態1に係わる半導体等装置(トランジスタ)を、SRAM(Static Random Access Memory)に適用した場合のものである。
本実施の形態は、実施の形態1に係わる半導体等装置(トランジスタ)をSRAMに適用した場合の他の構成例を示すものである。本実施の形態に係わる構成の平面図を、図23〜25に示す。
本実施の形態は、実施の形態1に係わる半導体等装置をSRAMに適用した場合の他の構成例を示すものである。本実施の形態に係わる構成の平面図を、図26に示す。本実施の形態では、アクセストランジスタTr1,Tr2に、図7で示した構成を適用している。
本実施の形態は、実施の形態4に係わるSRAMの変形例である。図27に、本実施の形態に係わるSRAMを示す。
本実施の形態に係るSRAMは、実施の形態5に係るSRAMの変形例である。本実施の形態に係るSRAMの平面図を、図28に示す。また図28におけるA−A断面の断面図を、図29に示す。
Claims (18)
- 半導体支持基板と埋め込み絶縁膜とSOI層とが、当該順に積層された構造を有するSOI基板と、
前記SOI層の表面内に形成される活性領域と、
前記活性領域に接する一方の側において、前記SOI層の表面から前記埋め込み絶縁膜にかけて形成される、第一の素子分離絶縁膜と、
前記一方の側に対向する、前記活性領域の他方の側において、前記SOI層の表面から、前記埋め込み絶縁膜に至らない所定の深さにかけて形成される、第二の素子分離絶縁膜と、
平面視において、導電体の中心が前記活性領域の中心より前記第一の素子分離絶縁膜が存する側の前記活性領域上に配設される、前記導電体とを備え、
前記導電体は、
前記活性領域の上面部および前記一方の側の側面に、接続し、前記第一の素子分離絶縁膜上にかけて延在する、
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記活性領域の前記一方の側から前記他方の側までの幅は、前記導電体の径の2倍以下である、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 半導体支持基板と埋め込み絶縁膜とSOI層とが、当該順に積層された構造を有するSOI基板と、
前記SOI層の表面内に形成される第一の活性領域を有する、前記SOI層に形成されるアクセストランジスタと、
前記第一の活性領域に接する一方の側において、前記SOI層の表面から前記埋め込み絶縁膜にかけて形成される、第一の素子分離絶縁膜と、
前記一方の側に対向する、前記第一の活性領域の他方の側において、前記SOI層の表面から、前記埋め込み絶縁膜に至らない所定の深さにかけて形成される、第二の素子分離絶縁膜と、
平面視において、前記第一の活性領域の中心より前記第一の素子分離絶縁膜が存する側の前記第一の活性領域上に導電体の中心が配設される第一の導電体とを備え、
前記第一の導電体は、
前記第一の活性領域の上面部および前記一方の側の側面に、接続し、前記第一の素子分離絶縁膜上にかけて延在する、
ことを特徴とするSRAM。 - 前記SOI層の表面内に形成される第二の活性領域を有する、前記SOI層に形成される第一のロードトランジスタと、
前記第二の活性領域の一方の側において、前記SOI層の表面から前記埋め込み絶縁膜にかけて形成される、第三の素子分離絶縁膜と、
前記一方の側に対向する、前記第二の活性領域の他方の側において、前記SOI層の表面から、前記埋め込み絶縁膜に至らない所定の深さにかけて形成される、第四の素子分離絶縁膜と、
平面視において、前記第二の活性領域の中心より前記第三の素子分離絶縁膜が存する側の前記第二の活性領域上に導電体の中心が配設される第二の導電体とを、さらに備えている、
ことを特徴とする請求項3に記載のSRAM。 - 前記第二の導電体は、
前記第二の活性領域の上面部および前記一方の側の側面に、接続する、
ことを特徴とする請求項4に記載のSRAM。 - 前記SOI層の表面内に形成される第三の活性領域を有する、前記SOI層に形成される第二のロードトランジスタと、
前記第三の活性領域の一方の側において、前記SOI層の表面から前記埋め込み絶縁膜にかけて形成される、前記第一の素子分離絶縁膜と、
前記一方の側に対向する、前記第三の活性領域の他方の側において、前記SOI層の表面から、前記埋め込み絶縁膜に至らない所定の深さにかけて形成される、前記第四の素子分離絶縁膜と、
平面視において、前記第三の活性領域の中心より前記第一の素子分離絶縁膜が存する側の前記第三の活性領域上に導電体の中心が配設される第三の導電体とを、さらに備えている、
ことを特徴とする請求項5に記載のSRAM。 - 前記第二の活性領域の前記一方の側から他方の側までの幅は、前記第二の導電体の幅の2倍以下である、
ことを特徴とする請求項4に記載のSRAM。 - 前記SOI層の表面内に形成される第二、第三の活性領域と、
前記SOI層に形成され、前記第二、第三の活性領域を有する第一、第二のロードトランジスタと、
前記第二の活性領域と接続する第二の導電体と、
前記第三の活性領域と接続する第三の導電体と、
前記第二、第三の導電体と接続している前記第二、第三の活性領域の部分において、当該部分の一方の側には、前記SOI層の表面から前記埋め込み絶縁膜にかけて形成される、第三の素子分離絶縁膜と、
前記一方の側に対向する、前記第二、第三の活性領域の他方の側において、前記SOI層の表面から前記埋め込み絶縁膜にかけて形成される、前記第一の素子分離絶縁膜とを、備えている、
ことを特徴とする請求項3に記載のSRAM。 - 前記第二の活性領域の前記第二の導電体と接続する部分以外の部分の、一方の側および当該一方の側に対向する他方の側において、前記SOI層の表面から、前記埋め込み絶縁膜に至らない所定の深さにかけて形成される、第四の素子分離絶縁膜と、
前記第四の素子分離絶縁膜と前記埋め込み絶縁膜との間に存するボディ領域とを、さらに備えており、
前記ロードトランジスタのゲート電極直下に存するボディ部は、前記ボディ領域と接続されている、
ことを特徴とする請求項8に記載のSRAM。 - 前記第二の活性領域の前記第二の導電体と接続する部分以外の部分および、前記ボディ領域と接続する電源用導電体を、さらに備えており、
前記ボディ領域および、前記ボディ領域と接続されている前記ロードトランジスタのゲート電極直下に存するボディ部は、所定の電位で固定されている、
ことを特徴とする請求項9に記載のSRAM。 - 前記第一の導電体は、
前記第一の活性領域の上面部および前記一方の側の側面に、接続する、
ことを特徴とする請求項3に記載のSRAM。 - 前記SOI層の表面内に形成される第二の活性領域を有する、前記SOI層に形成される第一のロードトランジスタと、
前記第二の活性領域の一方の側において、前記SOI層の表面から前記埋め込み絶縁膜にかけて形成される、第三の素子分離絶縁膜と、
前記一方の側に対向する、前記第二の活性領域の他方の側において、前記SOI層の表面から、前記埋め込み絶縁膜に至らない所定の深さにかけて形成される、第四の素子分離絶縁膜と、
平面視において、前記第二の活性領域の中心より前記第三の素子分離絶縁膜が存する側の前記第二の活性領域上に導電体の中心が配設される第二の導電体とを、さらに備えている、
ことを特徴とする請求項11に記載のSRAM。 - 前記第二の導電体は、
前記第二の活性領域の上面部および前記一方の側の側面に、接続する、
ことを特徴とする請求項12に記載のSRAM。 - 前記第二の活性領域の前記一方の側から前記他方の側までの幅は、前記第二の導電体の幅の2倍以下である、
ことを特徴とする請求項13に記載のSRAM。 - 前記第一の活性領域の前記一方の側から他方の側までの幅は、前記第一の導電体の幅の2倍以下である、
ことを特徴とする請求項3に記載のSRAM。 - 前記SOI層の表面内に形成される第二と第三の活性領域と、
前記SOI層の表面内に形成され、前記第二と第三の活性層を有する第一と第二のロードトランジスタと、
前記第二の活性領域と接続する第二の導電体と、
前記第三の活性領域と接続する第三の導電体と、
前記第三の導電体と接続している前記第三の活性領域の部分において、当該部分の一方の側には、前記SOI層の表面から前記埋め込み絶縁膜にかけて形成される、前記第一の素子分離絶縁膜と、
前記第二の活性領域の前記第二の導電体と接続する部分の側において、前記SOI層の表面から、前記埋め込み絶縁膜にかけて形成される、第三の素子分離絶縁膜と、
前記一方の側に対向する、前記第三の活性領域の他方の側において、前記SOI層の表面から前記埋め込み絶縁膜に至らない所定の深さにかけて形成される、第四の素子分離絶縁膜と、
前記第四の素子分離絶縁膜と前記埋め込み絶縁膜との間に存するボディ領域とを、さらに備えている、
ことを特徴とする請求項3に記載のSRAM。 - 前記第四の素子分離絶縁膜は、平面視において、前記第一、第二のロードトランジスタのゲート電極の両側に形成されている、
ことを特徴とする請求項16に記載のSRAM。 - (a)半導体支持基板と埋め込み絶縁膜とSOI層とが、当該順に積層された構造を有するSOI基板を用意する工程と、
(b)前記SOI層の表面内に、活性領域を形成する工程と、
(c)前記活性領域の一方の側において、前記SOI層の表面から前記埋め込み絶縁膜にかけて、第一の素子分離絶縁膜を形成する工程と、
(d)前記活性領域の一方の側に対向する、前記活性領域の他方の側において、前記SOI層の表面から、前記埋め込み絶縁膜に至らない所定の深さにかけて、第二の素子分離絶縁膜を形成する工程と、
(e)平面視において、前記活性領域の中心より前記第一の素子分離絶縁膜が存する側の前記活性領域上に、導電体の中心が来るようにし、前記導電体は、前記活性領域の上面部および前記一方の側の側面に、接続し、前記第一の素子分離絶縁膜上にかけて延在するように、前記導電体を配設する工程とを、備えている、
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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