JP4947429B2 - 情報記録媒体用基板、およびそれを用いた情報磁気記録媒体 - Google Patents
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Description
〜8nmにするために、主平面2をポリッシュして、本実施形態の情報記録媒体用基板が得られる。
図2に例示した製造方法にしたがって、情報記録媒体用基板を作製した。
SiO2膜3を形成する際の熱酸化処理時間を変更して、主平面2上のSiO2膜3を変更し、同時に基板内周端面4および基板内周チャンファー部6のSiO2膜3の膜厚を変化させたことを除いて、実施例1の手順を繰り返して、情報記録媒体用基板を作製した。本実施例においては、基板内周端面4および基板内周チャンファー部6のSiO2膜3の膜厚を0nm(すなわち、基板内周端面4および基板内周チャンファー部6のSiO2膜3の熱酸化処理なし)から200nmまで変化させた。基板内周端面4および基板内周チャンファー部6のSiO2膜3の膜厚は、断面に対して透過電子顕微法(TEM)を適用することにより測定した。
主平面2上のSiO2膜3の膜厚を3nmとし、基板外周端面5のポリッシュ条件を変更して基板外周端面5のSiO2膜3の膜厚を変化させたことを除いて、実施例1の手順を繰り返して、情報記録媒体用基板を作製した。本実施例においては、基板外周端面5のSiO2膜3の膜厚を0nm(すなわち、基板外周端面5のSiO2膜3の完全除去)から100nmまで変化させた。基板外周端面5のSiO2膜3の膜厚は、断面に対して透過電子顕微法(TEM)を適用することにより測定した。
2 主平面
3 SiO2膜
4 基板内周端面
5 基板外周端面
6 基板内周チャンファー部
7 基板外周チャンファー部
8 中心孔
Claims (3)
- 中心孔を有する円板形状を有し、主平面と、該中心孔に隣接する基板内周端面と、主平面および基板内周端面に隣接する基板内周チャンファー部と、該基板内周端面に対して主平面の反対側に位置する基板外周端面と、主平面および基板外周端面に隣接する基板外周チャンファー部とを有する情報記録媒体用基板であって、シリコン単結晶支持体と、該シリコン単結晶支持体上に形成されたSiO2膜とを含み、該SiO2膜の主平面上の膜厚が2nmから8nmであり、該SiO 2 膜の基板内周端面および基板内周チャンファー部上の膜厚が50nm以上であり、該SiO 2 膜の基板外周端面上の膜厚が10nm以下であり、少なくとも基板内周端面および基板内周チャンファー部上のSiO 2 膜がシリコン単結晶支持体の熱酸化により形成されていることを特徴とする、2Tbit/平方インチ以上の記録密度で情報記録を行うための熱アシスト方式の情報磁気記録媒体用基板。
- レーザ照射による昇温時間が2ナノ秒以下であり、レーザ照射後の降温時間が2ナノ秒以下であることを特徴とする請求項1に記載の情報記録媒体用基板。
- 請求項1または2に記載の情報記録媒体用基板と、該情報記録媒体用基板の上に形成された磁気記録層とを少なくとも含むことを特徴とする情報磁気記録媒体。
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