JP4945661B2 - マイクロダイヤフラムポンプ - Google Patents
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Images
Description
12 弁板シート
14 弁板
14a 弁板開口
14b 支持腕
16 流路開口
18 弁座シート
20 弁座
20a 開口
20b 突条
20c ハーフエッチング範囲
22 弁ストッパ
22a 環状部
22b 流路
22c 開口
24 予備積層体
26 吸入弁
28 吐出弁
30 スタンピング工具
32 ベース板
34 枠体
36 ダイヤフラム
38 第2の枠体
40 ダイヤフラム室
42 駆動素子(ピエゾ素子、PZT)
Claims (11)
- 吸入弁および吐出弁の一側に接するダイヤフラム室を有するマイクロダイヤフラムポンプであって、
前記吸入弁および吐出弁の一方の弁板と他方の弁の流路となる流路開口とが形成され、互いに弁板と流路開口とが対向する向きに積層された二枚の弁板シートと、
この積層体の両面に積層され前記一方の弁板シートの弁板に対向する弁座および他方の弁板シートの弁板に対向する弁ストッパとが形成された二枚の弁座シートと、
一方の弁座シートに重ねられ前記吸入弁および吐出弁にそれぞれ連通する2つの流路を有するベース板と、
他方の弁座シートの周縁に重ねられ前記吸入弁および吐出弁を囲む枠体と、
この枠体に重ねられこの枠体を重ねた弁座シートとの間にダイヤフラム室を形成するダイヤフラムと、
このダイヤフラムに保持した駆動素子と、
を備えることを特徴とするマイクロダイヤフラムポンプ。 - 二枚の弁板シートと、二枚の弁座シートとは、金属薄板で形成され、これらは二枚の弁板シートを二枚の弁座シートで挟んで多層化接合されている請求項1のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 弁板は、弁板シートに形成した弁板開口の内縁から内径側に伸びる支持腕に保持され、弁板シートに形成した流路開口およびベース板に形成した吐出弁の流路となる流路開口の開口径は、前記弁板開口の内径に等しい請求項1のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 弁板シートの弁板および流路開口と、弁座シートの弁座および弁ストッパとはエッチング、プレス打ち抜き加工のいずれかで加工されている請求項1のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 枠体とダイヤフラムは金属薄板であり、これらは請求項2で形成された積層体の一側面に積層され、この積層体の他側面にベース板をそれぞれ積層して多層化接合されている請求項2のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 二枚の弁座シートに形成する弁座には、弁板に対向する環状の突条が形成され、弁板との密閉性を向上させている請求項1のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 二枚の弁座シートに形成した環状の突条にはDLCが成膜されて突条の硬化、平滑化処理が施されている請求項6のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 二枚の弁板シートの弁板には、弁座シートの環状の突条に押圧して突条との密着性を向上させるスタンピング加工が施されている請求項7のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 弁座シートの弁ストッパは、他の弁座シートの弁座に形成した突条に対向する環状部と、この環状部の周囲に周方向に分割された流路とを備え、前記環状部にスタンピング加工具を挿通可能とした請求項8のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 駆動素子はダイヤフラムに貼着したピエゾ素子である請求項1のマイクロダイヤフラムポンプ。
- ダイヤフラムには、ピエゾ素子を囲む第2の枠体が固着されている請求項10のマイクロダイヤフラムポンプ。
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