JP2011256741A - マイクロダイヤフラムポンプ - Google Patents
マイクロダイヤフラムポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011256741A JP2011256741A JP2010130304A JP2010130304A JP2011256741A JP 2011256741 A JP2011256741 A JP 2011256741A JP 2010130304 A JP2010130304 A JP 2010130304A JP 2010130304 A JP2010130304 A JP 2010130304A JP 2011256741 A JP2011256741 A JP 2011256741A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- diaphragm
- plate
- valve plate
- micro
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 10
- 238000004080 punching Methods 0.000 claims description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 18
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 9
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 6
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910020836 Sn-Ag Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020988 Sn—Ag Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 239000002737 fuel gas Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000053 physical method Methods 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000002407 reforming Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052845 zircon Inorganic materials 0.000 description 1
- GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N zirconium(iv) silicate Chemical compound [Zr+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
【解決手段】吸入弁26および吐出弁28の一方の弁板14と他方の弁の流路となる流路開口16とが形成され、互いに逆向きに積層された二枚の弁板シート12と、この積層体に積層され弁座20および弁ストッパ22とが形成された二枚の弁座シート18と、ベース板32と、枠体34と、ダイヤフラム36と、駆動素子42と、を備える。
【選択図】図2
Description
12 弁板シート
14 弁板
14a 弁板開口
14b 支持腕
16 流路開口
18 弁座シート
20 弁座
20a 開口
20b 突条
20c ハーフエッチング範囲
22 弁ストッパ
22a 環状部
22b 流路
22c 開口
24 予備積層体
26 吸入弁
28 吐出弁
30 スタンピング工具
32 ベース板
34 枠体
36 ダイヤフラム
38 第2の枠体
40 ダイヤフラム室
42 駆動素子(ピエゾ素子、PZT)
Claims (11)
- 吸入弁および吐出弁の一側に接するダイヤフラム室を有するマイクロダイヤフラムポンプであって、
前記吸入弁および吐出弁の一方の弁板と他方の弁の流路となる流路開口とが形成され、互いに弁板と流路開口とが対向する向きに積層された二枚の弁板シートと、
この積層体の両面に積層され前記一方の弁板シートの弁板に対向する弁座および他方の弁板シートの弁板に対向する弁ストッパとが形成された二枚の弁座シートと、
一方の弁座シートに重ねられ前記吸入弁および吐出弁にそれぞれ連通する2つの流路を有するベース板と、
他方の弁座シートの周縁に重ねられ前記吸入弁および吐出弁を囲む枠体と、
この枠体に重ねられこの枠体を重ねた弁座シートとの間にダイヤフラム室を形成するダイヤフラムと、
このダイヤフラムに保持した駆動素子と、
を備えることを特徴とするマイクロダイヤフラムポンプ。 - 二枚の弁板シートと、二枚の弁座シートとは、金属薄板で形成され、これらは二枚の弁板シートを二枚の弁座シートで挟んで多層化接合されている請求項1のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 弁板は、弁板シートに形成した弁板開口の内縁から内径側に伸びる支持腕に保持され、弁板シートに形成した流路開口およびベース板に形成した吐出弁の流路となる流路開口の開口径は、前記弁板開口の内径に等しい請求項1のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 弁板シートの弁板および流路開口と、弁座シートの弁座および弁ストッパとはエッチング、プレス打ち抜き加工のいずれかで加工されている請求項1のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 枠体とダイヤフラムは金属薄板であり、これらは請求項2で形成された積層体の一側面に積層され、この積層体の他側面にベース板をそれぞれ積層して多層化接合されている請求項2のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 二枚の弁座シートに形成する弁座には、弁板に対向する環状の突条が形成され、弁板との密閉性を向上させている請求項1のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 二枚の弁座シートに形成した環状の突条にはDLCが成膜されて突条の硬化、平滑化処理が施されている請求項6のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 二枚の弁板シートの弁板には、弁座シートの環状の突条に押圧して突条との密着性を向上させるスタンピング加工が施されている請求項7のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 弁座シートの弁ストッパは、他の弁座シートの弁座に形成した突条に対向する環状部と、この環状部の周囲に周方向に分割された流路とを備え、前記環状部にスタンピング加工具を挿通可能とした請求項8のマイクロダイヤフラムポンプ。
- 駆動素子はダイヤフラムに貼着したピエゾ素子である請求項1のマイクロダイヤフラムポンプ。
- ダイヤフラムには、ピエゾ素子を囲む第2の枠体が固着されている請求項10のマイクロダイヤフラムポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010130304A JP4945661B2 (ja) | 2010-06-07 | 2010-06-07 | マイクロダイヤフラムポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010130304A JP4945661B2 (ja) | 2010-06-07 | 2010-06-07 | マイクロダイヤフラムポンプ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011256741A true JP2011256741A (ja) | 2011-12-22 |
JP2011256741A5 JP2011256741A5 (ja) | 2012-02-09 |
JP4945661B2 JP4945661B2 (ja) | 2012-06-06 |
Family
ID=45473193
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010130304A Active JP4945661B2 (ja) | 2010-06-07 | 2010-06-07 | マイクロダイヤフラムポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4945661B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016133024A1 (ja) * | 2015-02-17 | 2016-08-25 | 大研医器株式会社 | ポンプユニット及びその製造方法 |
TWI627354B (zh) * | 2017-05-31 | 2018-06-21 | 研能科技股份有限公司 | 流體輸送裝置 |
JP2018123796A (ja) * | 2017-02-02 | 2018-08-09 | 株式会社菊池製作所 | マイクロダイヤフラムポンプ |
US11098704B2 (en) | 2018-08-17 | 2021-08-24 | Seiko Epson Corporation | Structure, diaphragm-type compressor, cooler, projector, and method for manufacturing structure |
US11326588B2 (en) | 2018-08-08 | 2022-05-10 | Seiko Epson Corporation | Diaphragm-type compressor, projector, cooler, and method for compressing fluid |
US20220372965A1 (en) * | 2019-11-08 | 2022-11-24 | Sony Group Corporation | Valve module, fluid control apparatus, and electronic apparatus |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2024051971A (ja) * | 2022-09-30 | 2024-04-11 | 大研医器株式会社 | 弁構成部材 |
-
2010
- 2010-06-07 JP JP2010130304A patent/JP4945661B2/ja active Active
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016133024A1 (ja) * | 2015-02-17 | 2016-08-25 | 大研医器株式会社 | ポンプユニット及びその製造方法 |
CN107250538A (zh) * | 2015-02-17 | 2017-10-13 | 大研医器株式会社 | 泵组件及其制造方法 |
JPWO2016133024A1 (ja) * | 2015-02-17 | 2017-11-30 | 大研医器株式会社 | ポンプユニット及びその製造方法 |
US10605239B2 (en) | 2015-02-17 | 2020-03-31 | Daiken Medical Co., Ltd. | Pump unit and method of manufacturing same |
JP2018123796A (ja) * | 2017-02-02 | 2018-08-09 | 株式会社菊池製作所 | マイクロダイヤフラムポンプ |
TWI627354B (zh) * | 2017-05-31 | 2018-06-21 | 研能科技股份有限公司 | 流體輸送裝置 |
US11326588B2 (en) | 2018-08-08 | 2022-05-10 | Seiko Epson Corporation | Diaphragm-type compressor, projector, cooler, and method for compressing fluid |
US11098704B2 (en) | 2018-08-17 | 2021-08-24 | Seiko Epson Corporation | Structure, diaphragm-type compressor, cooler, projector, and method for manufacturing structure |
US20220372965A1 (en) * | 2019-11-08 | 2022-11-24 | Sony Group Corporation | Valve module, fluid control apparatus, and electronic apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4945661B2 (ja) | 2012-06-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2013046330A1 (ja) | マイクロダイヤフラムポンプ | |
JP4945661B2 (ja) | マイクロダイヤフラムポンプ | |
JP5982117B2 (ja) | マイクロダイヤフラムポンプ | |
JP4036834B2 (ja) | マイクロポンプ用逆止弁の製造方法 | |
EP2107246B1 (en) | Fluid transportation device having multiple double-chamber actuating structures | |
JP2018123796A (ja) | マイクロダイヤフラムポンプ | |
TWI431195B (zh) | 微液滴流體輸送裝置 | |
KR101033077B1 (ko) | 압전 펌프 | |
JP4793442B2 (ja) | マイクロポンプ | |
WO2009152775A1 (zh) | 一种微型泵 | |
JPWO2008069266A1 (ja) | 圧電マイクロブロア | |
JPWO2008081767A1 (ja) | 圧電バルブ | |
WO2007055136A1 (ja) | ユニモルフ振動板を用いたポンプ | |
JP4047803B2 (ja) | ダイアフラムポンプ | |
JP5593907B2 (ja) | 圧電ポンプ及びその製造方法 | |
TW200909684A (en) | Manufacturing method of fluid transmission device | |
JP3202643B2 (ja) | マイクロポンプおよびマイクロポンプの製造方法 | |
JP2011256741A5 (ja) | ||
JP5826009B2 (ja) | マイクロポンプ実装用の基板およびマイクロポンプ組立体 | |
JP2018028265A (ja) | マイクロダイヤフラムポンプ | |
TW200909683A (en) | Fluid transmission device cable of transmitting fluid at relatively large fluid rate | |
JP2011027057A (ja) | 圧電ポンプ及びその駆動方法 | |
JP2010065550A (ja) | 圧電ポンプ及び流体移送システム | |
US20080199331A1 (en) | Piezoelectric pump | |
JP2017057975A (ja) | マイクロポンプ用漏出防止弁 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111027 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111027 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20120202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20120215 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120217 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120305 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4945661 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150309 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |