JP7200535B2 - 構造体、ダイヤフラム式圧縮機、冷却機、プロジェクター及び構造体の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、弁を有する構造体、ダイヤフラム式圧縮機、冷却機、プロジェクター及び構造体の製造方法に関する。

従来から、様々な弁を有する構造体が使用されている。このような構造体のうち、弁を対向する領域に接触させることで流路を閉じ、該弁を対向する領域から離すことで流路を開ける構成の構造体がある。
例えば、特許文献１には、弁体を該弁体と対向する位置に設けられた弁座に接触させることで該弁体により該弁座に設けられた流路を閉じ、該弁体を該弁座から離すことで流路を開ける構成の逆止弁が開示されている。

特開２００５－９５３１号公報

しかしながら、特許文献１に記載されるような、弁を対向する領域に接触させることで流路を閉じ、該弁を対向する領域から離すことで流路を開ける構成の、従来の構造体においては、弁が対向する領域に貼り付き、流路の開閉不良が生じる場合があった。

上記課題を解決するための本発明の構造体は、第１弁を有する第１基板と、前記第１基板と接合された第２基板と、を備え、前記第１弁と前記第２基板とが接合されていない領域を有し、前記領域には前記第１弁及び前記第２基板の少なくともどちらか一方に貼り付き抑制部が設けられていることを特徴とする。

本発明の実施例１に係るダイヤフラム式圧縮機の使用例を表す概略図。 本発明の実施例１に係るダイヤフラム式圧縮機を表す概略図であり、枠を一部透視させた状態の斜視図である。 本発明の実施例１に係るダイヤフラム式圧縮機を表す概略断面図。 本発明の実施例１に係るダイヤフラム式圧縮機の状態変化について説明する概略図であり、一部構成部材を省略して表した図である。 本発明の実施例１に係るダイヤフラム式圧縮機の第１弁を表す概略底面図。 本発明の実施例１に係るダイヤフラム式圧縮機を構成する構造体の概略図であって、第１弁の第２基板に対する配置を表す概略正面図。 本発明の実施例２に係るダイヤフラム式圧縮機の第１弁を表す概略正面図。 本発明の実施例２に係るダイヤフラム式圧縮機の第１弁を表す概略底面図。 本発明の実施例２に係るダイヤフラム式圧縮機を構成する構造体の概略図であって、第１弁の第２基板に対する配置を表す概略正面図。 本発明の実施例３に係るダイヤフラム式圧縮機の第２基板を表す概略平面図。 本発明の実施例３に係るダイヤフラム式圧縮機を構成する構造体の概略図であって、第１弁が閉じた状態の第１弁の第２基板に対する配置を表す概略正面図。 本発明の実施例３に係るダイヤフラム式圧縮機を構成する構造体の概略図であって、第１弁が開いた状態の第１弁の第２基板に対する配置を表す概略正面図。

最初に、本発明について概略的に説明する。
上記課題を解決するための本発明の第１の態様の構造体は、第１弁を有する第１基板と、前記第１基板と接合された第２基板と、を備え、前記第１弁と前記第２基板とが接合されていない領域を有し、前記領域には前記第１弁及び前記第２基板の少なくともどちらか一方に貼り付き抑制部が設けられていることを特徴とする。

本態様によれば、第１弁と第２基板とが接合されていない領域に、貼り付き抑制部が設けられており、第１弁と第２基板とが貼り付きにくくなっているので、第１弁の第２基板に対する貼り付きを抑制できる。

本発明の第２の態様の構造体は、前記第１の態様において、前記貼り付き抑制部の材料は、前記第１弁とは異なる材料であることを特徴とする。

本態様によれば、貼り付き抑制部の材料は第１弁とは異なる材料であるので、第１弁を加工して第２基板に対して貼り付きにくくする構成よりも、容易にかつ効果的に第２基板に対して貼り付きにくくすることができる。

本発明の第３の態様の構造体は、前記第１または第２の態様において、前記領域には、前記第１弁が前記第２基板に向けて押し当てられる方向に、前記第１弁に力が加わる力発現部が設けられていることを特徴とする。

本態様によれば、第２基板と対向する領域であって第２基板と接合されていない領域に、第１弁が第２基板に向けて押し当てられる方向に第１弁に力が加わる力発現部が設けられているので、第１弁で流路を閉じている状態における流路からの流体の漏れを抑制できる。

本発明の第４の態様の構造体は、前記第３の態様において、前記力発現部は、前記貼り付き抑制部と一体に構成されていることを特徴とする。

本態様によれば、力発現部は貼り付き抑制部と一体に構成されているので、第１弁が小さく力発現部を貼り付き抑制部に対して別体で構成させるのが困難な場合でも、力発現部を設けることができる。

本発明の第５の態様の構造体は、前記第３の態様において、前記力発現部は、前記貼り付き抑制部とは別体で構成されていることを特徴とする。

本態様によれば、力発現部は貼り付き抑制部とは別体で構成されているので、貼り付き抑制部及び力発現部の各々の性能を容易に高くすることができる。

本発明の第６の態様のダイヤフラム式圧縮機は、請求項１から５のいずれか１項に記載の構造体である基板と、アクチュエーターと、前記基板と前記アクチュエーターとの間に設けられ、前記基板と圧縮室を区画するダイヤフラムと、を備えることを特徴とする。

本態様によれば、第１弁の第２基板に対する貼り付きを抑制されたダイヤフラム式圧縮機で流体を圧縮することができる。

本発明の第７の態様の冷却機は、前記第６の態様のダイヤフラム式圧縮機と、前記ダイヤフラム式圧縮機で圧縮されたことで温度が上昇した冷媒の熱を放熱する熱交換部と、前記冷媒を膨張させる冷媒膨張部と、を備えることを特徴とする。

本態様によれば、第１弁の第２基板に対する貼り付きが抑制された冷却機で被冷却物を冷却することができる。

本発明の第８形態のプロジェクターは、前記第７の態様の冷却機を備えることを特徴とする。

本態様によれば、第１弁の第２基板に対する貼り付きを抑制されたプロジェクターで映像を投射できる。

本発明の第９の態様の構造体の製造方法は、第１弁を有する第１基板と、前記第１基板と接合された第２基板と、を備える構造体の製造方法であって、前記第１弁と前記第２基板とが接合されていない領域を有するように、前記第１基板と前記第２基板とを接合する接合工程と、前記領域に、前記第１弁及び前記第２基板の少なくともどちらか一方に貼り付き抑制部を設ける貼り付き抑制部形成工程と、を含むことを特徴とする。

本態様によれば、第１弁と第２基板とが接合されていない領域に、貼り付き抑制部を設けることで、第１弁と第２基板とが貼り付きにくくなるので、第１弁の第２基板に対する貼り付きを抑制できる。

以下に、本発明の一実施例に係るダイヤフラム式圧縮機について、添付図面を参照して詳細に説明する。

［実施例１］（図１から図６）
本発明の実施例１に係るダイヤフラム式圧縮機１について説明する。
最初に、図１を参照して、本発明の実施例１に係るダイヤフラム式圧縮機１を使用している装置の一例であるプロジェクター１００について説明する。

図１で表されるプロジェクター１００は、光源１１４、蛍光体１１１及びダイクロイックミラー１１３などを備える光源ユニット１０２を備えている。また、赤色光用の光学素子１１２ａ、緑色光用の光学素子１１２ｂ及び青色光用の光学素子１１２ｃを有する光学素子１１２、並びに、投射レンズ１０４などを備える光学素子ユニット１０３を備えている。また、光源ユニット１０２及び光学素子ユニット１０３を冷却するための冷却機１０１を備えている。

冷却機１０１は、詳細は後述する本実施例のダイヤフラム式圧縮機１、熱交換部１０７、冷媒膨張部１０８及び蒸発器１０６などを備えており、１次冷媒管１０９を１次冷媒が方向Ｆに流れるよう構成されている。そして、このような構成をしていることにより、冷却機１０１は、後述の第１弁の第２基板に対する貼り付きを抑制しつつ被冷却物である光源ユニット１０２及び光学素子ユニット１０３を冷却することができる。

１次冷媒は、ダイヤフラム式圧縮機１で圧縮され、昇温する。ここで、ダイヤフラム式圧縮機１に流入する１次冷媒は低圧の気体であり、ダイヤフラム式圧縮機１から流出する１次冷媒は高圧の気体である。

ダイヤフラム式圧縮機１で圧縮された１次冷媒は、熱交換部１０７で所定の温度に冷却される。ここで、熱交換部１０７で冷却された１次冷媒は、高圧の液体である。

熱交換部１０７で冷却された１次冷媒は、冷媒膨張部１０８で膨張させられ、温度が低下する。ここで、冷媒膨張部１０８で膨張させられた１次冷媒は、低圧の液体である。

蒸発器１０６では、該蒸発器１０６の内部で１次冷媒を液体から気体に変化させ、蒸発器１０６の内部の熱を吸収する。ここで、光源ユニット１０２、光学素子ユニット１０３及び冷却機１０１は２次冷媒管１１０で接続されており、送液ポンプ１０５により２次冷媒が２次冷媒管１１０を循環する構成になっている。そして、冷却機１０１の蒸発器１０６の内部で１次冷媒管１０９と２次冷媒管１１０とが並んで配置されている。蒸発器１０６はこのような内部構成になっているので、１次冷媒を液体から気体に変化させることで低温となった蒸発器１０６の内部で２次冷媒は冷却される。冷却された２次冷媒が光源ユニット１０２及び光学素子ユニット１０３を循環することで、光源ユニット１０２及び光学素子ユニット１０３は冷却される。

本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、上記のように、プロジェクター１００において好ましく使用できる。図１で表されるプロジェクター１００は、詳細は後述する本実施例のダイヤフラム式圧縮機１を備えることで、ダイヤフラム式圧縮機１の構成部材である第１弁の第２基板に対する貼り付きを抑制されたプロジェクターで映像を投射できる。
しかしながら、本発明のダイヤフラム式圧縮機、並びに、該ダイヤフラム式圧縮機の構成部材である弁を有する構造体は、プロジェクターでの使用に限定されず、例えば、プリンター、コンピューター（ノートパソコン、デスクトップパソコン等）やロボットなど、発熱する構成部材を有する装置などにおいて使用可能である。

次に、図２から図４を参照して、ダイヤフラム式圧縮機１の構成について詳細に説明する。

図２及び図３で表されるように、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、アクチュエーター２、アクチュエーター２と接続されたダイヤフラム３、ダイヤフラム３と接続された基板４及びこれらを覆う枠５を有している。また、枠５には、１次冷媒の流入口９が設けられている。なお、本実施例のアクチュエーター２は、圧電素子であって、不図示の信号発生器に接続された不図示の増幅器に接続されており、該信号発生器及び該増幅器を駆動することにより押圧方向Ｐにダイヤフラム３を押圧することが可能に構成されている。ここで、信号発生器及び増幅器によるアクチュエーター２の駆動波動は、例えば、Ｓｉｎ波などとすることができる。アクチュエーター２は、連続的に駆動することで昇温する傾向がある。ここで、押圧方向Ｐは、アクチュエーター２が駆動することに伴ってダイヤフラム３が変位する方向に該当する。

また、図２及び図３で表されるように、ダイヤフラム３は、アクチュエーター２に押圧される領域３ａがアクチュエーター２に押圧されない領域３ｂよりも押圧方向Ｐにおいて厚く構成されている。ここで、「アクチュエーター２に押圧される領域３ａがアクチュエーター２に押圧されない領域３ｂよりも押圧方向Ｐにおいて厚い」とは、アクチュエーター２に押圧される位置の少なくとも一部がアクチュエーター２に押圧されない位置の少なくとも一部よりも押圧方向Ｐにおいて厚ければよい意味である。

また、図３で表されるように、基板４にはダイヤフラム３と接続される側に窪みが設けられており、ダイヤフラム３と基板４とを接合させることで該窪みが圧縮室６を設けている。

図３で表されるように、基板４における、押圧方向Ｐにおいてアクチュエーター２とオーバーラップする位置には、流体である１次冷媒を圧縮室６に流入可能な吸入口１７が設けられており、吸入口１７には吸入弁７が設けられている。吸入弁７は１次冷媒を圧縮室６に流入するときと１次冷媒を圧縮室６に流入しないときとで押圧方向Ｐにおける外側部分７ａの位置を変更可能である。具体的には、１次冷媒を圧縮室６に流入するときは、図３の状態に対応する図４の一番上の状態から図４の上から２番目の状態に変化する。ダイヤフラム３は押圧方向Ｐとは逆方向に押し上げられることで圧縮室６の内部が負圧となり、吸入弁７の外側部分７ａが方向Ａに位置を変更して吸入口１７が開放されることで、１次冷媒が圧縮室６に流入する。このように、１次冷媒を圧縮室６に流入するときに限り、吸入弁７の外側部分７ａが押圧方向Ｐにおける位置を変更することで、方向Ｆのみに１次冷媒が流れ、逆流しないようになっている。ここで、図４で表されるように、基板４は押圧方向Ｐに沿って複数の板状の材料４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ及び４ｆが積み重ねられるとともに接合されて設けられているが、吸入弁７はこのうちの板状の材料４ｃと一体的に構成されている。なお、本実施例の基板４は、板状の材料４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ及び４ｆの合計６層構造となっているが、このような構成には限定されず、５層以下であってもよいし、７層以上であってもよい。

また、図３で表されるように、基板４における、押圧方向Ｐにおいてアクチュエーター２とオーバーラップする位置には、１次冷媒を圧縮室６から流出可能な吐出口１８が設けられており、吐出口１８には吐出弁８が設けられている。吐出弁８は１次冷媒を圧縮室６から流出するときと１次冷媒を圧縮室６から流出しないときとで押圧方向Ｐにおける外側部分８ａ位置を変更可能である。具体的には、１次冷媒を圧縮室６から流出するときは、図４の上から２番目の状態から図４の一番下の状態に変化する。ダイヤフラム３は押圧方向Ｐに押し下げられることで圧縮室６の内部が正圧となり、吐出弁８の外側部分８ａが方向Ｂに位置を変更して吐出口１８が開放されることで、１次冷媒が圧縮室６から流出する。このように、１次冷媒を圧縮室６から流出するときに限り、吐出弁８の外側部分８ａが押圧方向Ｐにおける位置を変更することで、方向Ｆのみに１次冷媒が流れ、逆流しないようになっている。なお、吐出弁８は、複数の板状の材料４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ及び４ｆのうちの板状の材料４ｄと一体的に構成されている。

また、上記のように枠５には１次冷媒の流入口９が設けられているが、流入口９から枠５の内部に流入した１次冷媒は、枠５の内部においてアクチュエーター２と接触可能になっている。ただし、このような構成のダイヤフラム式圧縮機１に限定されない。例えば、吸入口１７を吐出口１８と同様、枠５の外部に直接繋がる構成とし、枠５の外部から吸入口１７のみを介して圧縮室６に直接１次冷媒が流入する構成としてもよい。

次に、吸入弁７の具体的な構成について図５及び図６を参照して説明する。なお、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１においては、吐出弁８も押圧方向Ｐに沿う方向における配置が逆になっていること以外は吸入弁７と同様の構成となっている。ただし、このような構成に限定されない。

図５及び図６で表されるように、本実施例の吸入弁７には、吸入口１７と対向する位置に、該吸入口１７が設けられた板状の材料４ｄに対して該吸入弁７が貼り付きにくくなるように、板状の材料４ｄと接合されていない領域７ｂに貼り付き抑制部２０が設けられている。貼り付き抑制部２０としては、例えば、ＳｉＯ_２やＴｉＯ_２の膜などが挙げられるが、貼り付き抑制部２０が設けられていない吸入弁７よりも貼り付き抑制部２０が設けられている吸入弁７のほうが板状の材料４ｄに対して貼り付きにくくなるのであれば、材料、形状及び大きさなどに特に限定はない。例えば、図６で表されるように、貼り付き抑制部２０が設けられていることで、吸入弁７の板状の材料４ｄに対する接触面積が減少し、該板状の材料４ｄに対して貼り付きにくくなるのであれば、貼り付き抑制部２０は吸入弁７の構成材料で設けられていてもよい。なお、板状の材料４ｄに対して貼り付きにくくなっているかどうかの検証は、例えば、貼り付き抑制部２０を吸入弁７に設けた状態と、吸入弁７に設けなかった状態または貼り付き抑制部２０を吸入弁７から取り外した状態とで、吸入弁７と板状の材料４ｄの貼り付き力を比較することで行うことができる。

ここで、図６で表される構造体３０についてまとめると、本実施例の構造体３０は、第１弁としての吸入弁７を有する第１基板としての板状の材料４ｃと、板状の材料４ｃと接合された第２基板としての板状の材料４ｄと、を備えている。また、図６で表されるように、吸入弁７は、板状の材料４ｄと対向する領域であって板状の材料４ｄと接合されていない領域７ｂを有している。そして、領域７ｂには板状の材料４ｄに対する貼り付き抑制部２０が設けられており、貼り付き抑制部２０が設けられていない吸入弁７よりも貼り付き抑制部２０が設けられている吸入弁７のほうが板状の材料４ｄに対して貼り付きにくくなっている。このため、本実施例の構造体３０は、第１弁としての吸入弁７の第２基板としての板状の材料４ｄに対する貼り付きを抑制できる構成になっている。ここで、本実施例の構造体３０は、貼り付き抑制部２０は吸入弁７に設けられているが、板状の材料４ｄに設けられていてもよい。貼り付き抑制部２０が板状の材料４ｄに設けられている構成としては、例えば、吸入口１７の周囲に貼り付き抑制部２０が設けられる構成などが挙げられるが、特に限定はない。さらには、貼り付き抑制部２０が吸入弁７と板状の材料４ｄの両方に設けられていてもよい。

なお、上記のように、本実施例の吐出弁８は吸入弁７と同様の構成である。また、図４で表されるように、本実施例の構造体３０は、吐出弁８を有する板状の材料４ｄと、板状の材料４ｄと接合された板状の材料４ｃと、を備えている。そして、吐出弁８は、板状の材料４ｃと対向する領域であって板状の材料４ｃと接合されていない領域を有している。このため、吐出弁８を第１弁、板状の材料４ｄを第１基板、板状の材料４ｃを第２基板と考えることができる。したがって、本実施例の構造体３０は、第１弁としての吐出弁８の第２基板としての板状の材料４ｃに対する貼り付きを抑制できる構成になっていると表現できる。

また、上記のように、貼り付き抑制部２０の構成材料などに特に限定はないが、貼り付き抑制部２０の材料は、吸入弁７とは異なる材料であることが好ましい。貼り付き抑制部２０の材料を吸入弁７とは異なる材料とすることで、吸入弁７を加工して板状の材料４ｄに対して貼り付きにくくする構成よりも、容易にかつ効果的に板状の材料４ｄに対して貼り付きにくくすることができるためである。

また、ダイヤフラム式圧縮機１の観点から本実施例を説明すると、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、上記に記載の構造体３０である基板４と、アクチュエーター２と、基板４とアクチュエーター２との間に設けられ、基板４と圧縮室６を区画するダイヤフラム３と、を備えている。別の表現をすると、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、ダイヤフラム３と、ダイヤフラム３を押圧可能なアクチュエーター２と、ダイヤフラム３対してアクチュエーター２とは反対側に設けられ、アクチュエーター２と共に圧縮室６を設ける上記の構造体３０である基板４と、を備えている。このため、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１を使用することで、吸入弁７の板状の材料４ｄに対する貼り付きを抑制されたダイヤフラム式圧縮機１で１次冷媒を圧縮することができる。

ここで、吸入弁７を有する板状の材料４ｃと、板状の材料４ｃと接合された板状の材料４ｄと、を備える本実施例の構造体３０は、吸入弁７が板状の材料４ｄと対向する領域７ｂであって板状の材料４ｄと接合されていない領域７ｂを有するように、板状の材料４ｃと板状の材料４ｄとを接合する接合工程と、貼り付き抑制部２０が設けられていない吸入弁７よりも貼り付き抑制部２０が設けられている吸入弁７のほうが板状の材料４ｄに対して貼り付きにくくなるように、領域７ｂに板状の材料４ｄに対する貼り付き抑制部２０を設ける貼り付き抑制部形成工程と、を実行することで製造することができる。このように、構造体３０を製造することで、吸入弁７の板状の材料４ｄに対する貼り付きを抑制できる。なお、貼り付き抑制部形成工程においては、貼り付き抑制部２０は、吸入弁７及び板状の材料４ｄの少なくともどちらか一方に設ければよい。

［実施例２］（図７から図９）
次に、本発明の実施例２に係るダイヤフラム式圧縮機１について図７から図９を参照して説明する。このうち、図８は実施例１のダイヤフラム式圧縮機１における図５に対応する図である。また、図９は実施例１のダイヤフラム式圧縮機１における図６に対応する図である。なお、上記実施例１と共通する構成部材は同じ符号で示しており、詳細な説明は省略する。また、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、吸入弁７及び該吸入弁７と同様の構成である吐出弁８以外は実施例１のダイヤフラム式圧縮機１と同様の構成である。

図７から図９で表されるように、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１における吸入弁７には、力発現部２１が設けられている。なお、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１における吐出弁８は、上記のとおり吸入弁７と同様の構成であり、力発現部２１が設けられている。ただし、本実施例の吐出弁８は、実施例１のダイヤフラム式圧縮機１と同様、押圧方向Ｐに沿う方向における配置が吸入弁７とは逆になっている。

本実施例のダイヤフラム式圧縮機１における吸入弁７は、詳細には、図７で表されるように、押圧方向Ｐ側、すなわち、貼り付き抑制部２０が押し当てられる側に向けて力が加わるように力発現部２１が設けられている。別の表現をすると、図９で表されるように、吸入弁７が板状の材料４ｄと対向する領域７ｂには、吸入弁７が板状の材料４ｄに向けて押し当てられる方向に、吸入弁７に力が加わる力発現部２１が設けられている。このため、本実施例の構造体３０は、吸入弁７で流路である吸入口１７を閉じている状態における流路からの流体の漏れを抑制できる構成になっている。

なお、上記のように、本実施例の吐出弁８は吸入弁７と同様の構成であるので、吐出弁８が板状の材料４ｃと対向する領域には、吐出弁８が板状の材料４ｃに向けて押し当てられる方向に、吐出弁８に力が加わる力発現部２１が設けられている。したがって、本実施例の構造体３０は、吐出弁８で流路である吐出口１８を閉じている状態における流路からの流体の漏れを抑制できる構成になっていると表現できる。

なお、本実施例の力発現部２１は、図７で表されるように、押圧方向Ｐ側に向けて力が加わるように吸入弁７を変形させた状態で領域７ｂに膜状のシール部材を貼り付けることで構成されている。ただし、このような構成に限定されず、力発現部２１の構成材料、形状及び大きさなどに特に限定はない。

ここで、図７から図９で表されるように、本実施例の力発現部２１は、貼り付き抑制部２０とは別体で構成されている。このように、力発現部２１と貼り付き抑制部２０とを別体で構成すること、貼り付き抑制部２０及び力発現部２１の各々の性能を容易に高くすることができる。

しかしながら、力発現部２１と貼り付き抑制部２０とを一体に構成してもよい。力発現部２１と貼り付き抑制部２０とを一体に構成することで、例えば、吸入弁７が小さく力発現部２１を貼り付き抑制部２０に対して別体で構成させるのが困難な場合でも、力発現部２１を設けることができる。

［実施例３］（図１０から図１２）
次に、本発明の実施例２に係るダイヤフラム式圧縮機１について図１０から図１２を参照して説明する。このうち、図１１は実施例１のダイヤフラム式圧縮機１における図６に対応する図である。なお、上記実施例１と共通する構成部材は同じ符号で示しており、詳細な説明は省略する。また、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、貼り付き抑制部２０が吸入弁７ではなく板状の材料４ｄに設けられていること以外は実施例１のダイヤフラム式圧縮機１と同様の構成である。

図１０から図１２で表されるように、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、貼り付き抑制部２０が吸入口１７の周辺において板状の材料４ｄに設けられている。なお、本実施例の貼り付き抑制部２０は円状の吸入口１７の周辺に円筒状に設けられているが、このような構成に限定されない。

なお、本発明は上記実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々の変形が可能であり、それらも本発明の範囲内に含まれることは言うまでもない。例えば、アクチュエーター２の形状や枠５の形状などは上記実施例の構成に限定されず、例えば、円柱状のアクチュエーター２の替わりに四角柱状のアクチュエーターを用いてもよいし、外形が四角柱状の枠５の替わりに外形が円柱状の枠を用いてもよい。また、構造体３０をダイヤフラム式圧縮機１以外に使用してもよい。さらに、例えば、アクチュエーターであれば、圧電素子に限らず、モーター、ソレノイド、ボイスコイルモーター等への変形が可能であり本発明の範囲内に含まれる。

１…ダイヤフラム式圧縮機、２…アクチュエーター、３…ダイヤフラム、
３ａ…アクチュエーター２に押圧される領域、
３ｂ…アクチュエーター２に押圧されない領域、４…基板、４ａ…板状の材料、
４ｂ…板状の材料、４ｃ…板状の材料（第１基板）、４ｄ…板状の材料（第２基板）、
４ｅ…板状の材料、４ｆ…板状の材料、５…枠、６…圧縮室、
７…吸入弁（第１弁）、７ａ…外側部分、
７ｂ…吸入弁７が板状の材料４ｄと対向する領域、８…吐出弁、８ａ…外側部分、
９…流入口、１７…吸入口（流路）、１８…吐出口（流路）、２０…貼り付き抑制部、
２１…力発現部、１００…プロジェクター、１０１…冷却機、
１０２…光源ユニット、１０３…光学素子ユニット、１０４…投射レンズ、
１０５…送液ポンプ、１０６…蒸発器、１０７…熱交換部、１０８…冷媒膨張部、
１０９…１次冷媒管、１１０…２次冷媒管、１１１…蛍光体、１１２…光学素子、
１１２ａ…赤色光用の光学素子、１１２ｂ…緑色光用の光学素子、
１１２ｃ…青色光用の光学素子、１１３…ダイクロイックミラー、１１４…光源

Claims (7)

1. 第１弁を有する第１基板と、
   前記第１基板と接合された第２基板と、を備え、
   前記第１弁と前記第２基板とが接合されていない領域を有し、
   前記領域には、前記第１弁を変形させた状態で保持することで、前記第１弁が前記第２
   基板に向けて押し当てられる方向に、前記第１弁を前記第２基板に押し付ける力が加わる
   力発現部と、前記第１弁及び前記第２基板の少なくともどちらか一方に貼り付き抑制部が
   設けられていることを特徴とする構造体。
2. 請求項１に記載の構造体において、
   前記貼り付き抑制部の材料は、前記第１弁とは異なる材料であることを特徴とする構造
   体。
3. 請求項１に記載の構造体において、
   前記力発現部は、前記貼り付き抑制部と一体に構成されていることを特徴とする構造体
   。
4. 請求項１に記載の構造体において、
   前記力発現部は、前記貼り付き抑制部とは別体で構成されていることを特徴とする構造
   体。
5. 請求項１から４のいずれか１項に記載の構造体である基板と、
   アクチュエーターと、
   前記基板と前記アクチュエーターとの間に設けられ、前記基板と圧縮室を区画するダイ
   ヤフラムと、を備えることを特徴とするダイヤフラム式圧縮機。
6. 請求項５に記載のダイヤフラム式圧縮機と、
   前記ダイヤフラム式圧縮機で圧縮されたことで温度が上昇した冷媒の熱を放熱する熱交
   換部と、
   前記冷媒を膨張させる冷媒膨張部と、を備えることを特徴とする冷却機。
7. 請求項６に記載の冷却機、を備えることを特徴とするプロジェクター。

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