JP2002106469A - ダイヤフラムポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な製造、接合方法により、高効率でコン
パクトな構造のダイヤフラムポンプを提供する。 【構成】 ３つの貫通孔１１，１２，２４が開設された
薄板状の筐体１０の上面側において、貫通孔１１の開口
部１３及び貫通孔３４の開口部３５を覆うようにしてダ
イヤフラム２０を配設して、第１のポンプ室２５を形成
する。また、筐体１０の下面側において、貫通孔３４の
開口部３５及び貫通孔１２の開口部１４ｂを覆うように
してダイヤフラム２０を配設して、第２のポンプ室２６
を形成する。貫通孔１１には、開口部１３を覆うように
矩形状のフィルム片３０を載置し、開口部１３を挟みフ
ィルム片３０の短辺と平行となる位置にて、筐体１０に
接合して吸気用バルブを構成する。また、貫通孔１２に
は、開口部１４を覆うように矩形状のフィルム片３０を
載置し、開口部１４を挟みフィルム片３０の短辺と平行
になる位置にて、筐体１０に接合して吸気用バルブを構
成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はダイヤフラムポンプ
に関する。具体的には、ダイヤフラムの作用を利用した
いわゆる圧電ポンプに関する。

【０００２】

【従来の技術】図２４は従来のダイヤフラムポンプＸの
一例を示す分解斜視図、図２５は当該ダイヤフラムポン
プＸの概略的断面構造図である。当該ダイヤフラムポン
プＸは、排気路１０１及び吸気路１０２が形成された筐
体１００と、筐体１００との間でポンプ室を形成するた
めのダイヤフラム１１０とから構成されている。筐体１
００は、上部筐体１３０と下部筐体１４０とから構成さ
れており、ほぼ平面視正方形状に形成されている。ま
た、筐体１００内部には、排気路１０１及び吸気路１０
２が設けられており、筐体１００側面には排気路１０１
及び吸気路１０２と外部のパイプ（図示せず）を接続す
るための接続部が延設されている。

【０００３】下部筐体１４０には、排気路１０１を形成
する排気路用溝部１４１と吸気路１０２を形成する吸気
路用溝部１４２とが凹設されている。排気路用溝部１４
１の一端は、下部筐体１４０側面に突設された接続部形
成用の突起部１４３に延設されており、その他端には、
排気バルブを形成するための略円筒状の凹部１４５が形
成されている。また、吸気路用溝部１４２の一端も、下
部筐体１４０側面に突設された接続部形成用の突起部１
４４に延設されており、その他端にも、吸気バルブを形
成するための略円筒状の凹部１４６が形成されている。
また、吸気バルブ用の凹部１４６の中央には、円筒状を
した台座１４７が形成されている。

【０００４】上部筐体１３０は下部筐体１４０とぴった
りと重ね合わせられる形状をしており、上部筐体１３０
には、下部筐体１４０の突起部１４３と対向して、接続
部形成用の突起部１３３が備えられている。また、上部
筐体１３０の裏面側には、排気バルブ用の凹部１４５と
対向する凹部１３５及び吸気バルブ用の凹部１４６と対
向する凹部１３６が形成されている。また、排気バルブ
用の凹部１３５ほぼ中央には、円筒状の台座１３７が形
成されている。さらに、当該上部筐体１３０には、排気
バルブ用の凹部１３５から上部筐体１３０上面に貫通す
る貫通穴１３１が形成されている。また、吸気バルブ用
の凹部１３６からも上部筐体１３０上面に貫通する貫通
穴１３２が形成されている。従って、上部筐体１３０と
下部筐体１４０を重ね合わせることにより、筐体１００
に排気路１０１及び吸気路１０２並びに接続部が構成さ
れる。なお、上部筐体１３０と下部筐体１４０は、接着
剤等を用いることにより、漏れがないように接合され
る。

【０００５】これら上部筐体１３０と下部筐体１４０の
間には、排気バルブ並びに吸気用バルブを構成するフィ
ルム１２０が挟み込まれる。当該フィルム１２０には、
上部筐体１３０並びに下部筐体１４０に形成された凹部
１４５，１４６の位置に合わせて、バルブ形成用の穴１
２１が２つ開設されている。当該穴１２１は、上記２つ
の台座１３７，１４７よりも小さく設計されている。ま
た、当該フィルム１２０は、排気路用溝部１４１と吸気
路用溝部１４２に沿って、例えばレーザ溶接によって密
着されている。

【０００６】この結果、上部筐体１３０及び下部筐体１
４０に形成された２つの排気バルブ用の凹部１３５，１
４５と、上部筐体１３０に形成された凹部１３５内の台
座１３７と、上記フィルム１２０によって、排気バルブ
が形成される。また、上部筐体１３０及び下部筐体１４
０に形成された２つの吸気バルブ用の凹部１３６，１４
６と、下部筐体１４０に形成された凹部１４６内の台座
１４７と、上記フィルム１２０によって、吸気バルブが
形成される。さらに、筐体１００に排気路１０１及び吸
気路１０２並びに接続部が構成される。

【０００７】このようにして、ポンプ本体となる筐体１
００が形成される訳であるが、この筐体１００の上面
に、略円形状をした薄膜状のダイヤフラム１１０が、接
着剤等を用いてその周囲が上部筐体１３０の上面に接合
される。こうして、ダイヤフラムポンプＸが構成され、
筐体１００の上面とダイヤフラム１１０との間にポンプ
室が形成される。

【０００８】このような構造をしたダイヤフラムポンプ
Ｘにおいては、ダイヤフラム１１０を上下に振動させる
ことによりダイヤフラム１１０を屈曲運動させ、ポンプ
の機能を発揮させることができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構造のダイヤフラムポンプＸにおいては、上部筐体
１３０と下部筐体１４０の２つの部品から筐体１００を
構成するために、筐体１００の厚みが増してしまい、ダ
イヤフラムポンプＸ自体を小型化することが困難であっ
た。また、製造工程上、上部筐体１３０と下部筐体１４
０の間にフィルム１２０を挟む構造であるため、上下部
筐体１３０，１４０の合わせ面の平面度、平行度を担保
しなければならず、しかも、３つの部材の位置決めが非
常に困難であった。

【００１０】さらに、上部筐体１３０の存在により、吸
気バルブからポンプ室までの距離並びにポンプ室から排
気バルブまでの距離が増大してしまい、ポンプ排出圧を
左右するポンプ室容量に対するデッドボリューム（ダイ
ヤフラム１１０の変位により影響を受けない容量）が大
きくなってしまうという問題があった。一方、係る観点
を考慮して上部筐体１３０を薄型化することも考えられ
るが、薄型化した場合には、上部筐体１３０と下部筐体
１４０を接合する際のレーザ溶接時に歪みを発生する恐
れがあった。

【００１１】また、図２６に示すように、排気路１０１
及び吸気路１０２において、接合されたフィルム１２０
と上部筐体１３０下面との間に隙間１０３を生じてしま
い、エアリークを発生し、排気路１０１及び吸気路１０
２を精度よく形成するのが困難であるという問題もあっ
た。

【００１２】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて
なされたものであって、簡単な製造、接合方法により、
高効率でコンパクトな構造のダイヤフラムポンプを提供
することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明に係るダイヤフラ
ムポンプは、３つの貫通孔が備えられた板状の筐体と、
当該筐体の上面側において前記貫通孔のうち２つの貫通
孔の開口部を覆うようにして配設されたダイヤフラムと
によって第１のポンプ室が形成され、前記筐体の下面側
において前記２つの貫通孔のうちいずれかの貫通孔の開
口部と残る貫通孔の開口部を覆うようにして配設された
ダイヤフラムとによって第２のポンプ室が形成されたダ
イヤフラムポンプであって、前記第１のポンプ室におい
てのみ開口部が覆われた貫通孔に吸気用バルブが備えら
れて吸気路が構成され、前記第２のポンプ室においての
み開口部が覆われた貫通孔に排気用バルブが備えられて
排気路が構成されたことを特徴としている。

【００１４】このダイヤフラムポンプにおいて、吸気用
バルブとして、例えば、前記吸気路を構成する貫通孔の
開口部を覆うようにして前記筐体の上面に配置したフィ
ルム片を、前記貫通孔の開口部を挟む位置にて当該筐体
に接合して構成することができる。

【００１５】このとき、前記フィルム片を、前記貫通孔
の開口部に対応する領域よりも広い領域に通気孔が開設
されたスペーサと前記筐体にて挟み込むようにしてもよ
い。

【００１６】また、これらのダイヤフラムポンプにおい
ては、前記吸気路を構成する貫通孔を、ポンプ室側の開
口面積がポンプ室反対側の開口面積よりも大きくなるよ
うに設けるのが好ましい。

【００１７】また、吸気用バルブとして、筐体の上面に
形成された吸気用凹部の底面に、前記吸気路を構成する
貫通孔の開口部を覆うようにして配置したフィルム片
を、前記貫通孔の開口部を挟む位置にて当該筐体に接合
して構成することもできる。

【００１８】さらに、吸気用バルブを、筐体の下面に形
成された吸気用凹部の底面に、前記吸気路を構成する貫
通孔の開口部を覆うようにしてフィルム片を配置し、当
該吸気用凹部に嵌合され、前記貫通孔の開口部に対応す
る領域より狭い領域に通気孔が開設されたスペーサにて
挟み込む構成とすることもできる。このとき、前記フィ
ルム片を、前記通気孔の開口部を挟む位置にて前記スペ
ーサのポンプ室側面に接合したり、前記通気孔をポンプ
室側の開口面積がポンプ室反対側の開口面積よりも大き
く作製するのが好都合である。

【００１９】あるいは、前記筐体の下面に吸気用凹部を
備え、当該吸気用凹部の底面に通気用孔が設けられたフ
ィルム片を配置すると共に、当該通気用孔に対応して、
当該通気用孔の径よりも大きな径を有する台座と、当該
台座の周縁部に形成された円環状の溝部と、当該溝部と
外部を接続する通気孔とを具備するスペーサと前記吸気
用凹部の底面との間に前記フィルム片を挟み込み、吸気
用バルブを構成することもできる。

【００２０】一方、排気用バルブとしては、前記排気路
を構成する貫通孔の開口部を覆うようにして前記筐体の
上面にフィルム片を配置し、前記貫通孔の開口部を挟む
位置にて当該筐体に接合して構成することができる。

【００２１】このとき、前記フィルム片を、前記貫通孔
の開口部に対応する領域よりも広い領域に通気孔が開設
されたスペーサと前記筐体とにより挟み込むことができ
る。

【００２２】また、これらのダイヤフラムポンプにおい
ては、前記排気路を構成する貫通孔を、ポンプ室側の開
口面積がポンプ室反対側の開口面積よりも小さくするの
が好ましい。

【００２３】また、前記排気用バルブを、筐体の上面に
形成された排気用凹部の底面に配置されたフィルム片
を、前記貫通孔の開口部を挟む位置にて当該筐体に接合
して構成することもできる。

【００２４】さらに、前記筐体の上面に排気用凹部を備
え、当該排気用凹部の底面に、通気用孔が設けられたフ
ィルム片を配置すると共に、当該通気用孔に対応して、
前記筐体に、当該通気用孔の径よりも大きな径を有する
台座と、当該台座の周縁部に形成された円環状の溝部
と、当該溝部とポンプ室を接続する通気用孔とを形成
し、円環状のスペーサと前記排気用凹部の底面に前記フ
ィルム片を挟み、排気用バルブを構成することもでき
る。

【００２５】これらのダイヤフラムポンプにおいては、
前記筐体の下面及び／又は上面に接続用パイプを備え、
当該接続用パイプの先端を吸気用凹部及び／又は排気用
凹部に嵌合するのが望ましい。

【００２６】あるいは、前記筐体の下面及び／又は上面
に、接続用溝が形成された薄板状のプレート部を備え、
当該接続用溝と前記筐体とによって、前記吸気路及び／
又は前記排気路と接続された接続用路を設けるのが望ま
しい。

【００２７】また、本発明のダイヤフラムポンプにおい
ては、前記第２のダイヤフラムの吸排気動作を、前記第
１のダイヤフラムの吸排気動作に対し、０〜１／４サイ
クルの位相だけ遅らせるのが望ましい。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、各図を参照しながら本発明
について詳細に説明する。まず、図１は本発明の一実施
の形態である第１のダイヤフラムポンプＡの概略的斜視
図、図２は当該ダイヤフラムポンプＡの概略的分解斜視
図、図３は当該ダイヤフラムポンプＡの断面構造図、図
４は当該ダイヤフラムポンプＡにおける吸気バルブを示
す拡大説明図、図５及び図６は当該吸気バルブの動作を
示す説明図、図７乃至図１０はそれぞれ当該ダイヤフラ
ムポンプにおける動作タイミングの一例を示す説明図で
ある。

【００２９】ダイヤフラムポンプＡは、３つの貫通孔１
１，１２，３４が開設された板状の筐体１０と２枚のダ
イヤフラム２０とを備えている。この筐体１０の上面
に、貫通孔１１の開口部１３及び貫通孔３４の開口部３
５を覆うようにしてダイヤフラム２０が配置され、その
周縁部が接着剤２１やレーザ接合などによって接合され
ている。この結果、前記筐体１０と前記ダイヤフラム２
０との間に第１のポンプ室２５が形成される。また、筐
体１０の下面には、貫通孔１２の開口部１４ｂ及び貫通
孔３４の開口部３６を覆うようにしてダイヤフラム２０
が配置され、その周縁部が接着剤２１やレーザ接合など
によって接合されている。この結果、前記筐体１０と前
記ダイヤフラム２０との間に第２のポンプ室２６が形成
される。

【００３０】ダイヤフラム２０は薄膜状の圧電アクチュ
エータから作製されており、圧電素子（ピエゾ素子）や
真鍮、銀など電圧を印加することにより伸縮できるもの
であれば特にその構造は制限なく用いることができる。
各図に示すダイヤフラム２０は、詳細には図示しない
が、薄板状の圧電素子の両面に電極が形成された圧電ア
クチュエータが用いられている。すなわち、ダイヤフラ
ム２０に一定方向の電圧が印加されると、ダイヤフラム
２０が上方に屈曲してポンプ室容量が増大し、また、そ
れとは逆方向の電圧が印加されることによって、ダイヤ
フラム２０が下方に屈曲してポンプ室容量が減少する。
従って、最小ポンプ室容量時にダイヤフラム２０が筐体
１０に接触しない程度の大きさに設計し、筐体１０上面
及び筐体１０下面に接合するのが好ましい。

【００３１】筐体１０には、貫通孔１１によって吸気路
１が形成され、また、貫通孔１２によって排気路２が形
成され、さらに貫通孔３４によって接続孔４が形成され
る。筐体１０上面には、貫通孔１１の第１のポンプ室２
５側の開口部１３を覆うようにして、略矩形状のフィル
ム片３０が配置されている。当該フィルム片３０は、図
４に示すように第１のポンプ室２５側の開口部１３を挟
み、フィルム片３０の短辺と平行となる位置（図２及び
図４の破線イの位置）にて、例えばレーザ照射によって
筐体１０上面に接合され、吸気用バルブが構成される。
このとき、当該フィルム片３０は、筐体１０にできる限
り密着させて接合するのが好ましいが、必ずしも密着さ
せる必要はなく、むしろ、開口部１３上方にて十分に浮
き上がり、開口部１３とフィルム片３０との間に十分な
隙間ができる程度に余裕を持たせて密着させるのが好ま
しい。このようなフィルム片３０として、例えば、ポリ
イミドフィルムやポリ塩化ビニルフィルム、ポリ塩化ビ
ニリデンフィルム、ポリエチレンフィルムなどが用いら
れる。

【００３２】また、当該吸気路１を構成する貫通孔１１
は、断面凸字形状に開設されており、ポンプ室２５側の
開口面積が反対側の開口面積よりも大きくなっている。
この結果、フィルム片３０と開口部１３との接触面積が
大きくなり、吸気用バルブの応答速度を早くすることが
できる。さらに、円筒状に貫通孔１１を形成する場合に
比べていわゆるデッドボリュームを少なくできる。すな
わち、フィルム片３０と接触する開口面積を大きくする
形状であれば、その断面形状を問うものではない。

【００３３】一方、筐体１０下面にも、貫通孔１２の第
２のポンプ室２６側の開口部１４ａを覆うようにして、
フィルム片３０が配置されている。当該フィルム片３０
も、吸気側のフィルム片３０と同様に、第２のポンプ室
２６反対側の開口部１４ｂを挟む位置（図２及び図４の
破線ロの位置）にて、フィルム片３０の短辺と平行にな
る位置にて筐体１０上面に接合され、排気用バルブが構
成されている。

【００３４】また、当該排気路２を構成する貫通孔１２
も、断面凸字形状に開設されており、第２のポンプ室２
６反対側の開口面積が第２のポンプ室２６側の開口面積
よりも大きくなっている。この結果、当該排気用バルブ
の応答性も向上されている。なお、説明の都合上、図４
においては略矩形状のフィルム片３０を用いて説明した
が（図５及び図６並びに図１１においても同じ）、当該
フィルム片３０の形状は限定されるものではなく、貫通
孔１１の開口部１３若しくは貫通孔１２の開口部１４ｂ
を覆うことができる形状であればよく、各図に示すよう
に略円形状のフィルム片３０を用いることもできるのは
いうまでもない。この場合には、貫通孔１１の開口部１
３（貫通孔の開口部１４ｂ）を挟む位置にてその周縁に
沿って接合すればよい。

【００３５】このように構成されたダイヤフラムポンプ
Ａにおいては、ダイヤフラム２０の駆動によってポンプ
室容積が変化し、この変化によって吸気用バルブ及び排
気用バルブの開閉が行われる。すなわち、ダイヤフラム
２０に電圧が印加され、ポンプ室容量が最少となった状
態では、吸気用バルブのフィルム片３０は、図５に示す
ように貫通孔１１の開口部１３を塞ぎ、吸気用バルブが
閉の状態となる。

【００３６】また、ダイヤフラム２０に逆方向の電圧が
印加され、ポンプ室容量が最大となった状態では、吸気
用バルブのフィルム片３０は、図６に示すように貫通孔
１１の開口部１３から遠ざけられ、開口部１３とフィル
ム片３０との間から流体が流れるようになり、吸気用バ
ルブが開の状態となる。

【００３７】本発明においては、２つのダイヤフラム２
０の振動（駆動）状態のタイミングを制御することによ
って、ポンプとしての動作を発揮する。例えば図７
（ａ）に示すように、第１のポンプ室２５の吸排気動作
に対して、第２のポンプ室２６は、第１のポンプ室２５
と同じタイミングで吸排気動作を行なわせることができ
る。このようなタイミングであれば、図７（ｂ）左に示
すように、第１のポンプ室２５及び第２のポンプ室２６
ともに膨らんだ状態と、同図（ｂ）右に示すように、第
１のポンプ室２５及び第２のポンプ室２６ともにしぼん
だ状態とを繰り返す。従って、２つのポンプ室２５，２
６が膨らんだ状態では、吸気バルブが開いて、吸気路１
から第１のポンプ室２５に流体が流れ込むと共に接続孔
４を通じて第２のポンプ室２６に流体が流れ込む。ま
た、このときには排気バルブは閉じられた状態である。
また、２つのポンプ室２５，２６がしぼんだ状態では、
排気バルブが開いて、第２のポンプ室２６から流体が流
れ出ると共に接続孔４を通して第１のポンプ室２５から
も流体が第２のポンプ室２６へと流れ込み、第２のポン
プ室２６から流れ出る。また、このときには吸気バルブ
は閉じられた状態である。このようにして、ダイヤフラ
ムポンプＡは吸排気動作を行なえる。

【００３８】また、図８（ａ）に示すように、第１のポ
ンプ室２５の吸排気動作に対して、第２のポンプ室２６
の吸排気動作を、第１のポンプ室２５と位相が１／４サ
イクル遅れた状態で行なわせることができる。このよう
なタイミングであれば、図８（ｂ）左下に示すように、
第１のポンプ室２５が膨らみ、第２のポンプ室２５がし
ぼんだ状態から、図８（ｂ）左上に示すように、第１の
ポンプ室２５及び第２のポンプ室２６ともに膨らんだ状
態へ変化し、さらに、同図右上に示すように第１のポン
プ室２５がしぼみ、第２のポンプ室２５が膨らんだ状態
へと変化する。その後、同図右下に示すように第１のポ
ンプ室２５及び第２のポンプ室２６ともにしぼんだ状態
へと変化し、そして、元の図８（ｂ）左下の状態に変化
して、１サイクルの動作が行われる。

【００３９】すなわち、第１のポンプ室２５が膨らみ、
第２のポンプ室２５がしぼんだ状態では、吸気バルブが
開き、流体が第１のポンプ室へと流れ込む。次に、２つ
のポンプ室２５，２６が膨らんだ状態では、吸気路１か
ら第１のポンプ室２５に流体が流れ込むと共に接続孔４
を通して第２のポンプ室２６に流体が流れ込む。次に、
第１のポンプ室２５がしぼみ、第２のポンプ室２５が膨
らんだ状態では、流体が第１のポンプ室２５から接続孔
４を通じて第２のポンプ室２６へ流れ込む。このとき、
吸気バルブ及び排気バルブ共に閉じられている。そし
て、２つのポンプ室２５，２６がしぼんだ状態では、排
気バルブが開き、第２のポンプ室２６から流体が流れ出
る。そして、第１のポンプ室２５が膨らむと第１のポン
プ室２５へと流体が再び流れ込む。このようにして、ダ
イヤフラムポンプＡは吸排気動作をスムーズに行なえ
る。

【００４０】ところが、図９（ａ）に示すように、第２
のポンプ室２６の吸排気動作が、第１のポンプ室２５の
吸排気動作の位相よりも１／４以上１／２サイクルずれ
てしまうと、例えば位相が１／２ずれた状態では、図９
（ｂ）左に示すように、第１のポンプ室２５が膨らみ、
第２のポンプ室２６がしぼんだ状態と、同図（ｂ）右に
示すように、第２のポンプ室２６がしぼみ第１のポンプ
室２５が膨らんだ状態とを繰り返す。すなわち、同図
（ｂ）左に示すように第１のポンプ室２５が膨らんだ状
態では、流体は第１のポンプ室２５には流れるが、第２
のポンプ室２６はしぼんだ状態で、第２のポンプ２６に
おける流体の移動は生じない。また、同図（ｂ）右に示
すように第１のポンプ室２５がしぼみ第２のポンプ室２
６が膨らんだ状態では、流体は第１のポンプ室へも入り
込まず、また第２のポンプ室２６からも排出されなくな
り、ポンプとしての機能を果たせず、脈流を生じてしま
う。このように、本発明のダイヤフラムポンプにおいて
は、図１０の点線領域で示すように、第２のポンプ室２
６の吸排気動作を、第１のポンプ室２５の吸排気動作よ
りも位相が０〜１／４ずれた状態で行なわせるのが好ま
しい。この結果、吐出、吸入が停止することなく、ポン
プからの流出量を増大させることができる。

【００４１】このように、本発明に係るダイヤフラムポ
ンプＡにおいては、単一の筐体１０とダイヤフラム２０
とから構成されているため、非常に簡単な構成とするこ
とができる。特に、一の筐体１０に吸気用バルブと排気
用バルブとが構成されているために、薄型化を図ること
ができる。しかも、その結果、吸気用バルブから第２の
ポンプ室２６までのデッドボリュームが少なくできるた
め、ポンプの排出圧を高めることができる。さらに、両
バルブは、フィルム片３０をその上方から筐体１０上面
に接合されているため至極簡単に作製することができ、
また、フィルム片３０の浮き上がり現象によって開閉動
作を行なえる。このため、筐体１０からフィルム片３０
が容易に外れることがなければよく、その接合精度は比
較的に低くても差し支えない。その一方で、両バルブの
閉動作は確実に行なえ、信頼性も確保できる。

【００４２】次に図１１に示すものは、本発明の別な実
施の形態である第２のダイヤフラムポンプＢの吸気用バ
ルブを拡大した説明図であるが、当該吸気用バルブにお
いては、吸気用バルブを構成するフィルム片３０はスペ
ーサ４０と筐体１０に挟み込まれている。このスペーサ
４０は、プラスチック材料などからフィルム片３０を覆
うことができる程度の大きさに略矩形状に作製されてお
り、その中央部には略楕円柱状の通気孔４１が開設され
ている。この通気孔４１は、接合されていないフィルム
片３０の長軸辺が当該通気孔４１から露出されるように
開設されており、貫通孔１１の開口部１３とフィルム片
３０との隙間から排出された流体が、当該通気孔４１か
らポンプ室２５内へと送り込めるようになっている。ま
た、スペーサ４０は当該通気孔４１を挟む位置（図１１
の破線ロの位置）にて、スペーサ４０の２辺が例えばレ
ーザ照射によってフィルム片３０と共に筐体１０上面に
接合され、吸気用バルブが構成される。もちろん、当該
スペーサ４０も円板状に作製することもできる。

【００４３】このようにスペーサ４０を用いることによ
ってフィルム片３０を挟み込み、吸気用バルブを構成す
ることもできる。もちろん、排気用バルブもこのような
スペーサ４０を用いて構成できるのは言うまでもない。

【００４４】図１２は本発明のさらに別な実施の形態で
ある第３のダイヤフラムポンプＣの概略的分解斜視図、
図１３は当該ダイヤフラムポンプＣの断面構造図であ
る。当該ダイヤフラムポンプＣにおいては、排気用バル
ブは、第２のポンプ室２６と反対側、すなわち、筐体１
０の上面に形成された排気用凹部１６内に構成されてい
る点で、第１のダイヤフラムポンプＡと異なっているだ
けである。

【００４５】排気用凹部１６は、フィルム片３０を納め
られる程度の大きさに形成されており、浮き上がったフ
ィルム片３０の周囲と凹部１６の側壁との間から流体が
通過できるよう、両者の間にわずかに隙間が出来るよう
に設計される。また、排気路２をできる限り短くするた
め、その底面を第２のポンプ室２６に近づけて深く形成
されている。さらに、排気路２を構成する貫通孔１２
は、排気用バルブの応答性を高めるようにできる限り、
排気用凹部１６側の開口面積が大きくなるように形成さ
れるが、筐体１０は薄板状であるために貫通孔１２の長
さが短く、排気路２によるデッドボリュームに対する影
響は非常に小さく、図に示すダイヤフラムポンプＣにお
いてはほぼ円筒状に形成されている。排気用バルブを構
成するフィルム片３０は、当該排気用凹部１６の底面
に、例えば図４に示すようにしてレーザ接合などによっ
て接合されている。もちろん、図１１に示すようなスペ
ーサ４０を用いてフィルム片３０を挟み込み、排気用バ
ルブを構成することもできる。

【００４６】このように、筐体１０の第２のポンプ室２
６側の反対側に排気用凹部１６を形成し、当該凹部１６
内に排気用バルブを構成することにより、排気路２の容
積、すなわちデッドボリュームを少なくすることがで
き、より一層ポンプ効率の高い小型のダイヤフラムポン
プＣを作製できる。

【００４７】図１４は本発明のさらに別な実施の形であ
る第４のダイヤフラムポンプＤの概略的分解斜視図、図
１５は当該ダイヤフラムポンプＤの断面構造図である。
当該ダイヤフラムポンプＤにおいては、吸気用バルブ
は、筐体１０の上面に形成された吸気用凹部１５内に構
成されている点で、図１２及び図１３に示す第３のダイ
ヤフラムポンプＣと異なっているだけである。

【００４８】吸気用凹部１５は、フィルム片３０の周囲
に凹部１５の側壁との間から流体が通過できるよう、両
者の間にわずかに隙間が出来るように設計される。ま
た、フィルム片３０の厚さとほぼ等しい深さに形成され
ている。この結果、吸気用凹部１５の底面に接合された
フィルム片３０の上面が、筐体１０上面とほぼ同一に位
置することになり、ポンプ室２５の実質的容量をより一
層確保することができる。なお、図１１に示すスペーサ
４０を用いて接合することも考えられるが、この場合に
はスペーサ４０の厚さ分だけデッドボリュームが増え、
ポンプ室２５の容量が減少するため、好ましい実施の形
態とは言えるものではない。

【００４９】さらに図１６は本発明のさらに別な実施の
形態に係る第５のダイヤフラムポンプＥの概略的分解斜
視図、図１７は当該ダイヤフラムポンプＥの断面構造図
である。当該ダイヤフラムポンプＥにおいては、排気用
バルブは、筐体１０上面に形成された排気用凹部１６内
に構成されている点では、図１２及び図１３に示す第３
のダイヤフラムポンプＣとほぼ同様な構成であるが、吸
気用バルブは、筐体１０の下面に形成された吸気用凹部
１７内に構成されている点で異なっている。

【００５０】吸気用凹部１７は、フィルム片３０の周囲
に凹部１７の側壁との間にわずかに隙間が出来る程度の
大きさに設計される。また、吸気路１をできる限り短く
するため、吸気用凹部１７の底面を筐体１０の上面に近
づけて深く形成されている。さらに、吸気路１を構成す
る貫通孔１１は、吸気用バルブの応答性を高めるため、
できる限り筐体１０の上面側の開口面積が大きくなるよ
うに形成される。このとき、筐体１０は薄板状であるた
めに貫通孔１１の長さが短く、吸気路１によるデッドボ
リュームに対する影響は非常に小さいため、貫通孔１１
はほぼ円筒状に形成されている。

【００５１】また、吸気用バルブを構成するフィルム片
３０は、図１６及び図１７に示すようなスペーサ５０と
吸気用凹部１７の底面との間に挟み込まれる。また、当
該該スペーサ５０は、吸気用凹部１７に隙間なく嵌合さ
れる程度の大きさに作製される。また、スペーサ５０の
中央部には断面凸字状の通気孔５１が開設されている。
当該通気孔５１も、フィルム片３０の応答性をよくする
ため、フィルム片３０側の開口面積がフィルム片３０と
反対側の開口面積が小さく設計されているが、フィルム
片３０側の開口部５２は、貫通孔１１よりも小さくなる
よう設計される。

【００５２】また、フィルム片３０は、スペーサ５０の
通気孔５１の開口部５２を挟む位置にて、スペーサ５０
の上面に通気孔５１の開口部５２周縁に平行になるよう
に２箇所以上を円弧状にレーザ接合されている。このよ
うにして、吸気用バルブが構成される。

【００５３】このダイヤフラムポンプＥにおいては、吸
気用バブルがダイヤフラム２０と反対側から構成されて
いるので、吸気用バルブの作製を容易に行なえる。ま
た、フィルム片３０を予めスペーサ５０に接合させてお
くことができるため、吸気用バルブの交換が容易に行な
えるという利点もある。

【００５４】図１８は本発明のさらに別な実施の形態で
ある第６のダイヤフラムポンプＦの一部破断した断面構
造図である。当該ダイヤフラムポンプＦにおいては、吸
気用バルブは筐体１０の下面に形成された吸気用凹部１
７内に構成され、排気用バルブは筐体１０の上面に形成
された排気用凹部１６内に構成されている。

【００５５】吸気用凹部１７は、当該凹部１７の側壁と
の間にほとんど隙間が出来ない程度の大きさに設計され
る。また、吸気路１をできる限り短くするため、吸気用
凹部１７の底面を筐体１０の上面に近づけて深く形成さ
れている。吸気路１を構成する貫通孔１１は、吸気用バ
ルブの応答性を高めるようにできるかぎり、吸気用凹部
１７側の開口面積が大きくなるように形成されている
が、筐体１０は薄板状であるために貫通孔１１の長さが
短く、吸気路１によるデッドボリュームに対する影響は
非常に小さいため、貫通孔１１はほぼ円筒状に形成され
ている。

【００５６】吸気用バルブは、これまでのダイヤフラム
ポンプＡ〜Ｅのようにフィルム片３０が浮き上がること
によりフィルム片３０の周囲にできる隙間から流体が流
れ込む構造ではなく、フィルム片３０のほぼ中央に開設
された通気用孔３１が、スペーサ６０から浮き上がるこ
とにより流体が流れ込む構造となっている。すなわち、
スペーサ６０は図１９（ａ）（ｂ）に示すように、フィ
ルム片３０の通気用孔３１に対応して当該通気用孔３１
の径よりも大きな径を有する台座６１と、当該台座６１
の周縁部にほぼ貫通孔１１の径とほぼ同じ径を有する円
環状の溝部６２とが備えられており、さらに当該溝部６
２の下面には外部と接続する通気孔６３が形成されてい
る。

【００５７】当該吸気用バルブにおいても、フィルム片
３０はスペーサ６０と吸気用凹部１７の底面とによって
挟み込まれるが、このとき、スペーサ６０よりも大きく
作製したフィルム片３０の周囲をスペーサ６０の側面に
巻きつけ、吸気用凹部１７内に押し込むことにより、エ
アリークが確実に防止される。

【００５８】この結果、ポンプ室容量が増大した場合に
は、フィルム片３０が台座６１から浮き上がり、吸気用
バルブが開の状態となり、当該台座６１とフィルム片３
０との間の隙間からフィルム片３０の通気用孔３１を通
じて、流体がポンプ室２５内に流れ込む。また、ポンプ
室容量が減少した場合には、フィルム片３０が台座６１
に密着され、吸気用バルブが閉の状態となり、流体がポ
ンプ室２５内に流れ込むのが妨げられる。

【００５９】一方、排気用バルブもほぼ同様な構造では
あるが、排気用バルブにおいては、台座１８が筐体１０
の第２のポンプ室２６側に形成される。すなわち、フィ
ルム片３０に開設された通気用孔３１に対応して、筐体
１０に当該通気用孔３１の径よりも大きな径を有する台
座１８と、当該台座１８の周縁部に排気用凹部１６の径
よりも小さな径を有する円環状の溝部１９とが備えられ
ており、さらに当該溝部１９下面に、溝部１９とポンプ
室２５とを接続する貫通孔１２が形成されている。

【００６０】また、フィルム片３０の上面には、排気用
凹部１６内に円筒状をしたスペーサ７０が備えられてお
り、フィルム片３０を挟み込んでいる。スペーサ７０の
外径は排気用凹部１６の内径とほぼ同じで、その内径は
溝部１９の径とほぼ同じ径に設定されている。したがっ
て、スペーサ７０よりも大きく作製したフィルム片３０
の周囲をスペーサ７０の側面に巻きつけ、排気用凹部１
６内に押し込むことにより、エアリークが防止される。

【００６１】この結果、ポンプ室容量が増大した場合に
は、フィルム片３０が台座１８に密着され、排気用バル
ブが閉の状態となり、流体が流出するのが妨げられる。
また、ポンプ室容量が減少した場合には、フィルム片３
０は台座１８より浮き上がり、排気用バルブが開の状態
となり、当該台座１８とフィルム片３０との間の隙間か
らフィルム片３０の通気用孔３１を通じて、流体が流出
する。

【００６２】このような構造の吸気用バルブ及び排気用
バルブとすることによって、ポンプ室２５，２６と反対
側からの作業によって両バルブを構成することができ、
しかも、スペーサ６０，７０の着脱によってバルブの交
換を容易に行なえる。

【００６３】図２０は本発明のさらに別な実施の形態で
ある第７のダイヤフラムポンプＧの概略的分解斜視図、
図２１は当該ダイヤフラムポンプＧの断面構造図であ
る。当該ダイヤフラムポンプＧは、図１４に示す第４の
ダイヤフラムポンプＤとほぼ同様な構成であるが、排気
路２側に排気用パイプ８０を備えたものであって、排気
用パイプ８０は筐体１０の上面に、筐体１０の上方向に
備えられている。排気用パイプ８０は、その端面を接着
剤等によって筐体１０の下面に備えることにしてもよい
が、この排気用パイプ８０は、その一方端部が断面凸字
状に加工されて突起部８１が設けられており、排気用凹
部８１内に嵌合可能になっている。また、この第７のダ
イヤフラムポンプＧは、図示するように排気用凹部１６
の底面にフィルム片３０を装着したものについて示して
いるが、排気用凹部１６の有無に拘らず適用可能なもの
であり、例えば図１に示すダイヤフラムポンプＡにおい
て、筐体１０の上面に、排気用凹部１６の代わりに装着
用凹部を備えて排気用パイプ８０を備えてもよいもので
ある。さらに、吸気用凹部１７にも吸気用パイプとして
応用ができるものである。また、図示はしないが、例え
ば、図１８に示す第６のダイヤフラムポンプＦのよう
に、スペーサ７０を用いた場合には、排気用パイプ８０
とスペーサ７０を兼用させたり、あるいは、吸気用パイ
プと図１６に示すスペーサ５０と兼用させることもでき
る。

【００６４】図２２は本発明のさらに別な実施の形態で
ある第８のダイヤフラムポンプＨの概略的分解斜視図、
図２１は当該ダイヤフラムポンプＨの断面構造図であ
る。当該ダイヤフラムポンプＨにおいては、筐体１０の
下面及び上面に外部と接続するための接続路３を形成し
たものであって、２枚の薄板状のプレート部９０が筐体
１０の下面及び上面に備えられている。プレート部９０
には、その上面に接続路３を構成するための溝部９１が
形成されており、溝部９１の先端を吸気路１のポンプ室
２５反対側の開口部（もしくは吸気用凹部１７の開口
部）に位置させ、あるいは、溝部９１の先端を排気用凹
部１６の開口部（もしくは排気路２のポンプ室２５側反
対側の開口部）に位置させられている。また、プレート
部９０は、流体の漏れがないように、その全面を筐体１
０の下面及び上面に接合されている。

【００６５】このような薄板状のプレート部９０を用い
て接続路３を構成することによって、ダイヤフラムポン
プＧ下方からの吸排気を避けることができる。また、ダ
イヤフラムポンプＧの側方から吸排気用パイプ（図示せ
ず）を接続することが容易になり、本発明に係るダイヤ
フラムポンプを用いた各種機器の小型化により一層貢献
できるものである。

【００６６】また、本発明のダイヤフラムポンプは、気
体のみならず、液体などその他の流体に用いることがで
きるのは言うまでもない。

【００６７】

【発明の効果】本発明のダイヤフラムポンプは、３つの
貫通孔が備えられた板状の筐体と、当該筐体の上面側に
おいて前記貫通孔のうち２つの貫通孔の開口部を覆うよ
うにして配設されたダイヤフラムとによって第１のポン
プ室が形成され、前記筐体の下面側において前記２つの
貫通孔のうちいずれかの貫通孔の開口部と残る貫通孔の
開口部を覆うようにして配設されたダイヤフラムとによ
って第２のポンプ室が形成されたダイヤフラムポンプで
あって、前記第１のポンプ室においてのみ開口部が覆わ
れた貫通孔に吸気用バルブが備えられて吸気路が構成さ
れ、前記第２のポンプ室においてのみ開口部が覆われた
貫通孔に排気用バルブが備えられて排気路が構成されて
いるので、比較的簡単な構成によって、小型のダイヤフ
ラムポンプを提供できる。特に、一の筐体で構成される
ため、薄型のダイヤフラムポンプとすることができる。
また、ポンプ室と吸排気用バルブとの距離が短くなるた
めに、いわゆるデッドボリュームが少なくなりポンプの
排出圧を高めることができる。特に、このダイヤフラム
ポンプにおいては、一つの筐体の両側に２つのポンプ室
が形成されるため、厚さを増すことなく、小型の大容量
ポンプとすることができる。

【００６８】このダイヤフラムポンプにおいて、吸気用
バルブとして、例えば、前記吸気路を構成する貫通孔の
開口部を覆うようにして前記筐体の上面に配置したフィ
ルム片を、前記貫通孔の開口部を挟む位置にて当該筐体
に接合して構成することができる。このように、本発明
のダイヤフラムポンプにおいては、フィルム片を、前記
貫通孔の開口部に対応する領域よりも広い領域に通気孔
が開設されたスペーサと前記筐体にて挟み込むことにし
てもよい。このような構造とすることにより、簡単に吸
気バルブを構成できる。

【００６９】また、これらのダイヤフラムポンプにおい
ては、前記吸気路を構成する貫通孔を、ポンプ室側の開
口面積がポンプ室反対側の開口面積よりも大きくなるよ
うに設けているので、ダイヤフラムと吸気路との接触面
積が広くなり、吸気バルブの応答性を高められる。

【００７０】また、吸気用バルブとして、筐体の上面に
形成された吸気用凹部の底面に、前記吸気路を構成する
貫通孔の開口部を覆うようにして配置したフィルム片
を、前記貫通孔の開口部を挟む位置にて当該筐体に接合
して構成することにより、フィルム片と筐体の上面とを
同一平面とすることによって、デッドボリュームをなく
すと共にポンプ室容量を最大限にすることができる。

【００７１】さらに、吸気用バルブを、筐体の下面に形
成された吸気用凹部の底面に、前記吸気路を構成する貫
通孔の開口部を覆うようにしてフィルム片を配置し、当
該吸気用凹部に嵌合され、前記貫通孔の開口部に対応す
る領域より狭い領域に通気孔が開設されたスペーサにて
挟み込む構成とすることもできる。このようなスぺーサ
を用いることによって、吸気バルブが筐体の下面から行
なえるのでダイヤフラムポンプの作製が容易になると共
に吸気バルブの交換も容易にできる。

【００７２】このとき、前記フィルム片を、前記通気孔
の開口部を挟む位置にて前記スペーサのポンプ室側面に
接合したり、前記通気孔をポンプ室側の開口面積がポン
プ室反対側の開口面積よりも大きく作製するのが好都合
である。こうして、スペーサにフィルム片を接合すれば
吸気バルブの作製や交換がより一層容易になり、吸気バ
ルブの応答性も確保できる。

【００７３】あるいは、前記筐体の下面に吸気用凹部を
備え、当該吸気用凹部の底面に通気用孔が設けられたフ
ィルム片を配置すると共に、当該通気用孔に対応して、
当該通気用孔の径よりも大きな径を有する台座と、当該
台座の周縁部に形成された円環状の溝部と、当該溝部と
外部を接続する通気孔とを具備するスペーサと前記吸気
用凹部の底面との間に前記フィルム片を挟み込み、吸気
用バルブを構成することもできる。このような構成であ
れば、フィルム片を接合することなく吸気バルブを構成
できる。

【００７４】一方、排気用バルブとしては、前記排気路
を構成する貫通孔の開口部を覆うようにして前記筐体の
上面にフィルム片を配置し、前記貫通孔の開口部を挟む
位置にて当該筐体に接合して構成することができる。こ
の構成であれば、排気用バルブをダイヤフラムのない筐
体の上面から作製できるので、排気用バルブの作製が非
常に容易に行なえる。

【００７５】このとき、前記フィルム片を、前記貫通孔
の開口部に対応する領域よりも広い領域に通気孔が開設
されたスペーサと前記筐体とにより挟み込むことによ
り、より一層排気用バルブの作製が容易になる。

【００７６】また、これらのダイヤフラムポンプにおい
ては、前記排気路を構成する貫通孔を、ポンプ室側の開
口面積がポンプ室反対側の開口面積よりも小さくするの
が好ましい。これにより、排気用バルブの応答性が向上
される。

【００７７】また、前記排気用バルブを、筐体の上面に
形成された排気用凹部の底面に配置されたフィルム片
を、前記貫通孔の開口部を挟む位置にて当該筐体に接合
すれば、ポンプ室から排気用バルブまでの距離を縮める
ことにより、いわゆるデッドボリュームが小さくなり、
ポンプの排出圧をより一層高めることができる。

【００７８】さらに、前記筐体の上面に排気用凹部を備
え、当該排気用凹部の底面に、通気用孔が設けられたフ
ィルム片を配置すると共に、当該通気用孔に対応して、
前記筐体に、当該通気用孔の径よりも大きな径を有する
台座と、当該台座の周縁部に形成された円環状の溝部
と、当該溝部とポンプ室を接続する通気用孔とを形成
し、円環状のスペーサと前記排気用凹部の底面に前記フ
ィルム片を挟み、排気用バルブを構成することにより、
デッドボリュームを小さくできるだけでなく、フィルム
片を接合することなく排気用バルブを構成でき、しか
も、排気用バルブの交換が容易に行なえる。

【００７９】これらのダイヤフラムポンプにおいて、前
記筐体の下面及び／上面に接続用パイプを備え、当該接
続用パイプの先端を吸気用凹部及び／又は排気用凹部に
嵌合することによって、外部との接続を容易に行なえ
る。

【００８０】あるいは、前記筐体の下面及び／又は上面
に、接続用溝が形成された薄板状のプレート部を備え、
当該接続用溝と前記筐体とによって、前記吸気路及び／
又は前記排気路と接続された接続用路を設けることによ
って、ダイヤフラムポンプの下面からの吸排気を避ける
ことができると共に薄型を保ちつつ外部との接続が容易
なダイヤフラムポンプにできる。

【００８１】さらに、本発明のダイヤフラムポンプにお
いては、前記第２のダイヤフラムの吸排気動作を、前記
第１のダイヤフラムの吸排気動作に対し、０〜１／４サ
イクルの位相だけ遅らせることにしているので、吐出、
吸入が停止することなく、流量を増大させることができ
る。

【００８２】このように本発明によれば、非常に簡単な
構成によってポンプ排出力が高く、流出量の大きな小型
のダイヤフラムポンプを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係るダイヤフラムポン
プの概略的斜視図である。

【図２】同上のダイヤフラムポンプの概略的分解斜視図
である。

【図３】同上のダイヤフラムポンプの断面構造図であ
る。

【図４】同上のダイヤフラムポンプにおける吸気バルブ
を示す拡大説明図である。

【図５】同上のダイヤフラムポンプの吸気バルブの動作
を示す説明図であって、バルブ閉の状態を示す図であ
る。

【図６】同上のダイヤフラムポンプの吸気バルブの動作
を示す説明図であって、バルブ開の状態を示す図であ
る。

【図７】同上のダイヤフラムポンプにおける動作タイミ
ングの一例を示す説明図であって、同図（ａ）はタイミ
ングチャート、同図（ｂ）は模式的説明図である。

【図８】同上のダイヤフラムポンプにおける動作タイミ
ングの別な一例を示す説明図であって、同図（ａ）はタ
イミングチャート、同図（ｂ）は模式的説明図である。

【図９】同上のダイヤフラムポンプにおける動作タイミ
ングのさらに別な一例を示す説明図であって、同図
（ａ）はタイミングチャート、同図（ｂ）は模式的説明
図である。

【図１０】同上のダイヤフラムポンプにおける動作タイ
ミングの好ましい例を示す説明図である。

【図１１】本発明の別な実施の形態に係るダイヤフラム
ポンプの吸気用バルブを拡大した説明図である。

【図１２】本発明のさらに別な実施の形態であるダイヤ
フラムポンプの概略的分解斜視図である。

【図１３】図１２に示すダイヤフラムポンプの断面構造
図である。

【図１４】本発明のさらに別な実施の形であるダイヤフ
ラムポンプの概略的分解斜視図である。

【図１５】図１４に示すダイヤフラムポンプの断面構造
図である。

【図１６】本発明のさらに別な実施の形態に係るダイヤ
フラムポンプの概略的分解斜視図である。

【図１７】図１６に示すダイヤフラムポンプの断面構造
図である。

【図１８】本発明のさらに別な実施の形態に係るダイヤ
フラムポンプの一部破断した断面構造図である。

【図１９】図１８に示すダイヤフラムポンプの吸気用バ
ルブに用いられるスペーサを示す図であって、同図
（ａ）はその平面図、同図（ｂ）はそのＸ−Ｘ断面図で
ある。

【図２０】本発明のさらに別な実施の形態に係るダイヤ
フラムポンプの概略的分解斜視図である。

【図２１】図２０に示すダイヤフラムポンプの断面構造
図である。

【図２２】本発明のさらに別な実施の形態に係るダイヤ
フラムポンプの概略的分解斜視図である。

【図２３】図２２に示すダイヤフラムポンプの断面構造
図である。

【図２４】従来例のダイヤフラムポンプの概略的分解斜
視図である。

【図２５】同上のダイヤフラムポンプの断面構造図であ
る。

【図２６】同上のダイヤフラムポンプにおける問題点を
示す説明図である。

【符号の説明】

１ 吸気路 ２ 排気路 ３ 接続路 ４ 接続孔 １０ 筐体 １１ 吸気路を構成する貫通孔 １２ 排気路を構成する貫通孔 １３ 吸気路を構成する貫通孔のポンプ室側開口部 １４ａ 排気路を構成する貫通孔のポンプ室と反対側開
口部 １４ｂ 排気路を構成する貫通孔のポンプ室側開口部 １５ 筐体の上面に形成された吸気用凹部 １６ 筐体の下面に形成された排気用凹部 １７ 筐体の下面に形成された吸気用凹部 １８ 筐体に形成された排気バルブを構成する台座 ２０ ダイヤフラム ２５ 第１のポンプ室 ２６ 第２のポンプ室 ３０ フィルム片 ４０ スペーサ ５０ スペーサ ５１ 通気孔 ６０ スペーサ ６１ スペーサに形成された排気バルブを構成する台座 ７０ スペーサ ８０ 接続用パイプ ９０ 接続路を構成するプレート部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H075 AA01 AA18 BB04 BB16 CC08 CC09 CC10 CC18 CC22 CC25 CC30 CC32 CC33 CC34 CC35 CC36 CC37 DA05 DA06 DA08 DA09 DA11 DB02 EE14 3H077 AA11 CC02 CC07 EE01 EE34 EE35 EE36 EE37 FF03 FF12

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ３つの貫通孔が備えられた板状の筐体
   と、当該筐体の上面側において前記貫通孔のうち２つの
   貫通孔の開口部を覆うようにして配設されたダイヤフラ
   ムとによって第１のポンプ室が形成され、前記筐体の下
   面側において前記２つの貫通孔のうちいずれかの貫通孔
   の開口部と残る貫通孔の開口部を覆うようにして配設さ
   れたダイヤフラムとによって第２のポンプ室が形成され
   たダイヤフラムポンプであって、 前記第１のポンプ室においてのみ開口部が覆われた貫通
   孔に吸気用バルブが備えられて吸気路が構成され、前記
   第２のポンプ室においてのみ開口部が覆われた貫通孔に
   排気用バルブが備えられて排気路が構成されたことを特
   徴とするダイヤフラムポンプ。
2. 【請求項２】 前記吸気用バルブは、前記吸気路を構成
   する貫通孔の開口部を覆うようにして前記筐体の上面に
   配置されたフィルム片を、前記貫通孔の開口部を挟む位
   置にて当該筐体に接合して構成されたことを特徴とする
   請求項１記載のダイヤフラムポンプ。
3. 【請求項３】 前記フィルム片は、前記貫通孔の開口部
   に対応する領域よりも広い領域に通気孔が開設されたス
   ペーサと前記筐体にて挟み込まれたことを特徴とする請
   求項２記載のダイヤフラムポンプ。
4. 【請求項４】 前記吸気路を構成する貫通孔は、ポンプ
   室側の開口面積がポンプ室反対側の開口面積よりも大き
   いことを特徴とする請求項１、２又は３のいずれかに記
   載のダイヤフラムポンプ。
5. 【請求項５】 前記吸気用バルブは、筐体の上面に形成
   された吸気用凹部の底面に、前記吸気路を構成する貫通
   孔の開口部を覆うようにして配置されたフィルム片を、
   前記貫通孔の開口部を挟む位置にて当該筐体に接合して
   構成されたことを特徴とする請求項１記載のダイヤフラ
   ムポンプ。
6. 【請求項６】 前記吸気用バルブは、筐体の下面に形成
   された吸気用凹部の底面に、前記吸気路を構成する貫通
   孔の開口部を覆うようにしてフィルム片を配置し、当該
   吸気用凹部に嵌合され、前記貫通孔の開口部に対応する
   領域より狭い領域に通気孔が開設されたスペーサにて挟
   み込まれたことを特徴とする請求項１記載のダイヤフラ
   ムポンプ。
7. 【請求項７】 前記フィルム片は、前記通気孔の開口部
   を挟む位置にて前記スペーサのポンプ室側面に接合され
   たことを特徴とする請求項６記載のダイヤフラムポン
   プ。
8. 【請求項８】 前記通気孔は、ポンプ室側の開口面積が
   ポンプ室反対側の開口面積よりも大きいことを特徴とす
   る請求項６又は７のいずれかに記載のダイヤフラムポン
   プ。
9. 【請求項９】 前記筐体の下面に吸気用凹部が備えら
   れ、当該吸気用凹部の底面に通気用孔が設けられたフィ
   ルム片が配置されると共に、当該通気用孔に対応して、
   当該通気用孔の径よりも大きな径を有する台座と、当該
   台座の周縁部に形成された円環状の溝部と、当該溝部と
   外部を接続する通気孔とを具備するスペーサと、前記吸
   気用凹部の底面との間に前記フィルム片が挟み込まれ
   て、吸気用バルブが構成されたことを特徴とする請求項
   １記載のダイヤフラムポンプ。
10. 【請求項１０】 前記排気用バルブは、前記排気路を構
    成する貫通孔の開口部を覆うようにして前記筐体の上面
    に配置されたフィルム片を、前記貫通孔の開口部を挟む
    位置にて当該筐体に接合して構成されたことを特徴とす
    る請求項１乃至９のいずれかに記載のダイヤフラムポン
    プ。
11. 【請求項１１】 前記フィルム片は、前記貫通孔の開口
    部に対応する領域よりも広い領域に通気孔が開設された
    スペーサと前記筐体とにより挟み込まれたことを特徴と
    する請求項１０記載のダイヤフラムポンプ。
12. 【請求項１２】 前記排気路を構成する貫通孔は、ポン
    プ室側の開口面積がポンプ室反対側の開口面積よりも小
    さいことを特徴とする請求項１０又は１１のいずれかに
    記載のダイヤフラムポンプ。
13. 【請求項１３】 前記排気用バルブは、筐体の上面に形
    成された排気用凹部の底面に配置されたフィルム片を、
    前記貫通孔の開口部を挟む位置にて当該筐体に接合して
    構成されたことを特徴とする請求項１２記載のダイヤフ
    ラムポンプ。
14. 【請求項１４】 前記筐体の上面に排気用凹部が備えら
    れ、当該排気用凹部の底面に、通気用孔が設けられたフ
    ィルム片が配置されると共に、当該通気用孔に対応し
    て、前記筐体に、当該通気用孔の径よりも大きな径を有
    する台座と、当該台座の周縁部に形成された円環状の溝
    部と、当該溝部とポンプ室を接続する通気用孔とを形成
    し、円環状のスペーサと前記排気用凹部の底面に前記フ
    ィルム片が挟み込まれて、前記排気用バルブが構成され
    たことを特徴とする請求項１０記載のダイヤフラムポン
    プ。
15. 【請求項１５】 前記筐体の下面及び／又は上面に接続
    用パイプを備え、当該接続用パイプの先端は吸気用凹部
    及び／又は排気用凹部に嵌合されたことを特徴とする請
    求項１〜１４のいずれかに記載のダイヤフラムポンプ。
16. 【請求項１６】 前記筐体の下面及び／又は上面に、接
    続用溝が形成された薄板状のプレート部を備え、当該接
    続用溝と前記筐体とによって、前記吸気路及び／又は前
    記排気路と接続された接続用路が設けられたことを特徴
    とする請求項１〜１４のいずれかに記載のダイヤフラム
    ポンプ。
17. 【請求項１７】 前記第２のダイヤフラムの吸排気動作
    を、前記第１のダイヤフラムの吸排気動作に対し、０〜
    １／４サイクルの位相だけ遅らせることを特徴とする請
    求項１〜１６のいずれかに記載のダイヤフラムポンプ。