JP6222208B2 - 流体制御装置およびポンプ - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1の実施形態に係るポンプ1について、気体の吸引を行うエアポンプを例に説明する。
次に、本発明の第2の実施形態に係るポンプ1Aについて、気体の吸引を行うエアポンプを例に説明する。
次に、本発明の第3の実施形態に係るポンプ1Bについて、気体の吸引を行うエアポンプを例に説明する。
次に、本発明の第4の実施形態に係るポンプ1Cについて説明する。
次に、本発明の第5の実施形態に係るポンプ1Dについて説明する。
次に、本発明の他の実施形態について説明する。
次に、本発明の第12の実施形態に係るポンプ201に基づいて、2つの圧電素子と振動板とによるバイモルフ構造を実現する場合の配線態様の一例について説明する。
2…筐体
3,4…外部接続端子
5,6…主面
11,11’,11A,211,211’…カバー板
12,12’,12A,212,212’…流路板
13,13’,13A,61,213,213’…対向板
14,14’,214,214’…接着層
15,15’,215…振動板
16,16’,216,216’…圧電素子
16B,16C,16D,16D…積層板
17…絶縁板
17A…金属板
18,217,217’…給電板
19…スペーサ板
20…蓋板
21,221…中央部
22,222…枠部
23,24,25,26,223…連結部
27…内部給電端子
31,32,33,34,31’,32’,31A,32A,33A,34A,39,39’,40,40’,41,42,50,73,75,231,231’,236,237,236’,237’,240…流路孔
35,36,35’,36’,37,38,39’、40’,35B,36B,37B,38B,39A,40A,41A,42A,43,44,45,46,47,48,49,74,91,92,93,94,97,232,233,234,232’,233’,234’,238,238’,239…開口部
35A,36A,37A,38A,96,235,235’…流路
35C,36C,37C,38C…延出部
51…ポンプ室
52…筐体
53,54,55,56,72,94,224…打撃部
57…可動部
58…拘束部
59…流体制御部(流体制御装置)
62,63,64,65…流路孔集合部
225…外部接続端子
226…下面側溝
226’…上面側溝
Claims (18)
- 中央部と、前記中央部の周囲を囲む枠部と、前記中央部の周囲に同心状に配置され、前記中央部と前記枠部との間を連結する複数の連結部と、を有する振動板と、
前記中央部に積層しており、所定の周波数の交流駆動信号が印加されることにより、前記振動板を前記中央部から前記連結部にかけて高次の奇数次共振モードで屈曲振動させ、該屈曲振動に伴い前記複数の連結部を上下に繰り返し変位させる駆動体と、
前記枠部に積層しており少なくとも前記連結部に間隔を空けて対向する対向板と、
を備え、
前記対向板は、前記連結部に対向する位置に、流体が流れる複数の流路孔を有する、
流体制御装置。 - 前記振動板は、前記中央部と前記枠部と前記連結部とに囲まれる複数の第1の開口部を有する、
請求項1に記載の流体制御装置。 - 前記連結部は、前記振動板のその他の部位の厚みよりも厚い打撃部を備える、
請求項1または請求項2に記載の流体制御装置。 - 前記打撃部は、前記流路孔に対向する位置において前記振動板のその他の部位よりも前記流路孔側に突出する、
請求項3に記載の流体制御装置。 - 前記打撃部は、前記対向板の法線方向から見た形状が、前記流路孔よりも大きく、かつ、前記対向板の法線方向から見て、前記流路孔を含包する位置に設けられている、
請求項3または請求項4に記載の流体制御装置。 - 前記対向板は、前記流路孔の周囲に前記振動板側に突出する凸部を備える、請求項1または請求項2に記載の流体制御装置。
- 前記対向板は、
前記流路孔の周囲に設けられた屈曲可能な可動部と、
前記可動部の周囲を拘束する拘束部と、
を備える、
請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記可動部を平面視した形状は、前記中央部の径方向を短手方向とし、前記中央部の周方向を長手方向とする形状である、
請求項7に記載の流体制御装置。 - 前記対向板の前記振動板側とは反対側に積層しており、前記対向板の流路孔に通じる流路を有する流路部を更に備え、
前記流路部の流路は、前記対向板の流路孔およびその周囲に対向する第2の開口部と、前記第2の開口部から側方に延び出た延出部と、外部空間に開口し前記延出部を介して前記第2の開口部に通じる流路孔と、を含む、
請求項7または請求項8に記載の流体制御装置。 - 前記振動板の前記駆動体を積層している側で前記枠部に積層した絶縁層と、
前記絶縁層を介して前記振動板に積層した、前記駆動体に接続される内部給電端子が一部に形成された給電板と、を更に備える、
請求項1乃至請求項9のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記絶縁層は、前記振動板と前記給電板との間に設けられた絶縁被覆を含む、
請求項10に記載の流体制御装置。 - 前記絶縁層は、非導電性粒子を混合した接着剤を含む、
請求項11に記載の流体制御装置。 - 前記振動板の前記枠部に積層した金属板を更に備える、
請求項10乃至請求項12のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記振動板は、前記枠部の前記駆動体を積層する側に溝を有し、
前記絶縁層および前記給電板は、前記溝に配されている、
請求項10乃至請求項13のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記対向板は、前記中央部に対向する位置にも流路孔を有する、
請求項1乃至請求項14のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記対向板として、前記振動板の一方主面側に対向する第1の対向板と、前記振動板の他方主面側に対向する第2の対向板と、を備える、
請求項1乃至請求項15のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記駆動体として、前記振動板の一方主面側に設けられる第1の駆動体と、前記振動板の他方主面側に設けられる第2の駆動体と、を備える、
請求項1乃至請求項16のいずれかに記載の流体制御装置。 - 請求項1乃至請求項17のいずれかに記載の流体制御装置を備えるポンプであって、
前記振動板および前記駆動体を収納するポンプ室を有し、
前記ポンプ室の内壁の一部を前記対向板で構成した、
ポンプ。
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