JP4936186B2 - 表面汚染度評価方法及び表面汚染度評価装置 - Google Patents
表面汚染度評価方法及び表面汚染度評価装置 Download PDFInfo
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Description
本実施例では、0.7mmの厚さで形成した液晶ガラス基板1を用いるとともに、この液晶ガラス基板1の表面1aの吸着水分量の測定に、反射式の赤外線水分計5(株式会社フジワーク製IM−3SCV MODEL−1900)を用いた。また、液晶ガラス基板表面1aをエチルアルコールとヘキサンで交互に洗浄して清浄にし、この清浄な状態の液晶ガラス基板1を、容量が約2.3リットルの容器2の内部に収容して試験を行った。さらに、容器2内の温度を常時20〜21℃で保持し、試験開始前の段階では、湿度(相対湿度)が0.4〜0.5%の乾燥空気を1.0SLMの流量で供給し、容器2内の空気環境を乾燥状態にした。
本実施例では、CZp型で、方位が100、厚さが625±25μmの半導体ウエハ1を用いた。また、湿度操作を2日後、6日後、8日後に行っており、その他の条件は、液晶ガラス基板1の評価と同様にして試験を行った。
1a 表面
2 容器
2a 給気口
2b 排気口
2c 反射板
3 湿度計
3a 湿度センサ
4 湿度調整手段
4a 乾燥空気製造装置
4b 湿度調整装置
5 赤外線水分計(水分計)
5a 光ファイバケーブル
6 処理装置
A 表面汚染度評価装置
Claims (6)
- 所定の清浄度を保持することが求められる被検体に対し、空気中の汚染物質が吸着することによる前記被検体の表面の汚染度を評価する表面汚染度評価方法であって、
前記空気中の水蒸気が吸着することによる前記表面の吸着水分量を測定し、該吸着水分量に基づいて前記表面の汚染度を評価することを特徴とする表面汚染度評価方法。 - 請求項1記載の表面汚染度評価方法において、
前記空気の湿度を一定にして前記表面の吸着水分量を測定し、基準の被検体の表面に吸着した吸着水分量との差に基づいて前記被検体の表面の汚染度を評価することを特徴とする表面汚染度評価方法。 - 請求項1または請求項2に記載の表面汚染度評価方法において、
前記空気の湿度を変化させ、複数の湿度条件で前記表面の吸着水分量を測定して前記湿度の変化量に対する前記吸着水分量の変化量の割合を求め、基準の被検体の前記湿度の変化量に対する前記吸着水分量の変化量の割合との差に基づいて前記被検体の表面の汚染度を評価することを特徴とする表面汚染度評価方法。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の表面汚染度評価方法において、
前記空気の湿度を変化させ、複数の湿度条件で前記表面の吸着水分量を測定して前記湿度と前記吸着水分量の関係を求め、該関係が直線的な関係となる基準の被検体に対し、該関係からの変化を捉えて前記被検体の表面の汚染度を評価することを特徴とする表面汚染度評価方法。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の表面汚染度評価方法において、
赤外線水分計を用いて前記吸着水分量を測定することを特徴とする表面汚染度評価方法。 - 所定の清浄度を保持することが求められる被検体に対し、空気中の汚染物質が吸着することによる前記被検体の表面の汚染度を評価するための表面汚染度評価装置であって、
前記被検体を収容する容器と、該容器内の湿度を調整する湿度調整手段と、前記容器に収容した前記被検体の表面の吸着水分量を測定する水分計とを備えて構成されていることを特徴とする表面汚染度評価装置。
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