JP4566032B2 - 測定装置 - Google Patents
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Description
の変化度合いから、エア内の有機物含有量を算出する(S104)。
2 テストウェハ
4 エア吸入口
5 エア排出口
8 光源
12 偏光検出装置
14 表示ディスプレイ
15 UVランプ
31 CPU
37 データ処理部
50 外部端末
Claims (11)
- 測定対象エアの有機物の含有量を自動で測定する測定装置であって、
前記測定装置内に前記測定対象エアを取り入れるエア吸入口と、
前記測定装置外に前記測定対象エアを排出するエア排出口と、
表面に酸化膜を形成した半導体材料で、前記測定対象エアに含まれる測定対象有機物を付着させるテストウェハと、
前記測定対象有機物を前記テストウェハに付着させるために前記エア吸入口から取り入れた前記測定対象エアをエア流路を通すことにより前記テストウェハ上を通過させるウェハ空間部と、
前記テストウェハの前記膜厚の測定を開始する前に、前記テストウェハに付着した前記付着有機物を自動で除去する除去手段と、
前記付着有機物の除去された前記テストウェハ上を前記エア吸入口から取り入れた前記測定対象エアが通過し、前記測定対象エアに含まれる前記測定対象有機物が付着することにより生じる、前記テストウェハの前記膜厚の変化を自動で測定する測定手段と、
前記測定手段により測定された前記テストウェハの前記膜厚の変化から、前記測定対象エアの有機物含有量を自動で算出する算出手段と、
前記測定手段により測定された前記テストウェハの前記膜厚の変化データと、前記算出手段により算出された前記測定対象エアの有機物含有量データと、のうち、少なくとも1つを自動で表示する表示手段と、
前記測定装置全体を制御する制御手段と、
を有し、
前記ウェハ空間部は、前記除去手段と前記測定手段と、から測定対象外有機物が前記テストウェハ上に付着しないように構成されていることを特徴とする測定装置。 - 前記測定手段は、偏光解析法を用いて前記テストウェハの前記膜厚を測定するエリプソメトリ測定装置であることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 前記除去手段は、UV光を照射する素子と遠紫外線を透過させる手段と、を有し、
前記遠紫外線を透過させる手段を通して前記UV光を照射することで前記テストウェハ上に付着した前記付着有機物を除去することを特徴とする請求項1または2に記載の測定装置。 - 前記テストウェハ表面に形成された前記酸化膜の膜厚は3nm以上であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の測定装置。
- 前記測定装置は、外部端末に接続されており、
前記測定手段により測定された前記テストウェハの前記膜厚の変化データを前記外部端末に通信する通信手段を有することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の測定装置。 - 前記測定手段は、外部端末に接続されており、
前記測定手段により測定された前記テストウェハの前記膜厚の変化データと前記算出手段により算出された前記測定対象エアの有機物含有量データのうち、少なくとも1つを前記外部端末に通信する通信手段を有することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の測定装置。 - 前記測定装置は、前記測定装置の異常発生を検知する異常検知手段を有し、
前記異常検知手段は、所定の条件が検知された場合には異常が発生したものとして、前記表示手段および音を用いて異常発生の旨を外部に報知することを特徴とする請求項5または6に記載の測定装置。 - 前記所定の条件とは、前記テストウェハの前記膜厚が前記膜厚の飽和値を超過することであることを特徴とする請求項7に記載の測定装置。
- 前記エア吸入口は、パーティクルを除去するエアフィルタと、水分を除去する除湿フィルタと、前記測定対象エアをエア吸入口に導入する導管部材と、を有することを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 前記測定装置は、前記制御手段(CPU)と、ファン制御部と、光源制御部と、偏光データ検出部と、光強度検出部と、UVランプ制御部と、データ処理部と、メモリと、表示制御部と、外部通信I/Fと、を有することを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 前記測定手段は、光源と、偏光レンズと、1/4波長板と、焦点レンズと、偏光検出装置と、受光素子と、を有することを特徴とする請求項1または2に記載の測定装置。
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