JP4933814B2 - 作業装置におけるワーク受け渡し装置 - Google Patents
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- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 20
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
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すなわち、請求項1に係る作業装置におけるワーク受け渡し装置は、上面にワークを載置するワーク載置面を有し該ワーク載置面に開口する複数のピン孔が設けられたテーブルと、昇降手段によって昇降されて上端部が前記各ピン孔を通して、前記テーブルの上面に出没される複数の昇降ピンとを備え、前記テーブルとローディング装置との間でワークを受け渡しする作業装置におけるワーク受け渡し装置であって、前記各昇降ピンの上端部に、昇降ピンに対して上下動可能なワーク当接部材が、バネによって常時上方へ付勢された状態で取り付けられており、前記ワーク当接部材は、軸方向の中間部にフランジを有するピン部材からなり、前記昇降ピンの上端に着脱可能に取り付けられた基部ケースに筒状のピンケースを螺着してなる保持筒内に、上端部を該保持筒から上方へ突き出して上下動可能に挿入されると共に、前記保持筒内に挿入された前記バネによって、前記フランジがピンケースの係止部に当接するまで上方へ付勢されており、前記ワーク当接部材はワークの重量を受けると前記バネが縮小して前記ワーク当接部材の下端部が前記基部ケースの底部に当接されるようにしたことを特徴としている。
請求項1に係る作業装置におけるワーク受け渡し装置によれば、昇降ピンの上端のワーク当接部材が、それにワークが載置されたとき、バネが圧縮されて縮んだ状態となるので、昇降ピンを下降させてワークが作業装置のテーブル上に載置されたところで昇降ピンの下降動作を停止させると、昇降ピンが停止してワーク当接部材の上端とワークの裏面とが接触した状態が維持されている間に、ワークとテーブルとの間の空気を抜くことができる。したがって、ワークをテーブル上に載置する際に、ワークを吸引孔等を通して強く吸着する必要がなく、ワークの位置ずれや変形を防止してテーブル上面にワークを正確に載置させることができる。しかも、昇降ピンはその先端のワーク当接部材をバネの弾力により昇降させる構成であるから、構造が簡単であり、実施が容易である。
図1において、1は本発明の一実施の形態に係るワーク受け渡し装置2を備えた作業装置を示す。この作業装置1は、支持脚3aによって床面に設置された基台3と、該基台3に固定されX軸方向xに向けられて立設された正面視で門型の支持部材4と、該支持部材4の上端のX軸ビーム4aに設けた図示しないX軸レール(案内レール)に支持されてX軸方向xに往復移動するサドル6と、該サドル6に取り付けられた作業ヘッド7と、前記基台3の上面にY軸方向yに向けて設けられた一対のY軸レール(案内レール)8,8に沿ってY軸方向yに往復移動するテーブル9と、前記テーブル9に対してワークWを搬入、搬出するローディング装置10とを備えている。
前記テーブル9は、上方が開放された扁平な矩形箱状のテーブル本体9aと、該テーブル本体9aの上面にその開放部を閉鎖するように取り付けたガラス板等からなるワーク載置板9bとにより構成され、そのX軸方向xとY軸方向yの両端部の下面に設けられた被ガイド部9c,9cが前記Y軸レール8,8に案内されることにより、Y軸方向yへ往復移動されるようになっている。
前記基部ケース15は、内周に雌ねじ15aが形成された有底の円筒状部材15bの下面に雄ねじ部15cを設けてなり、該雄ねじ部15cが前記昇降ピン13の上端部に形成された雌ねじ13aに着脱自在に螺着されている。前記ピンケース16は、上端部に内周フランジ(係止部)16aを有し、下部外周に雄ねじ16bが形成された円筒状部材からなり、前記雄ねじ16bが基部ケース15の雌ねじ15aに着脱可能に螺着されている。
なお、前記テーブル9のワーク載置板9bに載置されたワークWをワーク載置面9gへ吸着するための吸引孔9cに代えて、前記ワーク載置面9gに縦横に格子状に吸引溝を設け、該吸引溝に負圧吸引源を連絡させるようにしてもよい。
先ず、前記作業装置1のテーブル9が前端側(図1で左端側)へ移動している状態で、ローディング装置10がそのハンド10cによってワークWを支持して、前記テーブル9上に搬入する。このとき、前記シリンダ装置11が作動して支持板12を介して前記昇降ピン13を上端位置まで上昇されるが、昇降ピン13のワーク当接部材14の上端面とワークWの下面との間には、所定の隙間があけられている(図4(a)参照)。昇降ピン13が上昇端位置まで上昇したところで、前記ハンド10cが下降されてワークWが前記昇降ピン13のワーク当接部材14の上端面に載置される(図4(b)参照)。
このときに、前記ワーク当接部材14は、ワークWの重量により前記バネ18が縮小して数ミリの所定寸法e(例えば3ミリ、このときは、ワーク当接部材14の小径軸部14cの下端面が基部ケース15の底部15dに当接される)だけ、バネ18の反発力をワークWに対して上方へ作用させながら下降するので、ワーク当接部材14の上面がワークWの下面に吸着したと同様な状態が形成され、このため、前記ワーク当接部材14は、ワークWを位置ずれを起こすことなくテーブル9のワーク載置面9gに載置させることができる。
これにより、ローディング装置10のハンド10cから作業装置1のテーブル9上にワークWを受け取るワーク搬入操作が完了する。前記テーブル9上からワークWをローディング装置10のハンド10cに引き渡すワーク搬出操作は、上記ワーク搬入操作の略逆の動作によって行われるが、その具体的な動作については説明を省略する。
したがって、前記ワーク受け渡し装置2によれば、長期間使用している間に、ワーク当接部材14の上端が摩耗した場合には、前記ピンケース16を基部ケース15から外してワーク当接部材14を取り外して容易に交換することができできる。また、基部ケース15ごとワーク当接部材14を昇降ピン13から取り外し、ワークWの大きさ、種類等に適合したバネ18、ワーク当接部材14に交換することができる。
また、前記昇降手段11Aを前記テーブル9と分離して床面に設置し、テーブル9が昇降手段11Aの位置に来たときに、前記シリンダ装置11により昇降ピン13を作動させるをたが、これに限らず、シリンダ装置11をテーブル9の下面に設置してテーブル9と一緒に移動するようにしてもよい。さらに、支持板12に固定した昇降ピン13をテーブル9に支持させ、テーブル9が床面に設置されたシリンダ装置11の位置に来たときに該シリンダ装置11により昇降ピン13を作動させるようにしてもよい。
2 ワーク受け渡し装置
7 作業ヘッド
9 テーブル
9c 吸引孔
9d,9f ピン孔
9g ワーク載置面
10 ローディング装置
10c ハンド
11 シリンダ装置
12 支持板
13 昇降ピン
14 ワーク当接部材
15 基部ケース
16 ピンケース
17 保持筒
18 バネ
W ワーク
Claims (2)
- 上面にワークを載置するワーク載置面を有し該ワーク載置面に開口する複数のピン孔が設けられたテーブルと、昇降手段によって昇降されて上端部が前記各ピン孔を通して、前記テーブルの上面に出没される複数の昇降ピンとを備え、前記テーブルとローディング装置との間でワークを受け渡しする作業装置におけるワーク受け渡し装置であって、
前記各昇降ピンの上端部には、昇降ピンに対して上下動可能なワーク当接部材が、バネによって常時上方へ付勢された状態で取り付けられており、
前記ワーク当接部材は、軸方向の中間部にフランジを有するピン部材からなり、前記昇降ピンの上端に着脱可能に取り付けられた基部ケースに筒状のピンケースを螺着してなる保持筒内に、上端部を該保持筒から上方へ突き出して上下動可能に挿入されると共に、前記保持筒内に挿入された前記バネによって、前記フランジがピンケースの係止部に当接するまで上方へ付勢されており、
前記ワーク当接部材はワークの重量を受けると前記バネが縮小して前記ワーク当接部材の下端部が前記基部ケースの底部に当接されるようにしたことを特徴とする作業装置におけるワーク受け渡し装置。 - 前記テーブルは、上面に負圧吸引源に連絡された吸引孔または吸引溝が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の作業装置におけるワーク受け渡し装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006092696A JP4933814B2 (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 作業装置におけるワーク受け渡し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006092696A JP4933814B2 (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 作業装置におけるワーク受け渡し装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007266514A JP2007266514A (ja) | 2007-10-11 |
JP4933814B2 true JP4933814B2 (ja) | 2012-05-16 |
Family
ID=38639171
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006092696A Active JP4933814B2 (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 作業装置におけるワーク受け渡し装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4933814B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5347294B2 (ja) * | 2007-09-12 | 2013-11-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
CN111347755A (zh) * | 2020-04-10 | 2020-06-30 | 济南展鸿图机械设备有限公司 | 一种覆膜机工作台自动垫块 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62166537A (ja) * | 1986-01-20 | 1987-07-23 | Fujitsu Ltd | ウエ−ハステ−ジ |
JPS631044A (ja) * | 1986-06-20 | 1988-01-06 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 気相反応装置 |
US4786327A (en) * | 1986-09-29 | 1988-11-22 | Hewlett-Packard Company | Dye preparation for thermal ink-jet printheads using ion exchange |
JPH04736A (ja) * | 1990-04-17 | 1992-01-06 | Tokyo Electron Ltd | ウエハ押上げ装置 |
JPH04117188A (ja) * | 1990-09-05 | 1992-04-17 | Fujitsu Ltd | 静電吸着装置と基板離脱方法 |
JPH0742948B2 (ja) * | 1992-06-16 | 1995-05-15 | 株式会社神戸製鋼所 | 多段型オイルフリー圧縮機 |
JPH077072A (ja) * | 1993-06-17 | 1995-01-10 | Anelva Corp | 静電チャック装置における基板の脱着方法および脱着機構 |
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JPH0922933A (ja) * | 1995-07-06 | 1997-01-21 | Nikon Corp | 基板搬送方法及びその装置 |
JP3398936B2 (ja) * | 1999-04-09 | 2003-04-21 | 日本エー・エス・エム株式会社 | 半導体処理装置 |
JP2004172318A (ja) * | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Seiko Epson Corp | ワークテーブル、ワーク搬送装置、液滴吐出装置、ワーク受け渡し方法、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 |
-
2006
- 2006-03-30 JP JP2006092696A patent/JP4933814B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007266514A (ja) | 2007-10-11 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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