JP4930598B2 - 回路接続材料、回路接続体及び回路部材の接続方法 - Google Patents

回路接続材料、回路接続体及び回路部材の接続方法 Download PDF

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Description

本発明は、接着剤組成物及びこれを用いた回路接続材料、並びに、回路部材の接続方法及びこれによって得られる回路接続体に関する。
液晶表示ディスプレイ用のガラスパネルに液晶駆動用ICを実装する方法として、CHIP−ON−GLASS実装(以下、「COG実装」という。)が広く用いられている。COG実装は、液晶駆動用ICを直接ガラスパネル上に接合する方法である。
上記COG実装においては、一般に、回路接続材料として、異方導電性を有する接着剤組成物が用いられる。この接着剤組成物は、接着剤成分と、必要に応じて配合される導電粒子とを含有する。かかる接着剤組成物からなる回路接続材料をガラスパネル上の電極が形成された部分に配置し、その上にIC、LSI等の半導体素子やパッケージなどを圧着することで、相対する電極同士の導通状態を保ち、隣接する電極同士の絶縁を保つように電気的接続と機械的固着を行う。
ところで、接着剤組成物の接着剤成分として、以前よりエポキシ樹脂及びイミダゾール系硬化剤の組み合わせが利用されている。これらの成分が配合された接着剤組成物にあっては、通常、温度200℃を5秒程度維持することで、エポキシ樹脂を硬化させ、ICチップのCOG実装を行う。
しかし、近年、液晶パネルの大型化及び薄厚化が進展するに伴い、従来の接着剤組成物を用いて上記温度条件でCOG実装を行うと、加熱時の温度差による熱膨張及び収縮差によって内部応力が生じ、ICチップやガラスパネルに反りが発生するという問題がある。反りが生じた回路接続体に対して温度サイクル試験を行うと、内部応力が増大して回路接続体の接続部で剥離が発生する場合もある。
回路部材に生じる反りを低減する手段として、特許文献1には、エポキシ樹脂の硬化剤としてスルホニウム塩からなる潜在性硬化剤を含有する回路接続用接着フィルムが記載されている。この接着フィルムを使用することで、実装時の加熱温度を160℃以下にまで低温化でき、回路部材の回路接続体に生じる内部応力を低減できる旨が記載されている(特許文献1の段落[0019]を参照)。
特開2004−221312号公報
しかしながら、特許文献1に記載の接着フィルムは、加熱温度の低温化の点においては優れた効果を発揮するものの、特殊な潜在性硬化剤を使用しているため、ポットライフが比較的短いという課題があった。そのため、この接着フィルムは、従来のイミダゾール系硬化剤が配合されたものと比較し、その用途が限られているのが現状である。
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、従来のイミダゾール系のエポキシ樹脂硬化剤を使用した場合であっても回路接続体に生じる内部応力を十分に低減できる接着剤組成物及びこれを用いた回路接続材料を提供することを目的とする。
また、本発明は、上記回路接続材料によって低い接続抵抗で回路部材が接続された回路接続体、並びにこれを得るための回路部材の接続方法を提供することを目的とする。
本発明の接着剤組成物は、回路部材同士を接着するとともにそれぞれの回路部材が有する回路電極同士を電気的に接続するCOG実装又はCOF実装に使用されるものであって、エポキシ樹脂と、イミダゾール系のエポキシ樹脂硬化剤と、平均粒径300nm以下のシリコーン微粒子と、を含有する。
本発明の接着剤組成物においては、上記シリコーン微粒子が応力緩和剤の役割を果たす。そのため、十分に長いポットライフを得るためにエポキシ樹脂の硬化剤としてイミダゾール系硬化剤を使用し、200℃程度で硬化処理を行った場合であっても、内部応力を効果的に緩和することができる。したがって、回路接続体の反りや実装体の部材界面における剥離現象の発生を十分に抑制できる。
本発明の接着剤組成物は、導電粒子を更に含有する。接着剤成分中に導電粒子が分散した接着剤組成物によれば、優れた接続信頼性を有する回路接続体を製造できる。
また、本発明の接着剤組成物は、シリコーン微粒子を、当該接着剤組成物の全質量を基準として10〜40質量%含有することが好ましい。接着剤組成物にシリコーン微粒子を10〜40質量%含有せしめることで、回路接続体における内部応力が一層十分に緩和される。
本発明の接着剤組成物は、シリコーン微粒子からなるコア粒子と、アクリル樹脂を含有する材料からなり且つ上記コア粒子を被覆するように設けられた被覆層とを有するコアシェル型シリコーン微粒子を配合して調製されたものである。アクリル樹脂を含有する被覆層(シェル)はエポキシ樹脂との親和性が高いため、シリコーン微粒子の凝集が抑制され、シリコーン微粒子が接着剤成分中に高度に分散した状態を十分に維持できる。その結果、回路接続体に対する応力緩和効果が安定的に奏される。コアシェル型シリコーン微粒子は、当該コアシェル型シリコーン微粒子の全質量を基準として、シリコーンの含有率が40〜90質量%であることが好ましい。
本発明に係る接着剤組成物にあっては、温度200℃で1時間加熱して得られる硬化物は、40℃における貯蔵弾性率が1〜2GPaであることが好ましい。硬化物の貯蔵弾性率に係る上記条件を満たす接着剤組成物を回路部材同士の接続に用いると優れた接続信頼性を有する回路接続体を製造できる。
本発明の回路接続材料は、フィルム状の基材と、本発明に係る上記接着剤組成物からなり、基材の一方面上に設けられた接着剤層とを有する。かかる構成の回路接続材料によれば、回路部材上に接着剤層を容易に配置でき、作業効率を向上できる。なお、回路接続材料を使用するに際しては、フィルム状の基材は適宜剥離される。
本発明の回路接続体は、対向配置された一対の回路部材と、本発明に係る上記接着剤組成物の硬化物からなり、一対の回路部材の間に介在しそれぞれの回路部材が有する回路電極同士が電気的に接続されるように当該回路部材同士を接着する接続部とを備える。
本発明の回路接続体においては、一対の回路部材の少なくとも一方がICチップであってもよい。また、当該回路接続体においては、一対の回路部材がそれぞれ有する回路電極の少なくとも一方の表面が、金、銀、錫、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、白金及びインジウム錫酸化物から選ばれる少なくとも1種で構成されていてもよい。
また、本発明の回路接続体においては、接続部に当接している一対の回路部材の当接面の少なくとも一方が、窒化シリコン、シリコーン化合物及びポリイミド樹脂から選ばれる少なくとも1種以上の素材によって構成される部分を有していてもよい。
本発明の回路部材の接続方法は、対向配置された一対の回路部材の間に本発明に係る上記接着剤組成物を介在させ、全体を加熱及び加圧して、接着剤組成物の硬化物からなり、一対の回路部材の間に介在しそれぞれの回路部材が有する回路電極同士が電気的に接続されるように回路部材同士を接着する接続部を形成することにより、一対の回路部材及び接続部を備える回路接続体を得るものである。
本発明によれば、回路接続体に生じる内部応力を十分に低減できる。
本発明に係る回路接続材料の一実施形態を示す断面図である。 コアシェル型シリコーン微粒子を示す断面図である。 本発明に係る回路接続材料が回路電極間で使用され、回路電極同士が接続された状態を示す断面図である。 本発明に係る回路部材の接続方法の一実施形態を概略断面図により示す工程図である 導電粒子の他の形態を示す断面図である。 本発明に係る回路接続材料の他の実施形態を示す断面図である。
符号の説明
5,15…回路接続材料、6,6a,6b…基材、7,8…接着剤層、7a…導電粒子含有層、7b…導電粒子非含有層、9…接着剤成分、10…コアシェル型シリコーン微粒子、10a…シリコーン微粒子、10b…被覆層、20A,20B…導電粒子、30…第1の回路部材、40…第2の回路部材、50a…接続部、100…回路接続体。
以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。また、図面の便宜上、図面の寸法比率は説明のものと必ずしも一致しない。
<回路接続材料>
まず、本実施形態に係る回路接続材料について説明する。図1は、本実施形態に係る回路接続材料5を示す断面図である。回路接続材料5は、フィルム状の基材6と、基材6の一方面上に設けられた接着剤層8とを備える。接着剤層8は、(a)エポキシ樹脂及び(b)エポキシ樹脂硬化剤を含有する接着剤成分9と、接着剤成分9中に分散したシリコーン微粒子10a及び導電粒子20Aとを含有する接着剤組成物からなる。
回路接続材料5は、フィルム状の基材6上に塗工装置を用いて接着剤組成物の溶液を塗布し、所定時間熱風乾燥して接着剤層8を形成することにより作製される。接着剤組成物からなる接着剤層8を形成することで、例えば、接着剤組成物をペースト状のまま使用する場合と比較し、ICチップなどのCOG実装もしくはCOF実装(CHIP−ON−FLEX実装)に使用する場合に作業効率が向上するという利点がある。
基材6としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンイソフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン、ポリアセテート、ポリカーボネート、ポリフェニレンサルファイド、ポリアミド、エチレン・酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、合成ゴム系、液晶ポリマー等からなる各種テープを使用することが可能である。もっとも、基材6を構成する材質はこれらに限定されるものではない。また、基材6として、接着剤層8との当接面等にコロナ放電処理、アンカーコート処理、帯電防止処理などが施されたものを使用してもよい。
また、回路接続材料5を使用するに際し、接着剤層8から基材6を容易に剥離できるように、基材6の表面に剥離処理剤をコーティングして使用してもよい。剥離処理剤として、シリコーン樹脂、シリコーンと有機系樹脂との共重合体、アルキッド樹脂、アミノアルキッド樹脂、長鎖アルキル基を有する樹脂、フルオロアルキル基を有する樹脂、セラック樹脂などの各種剥離処理剤を用いることができる。
基材6の厚さは、特に制限されるものではないが、回路接続材料5の保管、使用時の利便性等を考慮して、4〜200μmとすることが好ましく、さらに材料コストや生産性を考慮して、15〜75μmとすることがより好ましい。
接着剤層8の厚さは、接続する回路部材の形状等に応じて適宜調整すればよいが、5〜50μmであることが好ましい。接着剤層8の厚さが5μm未満であると、回路部材間に充填される接着剤組成物の量が不十分となる傾向がある。他方、50μmを超えると、接続すべき回路電極間の導通の確保が困難となる傾向がある。
接着剤層8を形成する接着剤組成物は、温度200℃で1時間加熱すると以下の条件を満たす硬化物となるものであることが好ましい。すなわち、接着剤組成物の硬化物は、接続信頼性の観点から、動的粘弾性測定装置で測定される40℃における貯蔵弾性率が1〜2GPaであることが好ましい。
本実施形態に係る接着剤組成物の硬化物が貯蔵弾性率に係る優れた特性を達成できる主因は、接着剤成分9中に高度に分散した一次粒子の平均粒径300nm以下のシリコーン微粒子10aを含有し、このシリコーン微粒子10aが応力緩和剤として機能するためと推察される。
(シリコーン微粒子)
図2は、接着剤成分9に配合する前のシリコーン微粒子10aの態様であるコアシェル型シリコーン微粒子を示す断面図である。図2に示すコアシェル型シリコーン微粒子10は、コア粒子をなすシリコーン微粒子10aと、このシリコーン微粒子10aを被覆してシェルをなす被覆層10bとを有する。接着剤成分9とコアシェル型シリコーン微粒子10とを混合することで、接着剤成分9中にシリコーン微粒子10aが分散する。
シリコーン微粒子10aの平均粒径は、300nm以下である。当該平均粒径が300nmを超えると、接着剤成分9中におけるシリコーン微粒子10aの分散が不均一となり、これを含有する接着剤組成物は流動性が不十分となるとともに、シリコーン微粒子10aの二次凝集体が生じやすくなる。シリコーン微粒子10aの一次粒子の平均粒径は、50〜250nmであることが好ましく、70〜170nmであることがより好ましい。平均粒径が50nm未満であると、シリコーン微粒子10aによる応力緩和効果が不十分となる傾向がある。
シリコーン微粒子10aは、オルガノシロキサン骨格を有し、常温において固形のシリコーン重合物である。好適なシリコーン重合物としては、[RR’SiO2/2]、[RSiO3/2]及び[SiO4/2]で示されるシロキシ基から選択される1つ又は2つ以上で構成されるポリオルガノシロキサンが挙げられる。ここで、Rは炭素数6以下のアルキル基、アリール基、又は末端に炭素二重結合を有する置換基であり、R’は炭素数6以下のアルキル基又はアリール基を示す。
シリコーン微粒子10aを形成する上記単位のうち、架橋構造をなす[RSiO3/2]及び[SiO4/2]の割合が多くなるとシリコーン重合体の硬度、弾性率が高くなる傾向がある。その結果、回路接続体に対するシリコーン微粒子10aによる応力緩和効果が不十分となる傾向がある。適度な硬度及び弾性率を有するシリコーン微粒子10aを得るためには、[RSiO3/2]及び/又は[SiO4/2]の割合を適宜調整すればよい。
コアシェル型シリコーン微粒子10の被覆層10bの厚さは、5〜100nmであることが好ましく、10〜50nmであることがより好ましい。被覆層10bの厚さが5nm未満であると、接着剤成分9中におけるシリコーン微粒子10aの分散が不均一となる傾向がある。他方、被覆層10bの厚さが100nmを超えると、シリコーン微粒子10aによる応力緩和効果が不十分となる傾向がある。
被覆層10bは、アクリル樹脂又はその共重合体で形成されたものが好ましい。アクリル樹脂としては特に限定することなく公知のアクリロニトリル、アクリルアミド、アクリル酸及びそのエステル類、メタクリル酸及びそのエステル類の重合物が挙げられる。さらに、アクリル樹脂の共重合物としても特に制限することなく、一般的に使用される公知のモノマー類が挙げられる。接着剤成分として配合されるエポキシ樹脂、エポキシ樹脂硬化剤及びフィルム形成性高分子との相溶性が優れる点から、被覆層10bはメタクリル酸メチル及び/又はその共重合体で形成されたものが特に好ましい。
コアシェル型シリコーン微粒子10は、当該コアシェル型シリコーン微粒子10の全質量を基準として、シリコーンの含有率が40〜90質量%であることが好ましく、50〜80質量部であることがより好ましい。シリコーンの含有率が40質量%未満であると、シリコーン微粒子10aによる応力緩和効果が不十分となる傾向がある。他方、シリコーンの含有率が90質量%を超えると、被覆層10bによるシリコーン微粒子10aの被覆が不均一となり、接着剤成分9中におけるシリコーン微粒子10aの分散性が不十分となる傾向がある。
コアシェル型シリコーン微粒子10を製造する方法としては、1段目の重合として乳化重合によりコアとなるシリコーン微粒子10aを合成し、次に2段目の重合として、シリコーン微粒子10aとアクリルモノマと開始剤とを混合して重合を行い、シリコーン微粒子10aの表面に被覆層10bを形成する方法が例示できる。
なお、コアシェル型シリコーン微粒子10は上記のような方法によって合成してもよく、あるいは、市販のものを入手してもよい。入手可能なコアシェル型シリコーン微粒子としては、例えば、GENIOPERL Pシリーズ(商品名、旭化成ワッカーシリコーン社製)が挙げられる。
接着剤組成物を調製するに際してコアシェル型シリコーン微粒子10を使用すると、被覆層10bで覆われていないシリコーン微粒子を使用する場合と比較し、回路接続体に対する応力緩和効果をより安定的に得られる接着剤組成物を作製できるという利点がある。この主因は、以下のように推察される。すなわち、アクリル樹脂を含有する被覆層10bはエポキシ樹脂との親和性が高いため、接着剤組成物の調製過程においてコアシェル型シリコーン微粒子10の凝集が十分に抑制される。その結果、コア粒子をなすシリコーン微粒子10aの接着剤成分9中における凝集が抑制され、シリコーン微粒子10aが接着剤成分9中に高度に分散した状態が十分に維持されるためと考えられる。
回路接続材料5の接着剤組成物(接着剤層8)中に含まれるシリコーン微粒子10aの含有量は、接着剤組成物100質量部に対して10〜40質量部であることが好ましく、20〜35質量部であることがより好ましい。シリコーン微粒子10aの含有量が10質量部未満であると、応力緩和の発現が不十分となり、反りの低減が不十分となる傾向がある。他方、シリコーン微粒子10aの含有量が40質量部を越えると、接着剤成分9中にシリコーン微粒子10aを均一に分散させることが困難となる傾向があり、回路部材の接続部分でシリコーン微粒子10aが凝集すると、導電性が妨げられて接続抵抗値が高くなる傾向がある。これに加え、接着剤組成物の流動性が低下したり、接着剤層8表面の粘着性が低下する傾向がある。
次に、接着剤成分9に含まれる(a)エポキシ樹脂及び(b)エポキシ樹脂硬化剤について説明する。
(a)エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールFノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、イソシアヌレート型エポキシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂等が挙げられる。これらのエポキシ樹脂は、ハロゲン化されていてもよく、水素添加されていてもよい。これらのエポキシ樹脂は、1種を単独で、又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
(b)エポキシ樹脂硬化剤としては、アミン系、フェノール系、酸無水物系、イミダゾール系、ヒドラジド系、ジシアンジアミド、三フッ化ホウ素−アミン錯体、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、アミンイミド等が挙げられる。これらのなかでも、硬化性及びポットライフの観点から、イミダゾール系硬化剤を使用することが好ましい。イミダゾール系硬化剤としては、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール等が挙げられる。これらは、単独または2種以上を混合して使用することができ、分解促進剤、抑制剤等を混合して用いてもよい。なお、長いポットライフ及び速硬化性の両方を高水準に達成するためには、潜在性硬化促進剤を使用することが好ましく、具体的にはイミダゾールとエポキシ樹脂との付加化合物(マイクロカプセル型やアダクト型潜在性硬化剤等)を使用することが好ましい。
(a)エポキシ樹脂の含有量は、接着剤成分9の全質量を基準として、3〜50質量%であると好ましく、10〜30質量%であるとより好ましい。(a)エポキシ樹脂の含有量が3質量%未満であると、硬化反応の進行が不十分となり、良好な接着強度や接続抵抗値を得ることが困難となる傾向がある。他方、50質量%を越えると、接着剤成分9の流動性が低下したり、ポットライフが短くなったりする傾向がある。また、回路接続体の接続部の接続抵抗値が高くなる傾向がある。
(b)エポキシ樹脂硬化剤の含有量は、接着剤成分9の全質量を基準として、0.1〜60質量%であると好ましく、1.0〜20質量%であるとより好ましい。(b)エポキシ樹脂硬化剤の含有量が0.1質量%未満であると、硬化反応の進行が不十分となり、良好な接着強度や接続抵抗値を得ることが困難となる傾向がある。他方、60質量%を越えると、接着剤成分9の流動性が低下したり、ポットライフが短くなったりする傾向がある。また、回路接続体の接続部の接続抵抗値が高くなる傾向がある。
接着剤成分9はフィルム形成性高分子を更に含有してもよい。接着剤成分9の全質量を基準として、フィルム形成性高分子の含有量は、2〜80質量%であることが好ましく、5〜70質量%であることがより好ましく、10〜60質量%であることが更に好ましい。フィルム形成性高分子としては、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマール、ポリイミド、ポリアミド、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリフェニレンオキサイド、尿素樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、キシレン樹脂、ポリイソシアネート樹脂、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステルウレタン樹脂などが用いられる。
(導電粒子)
導電粒子20Aは、接着剤成分9中に分散している。導電粒子20Aとしては、例えばAu、Ag、Pt、Ni、Cu、W、Sb、Sn、はんだ等の金属やカーボンの粒子が挙げられる。導電粒子20Aの平均粒径は分散性、導電性の観点から1〜18μmであることが好ましい。
導電粒子20Aの配合割合は、接着剤層8に含まれる接着剤成分100体積部に対して、0.1〜30体積部であることが好ましく、0.1〜10体積部であることがより好ましい。この配合割合は、接着剤組成物の用途によって適宜調整する。導電粒子20Aの配合割合が0.1体積部未満であると対向する電極間の接続抵抗が高くなる傾向にあり、30体積部を超えると隣接する電極間の短絡が生じやすくなる傾向がある。
更に、接着剤層8を形成する接着剤組成物は、充填材、軟化剤、促進剤、老化防止剤、着色剤、難燃化剤、チキソトロピック剤、カップリング剤、メラミン樹脂、イソシアネート類等を含有することもできる。充填材を含有した場合、接続信頼性等の向上が得られるので好ましい。充填材としては、その最大径が導電粒子の粒径未満のものが好適である。また、充填材の含有量は、接着剤組成物の全体積基準で5〜60体積%の範囲であることが好ましい。60体積%を超えると、接続信頼性と密着性の低下が発生する傾向がある。なお、カップリング剤としては、ビニル基、アクリル基、アミノ基、エポキシ基及びイソシアネート基からなる群より選ばれる1種以上の基を含有する化合物が、接着性の向上の点から好ましい。
<回路接続体>
次に、回路接続材料5を用いて製造された回路接続体について説明する。図3は、回路電極同士が接続された回路接続体を示す概略断面図である。図3に示す回路接続体100は、相互に対向する第1の回路部材30及び第2の回路部材40を備えており、第1の回路部材30と第2の回路部材40との間には、これらを接続する接続部50aが設けられている。
第1の回路部材30は、回路基板31と、回路基板31の主面31a上に形成された回路電極32とを備えている。第2の回路部材40は、回路基板41と、回路基板41の主面41a上に形成された回路電極42とを備えている。
回路部材の具体例としては、半導体チップ(ICチップ)、抵抗体チップ、コンデンサチップ等のチップ部品などが挙げられる。これらの回路部材は、回路電極を備えており、多数の回路電極を備えているものが一般的である。上記回路部材が接続される、もう一方の回路部材の具体例としては、金属配線を有するフレキシブルテープ、フレキシブルプリント配線板、インジウム錫酸化物(ITO)が蒸着されたガラス基板などの配線基板が挙げられる。
主面31a及び/又は主面41aは、窒化シリコン、シリコーン化合物及びシリコーン樹脂、並びに、感光性もしくは非感光性のポリイミド樹脂等の有機絶縁物質でコーティングされていてもよい。また、主面31a及び/又は主面41aが、上記材質からなる領域を部分的に有するものであってもよい。更に、回路基板31及び/又は回路基板41自体が上記材質からなるものであってもよい。主面31a,41aは、上記材質1種で構成されていてもよく、2種以上で構成されていてもよい。接着剤成分9の組成を適宜選択することによって、上記の材質からなる部分を有する回路基板同士も好適に接続することができる。
各回路電極32,42の表面は、金、銀、錫、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、白金及びインジウム錫酸化物(ITO)から選ばれる1種で構成されてもよく、2種以上で構成されていてもよい。また、回路電極32,42の表面の材質は、すべての回路電極において同一であってもよく、異なっていてもよい。
接続部50aは接着剤層8に含まれる接着剤成分9の硬化物9Aと、これに分散している導電粒子20Aとを備えている。そして、回路接続体100においては、対向する回路電極32と回路電極42とが、導電粒子20Aを介して電気的に接続されている。すなわち、導電粒子20Aが、回路電極32,42の双方に直接接触している。このため、回路電極32,42間の接続抵抗が十分に低減され、回路電極32,42間の良好な電気的接続が可能となる。他方、硬化物9Aは電気絶縁性を有するものであり、隣接する回路電極同士は絶縁性が確保される。従って、回路電極32,42間の電流の流れを円滑にすることができ、回路の持つ機能を十分に発揮することができる。
<回路接続体の製造方法>
次に、回路接続体100の製造方法について説明する。図4は、本発明に係る回路接続体の製造方法の一実施形態を概略断面図により示す工程図である。本実施形態では、回路接続材料5の接着剤層8を熱硬化させ、最終的に回路接続体100を製造する。
まず、回路接続材料5を所定の長さに切断すると共に、接着剤層8が下方に向くようにして第1の回路部材30の回路電極32が形成されている面上に載せる(図4(a))。このとき、接着剤層8から基材6を剥離する。
次に、図4(b)の矢印A及びB方向に加圧し、接着剤層8を第1の回路部材30に仮接続する(図4(c))。このときの圧力は回路部材に損傷を与えない範囲であれば特に制限されないが、一般的には0.1〜3.0MPaとすることが好ましい。また、加熱しながら加圧してもよく、加熱温度は接着剤層8が実質的に硬化しない温度とする。加熱温度は一般的には50〜100℃にするのが好ましい。これらの加熱及び加圧は0.1〜10秒間の範囲で行うことが好ましい。
次いで、図4(d)に示すように、第2の回路部材40を、第2の回路電極42を第1の回路部材30の側に向けるようにして接着剤層8上に載せる。そして、接着剤層8を加熱しながら、図4(d)の矢印A及びB方向に全体を加圧する。このときの加熱温度は、接着剤層8の接着剤成分9が硬化可能な温度とする。加熱温度は、120〜230℃が好ましく、140〜210℃がより好ましく、160〜200℃が更に好ましい。加熱温度が120℃未満であると硬化速度が遅くなる傾向があり、230℃を超えると望まない副反応が進行し易い傾向がある。加熱時間は、0.1〜30秒が好ましく、1〜25秒がより好ましく、2〜20秒が更に好ましい。
接着剤成分9の硬化により接続部50aが形成されて、図3に示すような回路接続体100が得られる。接続の条件は、使用する用途、接着剤組成物、回路部材によって適宜選択される。なお、接着剤層8の接着剤成分として、光によって硬化するものを配合した場合には、接着剤層8に対して活性光線やエネルギー線を適宜照射すればよい。活性光線としては、紫外線、可視光、赤外線等が挙げられる。エネルギー線としては、電子線、エックス線、γ線、マイクロ波等が挙げられる。
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。
例えば、上記実施形態においては、導電粒子20Aを含有する接着剤組成物を例示したが、実装する回路部材の形状などによっては、接着剤組成物は導電粒子20Aを含有しないものであってもよい。また、導電粒子20Aの代わりに、導電性を有する核粒子と、この核粒子の表面上に設けられた複数の絶縁性粒子とによって構成された導電粒子を用いてもよい。
図5に示す導電粒子20Bは、導電性を有する核粒子1及びこの核粒子1の表面上に設けられた複数の絶縁性粒子2を備える。そして、核粒子1は、中心部分を構成する基材粒子1a及びこの基材粒子1aの表面上に設けられた導電層1bによって構成されている。以下、導電粒子20Bについて説明する。
基材粒子1aの材質としては、ガラス、セラミックス、有機高分子化合物などが挙げられる。これらの材質のうち、加熱及び/又は加圧によって変形するもの(例えば、ガラス、有機高分子化合物)が好ましい。基材粒子1aが変形するものであると、導電粒子20Bが回路電極32,42によって押圧された場合、回路電極との接触面積が増加する。また、回路電極32,42の表面の凹凸を吸収することができる。したがって、回路電極間の接続信頼性が向上する。
上記のような観点から、基材粒子1aを構成する材質として好適なものは、例えば、アクリル樹脂、スチレン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、シリコーン樹脂、ポリブタジエン樹脂又はこれらの共重合体、及び、これらを架橋したものである。基材粒子1aは粒子間で同一又は異なる種類の材質であってもよく、同一粒子に1種の材質を単独で、又は2種以上の材質を混合して用いてもよい。
基材粒子1aの平均粒径は、用途などに応じて適宜設計可能であるが、0.5〜20μmであることが好ましく、1〜10μmであることがより好ましく、2〜5μmであることが更に好ましい。平均粒径が0.5μm未満の基材粒子を用いて導電粒子を作製すると、粒子の二次凝集が生じ、隣接する回路電極間の絶縁性が不十分となる傾向があり、20μmを越える基材粒子を用いて導電粒子を作製すると、その大きさに起因して隣接する回路電極間の絶縁性が不十分となる傾向がある。
導電層1bは、基材粒子1aの表面を覆うように設けられた導電性を有する材質からなる層である。導電性を十分確保する観点から、導電層1bは、基材粒子1aの全表面を被覆していることが好ましい。
導電層1bの材質としては、例えば、金、銀、白金、ニッケル、銅及びこれらの合金、錫を含有するはんだなどの合金、並びに、カーボンなどの導電性を有する非金属が挙げられる。基材粒子1aに対し、無電解めっきによる被覆が可能であることから、導電層1bの材質は金属であることが好ましい。また、十分なポットライフを得るためには、金、銀、白金又はこれらの合金がより好ましく、金が更に好ましい。なお、これらは1種を単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
導電層1bの厚さは、これに使用する材質や用途などに応じて適宜設計可能であるが、50〜200nmであることが好ましく、80〜150nmであることがより好ましい。厚さが50nm未満であると、接続部の十分に低い抵抗値が得られなくなる傾向がある。他方、200nmを越える厚さの導電層1bは、製造効率が低下する傾向がある。
導電層1bは、一層又は二層以上で構成することができる。いずれの場合においても、これを用いて作製される接着剤組成物の保存性の観点から、核粒子1の表面層は、金、銀、白金又はこれらの合金で構成することが好ましく、金で構成することがより好ましい。導電層1bが、金、銀、白金又はこれらの合金(以下、「金などの金属」という。)からなる一層で構成される場合、接続部分の十分に低い抵抗値を得るためには、その厚さは10〜200nmであることが好ましい。
他方、導電層1bが二層以上で構成される場合、導電層1bの最外層は金などの金属で構成することが好ましいが、最外層と基材粒子1aと間の層は、例えば、ニッケル、銅、錫又はこれらの合金を含有する金属層で構成してもよい。この場合、導電層1bの最外層を構成する金などの金属からなる金属層の厚さは、接着剤組成物の保存性の観点から、30〜200nmであることが好ましい。ニッケル、銅、錫又はこれらの合金は、酸化還元作用で遊離ラジカルを発生することがある。このため、金などの金属からなる最外層の厚さが30nm未満であると、ラジカル重合性を有する接着剤成分と併用した場合、遊離ラジカルの影響を十分に防止することが困難となる傾向がある。
導電層1bを基材粒子1a表面上に形成する方法としては、無電解めっき処理や物理的なコーティング処理が挙げられる。導電層1bの形成の容易性の観点から、金属からなる導電層1bを無電解めっき処理によって基材粒子1aの表面上に形成することが好ましい。
絶縁性粒子2は、有機高分子化合物によって構成されている。有機高分子化合物としては、熱軟化性を有するものが好ましい。絶縁性粒子の好適な素材は、例えば、ポリエチレン、エチレン−酢酸共重合体、エチレン−(メタ)アクリル共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸エステル共重合体、ポリエステル、ポリアミド、ポリウレタン、ポリスチレン、スチレン−ジビニルベンゼン共重合体、スチレン−イソブチレン共重合体、スチレン−ブタジエン共重合体、スチレン−(メタ)アクリル共重合体、エチレン−プロピレン共重合体、(メタ)アクリル酸エステル系ゴム、スチレン−エチレン−ブチレン共重合体、フェノキシ樹脂、固形エポキシ樹脂等である。これらは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。なお、粒度分布の分散度、耐溶剤性及び耐熱性の観点から、スチレン−(メタ)アクリル共重合体が特に好適である。絶縁性粒子2の製造方法としては、シード重合法などが挙げられる。
ここで、(メタ)アクリル重合体は、アクリル重合体及びそれに対応するメタクリル重合体を意味し、例えば、上記の「エチレン−(メタ)アクリル共重合体」とは「エチレン−アクリル共重合体」及びそれに対応する「エチレン−メタクリル共重合体」を意味する。また、「(メタ)アクリル酸」とは「アクリル酸」及びそれに対応する「メタクリル酸」を意味する。
絶縁性粒子2を構成する有機高分子化合物の軟化点は、回路部材同士の接続時の加熱温度以上であることが好ましい。軟化点が接続時の加熱温度未満であると、接続時に絶縁性粒子2が過度に変形することに起因して、良好な電気的接続が得られなくなる傾向がある。
絶縁性粒子2の平均粒径は、用途などに応じて適宜設計可能であるが、50〜500nmであることが好ましく、50〜400nmであることがより好ましく、100〜300nmであることが更に好ましい。平均粒径が50nm未満であると、隣接する回路間の絶縁性が不十分となる傾向があり、他方、500nmを越えると、接続部分の十分に低い初期抵抗値及び抵抗値の経時的な上昇の抑制の両方を達成することが困難となる傾向がある。
また、本発明に係る回路接続材料は、上記実施形態における回路接続材料5のように、基材6上に単層の接着剤層8が形成された単層構造に限定されず、基材6上に複数の接着剤層が積層された多層構造であってもよい。多層構造の回路接続材料は、接着剤成分及び導電粒子の種類あるいはこれらの含有量が異なる層を複数積層することによって製造することができる。例えば、回路接続材料は、導電粒子を含有する導電粒子含有層と、この導電粒子含有層の少なくとも一方の面上に設けられた、導電粒子を含有しない導電粒子非含有層とを備えるものであってもよい。
図6に示す回路接続材料15は、二層構造の接着剤層7と、この接着剤層7の両最外面をそれぞれ覆う基材6a,6bとを備える。回路接続材料15の接着剤層7は、導電粒子を含有する導電粒子含有層7a及び導電粒子を含有しない導電粒子非含有層7bから構成されている。回路接続材料15は、基材6aの表面上に導電粒子含有層7aを形成し、他方、基材6bの表面上に導電粒子非含有層7bを形成し、これらの層を従来公知のラミネータなどを使用して貼り合わせることで作製することができる。回路接続材料15を使用するに際には、適宜基材6a,6bは剥離される。
回路接続材料15によれば、回路部材同士の接合時に、接着剤成分の流動に起因する回路電極上における導電粒子の個数の減少を十分に抑制することができる。このため、例えば、ICチップをCOG実装もしくはCOF実装によって基板上に接続する場合、ICチップの金属バンプ上の導電粒子の個数を十分に確保することができる。この場合、ICチップの金属バンプを備える面と導電粒子非含有層7bとが、他方、ICチップを実装すべき基板と導電粒子含有層7aとが、それぞれ当接するように接着剤層7を配置することが好ましい。
(実施例1)
導電性を有する核粒子を以下のようにして製造した。すなわち、基材粒子として架橋ポリスチレン粒子(総研化学製、商品名:SXシリーズ、平均粒径:4μm)を準備し、この粒子の表面上に、無電解めっき処理によってNi層(厚さ0.08μm)を設けた。更に、このNi層の外側に無電解めっき処理によってAu層(厚さ0.03μm)を設け、Ni層及びAu層からなる導電層を有する核粒子を得た。
核粒子の表面を被覆するための有機高分子化合物(絶縁被覆)として、架橋アクリル樹脂(総研化学製、商品名:MPシリーズ)を準備した。この架橋アクリル樹脂4gと核粒子20gとをハイブリダイザー(株式会社奈良機械製作所製、商品名:NHSシリーズ)に導入し、導電粒子を作製した。なお、ハイブリダイザーにおける処理条件は、回転速度16000/分、反応槽温度60℃とした。
次に、ビスフェノールF型エポキシ樹脂と9、9’−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレンとを用いて、ガラス転移温度が80℃のフェノキシ樹脂を合成した。このフェノキシ樹脂50gを溶剤に溶解し、固形分40質量%の溶液を調製した。なお、溶剤としては、トルエンと酢酸エチルの混合溶剤(両者の混合質量比=1:1)を使用した。
他方、表1の実施例1の欄に示す物性を有するコアシェル型シリコーン微粒子(旭化成ワッカーシリコーン社製、商品名:GENIOPERL P22)を準備した(以下、当該コアシェル型シリコーン微粒子を「コアシェル型シリコーン微粒子A」という。)。なお、コアシェル型シリコーン微粒子のコア粒子(シリコーン微粒子)の平均粒径は、以下のようにして測定した。すなわち、コアシェル型シリコーン微粒子100gとビスフェノールF型エポキシ樹脂300gとをホモミキサーを用いて混合し、両者の混合物を得た。この混合物を1質量%含むテトラヒドロフラン溶液のレーザー粒径解析を行うことによってコア粒子の平均粒径を求めた。
コアシェル型シリコーン微粒子A25質量部と、フェノキシ樹脂30質量部(固形分)と、ビスフェノールF型エポキシ樹脂30質量部(固形分)と、マイクロカプセル型潜在性硬化剤(イミダゾール系硬化剤)を含有する液状エポキシ樹脂40質量部(固形分)とを混合して混合液を得た。この混合液100体積部に対して上記導電粒子5体積部を配合し、温度23℃において撹拌することにより、接着剤組成物の溶液を得た。
剥離処理剤(シリコーン樹脂)による表面処理が施されたPETフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製、商品名:ピューレックス、厚さ:50μm)の面上に、接着剤組成物の溶液を塗工して塗布した。その後、これを熱風乾燥(80℃にて5分間)することにより、PETフィルムに支持された厚さ10μmの導電粒子含有層を得た。
また、コアシェル型シリコーン微粒子A30質量部と、フェノキシ樹脂20質量部(固形分)と、ビスフェノールF型エポキシ樹脂40質量部(固形分)と、マイクロカプセル型潜在性硬化剤(イミダゾール系硬化剤)を含有する液状エポキシ樹脂40質量部(固形分)とを混合し、導電粒子を含有しない接着剤組成物の溶液を得た。この接着剤組成物の溶液を、剥離処理剤(シリコーン樹脂)による表面処理が施されたPETフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製、商品名:ピューレックス、厚さ:50μm)の面上に、塗工して塗布した。その後、これを熱風乾燥(80℃にて5分間)することにより、PETフィルムに支持された厚さ15μmの導電粒子非含有層を得た。
これらの接着フィルム同士を、従来公知のラミネータを用いて貼り合わせた。これにより、図6に示す二層構成の回路接続材料を得た。
(回路接続体の作製)
上記のようにして製造した回路接続材料を用いてITO基板(厚さ0.7mm、表面抵抗<20Ω/□)とICチップ(厚さ0.55mm)とを接続し、回路接続体を形成した。ICチップは、バンプ面積2500μm(50μm×50μm)、ピッチ100μm、高さ20μmの金バンプを備えるものを使用した。ITO基板は、厚さ1.1mmのガラス板の表面上にITOを蒸着により形成したものを使用した。
ICチップとITO基板との間に、回路接続材料を介在させ、圧着装置(東レエンジニアリング株式会社製、商品名:FC−1200)を用いて接続を行った。具体的には、まず、導電粒子含有層側のPETフィルムを剥離し、導電粒子含有層がITO基板と当接するように回路接続材料をITO基板上に配置した。そして、圧着装置を用いて仮圧着(温度75℃、圧力1.0MPaにて2秒間)を行った。導電粒子非含有層側のPETフィルムを剥離した後、金バンプが導電粒子非含有層と当接するようにICチップを載置した。土台に石英ガラスを使用し、温度200℃、圧力80MPaにて5秒間加熱加圧することによって接続部を備える回路接続体を得た。
(貯蔵弾性率の測定)
本実施例で作製した二層構成の回路接続材料を200℃で1時間加熱して硬化させた。回路接続材料の硬化物から被測定試料(幅5mm、長さ20mm、膜厚25μm)を切り取り、次のようにして貯蔵弾性率を測定した。すなわち、被測定試料の動的粘弾性について、動的粘弾性測定装置RASII(TAインスツルメント製)を用いて、昇温速度5℃/分、周波数10Hz、振幅3μm、引張モードの条件で測定した。そして、得られた結果から、40℃における貯蔵弾性率を求めた。
(反り量の測定)
ICチップを実装した後のITO基板の反り量について、非接触式レーザー型3次元形状測定装置(キーエンス製、商品名:LT−9000)を用いて測定した。ICチップ側を下方に向け、ITO基板の裏面を上方に向けて回路接続体を平坦な台の上に置いた。そして、ITO基板の裏面の中心部と、このITO基板の裏面におけるICチップの両端から5mm離れた箇所との高さの差を測定した。この高さの差をガラス基板の反り量とした。
(初期接続抵抗の測定)
上記のようにして作製した回路接続体の接続部の初期抵抗を抵抗測定機(株式会社アドバンテスト製、商品名:デジタルマルチメータ)を用いて測定した。なお、測定は電極間に1mAの電流を流して行った。
(隣接電極間の絶縁性の評価)
隣接する電極間の絶縁抵抗を抵抗測定機(株式会社アドバンテスト製、商品名:デジタルマルチメータ)を用い、以下の手順で測定した。まず、回路接続体の接続部に直流(DC)50Vの電圧を1分間印加した。そして、絶縁抵抗の測定は、電圧印加後の接続部に対し、2端子測定法によって行った。なお、上記の電圧の印加には、電圧計(株式会社アドバンテスト製、商品名:ULTRA HIGH RESISTANCE METER)を用いた。
(接続信頼性の評価)
回路接続体の接続部の接続信頼性について、温度サイクル試験を行うことによって評価した。温度サイクル試験は、回路接続体を温度サイクル槽(ETAC製、商品名:NT1020)内に収容し、室温から−40℃への降温、−40℃から100℃への昇温及び100℃から室温への降温の温度サイクルを250回繰り返すことによって行った。−40℃及び100℃における保持時間は、いずれも30分とした。温度サイクル試験後の接続部分の抵抗の測定は、初期抵抗の測定と同様に行った。
(界面剥離発生の有無についての評価)
温度サイクル試験後の回路接続体をデジタル顕微鏡(キーエンス製、商品名:VH−8000)によって観察し、界面剥離発生の有無を評価した。具体的には、回路接続体のガラス基板側から回路接続体の接続部を観察してガラス基板上の界面剥離の有無を確認した。
表3に被測定試料(回路接続材料の硬化物)の−50℃及び100℃における貯蔵弾性率、−50〜100℃の範囲における被測定試料の貯蔵弾性率の最大値及び最小値、並びに、ガラス転移温度を示した。また、表4にITO基板の反り量、接続抵抗値、絶縁抵抗値の測定結果を示した。
(実施例2)
導電粒子含有層を形成する際に、コアシェル型シリコーン微粒子Aを25質量部配合する代わりに、表1に示すコアシェル型シリコーン微粒子Bを25質量部配合したこと、及び、導電粒子非含有層を形成する際に、コアシェル型シリコーン微粒子Aを30質量部配合する代わりに、コアシェル型シリコーン微粒子Bを30質量部配合したことの他は、実施例1と同様にして二層構成の回路接続材料及び回路接続体を作製した。なお、コアシェル型シリコーン微粒子Bは、旭化成ワッカーシリコーン社製のGENIOPERL P52(商品名)である。
(実施例3)
導電粒子含有層を形成する際に、コアシェル型シリコーン微粒子Aを40質量部配合したことの他は、実施例1と同様にして二層構成の回路接続材料及び回路接続体を作製した。
(実施例4)
導電粒子含有層を形成する際に、コアシェル型シリコーン微粒子Bを40質量部配合したことの他は、実施例2と同様にして二層構成の回路接続材料及び回路接続体を作製した。
(比較例1)
二層構成の回路接続材料を作製する際に、各溶液に架橋構造を有するコアシェル型シリコーン微粒子を配合せず、表2に示す配合比率で導電粒子含有層及び導電粒子非含有層を形成したことの他は、実施例1と同様にして二層構成の回路接続材料及び回路接続材料を作製した。
Figure 0004930598
Figure 0004930598
Figure 0004930598
本発明によれば、回路接続体に生じる内部応力を十分に低減できる。

Claims (9)

  1. フィルム状の基材と、
    接着剤組成物からなり、前記基材の一方面上に設けられた接着剤層と、
    を備える回路接続材料であって、
    前記接着剤組成物は、回路部材同士を接着するとともにそれぞれの回路部材が有する回路電極同士を電気的に接続するCOG実装又はCOF実装に使用されるものであり
    エポキシ樹脂と、
    イミダゾール系のエポキシ樹脂硬化剤と、
    平均粒径300nm以下のシリコーン微粒子と、
    導電粒子と、
    を含有するとともに、前記シリコーン微粒子からなるコア粒子と、アクリル樹脂を含有する材料からなり且つ前記コア粒子を被覆するように設けられた被覆層とを有するコアシェル型シリコーン微粒子を配合して調製されたものである、回路接続材料。
  2. 前記接着剤組成物は、前記シリコーン微粒子を、当該接着剤組成物の全質量を基準として10〜40質量%含有する、請求項に記載の回路接続材料
  3. 前記コアシェル型シリコーン微粒子は、当該コアシェル型シリコーン微粒子の全質量を基準として、シリコーンの含有率が40〜90質量%である、請求項1又は2に記載の回路接続材料
  4. 前記接着剤組成物を温度200℃で1時間加熱して得られる硬化物は、40℃における貯蔵弾性率が1〜2GPaである、請求項1〜のいずれか一項に記載の回路接続材料
  5. 対向配置された一対の回路部材と、
    請求項1〜のいずれか一項に記載の回路接続材料の前記接着剤層の硬化物からなり、前記一対の回路部材の間に介在しそれぞれの回路部材が有する回路電極同士が電気的に接続されるように当該回路部材同士を接着する接続部と、
    を備える回路接続体。
  6. 前記一対の回路部材の少なくとも一方が、ICチップである、請求項に記載の回路接続体。
  7. 前記一対の回路部材がそれぞれ有する回路電極の少なくとも一方の表面が、金、銀、錫、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、白金及びインジウム錫酸化物から選ばれる少なくとも1種で構成されている、請求項5又は6に記載の回路接続体。
  8. 前記接続部に当接している前記一対の回路部材の当接面の少なくとも一方が、窒化シリコン、シリコーン化合物及び感光性もしくは非感光性ポリイミド樹脂から選ばれる少なくとも1種以上の素材によって構成される部分を有するものである、請求項のいずれか一項に記載の回路接続体。
  9. 対向配置された一対の回路部材の間に請求項1〜のいずれか一項に記載の回路接続材料の前記接着剤層を介在させ、全体を加熱及び加圧して、前記接着剤組成物の硬化物からなり、前記一対の回路部材の間に介在しそれぞれの回路部材が有する回路電極同士が電気的に接続されるように前記回路部材同士を接着する接続部を形成することにより、前記一対の回路部材及び前記接続部を備える回路接続体を得る、回路部材の接続方法。
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