JP4930507B2 - 液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出方法 - Google Patents
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Description
請求の範囲第5項記載の発明は、請求の範囲第1項〜請求の範囲第4項のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、前記吐出口の開口径は15μm未満であることを特徴とする。
請求の範囲第6項記載の発明は、液体吐出装置であって、請求の範囲第1項〜請求の範囲第5項のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドに対向する対向電極とを備え、前記液体吐出ヘッドと前記対向電極との間に生じる前記静電吸引力により液体を吐出させることを特徴とする。
前記分極回復動作時に前記液体吐出ヘッド及び前記対向電極の位置を調整して双方の離間距離を小さくする位置決め手段を備えることを特徴とする。
請求の範囲第12項記載の発明は、請求の範囲第8項〜請求の範囲第11項のいずれか一項に記載の液体吐出方法であって、前記吐出口の開口径は15μm未満であることを特徴とする。
2 液体吐出ヘッド
3 対向電極
4 位置決め手段
5 吐出面
6 ノズルプレート
7 帯電用電極
8 ボディ層
9 可撓層
10 吐出口
11 ノズル
12 液体供給口
13 大径部
14 小径部
15 静電電圧電源
16 キャビティ
17 ピエゾ素子
18 駆動電圧電源
19 制御手段
20 印加時間計測手段
21 記憶手段
22 ヘッド選択手段
23 電圧印加制御手段
24 ドラム
以下、本発明の第1の実施形態について、図1〜図7を参照して説明する。
[第2の実施形態]
次に、本発明の第2の実施形態について、図8〜図11を参照して説明する。なお、上記実施の形態と同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。
なお、ここまでは液体吐出ヘッド内の液体に静電電圧を印加し、対向電極を接地させる形態で説明を行ってきたが、逆に対向電極に静電電圧を印加し、液体吐出ヘッド内の液体を接地させる形態を取ることも可能であり、同様の効果を得ることが出来る。
Claims (14)
- 液体が供給される液体供給口及び前記液体供給口から供給された液体を基材に吐出する吐出口を有するノズルが設けられた絶縁性のノズルプレートと、
前記液体供給口に連通し前記吐出口から吐出される液体を貯蔵するキャビティと、
前記ノズル及び前記キャビティの内部の液体と前記基材との間に静電電圧を印加して静電吸引力を発生させる静電電圧印加手段と、
前記静電電圧印加手段による前記静電電圧の印加を制御する制御手段と、
を備えた液体吐出ヘッドであって、
前記ノズルは前記ノズルプレートから突出していないフラットなノズルであり、
前記制御手段は前記静電電圧印加手段が液体吐出時に印加した静電電圧と逆極性の静電電圧を印加する分極回復動作を行うように制御することを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記静電電圧印加手段による液体吐出時における静電電圧の印加時間及び印加電圧値を記憶する記憶手段を備え、
前記制御手段は、前記印加時間及び前記印加電圧値に基づき、液体吐出時に印加した静電電圧値の印加時間による積分値と前記逆極性の静電電圧値の印加時間による積分値の絶対値が等しくなるように前記逆極性の静電電圧値を決定し、前記静電電圧印加手段に前記静電電圧値によって前記分極回復動作を行わせることを特徴とする請求の範囲第1項記載の液体吐出ヘッド。 - 前記キャビティの容積を変化させることにより液体に圧力を発生させ、前記吐出口に前記液体の吐出方向に凸状のメニスカスを形成する圧力発生手段を備えることを特徴とする請求の範囲第1項又は請求の範囲第2項記載の液体吐出ヘッド。
- 前記ノズルプレートの体積抵抗率は1015Ωm以上であることを特徴とする請求の範囲第1項〜請求の範囲第3項のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記吐出口の開口径は15μm未満であることを特徴とする請求の範囲第1項〜請求の範囲第4項のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
- 請求の範囲第1項〜請求の範囲第5項のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドに対向する対向電極とを備え、前記液体吐出ヘッドと前記対向電極との間に生じる前記静電吸引力により液体を吐出させることを特徴とする液体吐出装置。
- 請求の範囲第1項に記載の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドに対向する対向電極とを備え、前記液体吐出ヘッドと前記対向電極との間に生じる前記静電吸引力により液体を吐出させる液体吐出装置であって、
前記分極回復動作時に前記液体吐出ヘッド及び前記対向電極の位置を調整して双方の離間距離を小さくする位置決め手段を備えることを特徴とする液体吐出装置。 - 液体が供給される液体供給口及び前記液体供給口から供給された液体を基材に吐出する吐出口を有するノズルが設けられた絶縁性のノズルプレートと、
前記液体供給口に連通し前記吐出口から吐出される液体を貯蔵するキャビティと、
前記ノズル及び前記キャビティの内部の液体と前記基材との間に静電電圧を印加して静電吸引力を発生させる静電電圧印加手段と、
前記静電電圧印加手段による前記静電電圧の印加を制御する制御手段と、
を備えた液体吐出ヘッドを使用して、
前記ノズルは前記ノズルプレートから突出しないフラットなノズルとし、
前記静電電圧印加手段が液体吐出時に印加した静電電圧と逆極性の静電電圧を印加する分極回復動作を行うように制御することを特徴とする液体吐出方法。 - 前記静電電圧印加手段による液体吐出時における静電電圧の印加時間及び印加電圧値を記憶する記憶手段を使用し、
前記印加時間及び前記印加電圧値に基づき、液体吐出時に印加した静電電圧値の印加時間による積分値と前記逆極性の静電電圧値の印加時間による積分値の絶対値が等しくなるように前記逆極性の静電電圧値を決定し、前記静電電圧印加手段に前記静電電圧値によって前記分極回復動作を行わせることを特徴とする請求の範囲第8項記載の液体吐出方法。 - 前記キャビティの容積を変化させることにより液体に圧力を発生させ、前記吐出口に前記液体の吐出方向に凸状のメニスカスを形成する圧力発生手段を使用して液体を吐出させることを特徴とする請求の範囲第8項又は請求の範囲第9項記載の液体吐出方法。
- 前記ノズルプレートの体積抵抗率は1015Ωm以上であることを特徴とする請求の範囲第8項〜請求の範囲第10項のいずれか一項に記載の液体吐出方法。
- 前記吐出口の開口径は15μm未満であることを特徴とする請求の範囲第8項〜請求の範囲第11項のいずれか一項に記載の液体吐出方法。
- 前記液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドに対向する対向電極とを備え、前記液体吐出ヘッドと前記対向電極との間に生じる前記静電吸引力により液体を吐出させることを特徴とする請求の範囲第8項〜請求の範囲第12項のいずれか一項に記載の液体吐出方法。
- 請求の範囲第8項に記載の液体吐出方法であって、前記液体吐出ヘッドに対向する対向電極をさらに備え、前記分極回復動作時には前記液体吐出ヘッド及び前記対向電極の位置を調整して双方の離間距離を小さくするように制御することを特徴とする液体吐出方法。
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