JP4915563B2 - 窒化ガリウム系単結晶の育成方法およびそれにより得られる窒化ガリウム系単結晶 - Google Patents
窒化ガリウム系単結晶の育成方法およびそれにより得られる窒化ガリウム系単結晶 Download PDFInfo
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Jpn. J. Appl. Phys 42(2003) L729 J. Cryst Growth 222, 431(2001) Japanese Journal of Applied Physics Vol.44 No.52 L1570-L1572 J. Cryst Growth 284(2005) 91-99
2 グローブボックス
3 電気炉
4,5,6 配管
7 計器
8,9,10 ストップバルブ
11 SUSチューブ
12 真空ポンプ
13 ガスボンベ
14 継手
21 坩堝
Claims (8)
- アルカリ金属にガリウムを含む融液と窒素を含む原料ガスとを高温高圧で反応させて窒化ガリウム系単結晶を育成する方法において、
前記アルカリ金属としてナトリウムを選択し、前記ナトリウムに対して、ストロンチウム材料を、金属ストロンチウム換算で0.007〜2.3mol%添加することを特徴とする窒化ガリウム系単結晶の育成方法。 - アルカリ金属にガリウムを含む融液と窒素を含む原料ガスとを高温高圧で反応させて窒化ガリウム系単結晶を育成する方法において、
前記アルカリ金属としてナトリウムを選択し、前記ナトリウムに対して、窒化ストロンチウムを、金属ストロンチウム換算で0.007〜2.3mol%添加することを特徴とする窒化ガリウム系単結晶の育成方法。 - 育成温度は、500〜1000℃、育成圧力は、30〜65atmであることを特徴とする請求項1または2記載の窒化ガリウム系単結晶の育成方法。
- 前記育成温度は、850〜870℃、育成圧力は、35〜45atmであることを特徴とする請求項3記載の窒化ガリウム系単結晶の育成方法。
- 種結晶として窒化ガリウム系単結晶を用い、そのa面またはm面を成長に利用することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の窒化ガリウム系単結晶の育成方法。
- 出発アルカリ金属およびガリウム材料ならびにストロンチウム材料を収容し、前記融液に溶解する坩堝は、アルミナ、イットリア、モリブデン、タングステンまたはタンタルを含む材料から成ることを特徴とする請求項5記載の窒化ガリウム系単結晶の育成方法。
- 前記アルカリ金属およびストロンチウム材料を秤量する雰囲気は、酸素濃度20ppm以下、水分値10ppm以下であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の窒化ガリウム系単結晶の育成方法。
- 前記請求項1〜7のいずれか1項に記載の窒化ガリウム系単結晶の育成方法により得られることを特徴とする窒化ガリウム系単結晶。
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