JP2022036135A - GaN結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】GaN種結晶上にGaN結晶を化学気相成長させる工程において、1100℃以上の成長温度を用いたときでも、歩留りが低下することのないGaN結晶製造方法を提供すること。【解決手段】GaN結晶製造方法は、金属GaとCl2の反応により気体塩化ガリウムを生成させ、該気体塩化ガリウムを不活性ガスからなるキャリアガスを用いてGaN種結晶上に供給するとともにNH3と反応させ、1100℃以上の成長温度で該GaN種結晶上にGaN結晶を成長させる気相成長工程を含む。【選択図】図2
Description
特許法第30条第2項適用申請有り Applied Physics Expredd 9,105501(2016) 発行日 平成28年9月12日(オンライン) 発行者名 日本応用物理学会 International Workshop on Nitride Semiconductor(IWN2016) 開催日 平成28年10月3日
本発明は、主としてGaN(窒化ガリウム)結晶の製造方法に関する。
GaN結晶の化学気相成長法の中でも、特にバルクGaN結晶の製造に適した方法として、HVPE(Halide Vapor Phase Epitaxy)が知られている(特許文献1)。
HVPEでは、従来、金属GaとHCl(塩化水素)を反応させて得られるGaCl(一塩化ガリウム)を気相Ga原料に用いるのが一般的であった。GaClの生成に金属GaとCl2(塩素ガス)の反応を利用する試みの報告例は、皆無ではないが少数である(非特許文献1、非特許文献2)。
HVPEの変形法として開発されたTHVPE(Tri-Halide Vapor Phase Epitaxy)では、気相Ga原料としてGaCl3(三塩化ガリウム)が用いられる(特許文献2、非特許文献3)。
HVPEでは、従来、金属GaとHCl(塩化水素)を反応させて得られるGaCl(一塩化ガリウム)を気相Ga原料に用いるのが一般的であった。GaClの生成に金属GaとCl2(塩素ガス)の反応を利用する試みの報告例は、皆無ではないが少数である(非特許文献1、非特許文献2)。
HVPEの変形法として開発されたTHVPE(Tri-Halide Vapor Phase Epitaxy)では、気相Ga原料としてGaCl3(三塩化ガリウム)が用いられる(特許文献2、非特許文献3)。
T. Bohnen, G. W.G. van Dreumel, J. L. Weyher, W. J.P. van Enckevort, H. Ashraf, A. E.F. de Jong, P. R. Hageman, E. Vlieg, The nucleation of HCl and Cl2-based HVPE GaN on mis-oriented sapphire substrates, Phys. Status Solidi C 7, 1749-1755 (2010)
T. Bohnen, H. Ashraf, G. W.G. van Dreumel, S. Verhagen, J. L. Weyher, P. R. Hageman, E. Vlieg, Enhanced growth rates and reduced parasitic deposition by the substitution of Cl2 for HCl in GaN HVPE, J. Cryst. Growth 312, 2542-2550 (2010)
T. Yamane, K. Hanaoka, H. Murakami, Y. Kumagai, A. Koukitu, Tri-halide vapor phase epitaxy of GaN using GaCl3gas as a group III precursor, Phys. Status Solidi C 8, 1471-1474 (2011)
化学気相成長法を用いたGaN結晶の製造において、より高い成長温度を使用することは、得られるGaN結晶の高品質化にとって本質的に好ましいであろうと思われる。しかし、本発明者等が知る限りにおいて、HVPEによる温度1100℃以上でのGaN結晶成長を詳しく検討した報告例は無い。恐らく、このような高温の使用は、HVPEで一般的に用いられる石英製のホットウォール型反応炉の劣化を速めるからであろう。
特に、非極性または半極性GaN表面上やGaN(000-1)面上のHVPEによる高温GaN成長は、種結晶の入手が困難という事情も加わるため、詳しい検討は殆どなされていない。
特に、非極性または半極性GaN表面上やGaN(000-1)面上のHVPEによる高温GaN成長は、種結晶の入手が困難という事情も加わるため、詳しい検討は殆どなされていない。
かかる状況の下、本発明者等はHVPEおよびTHVPEによる1100℃以上の温度でのGaN結晶成長について検討を行い、それにより得た知見に基づき本発明を完成させた。
本発明には様々な目的があるが、そのひとつは、GaN種結晶上にGaN結晶を化学気相成長させる工程において、1100℃以上の成長温度を用いたときでも、歩留りが低下することのないGaN結晶製造方法を提供することである。
また、本発明の目的には、より大きなサイズのGaN結晶を製造するのに適した、化学気相成長法を用いるGaN結晶製造方法を提供することが含まれる。
本発明には様々な目的があるが、そのひとつは、GaN種結晶上にGaN結晶を化学気相成長させる工程において、1100℃以上の成長温度を用いたときでも、歩留りが低下することのないGaN結晶製造方法を提供することである。
また、本発明の目的には、より大きなサイズのGaN結晶を製造するのに適した、化学気相成長法を用いるGaN結晶製造方法を提供することが含まれる。
本発明の実施形態には以下が含まれる。
(1)金属GaとCl2の反応により気体塩化ガリウムを生成させ、該気体塩化ガリウムを不活性ガスからなるキャリアガスを用いてGaN種結晶上に供給するとともにNH3と反応させ、1100℃以上の成長温度で該GaN種結晶上にGaN結晶を成長させる気相成長工程を含む、GaN結晶製造方法。
(2)前記成長温度が1150℃以上である、前記(1)に記載のGaN結晶製造方法。(3)前記成長温度が1200℃以上である、前記(2)に記載のGaN結晶製造方法。(4)前記成長温度が1250℃以上である、前記(3)に記載のGaN結晶製造方法。(5)前記不活性ガスがN2を含む、前記(1)~(4)のいずれかに記載のGaN結晶製造方法。
(6)前記気体塩化ガリウムの主成分がGaClである、前記(1)~(5)のいずれかに記載のGaN結晶製造方法。
(7)前記GaN種結晶が所定面方位を有するGaN表面を有しており、前記気相成長工程においては少なくとも該GaN表面上にGaNを成長させる、前記(1)~(6)のいずれかに記載のGaN結晶製造方法。
(8)前記気相成長工程における、前記所定面方位を有するGaN表面上でのGaN結晶成長レートが5μm/h以上である、前記(7)に記載のGaN結晶製造方法。
(9)前記所定面方位を有するGaN表面の法線の方向が、前記GaN種結晶の[0001]方向と0°以上かつ85°未満の角度を成す、前記(7)または(8)に記載のGaN結晶製造方法。
(10)前記所定面方位を有するGaN表面の法線の方向が、前記GaN種結晶の[0001]方向と10°以上かつ180°以下の角度を成す、前記(7)または(8)に記載のGaN結晶製造方法。
(11)前記所定面方位を有するGaN表面の法線の方向が、前記GaN種結晶の[0001]方向と170°以下の角度を成す、前記(10)に記載のGaN結晶製造方法。
(12)前記所定面方位を有するGaN表面の法線の方向が前記GaN種結晶の[0001]方向と成す角度が60°以上かつ70°未満、70°以上かつ85°未満、85°以上かつ95°以下、95°超かつ110°以下、または、110°超かつ120°以下である、前記(7)または(8)に記載のGaN結晶製造方法。
(13)前記所定面方位を有するGaN表面と前記GaN種結晶のC面との交線の方向が、a軸方向±15°である、前記(11)または(12)に記載のGaN結晶製造方法。(14)前記交線の方向が、a軸方向±3°である、前記(13)に記載のGaN結晶製造方法。
(15)前記所定面方位を有するGaN表面の法線と平行または最も平行に近い前記GaN種結晶の低指数方位が<10-11>、<30-32>、<20-21>、<30-31>、<10-10>、<30-3-1>、<20-2-1>、<30-3-2>または<10-1-1>である、前記(13)または(14)に記載のGaN結晶製造方法。
(16)前記所定面方位を有するGaN表面が、GaN基板の主表面である、前記(7)~(15)のいずれかに記載のGaN結晶製造方法。
(17)前記気相成長工程の前に、前記所定面方位を有するGaN表面に SAGを発生させるためのパターンマスクを配置する工程を有する、前記(16)に記載のGaN結晶製造方法。
(18)前記パターンマスクがアモルファス無機薄膜を含む、前記(17)に記載のGaN結晶製造方法。
(19)前記アモルファス無機薄膜がケイ素化合物を含む、前記(18)に記載のGaN結晶製造方法。
(20)前記アモルファス無機薄膜がSiNxを含む、前記(19)に記載のGaN結晶製造方法。
(21)前記パターンマスクが複数のドット形開口を有する、前記(17)~(20)のいずれかに記載のGaN結晶製造方法。
(1)金属GaとCl2の反応により気体塩化ガリウムを生成させ、該気体塩化ガリウムを不活性ガスからなるキャリアガスを用いてGaN種結晶上に供給するとともにNH3と反応させ、1100℃以上の成長温度で該GaN種結晶上にGaN結晶を成長させる気相成長工程を含む、GaN結晶製造方法。
(2)前記成長温度が1150℃以上である、前記(1)に記載のGaN結晶製造方法。(3)前記成長温度が1200℃以上である、前記(2)に記載のGaN結晶製造方法。(4)前記成長温度が1250℃以上である、前記(3)に記載のGaN結晶製造方法。(5)前記不活性ガスがN2を含む、前記(1)~(4)のいずれかに記載のGaN結晶製造方法。
(6)前記気体塩化ガリウムの主成分がGaClである、前記(1)~(5)のいずれかに記載のGaN結晶製造方法。
(7)前記GaN種結晶が所定面方位を有するGaN表面を有しており、前記気相成長工程においては少なくとも該GaN表面上にGaNを成長させる、前記(1)~(6)のいずれかに記載のGaN結晶製造方法。
(8)前記気相成長工程における、前記所定面方位を有するGaN表面上でのGaN結晶成長レートが5μm/h以上である、前記(7)に記載のGaN結晶製造方法。
(9)前記所定面方位を有するGaN表面の法線の方向が、前記GaN種結晶の[0001]方向と0°以上かつ85°未満の角度を成す、前記(7)または(8)に記載のGaN結晶製造方法。
(10)前記所定面方位を有するGaN表面の法線の方向が、前記GaN種結晶の[0001]方向と10°以上かつ180°以下の角度を成す、前記(7)または(8)に記載のGaN結晶製造方法。
(11)前記所定面方位を有するGaN表面の法線の方向が、前記GaN種結晶の[0001]方向と170°以下の角度を成す、前記(10)に記載のGaN結晶製造方法。
(12)前記所定面方位を有するGaN表面の法線の方向が前記GaN種結晶の[0001]方向と成す角度が60°以上かつ70°未満、70°以上かつ85°未満、85°以上かつ95°以下、95°超かつ110°以下、または、110°超かつ120°以下である、前記(7)または(8)に記載のGaN結晶製造方法。
(13)前記所定面方位を有するGaN表面と前記GaN種結晶のC面との交線の方向が、a軸方向±15°である、前記(11)または(12)に記載のGaN結晶製造方法。(14)前記交線の方向が、a軸方向±3°である、前記(13)に記載のGaN結晶製造方法。
(15)前記所定面方位を有するGaN表面の法線と平行または最も平行に近い前記GaN種結晶の低指数方位が<10-11>、<30-32>、<20-21>、<30-31>、<10-10>、<30-3-1>、<20-2-1>、<30-3-2>または<10-1-1>である、前記(13)または(14)に記載のGaN結晶製造方法。
(16)前記所定面方位を有するGaN表面が、GaN基板の主表面である、前記(7)~(15)のいずれかに記載のGaN結晶製造方法。
(17)前記気相成長工程の前に、前記所定面方位を有するGaN表面に SAGを発生させるためのパターンマスクを配置する工程を有する、前記(16)に記載のGaN結晶製造方法。
(18)前記パターンマスクがアモルファス無機薄膜を含む、前記(17)に記載のGaN結晶製造方法。
(19)前記アモルファス無機薄膜がケイ素化合物を含む、前記(18)に記載のGaN結晶製造方法。
(20)前記アモルファス無機薄膜がSiNxを含む、前記(19)に記載のGaN結晶製造方法。
(21)前記パターンマスクが複数のドット形開口を有する、前記(17)~(20)のいずれかに記載のGaN結晶製造方法。
(22)金属GaとCl2の反応により気体塩化ガリウムを生成させ、該気体塩化ガリウムを不活性ガスからなるキャリアガスを用いてGaN種結晶上に供給するとともにNH3と反応させ、成長するに従ってC面に平行な方向のサイズが拡大するように、GaN結晶を[000-1]方向に成長させる気相成長工程を含む、GaN結晶製造方法。
(23)前記気相成長工程では、前記GaN結晶を1230℃以上の成長温度で成長させる、前記(22)に記載のGaN結晶製造方法。
(24)前記不活性ガスがN2を含む、前記(22)または(23)に記載のGaN結晶製造方法。
(25)前記気体塩化ガリウムの主成分がGaClである、前記(22)~(24)のいずれかに記載のGaN結晶製造方法。
(26)前記GaN種結晶は、法線の方向が前記GaN種結晶の[0001]方向と175°以上かつ180°以下の角度を成すGaN表面を有しており、前記気相成長工程では少なくとも該GaN表面上にGaN結晶を成長させる、前記(22)~(25)のいずれかに記載のGaN結晶製造方法。
(23)前記気相成長工程では、前記GaN結晶を1230℃以上の成長温度で成長させる、前記(22)に記載のGaN結晶製造方法。
(24)前記不活性ガスがN2を含む、前記(22)または(23)に記載のGaN結晶製造方法。
(25)前記気体塩化ガリウムの主成分がGaClである、前記(22)~(24)のいずれかに記載のGaN結晶製造方法。
(26)前記GaN種結晶は、法線の方向が前記GaN種結晶の[0001]方向と175°以上かつ180°以下の角度を成すGaN表面を有しており、前記気相成長工程では少なくとも該GaN表面上にGaN結晶を成長させる、前記(22)~(25)のいずれかに記載のGaN結晶製造方法。
本発明の一実施形態によれば、GaN種結晶上にGaN結晶を化学気相成長させる工程において、1100℃以上の成長温度を用いたときでも、歩留りが低下することのないGaN結晶製造方法が提供される。
本発明の他の一実施形態によれば、より大きなサイズのGaN結晶を製造するのに適した、化学気相成長法を用いるGaN結晶製造方法が提供される。
本発明の他の一実施形態によれば、より大きなサイズのGaN結晶を製造するのに適した、化学気相成長法を用いるGaN結晶製造方法が提供される。
GaNは、六方晶系に属するウルツ鉱型の結晶構造を備える。GaNでは、[0001]および[000-1]に平行な結晶軸がc軸、<10-10>に平行な結晶軸がm軸、<11-20>に平行な結晶軸がa軸と呼ばれる。c軸に直交する結晶面はC面(C-plane)、m軸に直交する結晶面はM面(M-plane)、a軸に直交する結晶面はA面(A-plane)と呼ばれる。
c軸に直交するGaN表面には、(0001)表面(ガリウム極性表面)と(000-1)表面(窒素極性表面)とがある。これらの表面は極性表面とも呼ばれる。
c軸に平行なGaN表面、すなわち{10-10}表面や{11-20}表面のようにミラー指数{hkil}のlが0(ゼロ)であるGaN表面は、非極性表面と呼ばれる。
極性表面でも非極性表面でもないGaN結晶表面は、半極性表面と呼ばれる。
本明細書において、結晶軸、結晶表面、結晶方位等に言及する場合には、特に断らない限り、GaNの結晶軸、結晶表面、結晶方位等を意味するものとする。
c軸に直交するGaN表面には、(0001)表面(ガリウム極性表面)と(000-1)表面(窒素極性表面)とがある。これらの表面は極性表面とも呼ばれる。
c軸に平行なGaN表面、すなわち{10-10}表面や{11-20}表面のようにミラー指数{hkil}のlが0(ゼロ)であるGaN表面は、非極性表面と呼ばれる。
極性表面でも非極性表面でもないGaN結晶表面は、半極性表面と呼ばれる。
本明細書において、結晶軸、結晶表面、結晶方位等に言及する場合には、特に断らない限り、GaNの結晶軸、結晶表面、結晶方位等を意味するものとする。
1.GaN結晶の製造方法
実施形態に係るGaN結晶製造方法は、金属GaとCl2の反応により気体塩化ガリウムを生成させ、該気体塩化ガリウムを不活性ガスからなるキャリアガスを用いてGaN種結晶上に供給するとともにNH3と反応させ、該GaN種結晶上にGaN結晶を成長させる気相成長工程を含む。
実施形態に係るGaN結晶製造方法は、上記の気相成長工程に加え、更に他の工程を有していてもよい。
以下、図面を参照しながらより詳細に説明する。
実施形態に係るGaN結晶製造方法は、金属GaとCl2の反応により気体塩化ガリウムを生成させ、該気体塩化ガリウムを不活性ガスからなるキャリアガスを用いてGaN種結晶上に供給するとともにNH3と反応させ、該GaN種結晶上にGaN結晶を成長させる気相成長工程を含む。
実施形態に係るGaN結晶製造方法は、上記の気相成長工程に加え、更に他の工程を有していてもよい。
以下、図面を参照しながらより詳細に説明する。
1.1.GaN種結晶
[1]GaN基板
実施形態に係るGaN結晶製造方法では、GaN種結晶を用いる。該GaN種結晶は、GaN基板またはGaN基板の一部であり得る。
図1は、実施形態に係るGaN結晶製造方法で種結晶として用い得るGaN基板の一例を示す斜視図である。図1を参照すると、GaN基板10は一方側の主表面である第一主表面11と、反対側の主表面である第二主表面12とを有している。第一主表面と第二主表面は、側面13を介してつながっている。
[1]GaN基板
実施形態に係るGaN結晶製造方法では、GaN種結晶を用いる。該GaN種結晶は、GaN基板またはGaN基板の一部であり得る。
図1は、実施形態に係るGaN結晶製造方法で種結晶として用い得るGaN基板の一例を示す斜視図である。図1を参照すると、GaN基板10は一方側の主表面である第一主表面11と、反対側の主表面である第二主表面12とを有している。第一主表面と第二主表面は、側面13を介してつながっている。
GaN基板10の第一主表面11および第二主表面12は矩形であるが、限定されるものではなく、円形、六角形、その他任意の形状であり得る。第一主表面11と第二主表面12は、通常、互いに平行である。
第一主表面11の面積は、通常1cm2以上であり、好ましくは2cm2以上、より好ましくは4cm2以上、より好ましくは10cm2以上である。第一主表面11の面積は10cm2以上かつ40cm2未満、40cm2以上かつ60cm2未満、60cm2以
上かつ120cm2未満、120cm2以上かつ180cm2未満、または180cm2以上であり得る。
GaN基板10の厚さtは、通常200μm以上、好ましくは250μm以上、より好ましくは300μm以上であり、第一主表面11の面積に応じて更に厚くすることもできる。
第一主表面11の面積は、通常1cm2以上であり、好ましくは2cm2以上、より好ましくは4cm2以上、より好ましくは10cm2以上である。第一主表面11の面積は10cm2以上かつ40cm2未満、40cm2以上かつ60cm2未満、60cm2以
上かつ120cm2未満、120cm2以上かつ180cm2未満、または180cm2以上であり得る。
GaN基板10の厚さtは、通常200μm以上、好ましくは250μm以上、より好ましくは300μm以上であり、第一主表面11の面積に応じて更に厚くすることもできる。
GaN基板10の、少なくとも第一主表面11を含む部分は、GaN単結晶で構成されている。つまり、第一主表面11は、GaN単結晶の表面である。
図2は、GaN基板10の、第一主表面11を含む部分を構成するGaN単結晶1を、該GaN単結晶1のC面と該第一主表面との交線に平行な方向から見たところを示している。第一主表面11はGaN単結晶1の表面である。図2において、GaN単結晶1のC面と第一主表面11との交線は紙面に垂直である。
第一主表面11の法線の方向Dnは、GaN単結晶1の[0001]方向と角度θを成している。該角度θは、0°から180°までの任意の値であり得る。
一例において、該角度θは、85°未満であり得る。
一例において、該角度θは、10°以上であり得る。
一例において、該角度θは、170°以下であり得る。
一例において、該角度θは、60°以上かつ70°未満、70°以上かつ85°未満、85°以上かつ95°以下、95°超かつ110°以下、または、110°超かつ120°以下であり得る。
図2は、GaN基板10の、第一主表面11を含む部分を構成するGaN単結晶1を、該GaN単結晶1のC面と該第一主表面との交線に平行な方向から見たところを示している。第一主表面11はGaN単結晶1の表面である。図2において、GaN単結晶1のC面と第一主表面11との交線は紙面に垂直である。
第一主表面11の法線の方向Dnは、GaN単結晶1の[0001]方向と角度θを成している。該角度θは、0°から180°までの任意の値であり得る。
一例において、該角度θは、85°未満であり得る。
一例において、該角度θは、10°以上であり得る。
一例において、該角度θは、170°以下であり得る。
一例において、該角度θは、60°以上かつ70°未満、70°以上かつ85°未満、85°以上かつ95°以下、95°超かつ110°以下、または、110°超かつ120°以下であり得る。
第一主表面11の法線の方向DnとGaN単結晶1の[0001]方向とは、GaN単結晶1のC面と第一主表面11との交線を回転軸として前者を回転させると、後者と重なり合う関係にある。
該交線の方向は、限定するものではないが、好ましくはa軸方向±15°であり、より好ましくはa軸方向±5°、より好ましくはa軸方向±3°、より好ましくはa軸方向±2°、より好ましくはa軸方向±1°である。
該交線の方向は、限定するものではないが、好ましくはa軸方向±15°であり、より好ましくはa軸方向±5°、より好ましくはa軸方向±3°、より好ましくはa軸方向±2°、より好ましくはa軸方向±1°である。
好適例において、第一主表面11の法線の方向Dnと平行または最も平行に近いGaN単結晶1の低指数方位は、<10-11>、<30-32>、<20-21>、<30-31>、<10-10>、<30-3-1>、<20-2-1>、<30-3-2>または<10-1-1>であり得る。
ここでは、ミラー指数<hkil>における整数h、k、iおよびlの絶対値がいずれも3以下である結晶方位を、低指数方位というものとする。
ここでは、ミラー指数<hkil>における整数h、k、iおよびlの絶対値がいずれも3以下である結晶方位を、低指数方位というものとする。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<20-23>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は51.4°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<10-11>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は62°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<30-32>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は70.5°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<20-21>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は75.1°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<30-31>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は79.9°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<10-11>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は62°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<30-32>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は70.5°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<20-21>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は75.1°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<30-31>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は79.9°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<10-10>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は90°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<30-3-1>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は100.1°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<20-2-1>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は104.9°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<30-3-2>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は109.5°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<10-1-1>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は118°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<20-2-3>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は128.6°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<11-20>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は90°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はm軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<30-3-1>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は100.1°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<20-2-1>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は104.9°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<30-3-2>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は109.5°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<10-1-1>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は118°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<20-2-3>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は128.6°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はa軸方向である。
第一主表面11の法線の方向がGaN単結晶1の<11-20>に平行なとき、該法線の方向とGaN単結晶1の[0001]方向とが成す角度は90°であり、第一主表面11とGaN単結晶1のC面との交線の方向はm軸方向である。
GaN基板10は、好ましくは、GaN単結晶基板である。
HVPE法、フラックス法、昇華法等、様々な方法で成長させたバルクGaN単結晶を、任意の方向にスライスすることにより、様々な面方位を有するGaN単結晶基板を作製し得ることが知られている。例えば国際公開第2008/059875号には、互いに隣接させて配置した複数の矩形基板上に成長させたバルクGaN結晶から切り出した、大面積の非極性または半極性GaN単結晶基板が開示されている。
HVPE法、フラックス法、昇華法等、様々な方法で成長させたバルクGaN単結晶を、任意の方向にスライスすることにより、様々な面方位を有するGaN単結晶基板を作製し得ることが知られている。例えば国際公開第2008/059875号には、互いに隣接させて配置した複数の矩形基板上に成長させたバルクGaN結晶から切り出した、大面積の非極性または半極性GaN単結晶基板が開示されている。
GaN基板10は、ベース基板と該ベース基板上にエピタキシャル成長したGaN単結晶層とから構成されるテンプレート基板であってもよい。その場合、第一主表面11に該当するのは該GaN単結晶層の表面である。
ベース基板は、典型的には、サファイア基板、スピネル基板、AlN基板、SiC基板、Si基板等のような、GaNとは組成の異なる材料からなる単結晶基板(ヘテロ基板)である。エピタキシャル成長の方法は、MOVPE法やHVPE法のような気相成長方法でもよいし、フラックス法でもよい。
ベース基板は、典型的には、サファイア基板、スピネル基板、AlN基板、SiC基板、Si基板等のような、GaNとは組成の異なる材料からなる単結晶基板(ヘテロ基板)である。エピタキシャル成長の方法は、MOVPE法やHVPE法のような気相成長方法でもよいし、フラックス法でもよい。
GaN基板10は、ベース基板と該ベース基板に接合されたGaN単結晶層とから構成されるGaN層接合基板であってもよい。その場合、第一主表面11に該当するのは該GaN単結晶層の表面である。
GaN層接合基板は、ベース基板にバルクGaN単結晶を接合させた後に、GaN単結晶層がベース基板側に残るように該バルクGaN単結晶を切断する方法で形成される。ベース基板は各種の単結晶基板であり得る他、金属基板、セラミック基板、多結晶GaN基板等であってもよい。
GaN層接合基板は、ベース基板にバルクGaN単結晶を接合させた後に、GaN単結晶層がベース基板側に残るように該バルクGaN単結晶を切断する方法で形成される。ベース基板は各種の単結晶基板であり得る他、金属基板、セラミック基板、多結晶GaN基板等であってもよい。
好ましくは、GaN基板10の第一主表面11は、機械研磨(グラインディング、ラッピング等)により平坦化された後、該機械研磨により導入された結晶欠陥を除去するために、ドライエッチングおよび/またはCMP(化学的機械的ポリシング)を含む仕上げ加工を施された表面である。
一例において、GaN基板10の第一主表面11は、アズグロンGaN表面であり得る。
一例において、GaN基板10の第一主表面11は、アズグロンGaN表面であり得る。
一例において、GaN基板10の第一主表面11上には、SAG(Selective Area Growth)を発生させるためのパターンマスクを配置することができる。パターンマスクの材料は、例えば、SiNxである。SiNx薄膜上では、気体塩化ガリウムとNH3からのGaNの気相成長が阻害される。他の材料からなるアモルファス無機薄膜、例えば酸化ケイ素や酸窒化ケイ素の薄膜も、パターンマスクの材料として使用できる可能性がある。
パターンマスクには、円形や正多角形のようなドット形の開口を設けることができる。ドット形開口は、例えば、最密配置することができる。最密配置では、各開口が、正三角形格子の格子位置(正三角形の頂点)に配置される。
パターンマスクには線状の開口を設けることもできる。よって、パターンマスクはストライプマスクであってもよい。
パターンマスクには、円形や正多角形のようなドット形の開口を設けることができる。ドット形開口は、例えば、最密配置することができる。最密配置では、各開口が、正三角形格子の格子位置(正三角形の頂点)に配置される。
パターンマスクには線状の開口を設けることもできる。よって、パターンマスクはストライプマスクであってもよい。
[2]三次元形状のGaN種結晶
実施形態に係るGaN結晶製造方法で用いるGaN種結晶は、三次元形状を有するGaN結晶であってもよい。三次元形状のGaN種結晶では、そのc軸方向のサイズと、c軸に直交する任意方向のサイズとの比率が、好ましくは、0.1以上かつ10以下である。該比率は、0.2以上、更には0.3以上であってもよく、また、5以下、更には3以下であってもよい。
実施形態に係るGaN結晶製造方法で用い得る三次元形状のGaN種結晶の形状例を図3~8に示す。
実施形態に係るGaN結晶製造方法で用いるGaN種結晶は、三次元形状を有するGaN結晶であってもよい。三次元形状のGaN種結晶では、そのc軸方向のサイズと、c軸に直交する任意方向のサイズとの比率が、好ましくは、0.1以上かつ10以下である。該比率は、0.2以上、更には0.3以上であってもよく、また、5以下、更には3以下であってもよい。
実施形態に係るGaN結晶製造方法で用い得る三次元形状のGaN種結晶の形状例を図3~8に示す。
図3に示すGaN種結晶は、{10-10}ファセットを側面とする六角柱部分と、{10-1-1}ファセットを側面とする第一の六角錐部分と、{10-11}ファセットを側面とする第二の六角錐部分とを有している。該第一の六角錐部分は該六角柱部分の[000-1]側に、該第二の六角錐部分は該六角柱部分の[0001]側に、それぞれ配置されている。
図3に示すGaN種結晶は、Naフラックス法、アモノサーマル法等の液相成長法により製造することができる。
図3に示すGaN種結晶は、Naフラックス法、アモノサーマル法等の液相成長法により製造することができる。
図4に示すGaN種結晶は、{10-10}ファセットを側面とする六角柱部分と、その[000-1]側に配置された、{10-1-1}ファセットを側面とする六角錐部分とを有している。六角柱部分の[0001]側は、(0001)表面で終端している。
図4に示すGaN種結晶は、例えば、図3に示すGaN種結晶から、第二の六角錐部分を切断または研磨によって除去することにより製造することができる。
図4に示すGaN種結晶は、例えば、図3に示すGaN種結晶から、第二の六角錐部分を切断または研磨によって除去することにより製造することができる。
図5に示すGaN種結晶は、{10-10}ファセットを側面とする六角柱部分と、その[0001]側に配置された、{10-11}ファセットを側面とする六角錐部分とを有している。六角柱部分の[000-1]側は、(000-1)表面で終端している。
図5に示すGaN種結晶は、例えば、図3に示すGaN種結晶から、第一の六角錐部分を切断または研磨によって除去することにより製造することができる。
図5に示すGaN種結晶は、例えば、図3に示すGaN種結晶から、第一の六角錐部分を切断または研磨によって除去することにより製造することができる。
図6は、GaN種結晶の、更に他の一例を示す斜視図である。
図6に示すGaN種結晶は、{10-10}ファセットを側面とする六角柱部分と、その[000-1]側に配置された、(000-1)ファセットを頂面とし{10-1-1}ファセットを側面とする六角錐台部分とを有している。六角柱部分の[0001]側は、(0001)表面で終端している。
図6に示すGaN種結晶は、例えば特開2013-212978号公報に開示された結晶成長方法を用いて製造することができる。
図6に示すGaN種結晶は、{10-10}ファセットを側面とする六角柱部分と、その[000-1]側に配置された、(000-1)ファセットを頂面とし{10-1-1}ファセットを側面とする六角錐台部分とを有している。六角柱部分の[0001]側は、(0001)表面で終端している。
図6に示すGaN種結晶は、例えば特開2013-212978号公報に開示された結晶成長方法を用いて製造することができる。
図7に示すGaN種結晶は、(000-1)ファセットを頂面、(0001)ファセットを底面、{10-1-1}ファセットを側面とする、六角錐台形状を有している。
図7に示すGaN種結晶は、例えば特開2013-212978号公報に開示された結晶成長方法を用いて製造することができる。
図7に示すGaN種結晶は、例えば特開2013-212978号公報に開示された結晶成長方法を用いて製造することができる。
図8は、特開2013-212978号公報に開示された結晶成長方法を用いて製造することができるGaN種結晶を示しており、図8(a)は斜視図、図8(b)は当該結晶の長手方向に直交する平面で切断したときの断面図である。
図3~図8に例示する各GaN種結晶において、(0001)ファセット、(000-1)ファセット、{10-10}ファセットおよび{10-1-1}ファセットはアズグロン表面であり得る。あるいは、これらのファセットは、エッチングされた表面であってもよい。
1.2.気相成長装置
THVPEでは、GaCl3およびNH3からGaNを成長させるために、第一ゾーン、第二ゾーンおよび成長ゾーンを備える気相成長装置を好ましく用いることができる。第一ゾーンでは、Cl2と金属Gaが反応してGaClが生成する。第二ゾーンでは、第一ゾーンで生成したGaClがCl2と反応してGaCl3が生成する。成長ゾーンでは、GaCl3を含む気体塩化ガリウムとNH3とが反応し、生成するGaNがGaN種結晶上にエピタキシャル成長する。
THVPEでは、GaCl3およびNH3からGaNを成長させるために、第一ゾーン、第二ゾーンおよび成長ゾーンを備える気相成長装置を好ましく用いることができる。第一ゾーンでは、Cl2と金属Gaが反応してGaClが生成する。第二ゾーンでは、第一ゾーンで生成したGaClがCl2と反応してGaCl3が生成する。成長ゾーンでは、GaCl3を含む気体塩化ガリウムとNH3とが反応し、生成するGaNがGaN種結晶上にエピタキシャル成長する。
前述の第一ゾーン、第二ゾーンおよび成長ゾーンを有する気相成長装置の一例を図9に模式的に示す。
図9を参照すると、気相成長装置100は第一反応管110および第二反応管120を有している。第一ゾーンZ1および第二ゾーンZ2は第一反応管110内に設けられ、成長ゾーンZ3は第二反応管120内に設けられている。
第一反応管110および第二反応管120は、限定するものではないが、石英で形成することができる。
図9を参照すると、気相成長装置100は第一反応管110および第二反応管120を有している。第一ゾーンZ1および第二ゾーンZ2は第一反応管110内に設けられ、成長ゾーンZ3は第二反応管120内に設けられている。
第一反応管110および第二反応管120は、限定するものではないが、石英で形成することができる。
第一反応管110内の第一ゾーンZ1には、金属Gaが設置されている。金属Gaを入れる容器は、例えば石英ボートである。
第一反応管110は、第一ゾーンZ1の上流側に設けられた第一Cl2供給口111と、第一ゾーンZ1の下流側に設けられた第二Cl2供給口112を有している。 第二ゾーンZ2は、第二Cl2供給口112の位置から始まり、下流側に向かって延びている。
第一反応管110の外部には外部加熱手段(図示せず)が配置され、第一ゾーンZ1と第二ゾーンZ2は該外部加熱手段によりそれぞれ独立に加熱できるようになっている。外部加熱手段としては、抵抗ヒーター、誘導ヒーター、ランプヒーター等が例示される。
第一反応管110は、第一ゾーンZ1の上流側に設けられた第一Cl2供給口111と、第一ゾーンZ1の下流側に設けられた第二Cl2供給口112を有している。 第二ゾーンZ2は、第二Cl2供給口112の位置から始まり、下流側に向かって延びている。
第一反応管110の外部には外部加熱手段(図示せず)が配置され、第一ゾーンZ1と第二ゾーンZ2は該外部加熱手段によりそれぞれ独立に加熱できるようになっている。外部加熱手段としては、抵抗ヒーター、誘導ヒーター、ランプヒーター等が例示される。
第一ゾーンZ1では、第一Cl2供給口111から導入されるCl2が金属Gaと反応し、気体塩化ガリウムを生じる。該気体塩化ガリウムの主成分は、次の反応により生じるGaClである。
Ga(l)+1/2Cl2(g)→GaCl(g)
上記反応式において、(l)、(s)および(g)はそれぞれ物質が液体(liquid)、固体(solid)および気体(gas)であることを示す(以下においても同様とする)。
第二ゾーンZ2では、第二Cl2供給口112から導入されるCl2が、第一ゾーンZ1から輸送される気体塩化ガリウムと反応する。主要な反応は次のGaCl3生成反応である。
GaCl(g)+Cl2(g)→GaCl3(g)
Ga(l)+1/2Cl2(g)→GaCl(g)
上記反応式において、(l)、(s)および(g)はそれぞれ物質が液体(liquid)、固体(solid)および気体(gas)であることを示す(以下においても同様とする)。
第二ゾーンZ2では、第二Cl2供給口112から導入されるCl2が、第一ゾーンZ1から輸送される気体塩化ガリウムと反応する。主要な反応は次のGaCl3生成反応である。
GaCl(g)+Cl2(g)→GaCl3(g)
第一反応管110は下流側の末端にガス出口113を有している。第一反応管110の下流部分は第二反応管120の内部に挿入されており、第一反応管内で生成した塩化ガリウムはガス出口113を通して第二反応管120内に輸送される。
第二反応管120は、成長ゾーンZ3の上流側に設けられたNH3供給口121と、成長ゾーンZ3の下流側に設けられた排気口122とを有している。第一反応管110のガス出口113は、成長ゾーンZ3よりも上流側に位置している。
第二反応管120は、成長ゾーンZ3の上流側に設けられたNH3供給口121と、成長ゾーンZ3の下流側に設けられた排気口122とを有している。第一反応管110のガス出口113は、成長ゾーンZ3よりも上流側に位置している。
成長ゾーンZ3には、GaN種結晶を置くためのサセプタ130が設置される。サセプタ130は、例えばカーボンで形成される。
第二反応管120の外部には、サセプタ130上に設置されるGaN種結晶を該サセプタごと加熱するための外部加熱手段(図示せず)が配置される。外部加熱手段としては、抵抗ヒーター、誘導ヒーター、ランプヒーター等が例示される。一例では、外部加熱手段に代えて、または外部加熱手段に加えて、抵抗ヒーターをサセプタ130の内部に設けることができる。
成長ゾーンZ3において、GaCl3を含む気体塩化ガリウムとNH3が反応し、GaNが生成する。生成するGaNはGaN種結晶上にエピタキシャル成長する。
第二反応管120の外部には、サセプタ130上に設置されるGaN種結晶を該サセプタごと加熱するための外部加熱手段(図示せず)が配置される。外部加熱手段としては、抵抗ヒーター、誘導ヒーター、ランプヒーター等が例示される。一例では、外部加熱手段に代えて、または外部加熱手段に加えて、抵抗ヒーターをサセプタ130の内部に設けることができる。
成長ゾーンZ3において、GaCl3を含む気体塩化ガリウムとNH3が反応し、GaNが生成する。生成するGaNはGaN種結晶上にエピタキシャル成長する。
図9に示す気相成長装置と同じ基本構成を備えつつ、様々な変更が加えられた気相成長装置の一例を図10に示す。図10においては、図9に示す気相成長装置が備える構成と対応する構成に、同じ符号を付与している。
図9の装置では第一反応管110がL字管で、ガス出口113を含む下流部分のみが第二反応管120の内部に挿入されているのに対し、図10の装置では第一反応管110が直管で、その全体が第二反応管120の内部に設置されている。
図9の装置では第一反応管110がL字管で、ガス出口113を含む下流部分のみが第二反応管120の内部に挿入されているのに対し、図10の装置では第一反応管110が直管で、その全体が第二反応管120の内部に設置されている。
図10の装置が図9の装置と異なる点はそれだけではない。
例えば、図10の気相成長装置100では、第一反応管110内の第一ゾーンZ1と第二ゾーンZ2の間に、上流側から下流側に向かって流路の断面積を漸減させる漏斗形管114が設けられている。その目的は、下流側の流路抵抗を増加させることによって第一ゾーンZ1におけるCl2分圧を高め、同ゾーンにおけるGaClの生成効率を向上させることにある。
更に、図10の気相成長装置100では、第二ゾーンZ2内にバッフル115を設けることで、GaCl3の生成効率の改善を図っている。バッフルの設置によって流路長が延長され、GaClとCl2が第二ゾーン内に滞留する時間が長くなる他、ガス流が乱れることによりGaClとCl2の混合が促進される効果が期待できる。
例えば、図10の気相成長装置100では、第一反応管110内の第一ゾーンZ1と第二ゾーンZ2の間に、上流側から下流側に向かって流路の断面積を漸減させる漏斗形管114が設けられている。その目的は、下流側の流路抵抗を増加させることによって第一ゾーンZ1におけるCl2分圧を高め、同ゾーンにおけるGaClの生成効率を向上させることにある。
更に、図10の気相成長装置100では、第二ゾーンZ2内にバッフル115を設けることで、GaCl3の生成効率の改善を図っている。バッフルの設置によって流路長が延長され、GaClとCl2が第二ゾーン内に滞留する時間が長くなる他、ガス流が乱れることによりGaClとCl2の混合が促進される効果が期待できる。
好適例では、図9および図10に示すいずれの気相成長装置100においても、第一反応管110のガス出口113を二重管構造とし、内管から塩化ガリウムガス、外管からバリアガスが放出されるよう構成することができる。これは、ガス出口113から出る塩化ガリウムガス流をバリアガス流で包囲して、成長ゾーンZ3に到達する前に塩化ガリウムがNH3と反応することを防ぐためである。バリアガスには不活性ガスであるN2(窒素ガス)または希ガス(Ar等)を用いる。
その他、図9または図10の気相成長装置100において、第一反応管110および第二反応管120には、キャリアガス専用のガス供給口を適宜設けることができる。キャリアガスには不活性ガスであるN2(窒素ガス)または希ガス(Ar等)を用いる。
その他、図9または図10の気相成長装置100において、第一反応管110および第二反応管120には、キャリアガス専用のガス供給口を適宜設けることができる。キャリアガスには不活性ガスであるN2(窒素ガス)または希ガス(Ar等)を用いる。
図9に示す気相成長装置において、L字型の第一反応管110は、直線部分の一方が鉛直、他方が水平となるように配置してもよいし、あるいは、直線部分の両方が水平となるように配置してもよい。
図10に示す気相成長装置において、第一反応管110および第二反応管120の方向
は、鉛直と水平のいずれであってもよく、また、傾斜していてもよい。
図9または図10の気相成長装置において、サセプタ130を回転させる機構は適宜設けることができる。
図10に示す気相成長装置において、第一反応管110および第二反応管120の方向
は、鉛直と水平のいずれであってもよく、また、傾斜していてもよい。
図9または図10の気相成長装置において、サセプタ130を回転させる機構は適宜設けることができる。
以上、GaCl3およびNH3を原料に用いたTHVPEによるGaNの成長に好ましく用い得る気相成長装置の例を説明したが、同じ気相成長装置を用いてHVPEによるGaN結晶の成長を行うことが可能である。簡単にいえば、図9または図10に示す気相成長装置100を、第二ゾーンZ2へのCl2供給を行わない態様で使用すればよい。そうすれば、第一ゾーンZ1で金属GaとCl2が反応して生じる気体塩化ガリウム(主成分はGaCl)がそのまま成長ゾーンZ3に輸送され、NH3と反応することになる。
HVPEによるGaN結晶成長に使用し得る気相成長装置が、上記説明したものに限定されないことはいうまでもなく、例えば、図9または図10に示す装置から第二ゾーンZ2の形成に必要な構成を取り除いた気相成長装置を使用することも可能である。
HVPEによるGaN結晶成長に使用し得る気相成長装置が、上記説明したものに限定されないことはいうまでもなく、例えば、図9または図10に示す装置から第二ゾーンZ2の形成に必要な構成を取り除いた気相成長装置を使用することも可能である。
1.3.GaNの気相成長
THVPEによるGaN結晶の成長は、図9または図10に示す気相成長装置100を用い、次の手順によって行うことができる。
まず、第二反応管120内に配置されたサセプタ130上に、GaN種結晶をセットする。
第一反応管110の第一ゾーンZ1内には、金属ガリウムを入れた石英ボートを設置する。
THVPEによるGaN結晶の成長は、図9または図10に示す気相成長装置100を用い、次の手順によって行うことができる。
まず、第二反応管120内に配置されたサセプタ130上に、GaN種結晶をセットする。
第一反応管110の第一ゾーンZ1内には、金属ガリウムを入れた石英ボートを設置する。
次いで、第一反応管110内および第二反応管120内にキャリアガスを流し、これらの反応管内部の雰囲気をキャリアガス雰囲気とする。前述の通り、キャリアガスには不活性ガスであるN2または希ガスを用いる。バリアガスも、このタイミングで流し始めてよい。
キャリアガスは、Cl2供給口やNH3供給口を通して反応管内に導入できる他、反応管に適宜設けられる不活性ガス専用の供給口を通して反応管内に導入できる。
キャリアガスは、Cl2供給口やNH3供給口を通して反応管内に導入できる他、反応管に適宜設けられる不活性ガス専用の供給口を通して反応管内に導入できる。
更に、NH3供給口121を通して、第二反応管120内へのNH3供給を開始する。NH3は、必要な場合には、キャリアガスとともに第二反応管120内に導入する。
NH3の供給開始後、外部加熱手段(図示せず)を用いて、GaN種結晶を所定の成長温度に加熱する。
成長温度は、通常900℃以上であってよく、1100℃以上であってよく、1150℃以上であってよい。後述の実験結果が示すように、1200℃以上、1250℃以上、更には1300℃以上という成長温度でも、実用に足る成長レートでGaNを成長させることが可能である。
成長温度に特段の上限は無いが、反応管をはじめとする部品の熱劣化に起因して気相成長装置の不具合が発生することを防ぐために、成長温度は1500℃未満とすることが好ましく、1400℃未満とすることがより好ましい。
NH3の供給開始後、外部加熱手段(図示せず)を用いて、GaN種結晶を所定の成長温度に加熱する。
成長温度は、通常900℃以上であってよく、1100℃以上であってよく、1150℃以上であってよい。後述の実験結果が示すように、1200℃以上、1250℃以上、更には1300℃以上という成長温度でも、実用に足る成長レートでGaNを成長させることが可能である。
成長温度に特段の上限は無いが、反応管をはじめとする部品の熱劣化に起因して気相成長装置の不具合が発生することを防ぐために、成長温度は1500℃未満とすることが好ましく、1400℃未満とすることがより好ましい。
第二反応管120内の圧力(成長ゾーンの圧力)は、第二反応管の排気口122に接続した外部の排気手段(例えば、ファン)を用いて、例えば0.8~1.2atmの範囲内の一定の値となるように調整する。
第一反応管は、GaN種結晶が所定の成長温度に達する前に、外部加熱手段(図示せず)を用いて所定の温度となるように加熱しておく。
第一ゾーンZ1の温度を400℃以上とすることにより、該ゾーンで生成する塩化ガリウム種の殆どをGaClとすることができる(特許文献2の図5を参照)。
GaClの生成速度を高くする観点から、第一ゾーンZ1の温度は、好ましくは500
℃以上、より好ましくは700℃以上である。熱劣化による第一反応管の短寿命化を防ぐ観点から、第一ゾーンZ1の温度は好ましくは1000℃以下、より好ましくは900℃以下、より好ましくは850℃以下である。
第一ゾーンZ1の温度を400℃以上とすることにより、該ゾーンで生成する塩化ガリウム種の殆どをGaClとすることができる(特許文献2の図5を参照)。
GaClの生成速度を高くする観点から、第一ゾーンZ1の温度は、好ましくは500
℃以上、より好ましくは700℃以上である。熱劣化による第一反応管の短寿命化を防ぐ観点から、第一ゾーンZ1の温度は好ましくは1000℃以下、より好ましくは900℃以下、より好ましくは850℃以下である。
第二ゾーンZ2は、少なくとも、第一ゾーンZ1から供給されるGaClが反応管壁上に析出しない温度に加熱する。
第二ゾーンZ2の温度を200℃以上とすることにより、該ゾーンで生成する塩化ガリウム種の殆どをGaCl3とすることができる(特許文献2の図6を参照)。
第二ゾーンZ2の温度は200℃未満でもよく、なぜなら、生成する塩化ガリウム種の殆どがGaCl3または(GaCl3)2で表される三塩化ガリウムの二量体だからである。この二量体は、高温に加熱された成長ゾーンZ3ではGaCl3に変化する。
GaCl3の生成速度を高くする観点から、第二ゾーンZ2の温度は、好ましくは500℃以上、より好ましくは700℃以上である。熱劣化による第一反応管の短寿命化を防ぐ観点から、第二ゾーンZ2の温度は好ましくは1000℃以下、より好ましくは900℃以下、より好ましくは850℃以下である。
ガス流を安定化させる観点からは、第二ゾーンZ2の温度を第一ゾーンZ1の温度と同じとすることが好ましい。
第二ゾーンZ2の温度を200℃以上とすることにより、該ゾーンで生成する塩化ガリウム種の殆どをGaCl3とすることができる(特許文献2の図6を参照)。
第二ゾーンZ2の温度は200℃未満でもよく、なぜなら、生成する塩化ガリウム種の殆どがGaCl3または(GaCl3)2で表される三塩化ガリウムの二量体だからである。この二量体は、高温に加熱された成長ゾーンZ3ではGaCl3に変化する。
GaCl3の生成速度を高くする観点から、第二ゾーンZ2の温度は、好ましくは500℃以上、より好ましくは700℃以上である。熱劣化による第一反応管の短寿命化を防ぐ観点から、第二ゾーンZ2の温度は好ましくは1000℃以下、より好ましくは900℃以下、より好ましくは850℃以下である。
ガス流を安定化させる観点からは、第二ゾーンZ2の温度を第一ゾーンZ1の温度と同じとすることが好ましい。
GaN種結晶が所定の成長温度に達したら、直ちに、第一Cl2供給口111および第二Cl2供給口112のそれぞれから第一反応管110内にCl2を供給し、塩化ガリウムを生成させる。Cl2は、必要に応じて、キャリアガスとともに第一反応管110内に導入する。キャリアガスには不活性ガスであるN2または希ガスを用いる。
第一反応管110内で生じる塩化ガリウムが第二反応管120の成長ゾーンに到達すると、GaN種結晶上においてGaNのエピタキシャル成長が始まる。
第一反応管110内で生じる塩化ガリウムが第二反応管120の成長ゾーンに到達すると、GaN種結晶上においてGaNのエピタキシャル成長が始まる。
第一反応管110に供給するCl2の流量および第二反応管120に供給するNH3の流量は、第一ゾーンZ1と第二ゾーンZ2の各々における全圧とCl2分圧、および、成長ゾーンZ3における全圧とGaCl3分圧とNH3分圧が、それぞれ所望の範囲内となるように設定する。
第一ゾーンZ1では、例えば、Cl2分圧を1.0×10-3atm以上、全圧を0.8~1.2atmとする。
第二ゾーンZ2では、例えば、Cl2分圧を2.0×10-3atm以上、全圧を0.8~1.2atmとする。
成長ゾーンZ3では、例えばGaCl3分圧を9.0×10-3~1.0×10-1atm、NH3分圧を5.0×10-2~2.5×10-1atm、全圧を0.8~1.2atmとする。
第一ゾーンZ1では、例えば、Cl2分圧を1.0×10-3atm以上、全圧を0.8~1.2atmとする。
第二ゾーンZ2では、例えば、Cl2分圧を2.0×10-3atm以上、全圧を0.8~1.2atmとする。
成長ゾーンZ3では、例えばGaCl3分圧を9.0×10-3~1.0×10-1atm、NH3分圧を5.0×10-2~2.5×10-1atm、全圧を0.8~1.2atmとする。
成長ゾーンZ3におけるGaCl3分圧とは、別の言い方をすれば、GaN種結晶に供給するGaCl3の分圧である。
成長ゾーンZ3におけるGaCl3分圧は、9.0×10-3atmより低くてもよく、例えば、1.5×10-3atm以上2.4×10-3atm未満、2.4×10-3atm以上4.1×10-3atm未満、または4.1×10-3atm以上9.0×10-3atm未満であり得る。
GaNの成長レートは、GaN種結晶に供給するGaCl3およびNH3の分圧で制御することができる。例えば、成長ゾーンZ3におけるGaCl3分圧とNH3分圧との積は、9.5×10-5atm2以上3.2×10-4atm2未満、3.2×10-4atm2以上7.0×10-4atm2未満、7.0×10-4atm2以上9.8×10-4atm2未満、または9.8×10-4atm2以上に設定し得る。
成長ゾーンZ3におけるGaCl3分圧は、9.0×10-3atmより低くてもよく、例えば、1.5×10-3atm以上2.4×10-3atm未満、2.4×10-3atm以上4.1×10-3atm未満、または4.1×10-3atm以上9.0×10-3atm未満であり得る。
GaNの成長レートは、GaN種結晶に供給するGaCl3およびNH3の分圧で制御することができる。例えば、成長ゾーンZ3におけるGaCl3分圧とNH3分圧との積は、9.5×10-5atm2以上3.2×10-4atm2未満、3.2×10-4atm2以上7.0×10-4atm2未満、7.0×10-4atm2以上9.8×10-4atm2未満、または9.8×10-4atm2以上に設定し得る。
GaNの成長を終了させるときは、第一反応管110へのCl2の供給を停止すること
により、成長ゾーンZ3への塩化ガリウムの供給を停止する。同時に、GaN種結晶の加熱を停止し、該第二反応管の反応管温度を室温まで降下させる。成長したGaNの分解を防ぐために、降温中も第二反応管120内にはNH3とキャリアガスを流す。
以上が、THVPEによるGaN結晶の成長手順であるが、第二ゾーンZ2へのCl2供給、すなわち、第二Cl2供給口112から第一反応管110内へのCl2供給を省略すれば、HVPEによりGaN結晶を成長させることができる。
により、成長ゾーンZ3への塩化ガリウムの供給を停止する。同時に、GaN種結晶の加熱を停止し、該第二反応管の反応管温度を室温まで降下させる。成長したGaNの分解を防ぐために、降温中も第二反応管120内にはNH3とキャリアガスを流す。
以上が、THVPEによるGaN結晶の成長手順であるが、第二ゾーンZ2へのCl2供給、すなわち、第二Cl2供給口112から第一反応管110内へのCl2供給を省略すれば、HVPEによりGaN結晶を成長させることができる。
HVPEでは、いかなる面方位を有するGaN表面上にも、GaN結晶をエピタキシャル成長させることができる。
一方、GaN種結晶の表面のうち、その上でTHVPEによりGaNを成長させることが可能なのは、法線の方向が該GaN種結晶の[0001]方向と85°以上かつ180°以下の角度を成す表面である。かかる表面上でのGaNの成長レートは1μm/h以上であり得る。
HVPEまたはTHVPEによるGaNの成長レートは、1μm/h以上かつ5μm/h未満、5μm/h以上かつ10μm/h未満、10μm/h以上かつ15μm/h未満、15μm/h以上かつ20μm/h未満、20μm/h以上かつ25μm/h未満、25μm/h以上かつ50μm/h未満、50μm/h以上かつ75μm/h未満、75μm/h以上かつ100μm/h未満、100μm/h以上かつ125μm/h未満、125μm/h以上かつ150μm/h未満、150μm/h以上かつ175μm/h未満、175μm/h以上かつ200μm/h未満、200μm/h以上かつ250μm/h未満、250μm/h以上かつ300μm/h未満、300μm/h以上400μm/h未満、400μm/h以上500μm/h未満、500μm/h以上かつ2000μm/h未満等に設定し得る。
一方、GaN種結晶の表面のうち、その上でTHVPEによりGaNを成長させることが可能なのは、法線の方向が該GaN種結晶の[0001]方向と85°以上かつ180°以下の角度を成す表面である。かかる表面上でのGaNの成長レートは1μm/h以上であり得る。
HVPEまたはTHVPEによるGaNの成長レートは、1μm/h以上かつ5μm/h未満、5μm/h以上かつ10μm/h未満、10μm/h以上かつ15μm/h未満、15μm/h以上かつ20μm/h未満、20μm/h以上かつ25μm/h未満、25μm/h以上かつ50μm/h未満、50μm/h以上かつ75μm/h未満、75μm/h以上かつ100μm/h未満、100μm/h以上かつ125μm/h未満、125μm/h以上かつ150μm/h未満、150μm/h以上かつ175μm/h未満、175μm/h以上かつ200μm/h未満、200μm/h以上かつ250μm/h未満、250μm/h以上かつ300μm/h未満、300μm/h以上400μm/h未満、400μm/h以上500μm/h未満、500μm/h以上かつ2000μm/h未満等に設定し得る。
あるGaN表面上におけるGaNの成長レートは、該GaN表面上にGaN結晶層を成長させ、該GaN結晶層の厚さを成長時間で除算することにより調べることができる。
図9または図10に示すタイプの結晶成長装置を用いる場合は、第一反応管へのCl2供給を開始した時から該Cl2供給を停止した時までを成長時間とすることができる。
図9または図10に示すタイプの結晶成長装置を用いる場合は、第一反応管へのCl2供給を開始した時から該Cl2供給を停止した時までを成長時間とすることができる。
一般的な傾向として、成長レートが低い程、成長するGaN結晶の結晶性は良好である。従って、GaNの成長レートは好ましくは150μm/h未満であり、より好ましくは125μm/h未満である。
例外は、GaNの{10-1-1}表面上にTHVPEでGaN結晶を成長させる場合であり、200μm/h以上のレートで成長させたGaN結晶が、約100μm/hのレートで成長させたGaN結晶と同等以上の品質を有し得る。
このことから、GaN{10-1-1}ウエハのように、法線の方向と平行または最も平行に近い低指数方位が<10-1-1>である半極性表面を有するGaN種結晶の使用は、THVPEによって高品質のGaN結晶を効率よく製造するうえで特に有利であることが理解される。
例外は、GaNの{10-1-1}表面上にTHVPEでGaN結晶を成長させる場合であり、200μm/h以上のレートで成長させたGaN結晶が、約100μm/hのレートで成長させたGaN結晶と同等以上の品質を有し得る。
このことから、GaN{10-1-1}ウエハのように、法線の方向と平行または最も平行に近い低指数方位が<10-1-1>である半極性表面を有するGaN種結晶の使用は、THVPEによって高品質のGaN結晶を効率よく製造するうえで特に有利であることが理解される。
GaN種結晶としてGaN基板を用いる場合、該GaN基板上に成長させるGaNは、該GaN基板の厚さ以下の厚さを有する膜であってもよいし、あるいは、該GaN基板の主表面上における最大成長高さが該GaN基板の厚さを超えるバルク結晶であってもよい。
ここでいう成長高さとは、下地GaN表面を基準面としたときの、該下地GaN表面上に成長したバルクGaN結晶の高さのことであり、言い換えれば、該下地GaN表面から該バルクGaN結晶の上面までの距離のことである。最大成長高さは、該成長高さが最大である位置における成長高さである。
GaN基板上にバルクGaN結晶を成長させる場合、該GaN基板の主表面上におけるその最大成長高さは、300μm以上かつ500μm未満、500μm以上かつ1mm未
満、1mm以上かつ3mm未満、3mm以上かつ5mm未満、5mm以上かつ10mm未満、10mm以上かつ25mm未満、25mm以上かつ50mm未満、50mm以上かつ75mm未満、75mm以上かつ100mm未満、100mm以上かつ200mm未満等であり得る。
ここでいう成長高さとは、下地GaN表面を基準面としたときの、該下地GaN表面上に成長したバルクGaN結晶の高さのことであり、言い換えれば、該下地GaN表面から該バルクGaN結晶の上面までの距離のことである。最大成長高さは、該成長高さが最大である位置における成長高さである。
GaN基板上にバルクGaN結晶を成長させる場合、該GaN基板の主表面上におけるその最大成長高さは、300μm以上かつ500μm未満、500μm以上かつ1mm未
満、1mm以上かつ3mm未満、3mm以上かつ5mm未満、5mm以上かつ10mm未満、10mm以上かつ25mm未満、25mm以上かつ50mm未満、50mm以上かつ75mm未満、75mm以上かつ100mm未満、100mm以上かつ200mm未満等であり得る。
GaNの気相エピタキシャル成長がその上で起こり得る表面を、GaN種結晶が2以上有する場合には、かかる表面の各々の上で、GaNを前述の成長レートで成長させることができる。
例えば、図3あるいは図4に示すGaN種結晶を用いる場合には、THVPEによって、6個の{10-10}ファセットおよび6個の{10-1-1}ファセットの各々の上に、1μm/h以上の成長レートでGaNを成長させることができる。
例えば、図6に示すGaN種結晶を用いる場合には、THVPEによって、6個の{10-10}ファセット、6個の{10-1-1}ファセットおよび(000-1)ファセットの各々の上に、1μm/h以上の成長レートでGaNを成長させることができる。
HVPEによれば、THVPEではGaNが成長しない{10-11}ファセット上や(0001)ファセット上にも、1μm/h以上の成長レートでGaNを成長させることができる。
例えば、図3あるいは図4に示すGaN種結晶を用いる場合には、THVPEによって、6個の{10-10}ファセットおよび6個の{10-1-1}ファセットの各々の上に、1μm/h以上の成長レートでGaNを成長させることができる。
例えば、図6に示すGaN種結晶を用いる場合には、THVPEによって、6個の{10-10}ファセット、6個の{10-1-1}ファセットおよび(000-1)ファセットの各々の上に、1μm/h以上の成長レートでGaNを成長させることができる。
HVPEによれば、THVPEではGaNが成長しない{10-11}ファセット上や(0001)ファセット上にも、1μm/h以上の成長レートでGaNを成長させることができる。
GaN種結晶上でのGaNの成長は、断続的に繰り返すことができる。換言すれば、GaNの成長は複数回に分けて行うことができる。この場合の2回目以降の成長は一般に再成長と呼ばれる。
GaNの成長がN回に分けて行われる場合、n回目の成長と(n+1)回目の成長で使用される結晶成長装置および/または結晶成長条件は同じであってもよいし、異なっていてもよい[ここで、Nは2以上の整数であり、nは1以上(N-1)以下の整数である]。また、(n+1)回目の成長の前に、n回目の成長で形成された結晶の表面に対し、エッチングを含むクリーニング処理を施し得る。
GaNの成長がN回に分けて行われる場合、n回目の成長と(n+1)回目の成長で使用される結晶成長装置および/または結晶成長条件は同じであってもよいし、異なっていてもよい[ここで、Nは2以上の整数であり、nは1以上(N-1)以下の整数である]。また、(n+1)回目の成長の前に、n回目の成長で形成された結晶の表面に対し、エッチングを含むクリーニング処理を施し得る。
一例においては、キャリアガスに微量の酸素ガス(O2)を添加する、あるいは、微量の酸素ガスを添加した不活性ガスを他のガスとともに第二反応管120に導入することによって、成長させるGaNを酸素でドープすることができる。GaN中で酸素(О)はドナーとして作用しn型キャリアを発生させるので、酸素ドープされたGaNはn型導電性を示す。
2.用途
実施形態に係るGaN結晶製造方法は、窒化物半導体デバイス用のGaN膜の形成、バルクGaN結晶の製造等、様々な用途に用いることができる。
窒化物半導体デバイスは、デバイス構造の主要部に窒化物半導体を用いた半導体デバイスである。窒化物半導体は窒化物系III-V族化合物半導体、III族窒化物系化合物半導体、GaN系半導体、などとも呼ばれ、GaNを含む他に、GaNのGaの一部または全部が、他の周期表13族元素(B、Al、In等)に置換された化合物を含む。具体的には、AlN、InN、AlGaN、AlInN、GaInN、AlGaInN等が例示される。
実施形態に係るGaN結晶製造方法は、窒化物半導体デバイス用のGaN膜の形成、バルクGaN結晶の製造等、様々な用途に用いることができる。
窒化物半導体デバイスは、デバイス構造の主要部に窒化物半導体を用いた半導体デバイスである。窒化物半導体は窒化物系III-V族化合物半導体、III族窒化物系化合物半導体、GaN系半導体、などとも呼ばれ、GaNを含む他に、GaNのGaの一部または全部が、他の周期表13族元素(B、Al、In等)に置換された化合物を含む。具体的には、AlN、InN、AlGaN、AlInN、GaInN、AlGaInN等が例示される。
窒化物半導体デバイスの具体例としては、発光ダイオード、レーザダイオードなどの発光デバイス、整流器、バイポーラトランジスタ、電界効果トランジスタ、HEMT(High
Electron Mobility Transistor)などの電子デバイス、温度センサ、圧力センサ、放射線センサ、可視-紫外光検出器などの半導体センサ、SAW(Surface Acoustic Wave)デバイス、振動子、共振子、発振器、MEMS(Micro Electro Mechanical System)部品、電圧アクチュエータ、太陽電池などがある。
Electron Mobility Transistor)などの電子デバイス、温度センサ、圧力センサ、放射線センサ、可視-紫外光検出器などの半導体センサ、SAW(Surface Acoustic Wave)デバイス、振動子、共振子、発振器、MEMS(Micro Electro Mechanical System)部品、電圧アクチュエータ、太陽電池などがある。
実施形態に係るGaN結晶製造方法を用いて製造されるバルクGaN結晶は、GaNウエハ(GaN単結晶基板)の材料として用いることができる。すなわち、実施形態に係るGaN結晶製造方法を用いてバルクGaN結晶を製造し、そのバルクGaN結晶を加工することによって、GaNウエハを製造することができる。
バルクGaN結晶のサイズと、製造すべきGaNウエハのサイズに応じて、研削、ラッピング、CMP、エッチング、スライス、くり抜き、レーザー加工等の中から、必要な加工を適宜選択することができる。
バルクGaN結晶のサイズが十分に大きいときは、これを任意の方向にスライスすることにより、任意の面方位を有するGaNウエハを得ることができる。得られるGaNウエハは、{10-10}ウエハ、{30-3-1}ウエハ、{20-2-1}ウエハ、{30-3-2}ウエハ、{10-1-1}ウエハ、{30-31}ウエハ、{20-21}ウエハ、{30-32}ウエハ、{10-11}ウエハ、(0001)ウエハまたは(000-1)ウエハであり得る。
バルクGaN結晶のサイズと、製造すべきGaNウエハのサイズに応じて、研削、ラッピング、CMP、エッチング、スライス、くり抜き、レーザー加工等の中から、必要な加工を適宜選択することができる。
バルクGaN結晶のサイズが十分に大きいときは、これを任意の方向にスライスすることにより、任意の面方位を有するGaNウエハを得ることができる。得られるGaNウエハは、{10-10}ウエハ、{30-3-1}ウエハ、{20-2-1}ウエハ、{30-3-2}ウエハ、{10-1-1}ウエハ、{30-31}ウエハ、{20-21}ウエハ、{30-32}ウエハ、{10-11}ウエハ、(0001)ウエハまたは(000-1)ウエハであり得る。
注記すると、GaNウエハの呼称に付される面方位は、当該ウエハが有する主表面のうち、エピタキシャル成長に使用できるように仕上げられた主表面と平行または最も平行に近い低指数面の方位である。例えば、CMP処理によってエピ-レディ状態(epi-ready state)とされた(30-3-1)表面を有するGaNウエハは、{30-3-1}ウエハと呼ばれる。
ウエハの実際の主表面は、しばしば、そのウエハの呼称に付された低指数面から僅かに傾斜させられる。そのようなウエハは「オフカットされている」と称されることがある。この傾斜の角度はオフ角と呼ばれ、通常5°以下であり、4°以下、3°以下、2°以下または1°以下であり得る。
ウエハの実際の主表面は、しばしば、そのウエハの呼称に付された低指数面から僅かに傾斜させられる。そのようなウエハは「オフカットされている」と称されることがある。この傾斜の角度はオフ角と呼ばれ、通常5°以下であり、4°以下、3°以下、2°以下または1°以下であり得る。
バルクGaN結晶のスライスは、ワイヤーソー、内周刃スライサー等を用いて行うことができる。通常は、スライスにより得られたブランクウエハのアズスライス表面を機械研磨(研削および/またはラッピング)により平坦化し、次いで、CMP、ドライエッチングおよびウエットエッチングから選ばれる一以上の処理により、該機械研磨により表面に形成されたダメージ層を除去する。
GaNウエハは、窒化物半導体デバイスのための基板として好ましく用いることができる。すなわち、MOCVD、MBE、パルス蒸着、スパッタリング等の薄膜形成技術を用いて、GaNウエハ上に一以上の窒化物半導体薄膜を成長させることにより、各種のデバイス構造を形成することができる。
その他、GaNウエハは、バルクGaN結晶を成長させるための種結晶として使用することができる。
その他、GaNウエハは、バルクGaN結晶を成長させるための種結晶として使用することができる。
3.実験結果
以下に記す実験では、図9および図10に示す装置と同じタイプの気相成長装置を用いた。すなわち、内部に第一ゾーンおよび第二ゾーンを設けた石英製の第一反応管と、内部に成長ゾーンを設けた石英製の第二反応管とを備える気相成長装置である。前述の通り、第一ゾーンではCl2と金属Gaが反応してGaClが生成し、第二ゾーンでは第一ゾーンで生成したGaClがCl2と反応してGaCl3が生成し、成長ゾーンではGaCl3を含む気体塩化ガリウムとNH3とが反応し、生成するGaNがGaN種結晶上にエピタキシャル成長する。
以下においてガス流量に言及する場合、特に断らない限り、標準状態に換算した体積流量(「sccm」等の単位で表される流量)を意味する。
以下において、GaN基板の「第一主表面」とは、その上にGaN結晶を成長させようと試みた主表面、または、GaN結晶の成長に使用した主表面のことをいう。
以下に記す実験では、図9および図10に示す装置と同じタイプの気相成長装置を用いた。すなわち、内部に第一ゾーンおよび第二ゾーンを設けた石英製の第一反応管と、内部に成長ゾーンを設けた石英製の第二反応管とを備える気相成長装置である。前述の通り、第一ゾーンではCl2と金属Gaが反応してGaClが生成し、第二ゾーンでは第一ゾーンで生成したGaClがCl2と反応してGaCl3が生成し、成長ゾーンではGaCl3を含む気体塩化ガリウムとNH3とが反応し、生成するGaNがGaN種結晶上にエピタキシャル成長する。
以下においてガス流量に言及する場合、特に断らない限り、標準状態に換算した体積流量(「sccm」等の単位で表される流量)を意味する。
以下において、GaN基板の「第一主表面」とは、その上にGaN結晶を成長させようと試みた主表面、または、GaN結晶の成長に使用した主表面のことをいう。
3.1.実験1
種結晶として、下記表1に示す、面方位の異なる9種類のGaN基板A~Iを準備した。
GaN基板A~Iは、いずれもGaN単結晶基板であり、その作製手順は下記の通りである。
(a)C面GaN/サファイア・テンプレート上に、塩化水素(HCl)を用いたHVPE法でバルクGaN結晶を成長させた。
(b)該バルクGaN結晶をワイヤーソーでスライスし、所定の面方位を有するアズスライス基板を得た。
(c)該アズスライス基板の各主表面を機械研磨により平坦化した後、CMP(化学機械研磨)によって該機械研磨により形成されたダメージ層とスクラッチを除去した。
種結晶として、下記表1に示す、面方位の異なる9種類のGaN基板A~Iを準備した。
GaN基板A~Iは、いずれもGaN単結晶基板であり、その作製手順は下記の通りである。
(a)C面GaN/サファイア・テンプレート上に、塩化水素(HCl)を用いたHVPE法でバルクGaN結晶を成長させた。
(b)該バルクGaN結晶をワイヤーソーでスライスし、所定の面方位を有するアズスライス基板を得た。
(c)該アズスライス基板の各主表面を機械研磨により平坦化した後、CMP(化学機械研磨)によって該機械研磨により形成されたダメージ層とスクラッチを除去した。
表1で、GaN基板Eの第一主表面の面方位を(10-10)としているのは便宜のためであり、GaN基板Eの第一主表面の面方位は(10-10)と(30-3-1)の略中間であった。
前述の気相成長装置を用いて、GaN基板A~Iの各第一主表面上でGaCl3とNH3からのGaNの成長が起こるか否かを調べた。条件は下記表2に示す通りとし、成長時間は2時間とした。
前述の気相成長装置を用いて、GaN基板A~Iの各第一主表面上でGaCl3とNH3からのGaNの成長が起こるか否かを調べた。条件は下記表2に示す通りとし、成長時間は2時間とした。
表2に示す第一ゾーンのCl2分圧は下記式1により算出した。
P1(Cl2)=P1(t)×F1(Cl2)/{F1(Cl2)+F1(N2)} ・・・式1
上記式1において:
P1(Cl2):第一ゾーンのCl2分圧。
P1(t):第一ゾーンの全圧(1atm)。
F1(Cl2):第一ゾーンに供給するCl2の流量。
F1(N2):第一ゾーンに供給するキャリアガス(N2)の流量。
P1(Cl2)=P1(t)×F1(Cl2)/{F1(Cl2)+F1(N2)} ・・・式1
上記式1において:
P1(Cl2):第一ゾーンのCl2分圧。
P1(t):第一ゾーンの全圧(1atm)。
F1(Cl2):第一ゾーンに供給するCl2の流量。
F1(N2):第一ゾーンに供給するキャリアガス(N2)の流量。
表2に示す第二ゾーンのCl2分圧は、下記式2により算出した。
P2(Cl2)=P2(t)×F2(Cl2)/{F1(N2)+F2(Cl2)+F2(N2)} ・・・式2
上記式2において:
P2(Cl2):第二ゾーンのCl2分圧。
P2(t):第二ゾーンの全圧(1atm)。
F1(N2):第一ゾーンに供給するキャリアガス(N2)の流量。
F2(Cl2):第二ゾーンに供給するCl2の流量。
F2(N2):第二ゾーンに供給するキャリアガス(N2)の流量。
P2(Cl2)=P2(t)×F2(Cl2)/{F1(N2)+F2(Cl2)+F2(N2)} ・・・式2
上記式2において:
P2(Cl2):第二ゾーンのCl2分圧。
P2(t):第二ゾーンの全圧(1atm)。
F1(N2):第一ゾーンに供給するキャリアガス(N2)の流量。
F2(Cl2):第二ゾーンに供給するCl2の流量。
F2(N2):第二ゾーンに供給するキャリアガス(N2)の流量。
表2において、成長ゾーンのGaCl3分圧は、第二ゾーンのCl2分圧に等しいと仮定している。
表2に示す成長ゾーンのNH3分圧は、下記式3により算出した。
PG(NH3)=PG(t)×FG(NH3)/{F1(N2)+F2(Cl2)+F2(N2)+FG(NH3)+FG(N2)} ・・・式3
上記式3において:
PG(NH3):成長ゾーンのNH3分圧。
PG(t):成長ゾーンの全圧(1atm)。
F1(N2):第一ゾーンに供給するキャリアガス(N2)の流量。
F2(Cl2):第二ゾーンに供給するCl2の流量。
F2(N2):第二ゾーンに供給するキャリアガス(N2)の流量。
FG(NH3):成長ゾーンに供給するNH3の流量。
FG(N2):成長ゾーンに供給するキャリアガス(N2)の流量。
表2に示す成長ゾーンのNH3分圧は、下記式3により算出した。
PG(NH3)=PG(t)×FG(NH3)/{F1(N2)+F2(Cl2)+F2(N2)+FG(NH3)+FG(N2)} ・・・式3
上記式3において:
PG(NH3):成長ゾーンのNH3分圧。
PG(t):成長ゾーンの全圧(1atm)。
F1(N2):第一ゾーンに供給するキャリアガス(N2)の流量。
F2(Cl2):第二ゾーンに供給するCl2の流量。
F2(N2):第二ゾーンに供給するキャリアガス(N2)の流量。
FG(NH3):成長ゾーンに供給するNH3の流量。
FG(N2):成長ゾーンに供給するキャリアガス(N2)の流量。
成長時間の2時間が経過したところで、成長ゾーンへのGaCl3供給とGaN基板の加熱を停止し、反応管の温度が室温まで下がった後、GaN基板を気相成長装置から取り出して成長したGaN層の厚さを蛍光顕微鏡で調べた。
その結果、第一主表面の法線の方向とGaN基板の[0001]方向とが成す角度が95°以上であるGaN基板A~Eでは、第一主表面上に100μmを超える厚さのGaN層が成長していることが分かった。それに対し、該角度が80°以下であるGaN基板F~Iでは、第一主表面上でのGaNの成長を認めることができなかった。
その結果、第一主表面の法線の方向とGaN基板の[0001]方向とが成す角度が95°以上であるGaN基板A~Eでは、第一主表面上に100μmを超える厚さのGaN層が成長していることが分かった。それに対し、該角度が80°以下であるGaN基板F~Iでは、第一主表面上でのGaNの成長を認めることができなかった。
各々の第一主表面上に成長したGaN層の厚さと成長時間とから算出したGaNの成長レートは、GaN基板Aでは88μm/hだったのに対し、GaN基板B~Dでは100μm/hを超えており、GaN基板E上では200μm/hを超えていた。該成長レートの算出において、GaN層の厚さが層内で一様でない場合には、最大厚さ(厚さ最大である位置における厚さ)を用いた。
X線ロッキングカーブ測定から、GaN基板A~E上に成長した各GaN層はエピタキシャル成長により形成された単結晶層であることが確認された。該X線ロッキングカーブ測定は、CuKαを線源に用いたX線回折装置を使用して行った(他の実験におけるX線ロッキングカーブ測定も同様である)。
実験1で得た結果を表3にまとめて示す。
X線ロッキングカーブ測定から、GaN基板A~E上に成長した各GaN層はエピタキシャル成長により形成された単結晶層であることが確認された。該X線ロッキングカーブ測定は、CuKαを線源に用いたX線回折装置を使用して行った(他の実験におけるX線ロッキングカーブ測定も同様である)。
実験1で得た結果を表3にまとめて示す。
3.2.実験2
実験1と同じ気相成長装置を用いて、前記GaN基板A~E上にGaNを成長させた。成長条件は、成長温度を除き、前記表2に示す条件と同じとした。
その結果、各GaN基板の第一主表面上におけるGaNの成長レートは、下記表4に示す通りであった。
実験1と同じ気相成長装置を用いて、前記GaN基板A~E上にGaNを成長させた。成長条件は、成長温度を除き、前記表2に示す条件と同じとした。
その結果、各GaN基板の第一主表面上におけるGaNの成長レートは、下記表4に示す通りであった。
3.3.実験3
種結晶として、下記表5に示す2種類のGaN基板JおよびKを準備した。
GaN基板JおよびKは、GaN単結晶基板であり、前述のGaN基板A~Iと同じ方法で作製した。
GaN基板Jは、[0001]方向に+1°およびa軸方向に3°のオフ角を有する(10-10)基板(M面基板)であった。
GaN基板Kは、[0001]方向に+3°およびa軸方向に3°のオフ角を有する(10-10)基板(M面基板)であった。
種結晶として、下記表5に示す2種類のGaN基板JおよびKを準備した。
GaN基板JおよびKは、GaN単結晶基板であり、前述のGaN基板A~Iと同じ方法で作製した。
GaN基板Jは、[0001]方向に+1°およびa軸方向に3°のオフ角を有する(10-10)基板(M面基板)であった。
GaN基板Kは、[0001]方向に+3°およびa軸方向に3°のオフ角を有する(10-10)基板(M面基板)であった。
実験1と同じ気相成長装置を用いて、GaN基板JおよびKの各第一主表面上でGaCl3とNH3からのGaNの成長が起こるか否かを調べた。条件は下記表6に示す通りとし、成長時間は1時間とした。
表6に示す、各ゾーンにおける各ガス分圧の算出方法は、前記実験1と同じである。
成長時間の1時間が経過したところで、成長ゾーンへのGaCl3供給とGaN基板の加熱を停止し、反応管の温度が室温まで下がった後、GaN基板を気相成長装置から取り出して成長したGaN層の厚さを蛍光顕微鏡で調べた。
その結果、GaN基板JおよびKの両方で、第一主表面上に100μmを超える厚さのGaN層が成長していることが分かった。
X線ロッキングカーブ測定から、GaN基板JおよびK上に成長した各GaN層はエピタキシャル成長により形成された単結晶層であることが確認された。
実験3で得た結果を表7にまとめて示す。
成長時間の1時間が経過したところで、成長ゾーンへのGaCl3供給とGaN基板の加熱を停止し、反応管の温度が室温まで下がった後、GaN基板を気相成長装置から取り出して成長したGaN層の厚さを蛍光顕微鏡で調べた。
その結果、GaN基板JおよびKの両方で、第一主表面上に100μmを超える厚さのGaN層が成長していることが分かった。
X線ロッキングカーブ測定から、GaN基板JおよびK上に成長した各GaN層はエピタキシャル成長により形成された単結晶層であることが確認された。
実験3で得た結果を表7にまとめて示す。
3.4.実験4
実験1と同じ気相成長装置を用いて、前記GaN基板AおよびEの各第一主表面上に、下記表8に示す4つの条件(条件1~4)でGaNを成長させた。該4つの条件の間では
、成長ゾーンにおけるGaCl3分圧とNH3分圧との積が異なっている。
表8には、各条件で得られたGaNの成長レートも合わせて示している。
実験1と同じ気相成長装置を用いて、前記GaN基板AおよびEの各第一主表面上に、下記表8に示す4つの条件(条件1~4)でGaNを成長させた。該4つの条件の間では
、成長ゾーンにおけるGaCl3分圧とNH3分圧との積が異なっている。
表8には、各条件で得られたGaNの成長レートも合わせて示している。
表8に示す結果をグラフに表したものが図11である。図11が示すように、GaNの成長レートは、成長ゾーンにおけるGaCl3分圧とNH3分圧との積に略比例しており、原料ガスの分圧を調節することによりGaNの成長レートが制御可能であることが分かった。
3.5.実験5
実験1と同じ気相成長装置を用いて、第一主表面の方位が異なる5種類のGaN基板(単結晶基板)の各第一主表面上に、GaCl3とNH3からGaN層を成長させた。成長温度は1280℃とした。各GaN基板上に成長したGaN層に含まれる酸素(O)およびケイ素(Si)の濃度を、SIMS(Secondary Ion Mass Spectroscopy)により測定した結果を下記表9に示す。
実験1と同じ気相成長装置を用いて、第一主表面の方位が異なる5種類のGaN基板(単結晶基板)の各第一主表面上に、GaCl3とNH3からGaN層を成長させた。成長温度は1280℃とした。各GaN基板上に成長したGaN層に含まれる酸素(O)およびケイ素(Si)の濃度を、SIMS(Secondary Ion Mass Spectroscopy)により測定した結果を下記表9に示す。
表9に示すように、いずれのGaN層からもケイ素が検出された。ケイ素の意図的な添加は行っていないので、検出されたケイ素は反応管の材料である石英に由来するものと推測される。
非極性または半極性GaN表面上に成長したGaN層のケイ素濃度は2×1017atms/cm3未満で、(000-1)表面上に成長したGaN層における濃度8×1017atms/cm3の4分の1以下であった。このことは、非極性または半極性GaN表面上での成長が、酸素ドーピングによるキャリア濃度の制御にとって好都合であることを示唆している。
非極性または半極性GaN表面上に成長したGaN層のケイ素濃度は2×1017atms/cm3未満で、(000-1)表面上に成長したGaN層における濃度8×1017atms/cm3の4分の1以下であった。このことは、非極性または半極性GaN表面上での成長が、酸素ドーピングによるキャリア濃度の制御にとって好都合であることを示唆している。
3.6.実験6
種結晶として、アモノサーマル法で成長させたGaN単結晶からなるGaN基板Lを準備した。GaN基板Lは、[0001]方向に+5°のオフ角を有する(10-10)基板(M面基板)であり、その第一主表面の法線の方向と[0001]方向とがなす角度は85°であった。
実験1と同じ気相成長装置を用い、成長ゾーンにおいてGaCl3分圧が4.8×10-3atm、NH3分圧が2×10-1atm、温度が1230℃という条件で、GaN基板Lの第一主表面上にGaNが成長するか否かを調べた。その結果、GaN層が40μm/hというレートで成長した。X線ロッキングカーブ測定から、このGaN層はエピタキシャル成長により形成された単結晶層であることが確認された。測定された(100)面のX線ロッキングカーブのFWHM(Full Width at Half Maximum)は30arcsecであった。
種結晶として、アモノサーマル法で成長させたGaN単結晶からなるGaN基板Lを準備した。GaN基板Lは、[0001]方向に+5°のオフ角を有する(10-10)基板(M面基板)であり、その第一主表面の法線の方向と[0001]方向とがなす角度は85°であった。
実験1と同じ気相成長装置を用い、成長ゾーンにおいてGaCl3分圧が4.8×10-3atm、NH3分圧が2×10-1atm、温度が1230℃という条件で、GaN基板Lの第一主表面上にGaNが成長するか否かを調べた。その結果、GaN層が40μm/hというレートで成長した。X線ロッキングカーブ測定から、このGaN層はエピタキシャル成長により形成された単結晶層であることが確認された。測定された(100)面のX線ロッキングカーブのFWHM(Full Width at Half Maximum)は30arcsecであった。
3.7.実験7
種結晶として、いずれもアモノサーマル法で成長させたGaN単結晶からなる2種類のGaN基板MおよびNを準備した。
GaN基板Mは、オフカット無しの(10-10)基板(M面基板)であり、その第一主表面の法線の方向と[0001]方向とがなす角度は90°であった。
GaN基板Nは、[0001]方向に-5°のオフ角を有する(10-10)基板(M面基板)であり、その第一主表面の法線の方向と[0001]方向とがなす角度は95°であった。
種結晶として、いずれもアモノサーマル法で成長させたGaN単結晶からなる2種類のGaN基板MおよびNを準備した。
GaN基板Mは、オフカット無しの(10-10)基板(M面基板)であり、その第一主表面の法線の方向と[0001]方向とがなす角度は90°であった。
GaN基板Nは、[0001]方向に-5°のオフ角を有する(10-10)基板(M面基板)であり、その第一主表面の法線の方向と[0001]方向とがなす角度は95°であった。
実験1と同じ気相成長装置を用いて、GaN基板MおよびNの各第一主表面上に、下記表10に示す3つの条件の下でGaNを成長させた。
表10には、各条件におけるGaNの成長レートの測定結果と、成長したGaN層で測定した(100)面X線ロッキングカーブのFWHMも合わせて示している。
表10には、各条件におけるGaNの成長レートの測定結果と、成長したGaN層で測定した(100)面X線ロッキングカーブのFWHMも合わせて示している。
積層欠陥を観察するために、温度83Kで、成長したGaN層表面の波長364nmにおける単色CL(Cathodoluminescence)像を取得した。試料中央部をc軸方向に約5mmにわたって観察した結果、表10にいう条件2または3でGaN基板M上に成長させたGaN層の表面には、積層欠陥が密集した領域が至る所に存在していたのに対し、同じ条件2または3でGaN基板N上に成長させたGaN層の表面の積層欠陥は比較的少なく、積層欠陥が密集した領域は部分的にしか存在しなかった。
3.8.実験8
種結晶として、アモノサーマル法で成長させたGaN単結晶からなるGaN基板Oを準備した。
GaN基板Oは、(10-1-1)基板であり、その第一主表面の法線の方向と[0001]方向とがなす角度は118°であった。
実験1と同じ気相成長装置を用いて、GaN基板Oの第一主表面上に、下記表11に示す3つの条件の下でGaNを成長させた。
表11には、各条件におけるGaNの成長レートの測定結果と、成長したGaN層で測定した(101)面X線ロッキングカーブのFWHMも合わせて示している。
種結晶として、アモノサーマル法で成長させたGaN単結晶からなるGaN基板Oを準備した。
GaN基板Oは、(10-1-1)基板であり、その第一主表面の法線の方向と[0001]方向とがなす角度は118°であった。
実験1と同じ気相成長装置を用いて、GaN基板Oの第一主表面上に、下記表11に示す3つの条件の下でGaNを成長させた。
表11には、各条件におけるGaNの成長レートの測定結果と、成長したGaN層で測定した(101)面X線ロッキングカーブのFWHMも合わせて示している。
更に、表11にいう条件1でGaN基板O上に成長させたGaN層の(202)X線ロッキングカーブを、より高い角度分解能を持つX線回折装置[スペクトリス(株)製 パナリティカル X’Pert Pro MRD]を用いて測定した。入射側光学系には、1/2°発散スリット、集光ミラー、Ge(440)4結晶モノクロメータおよびw0.2mm×h1mmのクロススリットを用いた。受光光学系には、半導体ピクセル検出器であるPIXcel3D(登録商標)の0Dモードを用いた。光学系の角度分解能は5~6arcsecであった。
GaN層表面におけるX線のビームサイズは、X線の入射角が90°(X線の入射方向がGaN層表面と直交)の場合に0.2mm×5mmとなるように設定した。測定時には、該ビームサイズが5mmとなる方向とX線入射面とが直交するようにした。
GaN層表面におけるX線のビームサイズは、X線の入射角が90°(X線の入射方向がGaN層表面と直交)の場合に0.2mm×5mmとなるように設定した。測定時には、該ビームサイズが5mmとなる方向とX線入射面とが直交するようにした。
X線ロッキングカーブ測定は、まず、GaN層表面の略中心を通りa軸に平行な直線上にある7つの測定点において行った。測定点間のピッチは1mmとした。各測定においてX線入射面はa軸と平行とした。つまり、GaN層表面に対し、c軸に直交する方向からX線を入射させて、ωスキャンを行った。
該a軸に平行な直線上の7つの測定点間において、(202)面X線ロッキングカーブのFWHMの最大値は26.8arcsec、最小値は14.9arcsec、平均値は18.1arcsecであった。
次に、GaN層表面の略中心を通りa軸と直交する直線上にある7つの測定点で測定を行った。測定点間のピッチは1mmとした。各測定においてX線入射面はa軸と垂直とした。つまり、GaN層表面に対し、a軸に直交する方向からX線を入射させて、ωスキャンを行った。
該a軸と直交する直線上の7つの測定点間において、(202)面X線ロッキングカーブのFWHMの最大値は18.9arcsec、最小値は13.3arcsec、平均値は15.0arcsecであった。
該a軸に平行な直線上の7つの測定点間において、(202)面X線ロッキングカーブのFWHMの最大値は26.8arcsec、最小値は14.9arcsec、平均値は18.1arcsecであった。
次に、GaN層表面の略中心を通りa軸と直交する直線上にある7つの測定点で測定を行った。測定点間のピッチは1mmとした。各測定においてX線入射面はa軸と垂直とした。つまり、GaN層表面に対し、a軸に直交する方向からX線を入射させて、ωスキャンを行った。
該a軸と直交する直線上の7つの測定点間において、(202)面X線ロッキングカーブのFWHMの最大値は18.9arcsec、最小値は13.3arcsec、平均値は15.0arcsecであった。
3.9.実験9
実験9では、GaCl3およびNH3を原料に用いたGaN結晶のSAG(Selective Area Growth)が可能かどうかを調べるために、前述のGaN基板Aと同等品質の(000-1)基板の第一主表面上にパターンマスクを配置したGaN基板Pと、前述のGaN基板Eと同等品質の、[0001]方向に-5°のオフ角を有する(10-10)基板の第一主表面上にパターンマスクを配置したGaN基板Qと、を準備した。
GaN基板PとGaN基板Qの各第一主表面上に配置したパターンマスクは、プラズマCVD法で堆積させた厚さ80nmのSiNx薄膜に、通常のフォトリソグラフィおよびエッチングの技法を用いて、10μmピッチで最密配置された直径5μmの円形開口を設けることにより形成した。
実験9では、GaCl3およびNH3を原料に用いたGaN結晶のSAG(Selective Area Growth)が可能かどうかを調べるために、前述のGaN基板Aと同等品質の(000-1)基板の第一主表面上にパターンマスクを配置したGaN基板Pと、前述のGaN基板Eと同等品質の、[0001]方向に-5°のオフ角を有する(10-10)基板の第一主表面上にパターンマスクを配置したGaN基板Qと、を準備した。
GaN基板PとGaN基板Qの各第一主表面上に配置したパターンマスクは、プラズマCVD法で堆積させた厚さ80nmのSiNx薄膜に、通常のフォトリソグラフィおよびエッチングの技法を用いて、10μmピッチで最密配置された直径5μmの円形開口を設けることにより形成した。
実験1と同じ気相成長装置を用いて、GaN基板PおよびGaN基板Qの各第一主表面上に、GaCl3とNH3からGaNを成長させた。成長ゾーンにおけるGaCl3分圧とNH3分圧は、それぞれ、2.2×10-3atmおよび9.0×10-2atmとし
た。成長温度は1050℃と1230℃の2通りとした。
結果として、GaN基板P上およびGaN基板Q上のいずれにおいても、また、いずれの成長温度においても、SAGが観察された。すなわち、短時間の成長によって、パターンマスクの円形開口上にGaNアイランドが形成された。
た。成長温度は1050℃と1230℃の2通りとした。
結果として、GaN基板P上およびGaN基板Q上のいずれにおいても、また、いずれの成長温度においても、SAGが観察された。すなわち、短時間の成長によって、パターンマスクの円形開口上にGaNアイランドが形成された。
成長温度1050℃のとき、GaN基板P上にSAGにより形成されたGaNアイランドの平面SEM像および鳥瞰SEM像を、図12(a)および(b)にそれぞれ示す。
成長温度1230℃のとき、GaN基板P上にSAGにより形成されたGaNアイランドの平面SEM像および鳥瞰SEM像を、図13(a)および(b)にそれぞれ示す。
成長温度1050℃のとき、GaN基板Q上にSAGにより形成されたGaNアイランドの平面SEM像および鳥瞰SEM像を、図14(a)および(b)にそれぞれ示す。
成長温度1230℃のとき、GaN基板Q上にSAGにより形成されたGaNアイランドの平面SEM像および鳥瞰SEM像を、図15(a)および(b)にそれぞれ示す。
成長温度1230℃のとき、GaN基板P上にSAGにより形成されたGaNアイランドの平面SEM像および鳥瞰SEM像を、図13(a)および(b)にそれぞれ示す。
成長温度1050℃のとき、GaN基板Q上にSAGにより形成されたGaNアイランドの平面SEM像および鳥瞰SEM像を、図14(a)および(b)にそれぞれ示す。
成長温度1230℃のとき、GaN基板Q上にSAGにより形成されたGaNアイランドの平面SEM像および鳥瞰SEM像を、図15(a)および(b)にそれぞれ示す。
図12および図14に示すように、温度1050℃で形成されたGaNアイランドの表面には、明瞭な(000-1)ファセットおよび{10-10}ファセットが現れたが、{11-20}ファセットや、l>0である{hkil}ファセットは観察されなかった。ここで、l>0である{hkil}ファセットとは、法線の方向が[0001]方向と成す角度が90°未満のファセットであり、(0001)ファセットを含む。
図12に示されるように、GaN基板P上に成長したGaNアイランドの上部は、平坦な頂面で終端された六角柱の形をしており、該頂面は(000-1)ファセット、六角柱の側面は{10-11}ファセットであった。該頂面の方位は、該頂面がKOHでエッチングされるか否かを調べる方法で確認した。GaNでは、(0001)表面がKOHでは実質的にエッチングされないのに対し、(000-1)表面はKOHで容易にエッチングされることが知られている。
図12に示されるように、GaN基板P上に成長したGaNアイランドの上部は、平坦な頂面で終端された六角柱の形をしており、該頂面は(000-1)ファセット、六角柱の側面は{10-11}ファセットであった。該頂面の方位は、該頂面がKOHでエッチングされるか否かを調べる方法で確認した。GaNでは、(0001)表面がKOHでは実質的にエッチングされないのに対し、(000-1)表面はKOHで容易にエッチングされることが知られている。
図13および図15に示すように、温度1230℃で成長したGaNアイランドの表面には、明瞭な(000-1)ファセット、{10-1-1}ファセットおよび{10-10}ファセットが現れたが、{11-20}ファセットや、l>0である{hkil}ファセットは観察されなかった。
図13に示されるように、GaN基板P上に成長したGaNアイランドの上部は、平坦な頂面で終端された六角柱の形をしており、該頂面は(000-1)ファセット、六角柱の側面は{10-10}ファセットであった。該(000-1)ファセットと頂面と該{10-10}ファセットの間には、{10-1-1}ファセットであるチャンファー(chamfer)が形成されていた。
図13に示されるように、GaN基板P上に成長したGaNアイランドの上部は、平坦な頂面で終端された六角柱の形をしており、該頂面は(000-1)ファセット、六角柱の側面は{10-10}ファセットであった。該(000-1)ファセットと頂面と該{10-10}ファセットの間には、{10-1-1}ファセットであるチャンファー(chamfer)が形成されていた。
SAGによってパターンマスクの開口部上に形成されたGaNアイランドの形状は、擬平衡結晶形状(quasi-equilibrium crystal shape)と呼ばれるものであり、その表面に現れるファセットは、GaCl3とNH3からGaN結晶が成長する系における安定面を示している。GaCl3とNH3からバルクGaN結晶が成長する場合においても、その表面には、GaNアイランドにおいて観察されたファセットが現れると予測される。
GaN基板P上およびGaN基板Q上において、GaNアイランドが形成された後、更にGaN結晶を成長させ続けると、温度1050℃でも温度1230℃でも、GaNアイランド間のコアレッセンスが起こり、基板の第一主表面全体を覆うGaN層が形成された。GaN基板P上およびGaN基板Q上のいずれにおいても、形成されたGaN層の上面は高い平坦性を有していた。
GaN基板P上およびGaN基板Q上において、GaNアイランドが形成された後、更にGaN結晶を成長させ続けると、温度1050℃でも温度1230℃でも、GaNアイランド間のコアレッセンスが起こり、基板の第一主表面全体を覆うGaN層が形成された。GaN基板P上およびGaN基板Q上のいずれにおいても、形成されたGaN層の上面は高い平坦性を有していた。
3.10.実験10
GaN基板PおよびGaN基板Qの上に、前述の各実験と同じ気相成長装置を用いるが、第二ゾーンにCl2を供給しない条件で、GaN結晶を成長させた。第二ゾーンにCl2を供給しないとき、成長ゾーンに供給されるGa源は、実質的にGaClのみである。かかる条件下、短時間の成長で、これらの基板上に形成されたGaNアイランドのSEM像を図16および図17に示す。
GaN基板PおよびGaN基板Qの上に、前述の各実験と同じ気相成長装置を用いるが、第二ゾーンにCl2を供給しない条件で、GaN結晶を成長させた。第二ゾーンにCl2を供給しないとき、成長ゾーンに供給されるGa源は、実質的にGaClのみである。かかる条件下、短時間の成長で、これらの基板上に形成されたGaNアイランドのSEM像を図16および図17に示す。
図16は温度1050℃で成長したGaNアイランドの鳥瞰SEM像であり、図16(a)はGaN基板P上に成長したアイランドを、また、図16(b)はGaN基板Q上に成長したアイランドを、それぞれ示している。
図16(a)が示すように、温度1050℃でGaN基板P上にGaClとNH3から成長したGaNアイランドの表面には、明瞭なファセットが観察されなかった。
一方、図16(b)が示すように、温度1050℃でGaN基板Q上にGaClとNH3から成長したGaNアイランドの表面には、(000-1)ファセット、{10-1-1}ファセットおよび{10-10}ファセットに加え、{10-11}ファセットも観察された。
図16(a)が示すように、温度1050℃でGaN基板P上にGaClとNH3から成長したGaNアイランドの表面には、明瞭なファセットが観察されなかった。
一方、図16(b)が示すように、温度1050℃でGaN基板Q上にGaClとNH3から成長したGaNアイランドの表面には、(000-1)ファセット、{10-1-1}ファセットおよび{10-10}ファセットに加え、{10-11}ファセットも観察された。
図17は温度1230℃で成長したGaNアイランドの鳥瞰SEM像であり、図17(a)はGaN基板P上に成長したアイランドを、また、図17(b)はGaN基板Q上に成長したアイランドを、それぞれ示している。
図17が示すように、GaN基板P上でもGaN基板Q上でも、温度1230℃でGaClとNH3から成長したGaNアイランドの表面には(000-1)ファセットだけが現れ、非極性{10-10}ファセットと半極性{10-1-1}ファセットは観察されなかった。
図17(a)からは、GaN結晶が[000-1]方向に成長するに従って、そのC面に平行な方向のサイズが拡大したことが分かる。
図17が示すように、GaN基板P上でもGaN基板Q上でも、温度1230℃でGaClとNH3から成長したGaNアイランドの表面には(000-1)ファセットだけが現れ、非極性{10-10}ファセットと半極性{10-1-1}ファセットは観察されなかった。
図17(a)からは、GaN結晶が[000-1]方向に成長するに従って、そのC面に平行な方向のサイズが拡大したことが分かる。
3.11.実験11
前述の気相成長装置を、第二ゾーンへのCl2の供給を行わない態様で使用して、前述のGaN基板A~Iの各第一主表面上にHVPEでGaNを成長させた。すなわち、Cl2と金属Gaを反応させてGaClを生成させ、そのGaClをNH3と反応させることにより、各GaN基板上にGaN結晶を成長させた。成長ゾーンのNH3分圧およびGaCl分圧は、それぞれ、2.0×10-1atmおよび4.8×10-3atmとした。成長温度は1280℃とした。使用したキャリアガスは全てN2である。
結果を下記表12に示す。
前述の気相成長装置を、第二ゾーンへのCl2の供給を行わない態様で使用して、前述のGaN基板A~Iの各第一主表面上にHVPEでGaNを成長させた。すなわち、Cl2と金属Gaを反応させてGaClを生成させ、そのGaClをNH3と反応させることにより、各GaN基板上にGaN結晶を成長させた。成長ゾーンのNH3分圧およびGaCl分圧は、それぞれ、2.0×10-1atmおよび4.8×10-3atmとした。成長温度は1280℃とした。使用したキャリアガスは全てN2である。
結果を下記表12に示す。
更に、比較のために、Cl2に代えてHClを用いて、GaN(30-3-1)基板およびGaN(20-2-1)基板上への、HVPEによる1280℃でのGaN結晶成長を試みた。GaN(30-3-1)基板は、アモノサーマル法で成長させたGaN結晶を
加工して作製したもので、GaN(20-2-1)基板は、HVPE法でc軸成長させたGaN結晶から切り出したものであった。成長ゾーンのNH3分圧およびGaCl分圧は、それぞれ、2.0×10-1atmおよび4.8×10-3atmとし、使用するキャリアガスは全てN2とした。
結果として、いずれのGaN基板上にもGaNを成長させることはできなかった。
具体的にいうと、所望しない大量の暗灰色生成物がサセプタの表面を厚く覆い、サセプタ上に設置したGaN基板は2枚とも該暗灰色生成物に埋もれた状態となった。該暗灰色生成物を取り除いたところ、GaN(30-3-1)基板はサセプタ上で完全に金属Gaに還元されていた。GaN(20-2-1)基板でも分解が生じており、鏡面だったおもて面(第一主表面)が光沢の無いざらついた白色面に変わるとともに、Gaの析出による裏面の黒化が観察された。
詳細は明らかではないが、HClと金属Gaとの反応から生じる副生成物のH2が、高温環境下で異常反応が生じる原因となった可能性が考えられる。
加工して作製したもので、GaN(20-2-1)基板は、HVPE法でc軸成長させたGaN結晶から切り出したものであった。成長ゾーンのNH3分圧およびGaCl分圧は、それぞれ、2.0×10-1atmおよび4.8×10-3atmとし、使用するキャリアガスは全てN2とした。
結果として、いずれのGaN基板上にもGaNを成長させることはできなかった。
具体的にいうと、所望しない大量の暗灰色生成物がサセプタの表面を厚く覆い、サセプタ上に設置したGaN基板は2枚とも該暗灰色生成物に埋もれた状態となった。該暗灰色生成物を取り除いたところ、GaN(30-3-1)基板はサセプタ上で完全に金属Gaに還元されていた。GaN(20-2-1)基板でも分解が生じており、鏡面だったおもて面(第一主表面)が光沢の無いざらついた白色面に変わるとともに、Gaの析出による裏面の黒化が観察された。
詳細は明らかではないが、HClと金属Gaとの反応から生じる副生成物のH2が、高温環境下で異常反応が生じる原因となった可能性が考えられる。
以上、本発明を実施形態に即して具体的に説明したが、各実施形態は例として提示されたものであり、本発明の範囲を限定するものではない。本明細書に記載された各実施形態は、発明の趣旨を逸脱しない範囲内で様々に変形することができ、かつ、実施可能な範囲内で、他の実施形態により説明された特徴と組み合わせることができる。
10 GaN基板
11 第一主表面
12 第二主表面
13 側面
100 気相成長装置
110 第一反応管
111 第一Cl2供給口
112 第二Cl2供給口
113 ガス出口
114 漏斗形管
115 バッフル
120 第二反応管
121 NH3供給口
122 排気口
130 サセプタ
Z1 第一ゾーン
Z2 第二ゾーン
Z3 成長ゾーン
11 第一主表面
12 第二主表面
13 側面
100 気相成長装置
110 第一反応管
111 第一Cl2供給口
112 第二Cl2供給口
113 ガス出口
114 漏斗形管
115 バッフル
120 第二反応管
121 NH3供給口
122 排気口
130 サセプタ
Z1 第一ゾーン
Z2 第二ゾーン
Z3 成長ゾーン
Claims (20)
- 金属GaとCl2の反応により気体塩化ガリウムを生成させ、該気体塩化ガリウムを不活性ガスからなるキャリアガスを用いてGaN種結晶上に供給するとともにNH3と反応させ、1200℃以上の成長温度で該GaN種結晶上にGaN結晶を成長させる気相成長工程を含み、
前記GaN種結晶が所定面方位を有するGaN表面を有しており、前記気相成長工程においては少なくとも該GaN表面上にGaNを成長させ、
前記所定面方位を有するGaN表面の法線の方向が、前記GaN種結晶の[0001]方向と10°以上かつ170°以下の角度を成す、GaN結晶製造方法。 - 前記成長温度が1250℃以上である、請求項1に記載のGaN結晶製造方法。
- 前記不活性ガスがN2を含む、請求項1または2に記載のGaN結晶製造方法。
- 前記気体塩化ガリウムの主成分がGaClである、請求項1~3のいずれか1項に記載のGaN結晶製造方法。
- 前記気相成長工程における、前記所定面方位を有するGaN表面上でのGaN結晶成長レートが5μm/h以上である、請求項1~4のいずれか1項に記載のGaN結晶製造方法。
- 前記所定面方位を有するGaN表面の法線の方向が前記GaN種結晶の[0001]方向と成す角度が60°以上かつ70°未満、70°以上かつ85°未満、85°以上かつ95°以下、95°超かつ110°以下、または、110°超かつ120°以下である、請求項1~5のいずれか1項に記載のGaN結晶製造方法。
- 前記所定面方位を有するGaN表面と前記GaN種結晶のC面との交線の方向が、a軸方向±15°である、請求項1~6のいずれか1項に記載のGaN結晶製造方法。
- 前記交線の方向が、a軸方向±3°である、請求項7に記載のGaN結晶製造方法。
- 前記所定面方位を有するGaN表面の法線と平行または最も平行に近い前記GaN種結晶の低指数方位が<10-11>、<30-32>、<20-21>、<30-31>、<10-10>、<30-3-1>、<20-2-1>、<30-3-2>または<10-1-1>である、請求項7または8に記載のGaN結晶製造方法。
- 前記所定面方位を有するGaN表面が、GaN基板の主表面である、請求項1~9のいずれか1項に記載のGaN結晶製造方法。
- 前記気相成長工程の前に、前記所定面方位を有するGaN表面にSAGを発生させるためのパターンマスクを配置する工程を有する、請求項10に記載のGaN結晶製造方法。
- 前記パターンマスクがアモルファス無機薄膜を含む、請求項11に記載のGaN結晶製造方法。
- 前記アモルファス無機薄膜がケイ素化合物を含む、請求項12に記載のGaN結晶製造方法。
- 前記アモルファス無機薄膜がSiNxを含む、請求項13に記載のGaN結晶製造方法
。 - 前記パターンマスクが複数のドット形開口を有する、請求項11~14のいずれか1項に記載のGaN結晶製造方法。
- 金属GaとCl2の反応により気体塩化ガリウムを生成させ、該気体塩化ガリウムを不活性ガスからなるキャリアガスを用いてGaN種結晶上に供給するとともにNH3と反応させ、成長するに従ってC面に平行な方向のサイズが拡大するように、GaN結晶を[000-1]方向に成長させる気相成長工程を含み、
前記気体塩化ガリウムの主成分がGaClである、GaN結晶製造方法。 - 前記気相成長工程では、前記GaN結晶を1230℃以上の成長温度で成長させる、請求項16に記載のGaN結晶製造方法。
- 前記不活性ガスがN2を含む、請求項16または17に記載のGaN結晶製造方法。
- 前記GaN種結晶は、法線の方向が前記GaN種結晶の[0001]方向と175°以上かつ180°以下の角度を成すGaN表面を有しており、前記気相成長工程では少なくとも該GaN表面上にGaN結晶を成長させる、請求項16~18のいずれか1項に記載のGaN結晶製造方法。
- 前記GaN種結晶が所定面方位を有するGaN表面を有しており、前記気相成長工程の前に、前記所定面方位を有するGaN表面にSAGを発生させるためのパターンマスクを配置する工程を有する、請求項16~19のいずれか1項に記載のGaN結晶製造方法。
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