JP4907432B2 - 搬送装置並びに液処理装置及び同液処理装置における被処理体の搬送方法 - Google Patents
搬送装置並びに液処理装置及び同液処理装置における被処理体の搬送方法 Download PDFInfo
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Description
また、請求項7に係る本発明では、前記請求項4〜請求項6に係る本発明において、前記第1及び第2の液処理室と被処理体の乾燥を行う乾燥室とを並べて配置するとともに、前記搬送手段で前記第1又は第2の液処理室から乾燥室に被処理体を搬送し、搬出手段で前記乾燥室から被処理体を搬出し、前記搬送手段と前記搬出手段を上下に間隔をあけて配置することにした。
3 キャリア 4 キャリア載置部
5 ウエハ搬入出部 6 ウエハ処理部
7,8 開閉扉 9 ウエハ処理室
10 制御室 11 処理液室
12 第1の洗浄室 13 第2の洗浄室
14 乾燥室 15 搬送手段
16,17 開閉扉 18,19 ケーシング
20,21 チャンバー 22,23 ノズル
24,25 昇降回転機構 26 開閉扉
27 ケーシング 28 チャンバー
29 昇降回転機構 30 移動機構
31 ウエハ保持具 32 保持体
33 液体保持具 34 液体供給口
35 連通パイプ 36 液体
37 搬出手段 38 移動機構
39 ウエハ保持具
Claims (9)
- 被処理体に対して所定の処理を行う第1の処理室と第2の処理室との間で被処理体を搬送する搬送装置において、
被処理体の表面に液体を供給する液体供給口と、前記液体供給口から供給された液体を被処理体の周縁で堰き止めることによって被処理体の表面を液体で被覆した状態に保持するために被処理体の周縁上方に配置した液体保持具とを有し、
前記液体供給口は、前記液体保持具に複数個形成したことを特徴とする搬送装置。 - 前記液体供給口は、前記液体保持具に等間隔で複数個形成したことを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記液体保持具は、前記被処理体の表面との間に間隙を形成するとともに、前記液体の表面張力を用いて前記液体を前記被処理体の表面で保持することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の搬送装置。
- 被処理体に対して液処理を行う第1及び第2の液処理室と、これら第1の液処理室と第2の液処理室との間で被処理体を搬送する搬送手段とを有する液処理装置において、
搬送手段は、被処理体の表面に液体を供給する液体供給口と、前記液体供給口から供給された液体を被処理体の周縁で堰き止めることによって被処理体の表面を液体で被覆した状態に保持するために被処理体の周縁上方に配置した液体保持具とを有し、
前記液体供給口は、前記液体保持具に複数個形成したことを特徴とする液処理装置。 - 前記液体供給口は、前記液体保持具に等間隔で複数個形成したことを特徴とする請求項4に記載の液処理装置。
- 前記液体保持具は、前記被処理体の表面との間に間隙を形成するとともに、前記液体の表面張力を用いて前記液体を前記被処理体の表面で保持することを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の液処理装置。
- 前記第1及び第2の液処理室と被処理体の乾燥を行う乾燥室とを並べて配置するとともに、前記搬送手段で前記第1又は第2の液処理室から乾燥室に被処理体を搬送し、搬出手段で前記乾燥室から被処理体を搬出し、前記搬送手段と前記搬出手段を上下に間隔をあけて配置したことを特徴とする請求項4〜請求項6に記載の液処理装置。
- 被処理体に対して液処理を行う第1の液処理室と第2の液処理室との間で被処理体を搬送する液処理装置における被処理体の搬送方法において、
液体保持具に形成した複数個の液体供給口から被処理体の表面に液体を供給するとともに、被処理体の周縁上方に配置した液体保持具で前記液体を被処理体の周縁で堰き止めることによって前記液体で被処理体の表面を被覆した状態に保持し、その後、前記液体で被処理体の表面を被覆した状態で被処理体を搬送することを特徴とする液処理装置における被処理体の搬送方法。 - 前記第1の液処理室内で被処理体を処理液で処理した後に、同第1の液処理室内で前記液体供給口から被処理体の表面に液体を供給して、前記液体保持具によって前記液体で被処理体の表面を被覆した状態に保持することを特徴とする請求項8に記載の液処理装置における被処理体の搬送方法。
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