JP4896219B2 - 金属−樹脂積層体 - Google Patents
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Description
(式(4)中、R 3 、R 4 は各々独立に、水素、炭素数1〜6のアルキル基、又は炭素数1〜6のアルコキシ基を表す)
(式(6)中、R 5 は炭素数1〜6のアルキル基、又は炭素数1〜6のアルコキシ基を表す)
本発明の積層体は、特定の表面粗さを有する金属箔と、前記金属箔上に設けられた、特定の化学構造を含む熱可塑性ポリイミド層を含む。
本発明の積層体に用いる金属箔は、ファインピッチ配線加工、表皮効果などの観点から、低粗度の銅箔を用いることが好ましく、ここで低粗度とは、上記金属箔の表面(片面)の算術平均粗さ(Ra)が0.20μm以下及び/又は十点平均粗さ(Rz)が0.70μm以下であることを言う。特にRaが0.20μm以下かつRzが0.70μm以下である金属箔が好適である。より好ましいRaの範囲は0.15μm以下であり、また熱可塑性ポリイミドとの接着性という観点から、Raは0.01μm以上が好ましく、0.03μm以上がさらに好ましい。また、より好ましいRzの範囲は0.60μm以下であり、熱可塑性ポリイミドとの接着性という観点から、Rzは0.20μm以上が好ましく、0.30μm以上がさらに好ましく、0.40μm以上が特に好ましい。ここでRa及びRzは、JIS B0601:1994に規定された方法で測定された値である。
本発明に係る積層体は、前記金属箔においてRaが0.20μm以下及び/又はRzが0.70μm以下である面と、熱可塑性ポリイミド層とが接するように積層されていることを特徴とする。
本発明に係る熱可塑性ポリイミドは、前記テトラカルボン酸二無水物とジアミンの少なくとも1種とを、実質的に等モル量、有機溶媒中に溶解させ反応させて得られるポリアミド酸を前駆体とし、さらにイミド化反応を行って得られる。
本発明においては、積層体の熱膨張係数、耐熱性、弾性率、引き裂き強度、引張破断伸度などの観点から、前記熱可塑性ポリイミド層に加え、該熱可塑性ポリイミド層と接するように設けられた樹脂層を用いることが好ましい。該樹脂層は特に限定されず、公知のものを使用することが可能であるが、ポリイミドフィルムであることが好ましく、非熱可塑性ポリイミドフィルムであることがより好ましい。ここで「非熱可塑性」とは、400℃以下にガラス転移温度を有しないか、ガラス転移温度を有する場合であっても、ガラス転移温度以上の加熱によって弾性率の大きな低下がなく、可塑化しない(溶融流動しない)ことを指す。
本発明の積層体の製造方法について述べる。
本発明の積層体の製造方法としては、まず金属箔あるいは樹脂層の上に、前記熱可塑性ポリイミドあるいはその前駆体の溶液を塗布した後、乾燥し、必要に応じてイミド化反応を行うことによって、熱可塑性ポリイミド層を形成する。
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの例によって何ら限定されるものではない。なお、以下の実施例における物性評価は、次のようにして行った。
銅箔−樹脂積層体を、長さ140mm、幅10mmに切り出し、幅1mmのビニールテープを銅箔面上の長手方向に貼付してマスキングした。裏面にも銅箔層が存在する場合は、裏面全体をビニールテープでマスキングした。これを塩化第二鉄水溶液(日本国鶴見曹達株式会社製)に浸漬して銅箔層をエッチング処理し、ビニールテープを除去した後に水洗することで、幅1mmの銅箔パターンを形成した。得られた試料を105℃にて熱風乾燥機にて1時間乾燥させた後、積層体と同一サイズのガラスエポキシ基板に両面テープを用いて貼り付けた。幅1mmの銅箔パターンをポリイミド層から剥離しながら、剥離に要する応力を測定した。測定はJIS C6471 8.1のA(90°剥離法)に規定された方法で、剥離速度を50mm/minとした。同一組成につき2個の試験片について測定し、その平均値をピール強度とした。
上記(1)において、銅箔層をエッチング処理して得られた試料を、150℃にて7日間加熱処理を行った後、(1)と同様にして試験片を作製し、ピール強度を測定した。
90℃に保温された金属製の塗工台に、厚さ12μmの銅箔(商品名USLP−SE、日本国日本電解株式会社製)を、マット面側が表面になるように静置した。濃度15重量%の熱可塑性ポリイミド前駆体の溶液(ワニス)を、ドクターブレード用いて銅箔マット面に塗布した。その後、塗工台上で10分間静置し、さらに空気循環式の乾燥炉で120℃にて10分間加熱乾燥することで、タック性のない熱可塑性ポリイミド前駆体フィルム(厚さ約45μm)が得られた。続いて熱風乾燥器中にて、窒素雰囲気下、昇温速度5℃/minで、150℃で30分間、200℃で60分間、350℃で60分間加熱してイミド化を行い、銅箔付き熱可塑性ポリイミドフィルムを得た。この銅箔付きフィルムを塩化第二鉄水溶液(日本国鶴見曹達株式会社製)に浸漬して銅箔をエッチング除去することにより、厚さ約25μmの(熱可塑性ポリイミド層を構成する)熱可塑性ポリイミドフィルムを得た。
日本国株式会社島津製作所製熱機械分析装置(TMA−50)を用いて、荷重5gにて幅3mm、長さ19mm(チャック間長さ15mm)の前記熱可塑性ポリイミドフィルムの寸法変化を測定し、100℃〜200℃の範囲における熱膨張係数、及びガラス転移温度を算出した。
日本国株式会社島津製作所製熱重量分析装置(TGA−50)を用いて、窒素気流下、昇温速度10℃/分にて30℃〜700℃に昇温した際の前記熱可塑性ポリイミドフィルムの重量変化を測定した。
スパッタ法で成膜したアルミニウム膜付きシリコンウェハに、濃度15重量%のワニスをスピンコートした後、100℃にて20分間乾燥し、厚さ17μmの熱可塑性ポリイミド前駆体の層を設けた。次いで150℃で30分間、200℃で60分間、350℃で60分間加熱してイミド化を行った。得られた熱可塑性ポリイミド付きシリコンウェハをダイシングカッターを用いて3mm幅に切り出し、2N塩酸に浸漬してアルミニウムをエッチングし、熱可塑性ポリイミドを剥離した。その後水洗し、80℃にて1時間乾燥して試料とした。
ポリイミドフィルムを50mm*150mmに切り出して試料とし、日本国株式会社オリエンテック製RTG−1210型引張試験装置(同社製UR−50N−D型ロードセルを装着)を用い、JIS K7128−1に記載の方法で、試験速度50mm/分にて測定した。
ゲル浸透クロマトグラフィーを用い、ジメチルホルムアミドを展開液として測定し、ポリスチレン標準での重量平均分子量を算出した。
日本国株式会社パーキンエルマージャパン製のフーリエ変換赤外分光分析装置Spectrum Oneを用いて測定した。
窒素置換したグローブボックス中で、容量50mlのガラス製スクリュー管に2,2−ビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)プロパン(以下、BAPP)1.22g(3.0mmol)、及びN−メチル−2−ピロリドン(脱水)(日本国和光純薬工業株式会社製)(以下、NMP)14.1gを加え、常温で撹拌し、溶解させた。さらに2,5−トリレンビス(トリメリット酸モノエステル)二無水物(以下、TAMHQ)1.42g(3.0mmol)を加え、窒素導入管を取り付けたキャップで密栓し、マグネチックスターラーを用いて、窒素気流下、室温にて1時間撹拌し反応させ、濃度15重量%の熱可塑性ポリイミド前駆体の溶液(ワニス)を得た。このワニスをさらにNMPで150%に希釈し、濃度10重量%のワニスを得た。
テトラカルボン酸二無水物として、TAMHQ1.42gの代わりにTAMHQ0.85g(1.8mmol)とp−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル)二無水物(以下、TAHQ)0.55g(1.2mmol)との混合物を用いた以外、実施例1と同様の操作を行って、銅箔−樹脂積層体及び熱可塑性ポリイミドフィルムを得た。得られた銅箔−樹脂積層体のピール強度を、上記に記載した方法により測定した。また、濃度15重量%のワニスを用いて作製した熱可塑性ポリイミドフィルムの10%RH〜80%RHにおける吸湿膨張係数は12.5ppm/%RHであり、熱膨張係数は60ppm/℃であった。
テトラカルボン酸二無水物として、TAMHQ1.42gの代わりにTAMHQ0.71g(1.5mmol)と3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(日本国三菱化学株式会社製)(以下、BPDA)0.44g(1.5mmol)との混合物を用いた以外、実施例1と同様の操作を行って、銅箔−樹脂積層体を得た。得られた銅箔−樹脂積層体のピール強度を、上記に記載した方法により測定した。
ポリテトラフルオロエチレンで被覆された碇型撹拌器を取り付けた容量1000mlのガラス製のセパラブル3つ口フラスコに窒素導入管を取り付け、内部を窒素で置換した。このフラスコに、BAPP16.2g(40mmol)、及びNMP199.0gを加え、常温で撹拌し溶解させた。さらにTAHQ18.3g(40mmol)を加え、室温にて1時間撹拌した後に、80℃に昇温してさらに3時間撹拌し反応させ、濃度15重量%のワニスを得た。このワニスをさらにNMPで150%に希釈し、濃度10重量%のワニスを得た。
テトラカルボン酸二無水物として、TAMHQ1.42gの代わりにBPDA0.88g(3.0mmol)を用いた以外、実施例1と同様の操作を行って、銅箔−樹脂積層体を得た。得られた銅箔−樹脂積層体のピール強度を、上記に記載した方法により測定した。また、濃度15重量%のワニスを用いて作製した熱可塑性ポリイミドフィルムの10%RH〜80%RHにおける吸湿膨張係数は19.9ppm/%RHであった。
テトラカルボン酸二無水物として、TAMHQ1.42gの代わりに3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(以下、BTDA)0.97g(3.0mmol)を用いた以外、実施例1と同様の操作を行って、銅箔−樹脂積層体を得た。得られた銅箔−樹脂積層体のピール強度を、上記に記載した方法により測定した。
窒素置換したグローブボックス中で、容量50mlのガラス製スクリュー管にBAPP1.23g(3.00mmol)、及びNMP15.4gを加え、常温で撹拌し、溶解させた。4,4’−ビフェニレンビス(トリメリット酸モノエステル)二無水物(以下、TABP)0.64g(1.2mmol)を徐々に加え、窒素導入管を取り付けたキャップで密栓し、マグネチックスターラーを用いて、窒素気流下、室温にて1時間撹拌し反応させた。さらにTAMHQ0.85g(1.8mmol)を加え、窒素気流下、室温にて1時間撹拌し反応させることにより、濃度15重量%の熱可塑性ポリイミド前駆体の溶液(ワニス)を得た。このワニスをさらにNMPで150%に希釈し、濃度10重量%のワニスを得た。
窒素置換したグローブボックス中で、容量50mlのガラス製スクリュー管にBAPP1.23g(3.00mmol)、及びNMP15.6gを加え、常温で撹拌し、溶解させた。TABP0.96g(1.8mmol)を徐々に加え、窒素導入管を取り付けたキャップで密栓し、マグネチックスターラーを用いて、窒素気流下、室温にて1時間撹拌し反応させた。さらにTAMHQ0.57g(1.2mmol)を加え、窒素気流下、室温にて1時間撹拌し反応させることにより、濃度15重量%の熱可塑性ポリイミド前駆体の溶液(ワニス)を得た。このワニスをさらにNMPで150%に希釈し、濃度10重量%のワニスを得た。
窒素置換したグローブボックス中で、容量50mlのガラス製スクリュー管にBAPP1.23g(3.00mmol)、及びNMP16.1gを加え、常温で撹拌し、溶解させた。TABP1.60g(3.00mmol)を徐々に加え、窒素導入管を取り付けたキャップで密栓し、マグネチックスターラーを用いて、窒素気流下、室温にて1時間撹拌し反応させることにより、濃度15重量%の熱可塑性ポリイミド前駆体の溶液(ワニス)を得た。このワニスをさらにNMPで150%に希釈し、濃度10重量%のワニスを得た。
BAPPの使用量を1.29g(3.14mmol)に変更した以外は実施例1と同じ操作を行った。
BAPPの使用量を1.26g(3.07mmol)に変更した以外は実施例1と同じ操作を行った。
BAPPの使用量を1.22g(2.97mmol)に変更した以外は実施例1と同じ操作を行った。
実施例4で得られた濃度10重量%のワニスを用い、ポリイミドフィルムとしてカプトン(登録商標)80EN(日本国東レ・デュポン株式会社製、厚さ20μm、構成成分として3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物に由来する繰り返し単位を含有、トラウザー引き裂き強度:60N/m、弾性率:5.6GPa(カタログ記載値)、最大伸度:81%、吸湿膨張係数:16.0ppm/%RH)を用い、上記方法に従って銅箔−樹脂積層体を作製した。銅箔−樹脂積層体のピール強度は1.36N/mmであった。
窒素置換したグローブボックス中で、容量50mlのガラス製スクリュー管にBAPP0.96g(2.3mmol)及びNMP14.8gを加え、常温で撹拌し、溶解させた。TABP0.64g(1.2mmol)を徐々に加え、窒素導入管を取り付けたキャップで密栓し、マグネチックスターラーを用いて、窒素気流下、室温にて1時間撹拌し反応させた。さらにTAMHQ0.85g(1.8mmol)及び1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(以下、APB)0.17g(0.58mmol)を加え、窒素気流下、室温にて1時間撹拌し反応させることにより、濃度15重量%の熱可塑性ポリイミド前駆体の溶液(ワニス)を得た。このワニスをさらにNMPで150%に希釈し、濃度10重量%のワニスを得た。
窒素置換したグローブボックス中で、容量50mlのガラス製スクリュー管にBAPP0.72g(1.7mmol)及びNMP14.8gを加え、常温で撹拌し、溶解させた。TABP0.64g(1.2mmol)を徐々に加え、窒素導入管を取り付けたキャップで密栓し、マグネチックスターラーを用いて、窒素気流下、室温にて1時間撹拌し反応させた。さらにTAMHQ0.85g(1.8mmol)及びAPB0.34g(1.2mmol)を加え、窒素気流下、室温にて1時間撹拌し反応させることにより、濃度15重量%の熱可塑性ポリイミド前駆体の溶液(ワニス)を得た。このワニスをさらにNMPで150%に希釈し、濃度10重量%のワニスを得た。
窒素置換したグローブボックス中で、容量50mlのガラス製スクリュー管にBAPP0.81g(2.0mmol)及びNMP14.8gを加え、常温で撹拌し、溶解させた。TABP0.64g(1.2mmol)を徐々に加え、窒素導入管を取り付けたキャップで密栓し、マグネチックスターラーを用いて、窒素気流下、室温にて1時間撹拌し反応させた。さらにTAMHQ0.85g(1.8mmol)及び4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル(以下、m−BAPB)0.31g(0.85mmol)を加え、窒素気流下、室温にて1時間撹拌し反応させることにより、濃度15重量%の熱可塑性ポリイミド前駆体の溶液(ワニス)を得た。このワニスをさらにNMPで150%に希釈し、濃度10重量%のワニスを得た。
窒素置換したグローブボックス中で、容量50mlのガラス製スクリュー管にBAPP0.81g(2.0mmol)及びNMP14.8gを加え、常温で撹拌し、溶解させた。TABP0.64g(1.2mmol)を徐々に加え、窒素導入管を取り付けたキャップで密栓し、マグネチックスターラーを用いて、窒素気流下、室温にて1時間撹拌し反応させた。さらにTAMHQ0.85g(1.8mmol)、m−BAPB0.21g(0.56mmol)、APB0.082g(0.28mmol)を加え、窒素気流下、室温にて1時間撹拌し反応させることにより、濃度15重量%の熱可塑性ポリイミド前駆体の溶液(ワニス)を得た。このワニスをさらにNMPで150%に希釈し、濃度10重量%のワニスを得た。
ポリテトラフルオロエチレンで被覆された碇型撹拌器を取り付けた容量1000mlのガラス製のセパラブル3つ口フラスコに窒素導入管を取り付け、内部を窒素で置換した。このフラスコに、BAPP20.9g(50.8mmol)及びNMP250mLを加え、窒素気流下、常温にて撹拌し溶解させた。さらにTAHQ14.2g(30.9mmol)及びTAMHQ9.72g(20.6mmol)を加え、窒素気流下、水浴中にて1時間、さらに80℃にて3時間撹拌し反応させ、濃度15重量%の熱可塑性ポリイミド前駆体の溶液(ワニス)を得た。このワニスをさらにNMPで150%に希釈し、濃度10重量%のワニスを得た。ワニスに含まれる熱可塑性ポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)は18.5*104であった。
ポリテトラフルオロエチレンで被覆された碇型撹拌器を取り付けた容量1000mlのガラス製のセパラブル3つ口フラスコに窒素導入管を取り付け、内部を窒素で置換した。このフラスコに、BAPP20.7g(50.3mmol)及びNMP250mLを加え、窒素気流下、常温にて撹拌し溶解させた。さらにTAMHQ24.1g(51.0mmol)を加え、窒素気流下、水浴中にて1時間、さらに80℃にて3時間撹拌し反応させ、濃度15重量%の熱可塑性ポリイミド前駆体の溶液(ワニス)を得た。このワニスをさらにNMPで150%に希釈し、濃度10重量%のワニスを得た。ワニスに含まれる熱可塑性ポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)は10.1*104であった。
ポリテトラフルオロエチレンで被覆された碇型撹拌器を取り付けた容量1000mlのガラス製のセパラブル3つ口フラスコに窒素導入管を取り付け、内部を窒素で置換した。このフラスコに、BAPP25.9g(63.1mmol)及びNMP250mLを加え、窒素気流下、常温にて撹拌し溶解させた。さらにBPDA17.8g(60.5mmol)を加え、窒素気流下、水浴中にて1時間、さらに80℃にて3時間撹拌し反応させ、濃度15重量%の熱可塑性ポリイミド前駆体の溶液(ワニス)を得た。このワニスをさらにNMPで150%に希釈し、濃度10重量%のワニスを得た。ワニスに含まれる熱可塑性ポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)は8.4*104であった。
ポリテトラフルオロエチレンで被覆された碇型撹拌器を取り付けた容量1000mlのガラス製のセパラブル3つ口フラスコに窒素導入管を取り付け、内部を窒素で置換した。このフラスコに、BAPP12.7g(31.0mmol)、APB6.04g(20.7mmol)及びNMP250mLを加え、窒素気流下、常温にて撹拌し溶解させた。さらにTABP11.2g(20.9mmol)を加え、窒素気流下、室温にて1時間、さらに80℃にて1時間撹拌し反応させた。室温に冷却後、TAMHQ14.8g(31.4mmol)を加え、室温にて1時間、80℃にて2時間撹拌し反応させ、濃度15重量%の熱可塑性ポリイミド前駆体の溶液(ワニス)を得た。このワニスをさらにNMPで150%に希釈し、濃度10重量%のワニスを得た。ワニスに含まれる熱可塑性ポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)は5.3*104であった。
濃度15重量%のワニスを150%に希釈して濃度10重量%のワニスを得る際に、溶媒としてNMPの代わりにγ−ブチロラクトン(γ−BL)を使用したことを除いて、実施例16と同様の操作を行った。得られた銅箔−樹脂積層体のピール強度は1.31N/mmであった。
ポリテトラフルオロエチレンで被覆された碇型撹拌器を取り付けた容量1000mlのガラス製のセパラブル3つ口フラスコに窒素導入管を取り付け、内部を窒素で置換した。このフラスコに、APB20.8g(71.1mmol)及びNMP240mLを加え、窒素気流下、常温にて撹拌し溶解させた。さらにTAHQ33.0g(71.9mmol)を加え、窒素気流下、水浴中にて1時間、さらに80℃にて3時間撹拌し反応させ、濃度15重量%の熱可塑性ポリイミド前駆体の溶液(ワニス)を得た。このワニスをさらにNMPで150%に希釈し、濃度10重量%のワニスを得た。ワニスに含まれる熱可塑性ポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)は21.7*104であった。
Claims (16)
- 金属箔と熱可塑性ポリイミド層とを含む積層体であって、
前記熱可塑性ポリイミド層が、
(i)一般式(1)で表されるテトラカルボン酸二無水物に由来する繰り返し単位A、
(ii)一般式(2)で表されるテトラカルボン酸二無水物に由来する繰り返し単位B、及び
(iii)一般式(3)で表されるテトラカルボン酸二無水物に由来する繰り返し単位C、から選ばれる少なくとも2種類以上を含有し、
前記金属箔の表面の算術平均粗さRaが0.20μm以下、及び/又は十点平均粗さRzが0.70μm以下であり、かつ前記熱可塑性ポリイミド層の吸湿膨張係数が16ppm/%RH以下であることを特徴とする積層体。
- 前記熱可塑性ポリイミド層の上にさらに樹脂層が設けられたことを特徴とする請求項1記載の積層体。
- 前記樹脂層の吸湿膨張係数が、16ppm/%RH以下であることを特徴とする請求項11記載の積層体。
- 前記樹脂層が、ポリイミドフィルムであることを特徴とする請求項12記載の積層体。
- 前記ポリイミドフィルムが、構成成分としてピロメリット酸二無水物及び/又は3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物に由来する繰り返し単位を含むことを特徴とする請求項13記載の積層体。
- 前記金属箔が銅箔であることを特徴とする請求項1記載の積層体。
- 請求項1から請求項15のいずれかに記載の積層体を配線加工してなることを特徴とするフレキシブルプリント配線板。
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