JP4895117B2 - 半導体試験装置 - Google Patents
半導体試験装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4895117B2 JP4895117B2 JP2007064428A JP2007064428A JP4895117B2 JP 4895117 B2 JP4895117 B2 JP 4895117B2 JP 2007064428 A JP2007064428 A JP 2007064428A JP 2007064428 A JP2007064428 A JP 2007064428A JP 4895117 B2 JP4895117 B2 JP 4895117B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- driver
- relay
- signal
- voltage
- dut
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
パターンに基づいて通常の試験信号または高電圧信号を選択的にDUTに印加する半導体試験装置において、
前記パターンが入力されると共に前記通常の試験信号を出力し、前記高電圧信号をDUTへ印加する時は出力を高インピーダンスとするドライバと、このドライバと前記DUTとの間に設けられた第1のリレーと、前記パターンが入力されると共に前記高電圧信号を出力する高電圧ドライバと、前記ドライバの入力と前記高電圧ドライバの間に設けられた第2のリレーと、前記高電圧ドライバと前記DUTとの間に設けられた第3のリレーとを備えたことを特徴とする。
高電圧信号をDUTへ印加する時は出力を高インピーダンスとするドライバを備えたことにより、ドライバから漏れ電圧波形が出力されることが無くなるので、ドライバの出力に半導体リレーを使用してもDUTへ印加する信号波形に漏れ電圧波形が重畳されず、波形品位の向上が可能になる。
2,3,5,6,7,8,10,11,13 リレー
4,17 増幅器
12 高電圧ドライバ
14 インピーダンス素子
15 制御スイッチ
16 抵抗
18 制御回路
Claims (1)
- パターンに基づいて通常の試験信号または高電圧信号を選択的にDUTに印加する半導体試験装置において、
前記パターンが入力されると共に前記通常の試験信号を出力し、前記高電圧信号をDUTへ印加する時は出力を高インピーダンスとするドライバと、
このドライバと前記DUTとの間に設けられた第1のリレーと、
前記パターンが入力されると共に前記高電圧信号を出力する高電圧ドライバと、
前記ドライバの入力と前記高電圧ドライバの間に設けられた第2のリレーと、
前記高電圧ドライバと前記DUTとの間に設けられた第3のリレーと
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007064428A JP4895117B2 (ja) | 2007-03-14 | 2007-03-14 | 半導体試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007064428A JP4895117B2 (ja) | 2007-03-14 | 2007-03-14 | 半導体試験装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008224470A JP2008224470A (ja) | 2008-09-25 |
JP4895117B2 true JP4895117B2 (ja) | 2012-03-14 |
Family
ID=39843273
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007064428A Active JP4895117B2 (ja) | 2007-03-14 | 2007-03-14 | 半導体試験装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4895117B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03255377A (ja) * | 1990-03-05 | 1991-11-14 | Nec Corp | 集積回路の試験装置 |
JPH09325176A (ja) * | 1996-06-05 | 1997-12-16 | Advantest Corp | Ic試験装置 |
JP2002022804A (ja) * | 2000-07-04 | 2002-01-23 | Advantest Corp | 半導体試験装置 |
JP4749605B2 (ja) * | 2001-06-15 | 2011-08-17 | 株式会社アドバンテスト | 半導体試験装置 |
-
2007
- 2007-03-14 JP JP2007064428A patent/JP4895117B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008224470A (ja) | 2008-09-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1821171B1 (en) | Testing apparatus and electric source circuit | |
US7471092B2 (en) | Test apparatus and test method | |
JP2010210238A (ja) | プローブカード、それを備えた半導体検査装置及びプローブカードのヒューズチェック方法 | |
JP4644132B2 (ja) | 測定装置、試験装置、及び測定方法 | |
JP2008256632A (ja) | 半導体集積回路の試験方法及びicテスタ | |
US7409615B2 (en) | Test apparatus and test method | |
TWI670504B (zh) | 保護繼電裝置之特性試驗系統 | |
TW201531721A (zh) | 主動分流電源量測單元(smu)電路 | |
JP2008256695A (ja) | 欠陥率を低くするための組み立てられたpwa上のタンタルコンデンサの処理 | |
JP4895117B2 (ja) | 半導体試験装置 | |
TWI386665B (zh) | 測試裝置以及接腳電子卡 | |
JP2006349466A (ja) | 温度検出装置 | |
JP4581865B2 (ja) | 電圧印加装置 | |
JP2007040771A (ja) | ノイズ測定用半導体装置 | |
JP2009156580A (ja) | 入力容量測定回路 | |
JP4735250B2 (ja) | 計測装置 | |
JP4380601B2 (ja) | 半導体装置の試験を行うための回路及び半導体装置の試験装置 | |
JP2013238461A (ja) | 試験装置、試験方法、及び装置 | |
JP2007333536A (ja) | 差動信号出力回路のdc特性テスト回路 | |
JP2007064629A (ja) | 半導体検査装置 | |
JP2010122149A (ja) | Dcモジュールおよびそれを用いた半導体試験装置 | |
JP2006064488A (ja) | 半導体試験装置 | |
JP2008298554A (ja) | ドライバ回路 | |
JP2008151540A (ja) | 試験装置および検出方法 | |
JP2020184741A (ja) | リセット回路 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100106 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110831 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110906 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111020 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111201 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111214 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4895117 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150106 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20180106 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20180106 Year of fee payment: 6 |
|
S201 | Request for registration of exclusive licence |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R314201 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20180106 Year of fee payment: 6 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |