JP2008224470A - 半導体試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パターンに基づいて通常の試験信号または高電圧信号を選択的にDUTに印加する半導体試験装置において、パターンが入力されると共に通常の試験信号を出力し、高電圧信号をDUTへ印加する時は出力を高インピーダンスとするドライバと、ドライバとDUTとの間に設けられた第1のリレーと、パターンが入力されると共に高電圧信号を出力する高電圧ドライバと、ドライバの入力と高電圧ドライバの間に設けられた第2のリレーと、高電圧ドライバとDUTとの間に設けられた第3のリレーとを備える。
【選択図】 図1
Description
パターンに基づいて通常の試験信号または高電圧信号を選択的にDUTに印加する半導体試験装置において、
前記パターンが入力されると共に前記通常の試験信号を出力し、前記高電圧信号をDUTへ印加する時は出力を高インピーダンスとするドライバと、このドライバと前記DUTとの間に設けられた第1のリレーと、前記パターンが入力されると共に前記高電圧信号を出力する高電圧ドライバと、前記ドライバの入力と前記高電圧ドライバの間に設けられた第2のリレーと、前記高電圧ドライバと前記DUTとの間に設けられた第3のリレーとを備えたことを特徴とする。
パターンに基づいて通常の試験信号または高電圧信号を選択的にDUTに印加する半導体試験装置において、
前記パターンが入力されると共に前記通常の試験信号を出力し、前記高電圧信号をDUTへ印加する時は出力を高インピーダンスとするドライバと、このドライバと前記DUTとの間に設けられた第1のリレーと、前記パターンが入力されると共に前記高電圧信号を出力する高電圧ドライバと、前記ドライバの入力と前記高電圧ドライバの間に設けられたインピーダンス素子と、前記高電圧ドライバと前記DUTとの間に設けられた第2のリレーとを備えたことを特徴とする。
請求項1または請求項2に記載の半導体試験装置において、
前記高電圧ドライバが、
前記パターンがハイレベルの時にVIHレベルの電位を出力する制御スイッチと、この制御スイッチの出力を増幅する増幅器と、一端が前記制御スイッチと前記増幅器を結ぶ信号線に接続され、他端が接地またはVILレベルに接続された抵抗とから構成されることを特徴とする。
請求項1または請求項2に記載の半導体試験装置において、
前記高電圧ドライバが、
前記パターンがハイレベルの時にVIHレベルの電位を出力し、前記パターンがローレベルの時にVILレベルの電位を出力する制御回路と、この制御回路の出力を増幅する増幅器とから構成されることを特徴とする。
請求項1〜請求項4の発明によれば、高電圧信号をDUTへ印加する時は出力を高インピーダンスとするドライバを備えたことにより、ドライバから漏れ電圧波形が出力されることが無くなるので、ドライバの出力に半導体リレーを使用してもDUTへ印加する信号波形に漏れ電圧波形が重畳されず、波形品位の向上が可能になる。
2,3,5,6,7,8,10,11,13 リレー
4,17 増幅器
12 高電圧ドライバ
14 インピーダンス素子
15 制御スイッチ
16 抵抗
18 制御回路
Claims (4)
- パターンに基づいて通常の試験信号または高電圧信号を選択的にDUTに印加する半導体試験装置において、
前記パターンが入力されると共に前記通常の試験信号を出力し、前記高電圧信号をDUTへ印加する時は出力を高インピーダンスとするドライバと、
このドライバと前記DUTとの間に設けられた第1のリレーと、
前記パターンが入力されると共に前記高電圧信号を出力する高電圧ドライバと、
前記ドライバの入力と前記高電圧ドライバの間に設けられた第2のリレーと、
前記高電圧ドライバと前記DUTとの間に設けられた第3のリレーと
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。 - パターンに基づいて通常の試験信号または高電圧信号を選択的にDUTに印加する半導体試験装置において、
前記パターンが入力されると共に前記通常の試験信号を出力し、前記高電圧信号をDUTへ印加する時は出力を高インピーダンスとするドライバと、
このドライバと前記DUTとの間に設けられた第1のリレーと、
前記パターンが入力されると共に前記高電圧信号を出力する高電圧ドライバと、
前記ドライバの入力と前記高電圧ドライバの間に設けられたインピーダンス素子と、
前記高電圧ドライバと前記DUTとの間に設けられた第2のリレーと
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。 - 前記高電圧ドライバが、
前記パターンがハイレベルの時にVIHレベルの電位を出力する制御スイッチと、
この制御スイッチの出力を増幅する増幅器と、
一端が前記制御スイッチと前記増幅器を結ぶ信号線に接続され、他端が接地またはVILレベルに接続された抵抗とから構成されることを特徴とする
請求項1または請求項2に記載の半導体試験装置。 - 前記高電圧ドライバが、
前記パターンがハイレベルの時にVIHレベルの電位を出力し、前記パターンがローレベルの時にVILレベルの電位を出力する制御回路と、
この制御回路の出力を増幅する増幅器とから構成されることを特徴とする
請求項1または請求項2に記載の半導体試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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---|---|---|---|---|
JPH03255377A (ja) * | 1990-03-05 | 1991-11-14 | Nec Corp | 集積回路の試験装置 |
JPH09325176A (ja) * | 1996-06-05 | 1997-12-16 | Advantest Corp | Ic試験装置 |
JP2002022804A (ja) * | 2000-07-04 | 2002-01-23 | Advantest Corp | 半導体試験装置 |
JP2002372571A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Advantest Corp | 半導体試験装置 |
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- 2007-03-14 JP JP2007064428A patent/JP4895117B2/ja active Active
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