JP4380601B2 - 半導体装置の試験を行うための回路及び半導体装置の試験装置 - Google Patents
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Description
しかしながら、上記第3の電流測定装置においては、コンデンサの蓄電及び放電を行うために、ドライバと疑似負荷回路とを必要とする。
また、上記第3の電流測定装置は、デバイス電流を測定するための装置であり、デバイス電流を算出するため、コンデンサの電位を測定するためのコンパレータを必要とする。
まず、バイパス・コンデンサ2の充電を行う場合について説明する。この場合、テスト回路3は、ローレベルの第1制御信号をスイッチ回路13に供給するとともに、ローレベルの第2制御信号をスイッチ回路13に供給する。
スイッチ回路13は、ハイレベルの第1制御信号の供給を受けて、図2に示すように、バイパス・コンデンサ2の一端と半導体装置21の端子との間を接続する。なお、このとき、第2制御信号は、ハイレベル、ローレベルのいずれであっても良い。
スイッチ回路13は、ハイレベルの第1制御信号の供給を受けて、バイパス・コンデンサ2の一端と半導体装置21の端子との間を接続する。なお、このとき、第2制御信号は、ハイレベル、ローレベルのいずれであっても良い。
Claims (4)
- コンデンサを利用し、外部から供給される制御信号に従って、前記コンデンサの充電を行い、前記コンデンサの放電を行い、及び、半導体装置の端子と前記コンデンサの一端との間を接続して、前記半導体装置の試験を行うための充放電回路であって、
一端が前記コンデンサの他端に接続された電源回路と、
抵抗と、
外部から供給される第1の制御信号が第1の状態を表している場合に、前記コンデンサの前記一端と前記半導体装置の前記端子との接続を遮断して前記コンデンサの前記一端と前記抵抗の一端との間を接続することにより前記コンデンサの充電及び放電のいずれをも可能とし、前記第1の制御信号が第2の状態を表している場合に、前記コンデンサの前記一端と前記半導体装置の前記端子との間を接続するための第1のスイッチ回路と、
外部から供給される第2の制御信号が第3の状態を表している場合に、前記抵抗の他端と前記電源回路の他端との間を接続することにより前記コンデンサの充電を行い、前記第2の制御信号が第4の状態を表している場合に、前記コンデンサの前記他端と前記抵抗の前記他端との間を接続することにより前記コンデンサの放電を行うための第2のスイッチ回路と、
を具備する回路。 - 前記電源回路が、外部から供給される第3の制御信号に従って出力を可変とすることが可能である、請求項1記載の回路。
- 請求項1又は2記載の回路と、
前記回路に第1〜第3の制御信号を供給することにより前記回路を制御するとともに、前記半導体装置の前記端子に信号を印加し又は前記半導体装置の前記端子から出力される信号を受け取るテスト回路と、
を具備する、半導体装置の試験装置。 - 前記テスト回路が、前記半導体装置の前記端子にハイレベルの信号を印加する前又は前記半導体装置の前記端子からハイレベルの信号が出力される前に前記コンデンサの充電を行うように前記回路を制御し、及び/又は、前記半導体装置の前記端子にローレベルの信号を印加する前又は前記半導体装置の前記端子からローレベルの信号が出力される前に前記コンデンサの放電を行うように前記回路を制御する、請求項3記載の半導体装置の試験装置。
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