JP4890751B2 - 研磨布 - Google Patents
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Description
図1および図2は、本発明に係る研磨布の製造方法の各工程を示す図であり、図1は、不織布から中間製品である複合基材を製造するまでの工程を示し、図2は、この複合基材から最終製品である研磨布を製造するまでの各工程をそれぞれ示している。
、スチレンブタジエンゴム、塩化ビニリデン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂などの少なくともいずれかの含有量(濃度)が、1重量%以上10重量%以下であるのが好ましい。
回復率(%)={(T3−T2)/(T1−T2)}×100
また、変形量=T1−T2である。
・研磨機:ストラボー(Strasbaugh)株式会社製の型式6CA(1プラテン−20''、1キャリアヘッド−8'')
・研磨布:上述の従来例および実施例
・スラリー:Nalco2350(Nalco社製)(20倍希釈)
・キャリアヘッド:230mm(枚葉式)
・圧力:300g/cm2
・テーブルスピード:キャリアヘッド 100rpm プラテン 115rpm
・スラリー流量:300ml/min
・ウェハ:6’’
・ブレークイン:30min × 2run(研磨回数)
・研磨時間:20min
・コンデイショニング:1min ナイロンブラシ
また、ウエハの研磨レートを重量法によって測定し、平坦度の評価項目であるTTV(Total Thickness Variation)、STIR(Sight Total Indicator Reading )を平坦度測定装置(ADE9500)によって測定した。その結果を、表4に示す。
本発明の他の実施の形態として、プライマー処理を施す不織布3として、ポリエステル繊維に熱融着糸を混綿したものを用いてもよい。
4 複合基材 5 ウレタン樹脂
6 MEK 7 硬化剤
8 研磨布
Claims (5)
- 不織布にウレタン樹脂を含浸させてなる研磨布において、
前記不織布は、プライマー処理が施されており、前記プライマー処理が、 スチレンブタジエンゴム、塩化ビニリデン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂の少なくともいずれかを含有するプライマー処理剤に、前記不織布を含浸することによって行われることを特徴とする研磨布。 - 前記不織布が、ポリエステル繊維であることを特徴とする請求項1に記載の研磨布。
- 前記プライマー処理剤は、前記スチレンブタジエンゴム、塩化ビニリデン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂の少なくともいずれかの含有量が、1重量%以上10重量%以下であることを特徴とする請求項2に記載の研磨布。
- 前記不織布が、前記ポリエステル繊維に熱融着糸を混綿したものであることを特徴とする請求項2または3に記載の研磨布。
- 前記プライマー処理が施された不織布を、ウレタン樹脂溶液に一次含浸して湿式凝固し、得られた基材を、樹脂溶液に二次含浸して加熱硬化させてなることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載の研磨布。
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