JP4888995B2 - 微粒子成分計測方法および微粒子成分計測装置 - Google Patents
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Description
9 局部的な凸部
10 大域的な凹部
14 フィラメント
15 超短パルスレーザー光
19 受光望遠鏡
Claims (12)
- 局部的な凸部または凹部を有する反射ミラーにパルス幅がピコ秒領域以下の超短パルスレーザー光を照射し、前記局部的な凸部または凹部により反射したビーム断面の任意の部位に強度斑を作ることでフィラメント発生の起点とし、前記フィラメントを微粒子に照射してプラズマを発生させ、そのプラズマからの発光スペクトルに基づいて前記微粒子の成分を計測することを特徴とする微粒子成分計測方法。
- 前記反射ミラーの前記局部的な凸部または凹部の周りには前記局部的な凸部または凹部に比して大域的な凹部が設けられており、前記大域的な凹部により前記フィラメント周辺に反射した超短パルスレーザビームのエネルギあるいは周辺の強度斑を前記フィラメント発生の起点となる強度斑の周りに集合させることを特徴とする請求項1記載の微粒子成分計測方法。
- 局部的な凸部または凹部を有する反射ミラーにパルス幅がピコ秒領域以下の超短パルスレーザー光を照射し、前記局部的な凸部または凹部により反射したビーム断面の任意の部位に強度斑を作ることでフィラメント発生の起点とすると共に、前記ビーム断面の前記局部的な凸部または凹部の周りに相当する位置に前記局部的な凸部または凹部に比して大域的な凹部を有する反射ミラーにも前記超短パルスレーザー光を照射し、前記大域的な凹部により反射した前記超短パルスレーザ光のエネルギあるいは周辺の強度斑を前記フィラメント発生の起点となる強度斑の周りに集合させ、前記フィラメントを微粒子に照射してプラズマを発生させ、そのプラズマからの発光スペクトルに基づいて前記微粒子の成分を計測することを特徴とする微粒子成分計測方法。
- 前記反射ミラーは反射面が任意に変形可能な可変形ミラーであることを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載の微粒子成分計測方法。
- 前記発光スペクトルの計測に時間的遅延を加えることにより白色光スペクトル強度を減少させることを特徴とする請求項1から4のいずれか1つに記載の微粒子成分計測方法。
- 前記プラズマからの発光を受光望遠鏡を用いて集光することを特徴とする請求項1から5のいずれか1つに記載の微粒子成分計測方法。
- 局部的な凸部または凹部を有する反射ミラーにパルス幅がピコ秒領域以下の超短パルスレーザ光を照射し、前記局部的な凸部または凹部により反射したビーム断面の任意の部位に強度斑を作ることでフィラメント発生の起点とし、前記フィラメントを微粒子に照射してプラズマを発生させ、そのプラズマからの発光スペクトルに基づいて前記微粒子の成分を計測することを特徴とする微粒子成分計測装置。
- 前記反射ミラーの前記局部的な凸部または凹部の周りには前記局部的な凸部または凹部に比して大域的な凹部が設けられており、前記大域的な凹部により前記フィラメント周辺に反射した超短パルスレーザビームのエネルギあるいは周辺の強度斑を前記フィラメント発生の起点となる強度斑の周りに集合させることを特徴とする請求項7記載の微粒子成分計測装置。
- 局部的な凸部または凹部を有する反射ミラーにパルス幅がピコ秒領域以下の超短パルスレーザ光を照射し、前記局部的な凸部または凹部により反射したビーム断面の任意の部位に強度斑を作ることでフィラメント発生の起点とすると共に、前記ビーム断面の前記局部的な凸部または凹部の周りに相当する位置に前記局部的な凸部または凹部に比して大域的な凹部を有する反射ミラーにも前記超短パルスレーザー光を照射し、前記大域的な凹部により反射した前記超短パルスレーザ光のエネルギあるいは周辺の強度斑を前記フィラメント発生の起点となる強度斑の周りに集合させ、前記フィラメントを微粒子に照射してプラズマを発生させ、そのプラズマからの発光スペクトルに基づいて前記微粒子の成分を計測することを特徴とする微粒子成分計測装置。
- 前記反射ミラーは反射面が任意に変形可能な可変形ミラーであることを特徴とする請求項7から9のいずれか1つに記載の微粒子成分計測装置。
- 前記発光スペクトルの計測に時間的遅延を加えることにより白色光スペクトル強度を減少させることを特徴とする請求項7から10のいずれか1つに記載の微粒子成分計測装置。
- 前記プラズマからの発光を受光望遠鏡を用いて集光することを特徴とする請求項7から11のいずれか1つに記載の微粒子成分計測装置。
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