JPH06247398A - ガス漏れ検出方法 - Google Patents
ガス漏れ検出方法Info
- Publication number
- JPH06247398A JPH06247398A JP3193493A JP3193493A JPH06247398A JP H06247398 A JPH06247398 A JP H06247398A JP 3193493 A JP3193493 A JP 3193493A JP 3193493 A JP3193493 A JP 3193493A JP H06247398 A JPH06247398 A JP H06247398A
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- JP
- Japan
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- gas
- gas leak
- light
- half mirror
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガス漏れを原子・分子レベルで高感度に検出
する方法を得る。 【構成】 レーザ発振器１、同レーザ発振器の前方の光
軸上に順次設けられるエキスパンダレンズ３、コリメー
トレンズ４および４５°傾斜ハーフミラー１０と、同４
５°傾斜ハーフミラーの反射光を受ける受信望遠鏡７、
同受信望遠鏡の結像部に設けられる光検出器８、同光検
出器の出力を受けるガス漏れ検知器９を設ける。
する方法を得る。 【構成】 レーザ発振器１、同レーザ発振器の前方の光
軸上に順次設けられるエキスパンダレンズ３、コリメー
トレンズ４および４５°傾斜ハーフミラー１０と、同４
５°傾斜ハーフミラーの反射光を受ける受信望遠鏡７、
同受信望遠鏡の結像部に設けられる光検出器８、同光検
出器の出力を受けるガス漏れ検知器９を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は宇宙空間等の低圧（≦１
０-3Ｔｏｒｒ）空間において使用されるガス貯蔵装置に
適用されるガス漏れ検出方法に関する。
０-3Ｔｏｒｒ）空間において使用されるガス貯蔵装置に
適用されるガス漏れ検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来例を図３により説明する。ガスボン
ベ０２からバルブ０３、圧力計０１を順次介して、ガス
使用機器へガスが送られる。圧力計０１には圧力変位計
０４がつながれる。またガス漏洩警報器５がガスボンベ
０２の近くに置かれる。
ベ０２からバルブ０３、圧力計０１を順次介して、ガス
使用機器へガスが送られる。圧力計０１には圧力変位計
０４がつながれる。またガス漏洩警報器５がガスボンベ
０２の近くに置かれる。
【０００３】圧力計０１が急激な圧力変動を示した場
合、この異常を圧力変位計０４で察知すると共にガス漏
れ警報器０５が作動し、警報音を発する。このようにし
てガス漏れを判断していた。
合、この異常を圧力変位計０４で察知すると共にガス漏
れ警報器０５が作動し、警報音を発する。このようにし
てガス漏れを判断していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術では、
圧力変位計の急激な変動およびガス漏れ警報器の作動に
より、ガス漏れを判断するため、圧力変位計およびガス
漏れ警報器に反応しない微少量のガス漏れは検出できな
かった。また多種類のガスを貯蔵している装置において
ガス漏れが生じた場合、漏れたガスの特定が困難であっ
た。
圧力変位計の急激な変動およびガス漏れ警報器の作動に
より、ガス漏れを判断するため、圧力変位計およびガス
漏れ警報器に反応しない微少量のガス漏れは検出できな
かった。また多種類のガスを貯蔵している装置において
ガス漏れが生じた場合、漏れたガスの特定が困難であっ
た。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するため次の手段を講ずる。
するため次の手段を講ずる。
【０００６】すなわち、ガス漏れ検出方法として、低圧
空間において、ガス漏れ検出対象部にレーザ光を照射
し、上記検出対象部の漏れガスの原子・分子を励起し、
同原子・分子の高い励起準位から基底状態に戻るときに
放出する放出光を検出してガス漏れを判断する。
空間において、ガス漏れ検出対象部にレーザ光を照射
し、上記検出対象部の漏れガスの原子・分子を励起し、
同原子・分子の高い励起準位から基底状態に戻るときに
放出する放出光を検出してガス漏れを判断する。
【０００７】
【作用】上記手段により、ガス漏れ検出対象およびその
近傍にレーザ光線が照射される。このとき検出対象か
ら、ガスが漏れ出していると、そのガスの原子・分子が
励起される。そして励起された電子が高い準位から低い
基底状態に戻るときに光が放出される。この放出光が検
出される。そして検出対象から漏れたガスであると判断
される。
近傍にレーザ光線が照射される。このとき検出対象か
ら、ガスが漏れ出していると、そのガスの原子・分子が
励起される。そして励起された電子が高い準位から低い
基底状態に戻るときに光が放出される。この放出光が検
出される。そして検出対象から漏れたガスであると判断
される。
【０００８】このようにして、原子・分子レベルでの非
常に感度の高いガス漏れ検出が可能となる。
常に感度の高いガス漏れ検出が可能となる。
【０００９】
（１）本発明の一実施例を図１により説明する。レーザ
発振器１、その光軸上に順次エキスパンダレンズ３、コ
リメートレンズ４、ハーフミラー１０が設けられる。ハ
ーフミラー１０はコリメートレンズ４の光軸に対して、
４５°傾けて設けられる。
発振器１、その光軸上に順次エキスパンダレンズ３、コ
リメートレンズ４、ハーフミラー１０が設けられる。ハ
ーフミラー１０はコリメートレンズ４の光軸に対して、
４５°傾けて設けられる。
【００１０】ハーフミラー１０の反射光を受ける受信望
遠鏡７が設けられる。また受信望遠鏡７の受像部に光検
出器８が設けられる。光検出器８の出力はガス漏れ検知
器９へ送られる。
遠鏡７が設けられる。また受信望遠鏡７の受像部に光検
出器８が設けられる。光検出器８の出力はガス漏れ検知
器９へ送られる。
【００１１】以上において、ガス漏れ検出対象の例え
ば、宇宙ステーションに搭載されているガスボンベ５に
向けて、レーザ発振器１からレーザ光が照射される。レ
ーザ発振器１からのレーザ光２はエキスパンダレンズ３
で拡大され、コリメートレンズ４で平行光線にコリメー
トされる。この平行光線がハーフミラー１０を経て、ガ
スボンベ５のガス漏れ検出対象部に送られる。
ば、宇宙ステーションに搭載されているガスボンベ５に
向けて、レーザ発振器１からレーザ光が照射される。レ
ーザ発振器１からのレーザ光２はエキスパンダレンズ３
で拡大され、コリメートレンズ４で平行光線にコリメー
トされる。この平行光線がハーフミラー１０を経て、ガ
スボンベ５のガス漏れ検出対象部に送られる。
【００１２】このとき、ガス漏れａがあると、ガス漏れ
ａのガスの原子・分子がレーザ光によって励起される。
そして高い励起準位から基底状態に戻るときに光が放出
される。この放出光がハーフミラー１０で反射される。
そして受信望遠鏡７に放出光６としてはいり結像され
る。この結像が光検出器８で検出され、その出力がガス
漏れ検知器９へ送られる。ガス漏れ検出器９は入力が或
るレベル以上のとき、ガス漏れ信号を出力する。
ａのガスの原子・分子がレーザ光によって励起される。
そして高い励起準位から基底状態に戻るときに光が放出
される。この放出光がハーフミラー１０で反射される。
そして受信望遠鏡７に放出光６としてはいり結像され
る。この結像が光検出器８で検出され、その出力がガス
漏れ検知器９へ送られる。ガス漏れ検出器９は入力が或
るレベル以上のとき、ガス漏れ信号を出力する。
【００１３】このようにして、漏れ出たガスの原子・分
子の励起放出光から検知するため、高い感度が得られ
る。
子の励起放出光から検知するため、高い感度が得られ
る。
【００１４】（２）本発明の第２実施例を図２により説
明する。第１実施例と異る部分は、受信望遠鏡７の後段
に光検出および分光器８ａを設け、その信号をガス漏れ
検知器９ａへ送る構成にしている点である。
明する。第１実施例と異る部分は、受信望遠鏡７の後段
に光検出および分光器８ａを設け、その信号をガス漏れ
検知器９ａへ送る構成にしている点である。
【００１５】以上において、上記（１）と同様にして、
放出光６が受信望遠鏡７で結像され、光検出および分光
器８ａで検出分光される。そしてガス漏れ検知器９ａ
で、ガス漏れａのガスの種類が特定され出力される。
放出光６が受信望遠鏡７で結像され、光検出および分光
器８ａで検出分光される。そしてガス漏れ検知器９ａ
で、ガス漏れａのガスの種類が特定され出力される。
【００１６】このようにして、漏れ出たガスが、原子・
分子レベルで検出・特定される。従って非常に高い感度
で検出できる。
分子レベルで検出・特定される。従って非常に高い感度
で検出できる。
【００１７】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
ガス漏れをガスの原子・分子レベルで検出判断するた
め、非常に高い感度のガス漏れ検出が可能となる。
ガス漏れをガスの原子・分子レベルで検出判断するた
め、非常に高い感度のガス漏れ検出が可能となる。
【図１】本発明の第１実施例の構成系統図である。
【図２】本発明の第２実施例の構成系統図である。
【図３】従来例の構成系統図である。
１ レーザ発振器 ２ レーザ光線（入射光） ３ ビームエキスパンダレンズ ４ コリメートレンズ ５ ガスボンベ ６ 放出光 ７ 受信望遠鏡 ８ 光検出器 ８ａ 光検出および分光器 ９，９ａ ガス漏れ検知器 ０１ 圧力計 ０２ ガスボンベ ０３ バルブ ０４ 圧力変位計 ０５ ガス漏洩警報器
Claims (1)
- 【請求項１】 低圧空間において、ガス漏れ検出対象部
にレーザ光を照射し、上記検出対象部の漏れガスの原子
・分子を励起し、同原子・分子の高い励起準位から基底
状態に戻るときに放出する放出光を検出してガス漏れを
判断することを特徴とするガス漏れ検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3193493A JPH06247398A (ja) | 1993-02-22 | 1993-02-22 | ガス漏れ検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3193493A JPH06247398A (ja) | 1993-02-22 | 1993-02-22 | ガス漏れ検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06247398A true JPH06247398A (ja) | 1994-09-06 |
Family
ID=12344805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3193493A Withdrawn JPH06247398A (ja) | 1993-02-22 | 1993-02-22 | ガス漏れ検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06247398A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007034840A1 (ja) * | 2005-09-20 | 2007-03-29 | Central Research Institute Of Electric Power Industry | 微粒子成分計測方法および微粒子成分計測装置 |
| CN103868850A (zh) * | 2012-12-14 | 2014-06-18 | 中国科学院微电子研究所 | 一种原位光学检测装置 |
-
1993
- 1993-02-22 JP JP3193493A patent/JPH06247398A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007034840A1 (ja) * | 2005-09-20 | 2007-03-29 | Central Research Institute Of Electric Power Industry | 微粒子成分計測方法および微粒子成分計測装置 |
| JP2007085790A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-04-05 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 微粒子成分計測方法および微粒子成分計測装置 |
| US7764373B2 (en) | 2005-09-20 | 2010-07-27 | Central Research Institute Of Electric Power Industry | Fine particle constituent measuring method and fine-particle constituent measuring apparatus |
| CN103868850A (zh) * | 2012-12-14 | 2014-06-18 | 中国科学院微电子研究所 | 一种原位光学检测装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000509 |